用於基於事件的測試系統的多重測試結束信號的製作方法
2023-05-01 10:35:56
專利名稱：用於基於事件的測試系統的多重測試結束信號的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於測試半導體器件的基於事件的半導體測試系統，更具體地說，是涉及一種基於事件的測試系統，該系統設有用於產生多重測試結束信號的裝置，每一信號表明一對應引腳單元或引腳單元組中的測試結束，該測試系統中兩個或更多個引腳單元組相互獨立地進行測試操作。
在用半導體測試系統(例如IC測試器)對集成電路(IC)和大規模集成電路(LSI)這樣的半導體器件進行測試時，要為被測試的半導體IC器件提供測試信號或測試模式，這些信號或模式是由半導體測試系統按照預定的測試時序，在適當引腳產生的。半導體測試系統收到被測IC器件(DUT)響應該測試信號的輸出信號。這些輸出信號由選通信號以預定時序進行採樣，與期望數據進行比較，以確定該DUT的功能是否正常。
一般來說，測試信號和選通信號的時序是以半導體測試系統中測試器的速率或測試器周期為基準確定的。此外，測試信號的波形和向量也根據每一測試器周期來確定。這種測試系統有時稱為基於周期的測試系統。在基於周期的測試系統中，需要各種不同類型的數據，因此其中的數據處理趨於複雜化。所以，人們認為基於周期的測試系統很難具有「每個引腳(per-pin)」結構，該結構用於每一測試器引腳的硬體和軟體是相互獨立的。
圖1所示為這種基於周期的測試系統的一個實例示意圖。在圖1中，序列控制器12是設置在半導體測試系統內的一種測試器處理器，用於控制該測試系統的運行。根據序列控制器12提供的地址數據，模式存儲器14產生以每一測試器周期為基準的模式數據和波形數據。該模式數據和波形數據通過引腳數據選擇器16被提供給引腳數據格式器17。根據序列控制器提供12的地址數據，時序存儲器13產生時序數據，該數據一般用於表示以每一測試器周期之開始為基準的延遲時間。該時序數據也提供給引腳數據格式器17。
引腳數據格式器17通過使用模式存儲器14的模式數據和波形數據以及時序存儲器13的時序數據，產生測試信號。引腳驅動器/比較器18以特定的振幅和轉換速率(slew rate)將測試信號用於被測器件(DUT)19。引腳數據選擇器16將對應測試器引腳的模式數據和波形數據有選擇地傳送給引腳數據格式器17。換句話說，引腳數據格式器17的特點是設有多個與測試器引腳(測試通道)一一對應的數據格式器。同樣，引腳驅動器/比較器18的特點也是設有大量與測試器引腳對應的驅動器和比較器。
引腳驅動器/比較器18自DUT 19收到由測試信號引發的的響應信號。在驅動器/比較器18中，模擬比較器參照預定的閾值電壓，並按選通信號的時序，將響應信號轉換為邏輯信號，由邏輯比較器將得到的邏輯信號與期望值數據進行比較。該邏輯比較的結果表示該DUT是合格或有故障。該結果數據存儲在與該DUT 19地址對應的故障存儲器15。存儲在故障存儲器15的測試結果被用於測試後的故障分析階段。
在上述基於周期的測試系統中，所有測試器引腳(DUT引腳)都共享用於存儲模式數據和時序數據的模式存儲器14和時序存儲器13中的相同存儲區域。也就是說，每一測試器引腳都不能相互獨立地進行操作。存儲空間的這種共享要求從始至終所執行的測試程序用於所有測試器引腳。因此，基於周期的測試系統自然只需要一個測試結束指示，即一個測試結束(EOT)信號發生裝置。
用這樣一種常規的測試系統來測試目前複雜的半導體器件會產生一個問題，即如果被測器件含有兩個或更多不同的功能塊，測試時間就會增加。例如，一個單晶片系統(system-on-chip)(SOC)IC器件，其中設有多個用於執行預定所有功能的功能塊或芯。一般的SOC器件為功能塊(芯或模塊)需要多重時鐘頻率，這些功能塊構成該SOC器件。有時，這些時鐘頻率不共享任何公用諧波，因此往往互不同步。
圖2所示為SOC器件的一個實例，它是一個典型的多媒體SOC。該SOC 19有好幾個功能塊或功能芯，包括PLL(鎖相環路)22、TV編碼器23、存儲控制器24、顯示控制器25、PCI模塊26、RISC 27和活動圖片專家組(MPEG)處理機28。在圖2中，每個功能芯所表示的時鐘頻率互不同步。
在此實例中，由於每一功能芯都在不同的時鐘頻率下操作，因此必須分別對每一個功能芯進行測試。然而，在基於周期的測試系統中，由於測試信號和選通信號都是根據同一模式存儲器和時序存儲器的數據產生的，因此不可能產生互不同步的測試信號。換句話說，常規的基於周期的測試系統不可能同時以並行方式實施不同種類的測試。由於每一功能芯都必須以連續方式一個一個地進行測試，因此總測試時間就是所有功能芯測試時間的總和。
圖3所示為對圖2中SOC 19進行測試過程之一實例。如上所述，以連續方式，從測試開始t0到測試結束te，對每一功能芯逐個進行測試。測試系統對PCI塊的測試從t0開始、到t1結束，然後對RISC塊的測試從t1開始、到t2結束，依此類推。其結果是當其中一個功能芯被測試時(圖3中的實線)，其它所有模塊都處於空閒狀態(圖3中的虛線)。因此，完成測試圖2所示的SOC器件需要很長時間。
