一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈的製作方法

2023-11-05 23:14:47

專利名稱：一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及高頻線圈技術領域，具體的說是一種一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈。
背景技術：
目前在矽芯、單晶矽及其它晶體材料區熔方式生產的工藝過程中，使用的是一種單目高頻線圈，其結構為導電紫銅圓盤及位於中心部位的長圓孔、開口和冷卻機構及導電紫銅管組成。其工作原理大致如下；首先對高頻線圈通入高頻電流對原料棒進行感應加熱，使原料棒上端頭形成熔化區，再將仔晶插入熔化區，然後慢慢提升仔晶，熔化了的原料就會跟隨仔晶上升，形成一個新的圓柱型矽芯或其它單晶體材料。這種高頻線圈的缺點是一次只能拉制一根矽芯或其它晶體材料，效率不高，造成人力及能源的浪費。這種高頻線圈也可以採取加大內孔，使其能一次拉制出多根矽芯或其它晶體，但需要數倍地增加功率，對能源造成更大浪費，加重高頻線圈工作強度。因而這種方法也是不可取的。

發明內容
為克服現有高頻線圈的上述缺陷，本實用新型的目的是提供一種一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈。該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈不僅結構合理，且具有耗電少，一次同時生產加工兩根，可大大提高工作效率等優點。
為實現上述發明的目的，本實用新型採用如下技術方案該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，在紫銅圓盤的中心部位設置有兩個內孔，在紫銅圓盤的上表面設置有呈「S」形環繞結構的銅管，在紫銅圓盤的兩個由內孔分別向外部延伸的防止高頻電流就近回流的段開縫。
該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其紫銅圓盤的下部面為呈漸進形階梯狀。
該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，紫銅圓盤上的銅管可利用銀銅焊接使其與紫銅圓盤形成一體。
該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其銅管在紫銅圓盤的上表面呈「S」形環繞結構。
該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其紫銅圓盤上設置有兩個由內孔分別向外部延伸有防止高頻電流就近回流的段開縫。
由於採用上述技術方案，本實用新型的有益效果是該一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈。該高頻線圈的優點是一次可生產兩根矽芯或其它材料晶體，提高了生產效率。在高頻線圈的中部形成了兩個小線圈，磁力線集中，形成閉合，減少了能量損失。將冷卻水直接送入線圈的中部，避免了傳統線圈中部靠近原料棒容區熱量大容易被燒壞的缺陷。本設計中的雙目高頻線圈電流採用「S」形環繞結構的設計，從而使高頻電流在線圈周圍均勻分布。本高頻線圈可大大提高生產效率，提高能量利用率，延長高頻線圈使用壽命，可大大降低人工及生產成本，本設計特別適合於較小的原料棒的加工生產。


圖1是本實用新型的工作原理示意圖。
圖2是本實用新型的高頻電流工作原理示意圖。
圖3是本實用新型的結構示意圖。
圖4是圖3的B向視圖。
圖5是是圖3的A-A視圖。
圖中1-仔晶；2-矽芯；3-磁力線；4-原料棒熔區；5-紫銅圓盤；6-原料棒；7-高頻電流；8-銅管；9-段開縫；1 0-下部面具體實施例下面結合副圖給出本實用新型的較佳實施例。
如圖1、2、3、4、5中所示一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其紫銅圓盤(5)的中心部位設置有兩個的內孔，在紫銅圓盤(5)的上表面設置有呈「S」形環繞結構的銅管(8)，其紫銅圓盤(5)上的銅管(8)可利用銀銅焊接使其與紫銅圓盤(5)形成一體的高頻線圈，在紫銅圓盤(5)的兩個內孔分別向外部延伸有防止高頻電流(7)就近回流的段開縫(9)，其紫銅圓盤(5)的下部面(10)為呈漸進形階梯狀。
使用時；本高頻線圈須與高頻加熱設備配套使用，其高頻設備必須有一根上軸和一根下軸，上下軸必須豎直安裝且同心，本高頻線圈安裝在上下軸中間。並與上下軸保持垂直，高頻線圈固定不動，上下軸可以分別做上下升降運動。工作前，將原料棒(6)豎直安裝在下軸上，通過一個仔晶夾頭將仔晶(1)豎直安裝在上軸的下部，開始工作時，首先啟動下軸上升，將原料棒(6)送至高頻線圈下方，以原料棒上端頭貼近高頻線圈且不與高頻線圈接觸為最佳，對高頻線圈的銅管(8)通入高頻電流(7)，使紫銅圓盤(5)產生磁力線(3)，對原料棒(6)進行感應加熱，待原料棒(6)上端頭被熔化以後，啟動上軸下降，把仔晶(1)通過紫銅圓盤(5)的雙開內孔插至原料棒熔區(4)，然後上軸帶著仔晶(1)慢慢上升，這樣原料棒(6)上被熔化的料就會跟隨仔晶(1)上升，形成一個新的晶體，這個新的晶體就是矽芯。在上軸上升的同時下軸也要上升，因為原料棒上被熔的部分被仔晶(1)帶走以後，原料棒(6)需要向高頻線圈靠近，以形成新的熔區。這樣，當矽芯(2)的生長達到所需長度時，此生產過程即完成。
權利要求1.一種一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其特徵在於在紫銅圓盤(5)的中心部位設置有兩個內孔，在紫銅圓盤(5)的上表面設置有呈「S」形環繞結構的銅管(8)，在紫銅圓盤(5)的兩個由內孔分別向外部延伸的防止高頻電流(7)就近回流的段開縫(9)。
2.如權利要求1所述的一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其特徵在於其紫銅圓盤(5)的下部面(10)為呈漸進形階梯狀。
3.如權利要求1所述的一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其特徵在於紫銅圓盤(5)上的銅管(8)可利用銀銅焊接使其與紫銅圓盤(5)形成一體。
4.如權利要求3所述的一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其特徵在於其銅管(8)在紫銅圓盤(5)的上表面呈「S」形環繞結構。
5.如權利要求1所述的一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，其特徵在於其紫銅圓盤(5)上設置有兩個由內孔分別向外部延伸的段開縫(9)。
專利摘要一次可生產兩根矽芯及其它晶體材料的雙目高頻線圈，涉及高頻線圈技術領域；在紫銅圓盤(5)的中心部位設置有兩個內孔，在紫銅圓盤(5)的上表面設置有呈「S」形環繞結構的銅管(8)，在紫銅圓盤(5)的兩個由內孔分別向外部延伸的防止高頻電流(7)就近回流的段開縫(9)本設計中的雙目高頻線圈電流採用「S」形環繞結構的設計，從而使磁力線在線圈周圍均勻分布。本高頻線圈可大大提高生產效率，提高能量利用率，延長高頻線圈使用壽命，可大大降低人工及生產成本。
文檔編號H05B6/36GK2926264SQ20062003158
公開日2007年7月25日 申請日期2006年4月14日 優先權日2006年4月14日
發明者劉朝軒 申請人:劉朝軒