一種有毒有害氣體的分析系統的製作方法
2023-12-01 01:55:06 1
一種有毒有害氣體的分析系統的製作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及氣體檢測領域，具體為一種有毒有害氣體的分析系統。
【背景技術】
[0002]在氣體生產的過程中，為了保證產品的質量(如純淨度、是否存在有害雜質等)，需要在出廠前對相應的氣體產品進行檢測分析。在檢測的過程中，有可能被檢的氣體為有毒、易燃易爆氣體，例如矽烷、磷烷、鍺烷、二氧化硫等等，而當遇到需要對這些氣體進行檢測時，需要非常謹慎，稍有洩露就會對周邊的人畜、環境造成危害。
[0003]目前現有技術的檢測系統，僅為三通閥對樣品氣體(待測氣體)、清洗氣體(一般為氦氣，用於每次開始檢測前對管路進行吹掃)和檢測儀器進行連通，因為每次在測試完畢之後拆卸樣品氣體時，管道內會殘留較多的樣品氣體，為了避免這些殘留的樣品氣體對操作人員產生危害，因此，管路系統會設置在通風氣櫃內，通風氣櫃的出風口連通尾氣處理裝置。
[0004]但是如此一來，會產生如下問題:1.通風氣櫃的費用較高，同時對使用場地有一定要求;2.採用氦氣直接吹掃置換，導致氦氣消耗較多，成本較高，因為氦氣為稀有氣體，價格非常昂貴，此外，也會存在樣品在管道殘留的危險。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的在於解決上述問題，提出一種有毒有害氣體的分析系統，以解決樣品氣體的洩漏，以及減少氦氣的使用量。
[0006]本實用新型也提出一種有毒有害氣體的分析系統的使用方法，使得操作簡單容易，而且檢測準確度高。
[0007]本實用新型的有毒有害氣體的分析系統，包括抽真空部、樣品氣進氣部和輔助氣體進氣部;所述樣品氣體進氣部B包括樣品接氣管、樣品送氣管、接氣閥門和減壓器，所述接氣閥門設置於所述樣品接氣管的一端，所述樣品接氣管的另一端連通所述樣品送氣管的一端，所述樣品送氣管的另一端設置有減壓器;所述輔助氣體進氣部包括清洗氣接氣管、標準氣接氣管、混合輸氣管、放空閥門、所述接氣閥門和控制閥門，所述接氣閥門設置於所述標準氣接氣管的一端，所述標準氣接氣管的另一端連通所述混合輸氣管，清洗氣接氣管的一端通過所述控制閥門連通所述混合輸氣管，所述混合輸氣管的中部連通放空閥門的一端，所述混合輸氣管的另一端連通所述樣品送氣管的另一端;所述抽真空部連通所述放空閥門的另一端。
[0008]優選的，所述抽真空部包括真空發生器，所述真空發生器的負壓接口連通所述空閥I?的另一端。
[0009]優選的，所述所述標準氣接氣管的另一端通過所述控制閥門連通所述混合輸氣管;所述樣品接氣管的另一端通過所述控制閥門2連通所述樣品送氣管。
[0010]優選的，所述控制閥門為截止閥，所述接氣閥門為針型閥，所述放空閥門為截止閥。
[0011]優選的，所述真空發生器的正壓氣體為氮氣。
[0012]優選的，還設置有單向閥，所述單向閥設置於所述混合輸氣管的進氣端的近端部。
[0013]優選的，還設置有壓力表，所述壓力表設置於所述樣品送氣管的另一端。
[0014]優選的，所述樣品送氣管和所述混合輸氣管為1/8英寸的316不鏽鋼管。
[0015]本實用新型的有毒有害氣體的分析系統，結構簡單可靠，方便維護，而且製造成本低，適合大規模工業化引用；本實用新型的有毒有害氣體的分析系統的使用方法，容易操作，步驟簡單。
【附圖說明】
[0016]附圖對本實用新型做進一步說明，但附圖中的內容不構成對本實用新型的任何限制。
[0017]圖1是本實用新型的其中一個實施例的示意圖；
[0018]圖2是現有技術的管路系統的示意圖。
[0019]其中:抽真空部A、真空發生器Al、樣品氣進氣部B、樣品接氣管B1、樣品送氣管B2、減壓器B4、輔助氣體進氣部C、清洗氣接氣管Cl、標準氣接氣管C2、混合輸氣管C3、放空閥門C4、控制閥門2、接氣閥門3、單向閥4、壓力表5、檢測設備1。
【具體實施方式】
[0020]以下給出本實用新型的【具體實施方式】，用來對本實用新型的構成作進一步詳細說明。
