一種安裝晶圓託架的專用工具及其安裝方法
2023-04-30 21:31:01 1
專利名稱：一種安裝晶圓託架的專用工具及其安裝方法
技術領域：
本發明涉及一種安裝晶圓託架的專用工具及其安裝方法，確切地說是一種能使晶圓在真空裝載腔內實現精確定位的新型安裝晶圓託架專用工具及其安裝方法，屬於半導體薄膜沉積設備技術領域。
背景技術：
薄膜沉積技術的原理是將晶圓置於真空環境中，通入適量的反應氣體，利用氣體的物理變化和化學反應，在晶圓表面形成固態薄膜。在進行氣體薄膜沉積的整個過程中，晶圓從EFEM中的大氣壓與真空狀態的轉換是通過Loadlock Chamber進行傳送的。與晶圓安裝架相關的現有技術，其託架上晶圓交換的位置不能進行準確定位，無 法檢測晶圓的中心與安裝盤的中心是否同心，並且在託架放入Loadlock Chamber的凹槽時因為沒有手持的把手，很容易發生偏移，將託架卡在Loadlock Chamber的凹槽邊緣。因此，在實際應用中，這種結構的晶圓託架及安裝方法，存在著效率低，操作比較麻煩及製造成本聞的缺點。
發明內容
本發明主要解決現有的託架上晶圓交換的位置不能準確定位及效率低的技術問題，而提供一種結構簡單、操作方便、定位精確、效率高的安裝晶圓託架的專用工具及其安裝方法。為實現上述目的，本發明採用下述技術方案安裝晶圓託架的專用工具，包括晶圓託架安裝架(3 )，晶圓託架安裝架(3 )的上面設有安裝架把手(I)，安裝架把手(I)是通過螺栓(5)將其固定在晶圓託架安裝架(3)上的。上述晶圓託架安裝架(3)的中心設有定位銷
(4)，螺栓(2 )與晶圓託架安裝架(3 )螺紋聯接。上述安裝晶圓託架專用工具的安裝方法，先將定位銷(4)穿過晶圓安裝盤(9)，把託架安裝架(3)和晶圓安裝盤(9)定位保證同心，定位之後將四個螺栓(2)與晶圓安裝盤
(9)上的四個孔位對準並且旋緊固定。這時晶圓安裝盤(9)和託架安裝架(3)已經完全固定。然後將晶圓託架(8)以晶圓託架安裝架(3)的邊緣為依託進行定位對正，保證邊緣完全貼合將位置對準之後，用螺栓(7)旋緊固定。此時，晶圓託架(8)已經完全固定在晶圓安裝盤(9)上，並且保證放在託架上的晶圓與晶圓安裝盤(9)是完全對正同心的狀態。接下來手持著已經安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔(Loadlock Chamber)的圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個安裝孔與晶圓託架(8)上的四個螺栓孔(6)相匹配，當真空裝載腔(Loadlock Chamber)凹槽中的四個孔和安裝盤上四個孔對準定位之後使用四個沉頭螺栓旋緊固定。此時，安裝架與真空裝載腔(Loadlock Chamber )就已經完全固定。最後將螺栓(2)擰下來，這時託架安裝架(3)與晶圓託架(8)，晶圓安裝盤(9)無連接，手持安裝架把手(I)旋轉合適角度便可以把託架安裝架拿下來了。使用這種工裝安裝的晶圓託架既省力方便又可以定位晶圓的位置，保證晶圓在真空裝載腔(Loadlock Chamber)中的位置為正中間，從而保證整個PECVD設備中晶圓的精確定位。本發明的有益效果及特點是本發明能夠準確確定晶圓託架的安裝位置，保證晶圓託架能夠與晶圓的邊緣相結合，晶圓和安裝盤同心，保證了晶圓在真空裝載腔內的準確定位。本發明在上方設置有把手，在將託架放入真空裝載腔的凹槽中準確平穩，不會發生由於偏移所造成託架卡住的狀況。安裝託架之後，只要手持把手將安裝架偏轉一定角度便可以輕鬆取出，不會劃傷真空裝載腔內壁，操作簡單。本發明在結構和操作均簡單的條件下，實現了晶圓託架的準確定位。其佔用空間小，安裝維護方便，成本低廉。
圖I是本發明專用工具的主視圖。 圖2是本發明專用工具的俯視圖。圖3是本發明安裝晶圓託架的主視圖。圖4是本發明安裝晶圓託架的的俯視圖。
