隔離閥結構的製作方法

2023-11-07 09:36:52 1

專利名稱：隔離閥結構的製作方法
技術領域：
本實用新型有關一種應用在真空設備的隔離閥結構，尤指一種可 確實讓其中 一 端所接續的空間保持在負壓狀態，防止大氣壓力因下端 蓋所接續的真空泵突然故障而逆流至其空間中，以及排除因廢材堆積 而影響閥瓣滑動狀態的隔離閥結構。
背景技術：
在現代許多高精密度產品(例如半導體、硬碟機、鏡片等)的製造過
程當中，某些加工步驟必需使用程度不一的真空才能完成；又，在實 驗室和工廠中用以製造真空的方法主要是利用真空泵將密閉空間中的 空氣抽出，使該空間保持在負壓狀態，亦即到某種程度的真空。
然而，雖然可以利用真空泵持續將空氣抽出的方式讓該空間保持 在負壓狀態，但是當該真空泵故障或停止運轉時，該負壓空間外部的 空氣即會在大氣壓力的作用下逆向侵入原有的負壓空間當中，如此不 但會造成該空間內部產品不同程度的危害，而且重新使該空間恢復到 既定的負壓狀態則必須要再耗費相當長的運作時間，以及真空泵運作 所需的成本。
按， 一般隔離閥主要用以連接於真空泵及一真空室或類似需要形 成負壓的空間之間，請參照圖l所示，習用的隔離閥90結構包括有一套 筒91，套筒91兩端再鎖固有一上端蓋92及一下端蓋93,並於套筒91內 部套設有襯環94 ,以及於襯環94頂部設有一閥瓣95,襯環94的頂部分 設有若干限位杆941,其圍繞成一用以框限閥瓣95上、下浮動的限位空 間，並使閥瓣95因隔離閥90兩側壓力的不同而於限位杆941間穩定滑 動，然而，於使用時可能因廢材堆積於外露的限位杆941上，而令閥瓣 95無法順利滑動並損壞相關機械構件。

實用新型內容
有鑑於此，本實用新型所解決的技術問題在於提供一種可確實讓 其中 一端所接續的空間保持在負壓狀態，並可防止大氣壓力因下端蓋 所接續的真空泵突然故障而逆流至其空間中，以及排除因廢材堆積而 影響閥瓣滑動狀態的隔離閥結構。
為達上揭目的，本實用新型的隔離閥包括有一套筒、 一上端蓋及 一下端蓋，主要在套筒的內部套設有一襯環，以及於襯環頂部設有一 閥瓣，此村環的外圍以及底部分別設有若干定位用凸條，使襯環與套
筒內壁以及下端蓋保持特定之間隔；尤其，襯環於主通孔外圍設有滑 槽，閥瓣周邊則具有可配合穿入滑槽中滑移的穿軸。
本實用新型的有益效果為整體隔離閥主要因其兩側壓力的不同， 即可在閥瓣得壓貼於上端蓋的狀態下，由閥瓣將上端蓋的管路接口遮 蔽，進而讓上端蓋所接續的空間維持在負壓狀態，防止大氣壓力因下 端蓋所接續的真空泵突然故障而逆流至其空間中；尤其，當下端蓋所 接續的真空泵開始運作時，閥瓣藉由穿軸滑入襯環的滑槽中以離開上 端蓋，並且於使用時因該穿軸可完全沒入滑槽中，排除因廢材堆積而 影響閥瓣的滑動狀態以及防止損壞相關機械構件。
本實用新型的另一目的即在提供一種可透過各凸條之間所形成的 信道加快上端蓋所接續的空間到達負壓狀態速度的隔離閥結構。