[0021]本實施例的有毒有害氣體的分析系統，如圖1所示，包括抽真空部A、樣品氣進氣部B和輔助氣體進氣部C;所述樣品氣體進氣部B包括樣品接氣管B1、樣品送氣管B2、接氣閥門3和減壓器B4，所述接氣閥門3設置於所述樣品接氣管BI的一端，所述樣品接氣管BI的另一端連通所述樣品送氣管B2的一端，所述樣品送氣管B2的另一端設置有減壓器B4;所述接氣閥門3設置於所述樣品接氣管BI的一端，減少管道內儲存氣體的空間，儘量減少在拆卸樣品氣體時殘留在管道內的氣體洩漏。所述輔助氣體進氣部C包括清洗氣接氣管Cl、標準氣接氣管C2、混合輸氣管C3、放空閥門C4、所述接氣閥門3和控制閥門2，所述接氣閥門3設置於所述標準氣接氣管C2的一端，所述標準氣接氣管C2的另一端連通所述混合輸氣管C3，清洗氣接氣管Cl的一端通過所述控制閥門2連通所述混合輸氣管C3，所述混合輸氣管C3的中部連通放空閥門C4的一端，所述混合輸氣管C3的另一端連通所述樣品送氣管B2的另一端;所述抽真空部A連通所述放空閥門C4的另一端。
[0022]本實施例的分析系統的使用方法如下:
[0023]步驟1:減壓器B4連通檢測設備10;—般來說，所述檢測設備10為色譜儀，不同的氣體會在色譜儀中出峰的時間均不同，因此，根據色譜儀出峰時間和峰面積，可以檢測出被測氣體的組分和含量;通過減壓器B4對管路氣壓的減壓，避免檢測設備10受到過大的氣壓而損壞。
[0024]步驟2:管路吹掃，關閉所述放空閥門C4和所述接氣閥門3，氦氣通過清洗氣接氣管Cl進入氣路進行置換吹掃，關閉氦氣接入的控制閥門2，打開放空閥門C4對管路進行抽真空;為了避免消耗過多的氦氣導致成本增加，採用吹掃置換和抽真空相互結合，輸入氦氣對管路進行吹掃置換後，對管路進行抽真
[0025]空，這樣便可以避免氦氣的浪費，同時，保證了管道已置換乾淨。優選的，此步驟重複進行5次後，再開始下一步驟。
[0026]步驟3:標準氣體接入，關閉放空閥門C4，打開標準氣接氣管C2的接氣閥門3;由於標準氣的主要作用是標定色譜分析儀，保證儀器的重複性和準確
[0027]性，並作為樣品檢測結果(成分和含量)的標定，因此，需要在對樣品氣體檢測之前，預先接入已知成分的標準氣體，並用檢測設備10對標準氣體進行檢測，並得出標準氣體的檢測數據。
[0028]步驟4:管路吹掃，關閉所述放空閥門C4和所述接氣閥門3，氦氣通過清洗氣接氣管Cl進入氣路進行置換吹掃，關閉氦氣接入的控制閥門2，打開放空閥門C4對管路進行抽真空；為了避免檢測的準確性，每次進行檢測之前都要對管路進行清掃。優選的，此步驟重複進行5次後，再開始下一步驟。
[0029]步驟5:樣品氣體接入，關閉放空閥門C4，打開樣品接氣管BI的接氣閥門3;檢測設備10對樣品氣體進行檢測，並得出樣品氣體的檢測數據;進而與標準氣體的檢測數據進行比對，即可得出樣品氣體的含量和成分。
[0030]步驟6:管路清潔，關閉所述放空閥門C4和所述接氣閥門3，氦氣通過清洗氣接氣管Cl進入氣路進行置換吹掃，關閉氦氣接入的控制閥門2，打開放空閥門C4對管路進行抽真空。為了避免樣品氣體在拆卸之後，殘留在管道內的氣體洩漏造成危害，因此需要對管道清空後再進行樣品氣瓶的拆卸。
[0031]優選的，所述抽真空部A包括真空發生器Al，所述真空發生器Al的負壓接口連通所述空閥門C4的另一端，更具體的，所述真空發生器Al的正壓氣體為氮氣。採用真空發生器Al對管路系統進行抽真空，可以達到較好的真空效果，而且與抽氣機相比，管路簡單，操作方便，而且成本低廉。
[0032]優選的，所述所述標準氣接氣管C2的另一端通過所述控制閥門2連通所述混合輸氣管C3;所述樣品接氣管BI的另一端通過所述控制閥門2連通所述樣品送氣管B2;更具體的，所述控制閥門2為截止閥，所述接氣閥門3為針型閥，所述放空閥門C4為截止閥。針型閥可以調節流量，因為如果樣品氣體、標準氣體的輸入流量過大，會導致樣品氣體的消耗過大，浪費成品;但如果過少則無法進行檢查;而控制閥門2採用截止閥，並通過兩個閥門對樣品氣體和標準氣體的接入進行控制，是為了在操作時先通過接氣閥門3調節好輸入氣壓，並且管路都清空之後，再打開控制閥門2，進一步地對管路系統進行保護。
[0033]優選的，本實施例還設置有單向閥4，所述單向閥4設置於所述混合輸氣管C3的進氣端的近端部。設置單向閥4可以只讓標準氣體和清洗氣體流入管路系統中，避免樣品氣體流進標準氣體和清洗氣體的接入口，進而汙染管路，而且也避免樣品氣體從標準氣體和清洗氣體的接入口進行洩漏，保證了整個管路的密封性。
[0034]優選的，本實施例還設置有單向閥4，還設置有壓力表5，所述壓力表5設置於所述樣品送氣管B2的另一端。設置壓力表可以時刻監控管路中的氣壓，避免氣壓過大而造成對檢測設備10的損害。
[0035]優選的，所述樣品送氣管B2和所述混合輸氣管C3為1/8英寸的316不鏽鋼管。管路的直徑不易過大，過大會造成各種氣體的浪費，而由於316不鏽鋼管的潔淨度相對較高，不易對樣品氣體造成汙染。
