含有重氮基團的高分子感光劑及其製備方法與光刻膠組合物的製作方法

2023-04-30 20:29:11 1

專利名稱：含有重氮基團的高分子感光劑及其製備方法與光刻膠組合物的製作方法
技術領域：
本發明涉及顯示領域製造エ藝中使用的感光劑及光刻膠，尤其涉及含有重氮基團的高分子感光劑及其製備方法與光刻膠組合物。
背景技術：
光刻膠又稱光致抗蝕劑，由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。感光樹脂經光照後，在曝光區能很快地發生光化學反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發生明顯變化。經適當的溶劑處理，溶去可溶性部分，得到所需圖像。光刻膠的應用領域包括模擬半導體、發光二極體、微機電系統、太陽能光伏、微流道和生物晶片、光電子器件/光子器件、封裝等。目前常用的光刻膠組合物中的光活性化合物一般都是ニ苯甲酮系光活性化合物，但隨著對分辨力要求的提高，這種光刻膠組合物難以達到較高的解析度。

發明內容
本發明的目的是提供一種能提高光刻膠的解析度的含有重氮基團的高分子感光劑及其製備方法與含有該高分子感光劑的光刻膠組合物。本發明的含有重氮基團的高分子感光劑，其一般式如下式所示
權利要求
1.一種含有重氮基團的高分子感光劑，其一般式如下式所示
2.根據權利要求I所述的高分子感光劑，其特徵在於，所述R1為如下任一種
3.根據權利要求I所述的高分子感光劑，其特徵在於，所述η為1(Γ50。
4.一種光刻膠組合物，包括成膜樹脂、感光劑和有機溶劑，所述感光劑由權利要求1-3中任一所述的含有重氮基團的高分子感光劑和二苯甲酮系光活性化合物組成。
5.根據權利要求4所述的光刻膠組合物，其特徵在於，所述成膜樹脂為酚醛樹脂。
6.根據權利要求4所述的光刻膠組合物，其特徵在於，所述二苯甲酮系光活性化合物為2，3，4-三羥基二苯甲酮與化合物R的酯化產物或2，2』，3，4-四羥基二苯甲酮與化合物R的酯化產物； 所述化合物R為
7.根據權利要求4所述的光刻膠組合物，其特徵在於，所述有機溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯、丁酮和環己酮中的任一種或兩種以上。
8.根據權利要求4所述的光刻膠組合物，其特徵在於，所述的高分子感光劑和所述二苯甲酮系光活性化合物的質量比為1:廣1:3。
9.權利要求1-3中任一所述含有重氮基團的高分子感光劑的製備方法，包括如下步驟 將雙酚A環氧樹脂溶解在有機溶劑中，然後加入如下任一種醯氯或磺醯氯
10.根據權利要求9所述的製備方法，其特徵在於，所述雙酚A環氧樹脂與所述醯氯或磺醯氯的質量比為2: f 4: I。
11.根據權利要求9所述的製備方法，其特徵在於，所述鹼性催化劑為三乙胺或Na2CO3溶液。
全文摘要
本發明涉及一種含有重氮基團的高分子感光劑及其製備方法與光刻膠組合物。該含有重氮基團的高分子感光劑，其一般式如式1所示式1其中R1為a，b，c，d和e中的一種或幾種；其中Z為-CO-或-SO2-，R2-R6可獨立的為H、滷素、C1~C6為取代或未取代的烷基或環烷基，取代或未取代的芳基；n代表高分子感光劑的酯含量。本發明的光刻膠包括成膜樹脂、感光劑和有機溶劑，其中所述感光劑由上述含有重氮基團的高分子感光劑和二苯甲酮系光活性化合物組成。本發明的光刻膠組合物在提高了解析度的同時得到了較好的感度和成膜性。
文檔編號G03F7/016GK102786662SQ201210275419
公開日2012年11月21日 申請日期2012年8月3日 優先權日2012年8月3日
發明者劉陸, 惠官寶 申請人:京東方科技集團股份有限公司