具體實施例方式實施例參照圖1-4，一種安裝晶圓託架的專用工具，包括晶圓託架安裝架3，晶圓託架安裝架3的上面設有安裝架把手1，安裝架把手I是通過螺栓5將其固定在晶圓託架安裝架3上的。上述晶圓託架安裝架3的中心設有定位銷4，螺栓2與晶圓託架安裝架3螺紋聯接。上述安裝晶圓託架專用工具的安裝方法，先將定位銷4穿過晶圓安裝盤9，把託架安裝架3和晶圓安裝盤9定位保證同心，定位之後將四個螺栓2與晶圓安裝盤9上的四個孔位對準並且旋緊固定，這時晶圓安裝盤9和託架安裝架3已經完全固定。然後將8個晶圓託架8以晶圓託架安裝架3的邊緣為依託進行定位對正，保證邊緣完全貼合將位置對準之後，用螺栓7旋緊固定。此時，晶圓託架8已經完全固定在晶圓安裝盤9上，並且保證放在託架上的晶圓與晶圓安裝盤9是完全對正同心的狀態。接下來手持著已經安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔(Loadlock Chamber)的圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個安裝孔與晶圓託架8上的四個螺栓孔6相匹配。當真空裝載腔(Loadlock Chamber)凹槽中的四個孔和安裝盤上四個孔對準定位之後使用四個沉頭螺栓旋緊固定，此時安裝架與真空裝載腔(Loadlock Chamber)就已經完全固定。最後將螺栓2擰下來，這時託架安裝架3與晶圓託架8，晶圓安裝盤9無連接，手持安裝架把手I旋轉合適角度便可以把託架安裝架拿下來了。使用這種工裝安裝的晶圓託架既省力方便又可以定位晶圓的位置，保證晶圓在真空裝載腔(Loadlock Chamber)中的位置為正中間，從而保證整個PECVD設備中晶圓的精確定位。上述晶元託架8的數量依設備的具體情況而定，但一般至少為4個，最佳為8個。如多於8個也可以，這樣生產效率會更高。
權利要求
1.一種安裝晶圓託架的專用工具，包括晶圓託架安裝架(3)，其特徵在於晶圓託架安裝架(3 )的上面設有安裝架把手(I)，安裝架把手(I)是通過螺栓(5 )將其固定在晶圓託架安裝架(3 )上的，上述晶圓託架安裝架(3 )的中心設有定位銷(4)，螺栓(2 )與晶圓託架安裝架(3)螺紋聯接。
2.一種安裝晶圓託架專用工具的安裝方法，先將定位銷(4)穿過晶圓安裝盤(9)，把託架安裝架(3)和晶圓安裝盤(9)定位保證同心，定位之後將四個螺栓(2)與晶圓安裝盤(9)上的四個孔位對準並且旋緊固定，這時晶圓安裝盤(9)和託架安裝架(3)已經完全固定，然後將晶圓託架(8)以晶圓託架安裝架(3)的邊緣為依託進行定位對正，保證邊緣完全貼合將位置對準之後，用螺栓(7)旋緊固定，此時，晶圓託架(8)已經完全固定在晶圓安裝盤(9)上，並且保證放在託架上的晶圓與晶圓安裝盤(9)是完全對正同心的狀態，接下來手持著已經安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔的圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個安裝孔與晶圓託架(8)上的四個螺栓孔(6)相匹配，當真空裝載腔凹槽中的四個孔和安裝盤上四個孔對準定位之後使用四個沉頭螺栓旋緊固定，此時安裝架與真空裝載腔就已經完全固定，最後將螺栓(2 )擰下來，這時託架安裝架(3 )與晶圓託架(8 )，晶圓安裝盤(9 )無連接，手持安裝架把手(I)旋轉合適角度便可以把託架安裝架拿下來了，保證晶圓在真空裝載腔中的位置為正中間，從而保證整個PECVD設備中晶圓的精確定位。
3.如權利要求2所述的一種安裝晶圓託架專用工具的安裝方法，其所述的晶元託架(8)的數量至少為4個，最佳為8個。全文摘要
一種安裝晶圓託架專用工具及其安裝方法，屬於半導體薄膜沉積設備技術領域。主要解決現有的託架上晶圓交換的位置不能準確定位及效率低的技術問題。安裝晶圓託架的專用工具，包括晶圓託架安裝架，晶圓託架安裝架的上面設有安裝架把手，安裝架把手是通過螺栓將其固定在晶圓託架安裝架上的。上述晶圓託架安裝架的中心設有定位銷，螺栓與晶圓託架安裝架螺紋聯接。安裝方法，先將定位銷穿過晶圓安裝盤定位保證同心，並固定晶圓安裝盤和託架安裝架。將託架安裝架放入到真空裝載腔的圓形凹槽之中，對準定位之後固定，最後將螺栓擰下來，將託架安裝架取下來。使用這種工裝安裝的晶圓託架既省力方便又可以精確定位晶圓的位置。
文檔編號C23C16/44GK102747341SQ20121027169
公開日2012年10月24日 申請日期2012年8月1日 優先權日2012年8月1日
發明者姜崴, 蘆佳 申請人:瀋陽拓荊科技有限公司