圖1為習有隔離閥的結構剖視圖；'
圖2為本實用新型的隔離閥使用狀態配置示意圖3為本實用新型的外觀立體圖4為本實用新型的結構分解圖5為本實用新型中套筒內部結構立體圖6為本實用新型的結構剖視圖7為本實用新型的動作示意圖8為本實用新型的襯環頂面結構圖9為本實用新型另一實施例的結構分解圖。
圖號說明
隔離閥10套筒11
上端蓋12管路接口 121
下端蓋13管路接口 131
襯環14凸條141
主通孔142滑槽143
間隔塊144貫穿孔道145
軸套146閥瓣15
穿軸151第一流道161
第二流道162第三流道163
真空泵20真空室30
隔離閥90套筒91
上端蓋92下端蓋93
襯環94限位杆941
閥瓣9具體實施方式
本實用新型的特點，可參閱本案圖式及實施例的詳細說明而獲得 清楚地了解。
如圖2所示，本實用新型的隔離閥1 O主要用以連接於真空泵20及一 真空室30或類似需要形成負壓的空間之間，請同時配合參照圖3至圖6 所示，整體隔離閥10基本上包括有 一套筒ll、 一上端蓋12、 一下端 蓋13、 一襯環14及一閥瓣15;其中
上、下端蓋12、 13分別鎖固在套筒11的兩端，而且個別設有所屬 的管路接口 121 、 131供與所接續的空間(真空室30)及真空泵20接續。
上述襯環14的外徑小於套筒11的內徑，並且在該襯環14的外圍以 及底部分別設有若干定位用凸條141，使襯環14得以穩固的套設在套筒 ll內部，並且與套筒11內壁以及下端蓋13保持特定的間隔；而且，於 襯環14設有主通孔142以及於主通孔142外圍設有滑槽143。
而閥瓣15則於襯環14頂部，其周邊具有可配合穿入滑槽143中滑移 的穿軸151,並得以壓貼於上端蓋12，進而將J:端蓋12的管路接口121 遮蔽。
主要在真空泵20與真空室30壓力的不同，使閥瓣15壓貼於上端蓋 12的狀態下，如圖6所示，由閥瓣15將上端蓋12的管路接口121遮蔽， 令上端蓋12所接續的空間維持在負壓狀態，並可防止大氣壓力因下端 蓋所接續的真空泵突然故障而逆流至其空間中。
反之，當下端蓋13所接續的真空泵20運作，因隔離閥10兩側壓力 的不同而使閥瓣15如圖7所示與上端蓋12相脫離時，閥瓣15藉由穿軸 151滑入襯環14的滑槽143中以離開上端蓋12，並且於使用時因該穿軸 151可完全沒入滑槽143中，排除因廢材堆積而影響閥瓣15的滑動狀態 以及防止損壞相關機械構件。當然，該襯環14可以如圖4及圖7所示， 在其頂部相對應於主通孔142外圍處布設有若干間隔塊144以防止閥瓣 15將襯環14的主通孔142遮蔽。
又，如圖5及圖7所示，該襯環14對應於閥瓣15處具有一主通孔142, 為供空氣流通的第一流道161，而各凸條141與套筒11內壁之間所形成 的信道為數個第；流道162，以及進一步在襯環14的本體上另外設有若 幹貫穿孔道145，該貫穿孔道145亦為供空氣流通的第三流道163，利用 舉一流道161、第二流道162以及第三流道163來增加上、下端蓋12、 13 之間的空氣信道數量，達到輔助提升空氣流通的效果。
由於，整個隔離閥10當中閥瓣15藉由穿軸151於襯環14的滑槽143 中滑移浮動，故其穿軸151可以呈如圖8所示的圓形斷面，而滑槽143則 配合穿軸151同為圓形斷面，另外，滑槽143與穿軸151之間更可穿設有 一磨擦阻力較低的軸套146,以降低兩者之間的磨擦阻力，使閥瓣15的 動作更為確實、反應更為靈敏。
綜上所述，本實用新型提供一較佳可行的隔離閥結構，爰依法提 呈新型專利的申請；再者，本實用新型的技術內容及技術特點巳揭示 如上，然而熟悉本項技術的人士仍可能基於本實用新型的揭示而作各 種不背離本案實用新型精神的替換及修飾。因此，本實用新型的保護
範圍應不限於實施例所揭示者，而應包括各種不背離本實用新型的替 換及修飾，並為以下的申請專利範圍所涵蓋。
權利要求1.一種隔離閥結構，其特徵在於，包括有一套筒；一上端蓋及一下端蓋，分別鎖固在套筒兩端，並且個別設有所屬的管路接口；一襯環，其外徑小於套筒的內徑，並且在其外圍以及底部分別設有若干定位用凸條，使得以穩固的套設在套筒內部，並且與套筒內壁以及下端蓋保持間隔，再於襯環設有主通孔以及於主通孔外圍設有滑槽；一閥瓣，設於襯環頂部，其周邊具有可配合穿入滑槽中滑移的穿軸，並得以壓貼於上端蓋，進而將上端蓋的管路接口遮蔽。
2、 如權利要求1所述隔離閥結構，其特徵在於，該襯環在其頂 部相對應於主通孔外圍處布設有若干用以防止閥瓣將襯環內圏遮蔽 的間隔塊。
3、 如權利要求1或2所述l4離閥結構，其特徵在於，該襯環設 有若干貫穿孔道。
4、 如權利要求3所述隔離閥結構，其特徵在於，該襯環的主 通孔為一供空氣流通的第一流道，而各凸條與套筒內壁之間所形成的 信道為數個第二流道，以及進一步在襯環的本體上另外設有若干貫穿 孔道，該貫穿孔道亦為供空氣流通的第三流道。
5、 如權利要求1所述隔離閥結構，其特徵在於，該襯環的滑槽 呈圓形斷面。
6、 如權利要求1所述隔離閥結構，其特徵在於，該閥瓣的穿軸 呈圓形斷面。
7、 如權利要求1所述隔離閥結構，其特徵在於，該滑槽中穿設 有一軸套。
專利摘要本實用新型隔離閥結構包括有一套筒、一上端蓋及一下端蓋，主要在套筒的內部套設有一襯環，以及於襯環頂部設有一閥瓣，此襯環的外圍以及底部分別設有若干定位用凸條，使襯環與套筒內壁以及下端蓋保持特定之間隔；尤其，襯環於主通孔外圍設有滑槽，閥瓣周邊則具有可配合穿入滑槽中滑移的穿軸，主要因隔離閥兩側壓力的不同，使閥瓣得以壓貼於上端蓋，進而將上端蓋的管路接口遮蔽，或使閥瓣藉由穿軸滑入襯環的滑槽中以離開上端蓋，並且於使用時因該穿軸可完全沒入滑槽中，排除因廢材堆積而影響閥瓣的滑動狀態。
文檔編號F16K3/02GK201196290SQ20082000702
公開日2009年2月18日 申請日期2008年3月5日 優先權日2008年3月5日
發明者林進達 申請人:尚弘科技股份有限公司