帶集成控制面板的射頻電源動態監控系統的製作方法

2023-11-30 20:25:16 1

本發明涉及射頻技術領域，尤其涉及一種射頻電源動態監控系統。

背景技術：

近一、二十年來，微電子產業迅猛發展，隨著低溫等離子體技術的不斷進步，各種功能的等離子體設備如射頻(或射頻磁控)濺射、等離子體刻蝕(PE)、反應離子腐蝕(RIE)、等離子體澱積(PECVD)等，也越來越多地受到重視，並在許多領域中得到了廣泛地應用。首先在半導體工業中刻蝕氮化矽、多晶矽、鋁、澱積氮化矽的應用。隨之其它工業的發展也在積極使用這一新技術，如沉積各種光學薄膜、敏感薄膜，以及微創醫療、對化纖、有機物進行表面改性等等。這些新技術、新工藝、新設備的推廣應用，都需要大量的射頻發生器。

在這些應用領域中，射頻電源的工作穩定性是首要問題。由於常年不間斷的工作，而且是上百臺同時工作，設備電源的正常與否直接關係到其產品的產量和質量。

目前市面上的射頻電源，特別是進口射頻電源，需要通過串口與計算機連接，在計算機上運行其專用的後臺軟體，通過英文界面操作控制電源設備，觀察其工作狀態。這種模式不僅配置一臺體積大、造價不菲的計算機，給設備的現場應用和實際操作都帶來了很大的困難。

技術實現要素：

本發明的目的是本系統採用先進的微控電子和數位技術，實現了實時監控和顯示功能。

為實現上述發明目的，本發明的技術方案是：帶集成控制面板的射頻電源動態監控系統，包括集成在控制面板上的控制晶片、接口電路、TFT顯示屏、直流/直流轉換器、數碼撥盤；所述接口電路通過模擬用戶口與射頻電源連接；

所述控制晶片實時掃描和控制接口電路獲取射頻電源運行數據，並將結果實時動態地顯示在TFT顯示屏上；

所述數碼撥盤用於設置射頻電源輸出功率，所述控制晶片外部中斷觸發方式掃描數碼撥盤，獲取設置的輸出功率，通過接口電路控制射頻電源功率。

作為本發明一種優選，所述控制晶片獲取射頻電源運行數據包括前向功率、反射功率、負載功率、溫度、溼度、各個開關量和告警參數。

作為本發明另一種優選，所述控制晶片包括內置電池的定時採集時間晶片，將時間和日期送TFT顯示屏顯示，且在系統掉電情況下能夠繼續走時。

本發明的有益效果是：

1.實時、有效的監控射頻設備的工作狀態，及早發現有故障的設備並及時主動的更換；所以極大的提高系統可靠性，為企業提高了成品率，極大減少了損失。

顯示屏數據顯示，直觀、方便，設備運行的動態數據一目了然；

3.採用數字、可調節極差的方式，控制射頻電源的輸出功率，且操作簡單；

4.相對PC後臺系統，大大降低了系統成本，在半導體及其他使用射頻電源的行業，值得推廣和廣泛應用。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

如圖1所示，帶集成控制面板的射頻電源動態監控系統，包括集成在控制面板6上的控制晶片1、接口電路2、TFT顯示屏3、直流/直流變換器4、數碼撥盤5；所述接口電路2通過模擬用戶口（圖中未示出）與射頻電源（圖中未示出）連接。

所述控制晶片1實時掃描和控制接口電路2獲取射頻電源的運行數據，並通過計算轉化成射頻電源的標準數據，並將結果實時動態地顯示在TFT顯示屏3上。

所述數碼撥盤5用於設置射頻電源輸出功率，所述控制晶片1外部中斷觸發方式掃描數碼撥盤5，獲取設置的輸出功率，通過接口電路2控制射頻電源功率輸出。

所述控制晶片1獲取射頻電源運行數據包括前向功率、反射功率、負載功率、溫度、溼度、各個開關量和告警參數。

所述控制晶片1還包括內置電池的定時採集時間晶片，將時間和日期送TFT顯示屏顯示，且在系統掉電情況下能夠繼續走時。

本發明工作過程如下：

a.射頻電源加電後，本系統模塊初始化各個模塊：

·定時器設定;

·各I/O口設定；

·各串口設定；

·各中斷設定；

·加載初始數據；

·TFT顯示屏初始並顯示。

控制晶片1定時掃描射頻電源的模擬用戶口，採集射頻電源的關鍵數據，並分析、計算和調整；

經過控制晶片1內部運算和轉換，及時送TFT顯示屏3將各個數據顯示出來。

定時掃描電源設備的各開關量和溫度值，也會及時的顯示在TFT顯示屏3上。

外部中斷觸發方式掃描數碼撥盤，得到設置的功率值，經過模擬用戶口控制設備的功率。

檢測後臺設備的連接情況，可以將保存的大量數據通過串口發送至後臺，供分析使用。

此外，本發明的監控系統還預留接口，以擴展更多功能：

如定時掃描可獲得Bus DC voltage、Bus DC current、CTL-BUS voltage、整機EFF等數據，並通過TFT顯示屏實時顯示。

所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。