[0036]本實施例的有毒有害氣體的分析系統和使用方法具有以下優點:1.採用抽真空和氣體吹掃置換的方法，對管路進行清潔，避免清洗氣體的浪費，大大降低操作成本;2.在拆卸樣品氣體前，對管路進行清理，避免殘留在管路內的樣品氣體造成汙染;3.採用單向閥4避免樣品氣體通過標準氣體和清洗氣體的接入口進行洩漏，保證了整個管路的密封性;4.採用氮氣為壓力源的真空發生器Al，使抽真空的效果顯著，而且成本低廉、容易操作。
[0037]以上結合具體實施例描述了本實用新型的技術原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護範圍的限制。基於此處的解釋，本領域的技術人員不需要付出創造性的勞動即可聯想到本實用新型的其它【具體實施方式】，這些方式都將落入本實用新型的保護範圍之內。
【主權項】
1.一種有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:包括抽真空部、樣品氣進氣部和輔助氣體進氣部； 所述樣品氣體進氣部B包括樣品接氣管、樣品送氣管、接氣閥門和減壓器，所述接氣閥門設置於所述樣品接氣管的一端，所述樣品接氣管的另一端連通所述樣品送氣管的一端，所述樣品送氣管的另一端設置有減壓器； 所述輔助氣體進氣部包括清洗氣接氣管、標準氣接氣管、混合輸氣管、放空閥門、所述接氣閥門和控制閥門，所述接氣閥門設置於所述標準氣接氣管的一端，所述標準氣接氣管的另一端連通所述混合輸氣管，清洗氣接氣管的一端通過所述控制閥門連通所述混合輸氣管，所述混合輸氣管的中部連通放空閥門的一端，所述混合輸氣管的另一端連通所述樣品送氣管的另一端； 所述抽真空部連通所述放空閥門的另一端。2.根據權利要求1所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:所述抽真空部包括真空發生器，所述真空發生器的負壓接口連通所述空閥門的另一端。3.根據權利要求1所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:所述標準氣接氣管的另一端通過所述控制閥門連通所述混合輸氣管;所述樣品接氣管的另一端通過所述控制閥門連通所述樣品送氣管。4.根據權利要求1所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:所述控制閥門為截止閥，所述接氣閥門為針型閥，所述放空閥門為截止閥。5.根據權利要求2所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:所述真空發生器的正壓氣體為氮氣。6.根據權利要求1所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:還設置有單向閥，所述單向閥設置於所述混合輸氣管的進氣端的近端部。7.根據權利要求1所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:還設置有壓力表，所述壓力表設置於所述樣品送氣管的另一端。8.根據權利要求1所述的有毒有害氣體的分析系統，其特徵在於:所述樣品送氣管和所述混合輸氣管為1/8英寸的316不鏽鋼管。
【專利摘要】本實用新型涉及一種有毒有害氣體的分析系統，樣品氣體進氣部包括樣品接氣管、樣品送氣管、接氣閥門和減壓器，所述接氣閥門設置於所述樣品接氣管的一端，所述樣品接氣管的另一端連通所述樣品送氣管的一端，所述樣品送氣管的另一端設置有減壓器；輔助氣體進氣部包括清洗氣接氣管、標準氣接氣管、混合輸氣管、放空閥門、所述接氣閥門和控制閥門，所述接氣閥門設置於所述標準氣接氣管的一端，所述標準氣接氣管的另一端連通所述混合輸氣管，清洗氣接氣管的一端通過所述控制閥門連通所述混合輸氣管，所述混合輸氣管的中部連通放空閥門的一端，所述混合輸氣管的另一端連通所述樣品送氣管的另一端；抽真空部連通所述放空閥門的另一端。
【IPC分類】G01N30/02
【公開號】CN205384259
【申請號】CN201620181699
【發明人】李智, 廖恆易, 葉相平
【申請人】廣東華特氣體股份有限公司, 綏寧縣聯合化工有限責任公司, 郴州湘能半導體氣體有限公司, 江西華特電子化學品有限公司
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2016年3月9日