因此，本發明的目的是提供一種基於事件的半導體測試系統，它能同時以並行方式執行多個不同的測試。
本發明的另一目的是提供一種基於事件的半導體測試系統，該系統通過組合用於產生多重測試結束信號的裝置，能同時以並行方式執行多個不同的測試。
本發明又一目的是提供一種基於事件的半導體測試系統，該系統能產生多重信號，每一信號表示引腳單元組中的測試結束，其中各個引腳單元組均實施相互獨立的測試操作。
本發明是一個基於事件的測試系統，通過產生各種不同時序的事件，向被測電子器件(DUT)提供測試信號，並按照選通信號的時序來鑑定該DUT的輸出，以測試被測器件(DUT)。該基於事件的測試系統可自由地構成多組測試器引腳或引腳單元，其中每一組均能獨立於其它組而執行測試操作。每一組中測試的起始和結束定時都可以通過產生多重測試結束信號而單獨產生。
在本發明中，事件測試系統含有多個被分配到被測半導體器件(DUT)引腳的引腳單元，用於對DUT進行測試，其中每個引腳單元的操作都是相互獨立的，每個引腳單元都有一個用於存儲事件時序數據的事件存儲器，該數據用於產生施加於DUT對應引腳的測試信號；每一引腳單元還包括一個用於控制該引腳單元整體操作的事件控制器，它根據事件存儲器的事件時序數據來產生測試信號，並鑑定該DUT的響應輸出。
該基於事件的測試系統還包括用於產生測試結束信號裝置，該信號指示相應引腳單元已執行的當前測試結束，其中測試結束信號是為每一引腳單元單獨產生的，它與其它引腳單元無關；該測試系統還包括一個系統控制器，用於控制該基於事件測試系統中的整體運行，它與每一引腳單元中的事件控制器相聯，並將包括事件時序數據的測試程序提供給每一引腳單元中的事件存儲器。每一引腳單元的測試結束信號是根據系統控制器規定的條件選擇的，所選擇的測試結束信號被提供給該系統控制器和其它引腳單元。
根據本發明，該基於事件的半導體測試系統根據存儲在事件存儲器中的事件數據，能產生具有不同時序的測試信號事件，以對半導體器件進行鑑定。該基於事件的測試系統包含多個引腳單元，其中每一引腳單元都能為該DUT一個特定引腳產生測試信號，該系統還包括一種用於產生測試結束信號的裝置，該測試結束信號相對於各個引腳單元而與其它引腳單元無關。
因此，該基於事件的測試系統能同時以並行方式執行多個不同的測試。而且，該基於事件的測試系統能自由地地將多個引腳單元分配到若干個引腳單元組，並產生多重信號，每一信號表示對應引腳單元組中的一個測試結束，其中各個引腳單元組都能相互獨立地執行測試操作。因此，該基於事件的測試系統能同時以並行方式執行多個不同的測試。
以下結合附圖詳細說明本發明的優選實施例。
圖1所示的方框示意圖表示常規的基於周期的測試系統的基本結構；圖2所示的方框圖表示一個被測半導體器件的實例，該器件是設有多個功能芯的單晶片系統(SOC)器件；圖3所示的時序圖表示由圖1之基於周期的測試系統對圖2之單晶片系統(SOC)進行測試的過程；圖4所示的方框示意圖表示本發明的基於事件的測試系統的一種基本結構，該結構能產生多重測試結束信號；圖5A—5E是一組時序圖，圖中表示該基於事件的測試系統中被產生事件與對應時序數據之間時序關係的一個實例；圖6所示的電路圖表示本發明的事件測試系統中測試結束信號生成邏輯的電路結構實例；圖7是一實例的示意圖，其中引腳單元的被分成8個引腳單元組，每一組包括32個引腳單元，並產生一個與其它各組無關的測試結束信號；圖8是一個時序圖，表示由本發明之基於事件的測試系統測試圖2所示的單晶片系統(SOC)器件的過程；
圖9A是表示常規技術中基於周期的測試系統的存儲器管理之示意圖，圖9B是表示本發明的基於事件的測試系統的存儲器管理之示意圖，並表現兩者的不同之處。
圖4表示本發明之基於事件的測試系統的基本結構。在該基於事件的測試系統中，每一測試器引腳都實施一種獨立於其它引腳的測試操作，並產生一個與其它引腳互不相干的測試結束信號。在基於事件的測試系統中，所需的測試信號和選通信號直接以「每個引腳」為基礎、根據事件存儲器中的事件數據而產生。實際上，由於任何功能塊，例如象單晶片系統(SOC)器件的功能芯，它們都是通過多個器件引腳來連接的，該事件測試系統的引腳單元(測試器引腳)被分成若干引腳單元組(測試器模塊)。例如，該測試系統可包括8個引腳單元組，其中32個引腳單元(測試器引腳)或64個引腳單元被分配到一個引腳單元組。在本發明中，每一引腳單元組都執行相互獨立的操作。當預定的測試結束或在被測器件(DUT)中測試出故障來時，每一引腳單元組產生一個測試結束(EOT)信號。
在基於事件的測試系統中，事件被定義為用於測試半導體器件之信號中任何邏輯狀態的變化。例如，這些變化可以是測試信號的上升沿和下降沿，或者是選通信號的時序沿。事件的時序根據自基準時間點的時間長度來限定。一般來說，這種基準時間點是上述事件的時序。因此，這種事件的時序是用上述事件與當前事件之間的時差來表示的。另一種方式是，這一基準時間點是所有事件所共有的固定起始時間。
在基於事件的測試系統中，由於在各個和每一測試周期中，時序存儲器(事件存儲器)中的時序數據不需要包括與波形、向量、延遲等有關的複雜信息，因此，對時序數據的描述可以顯著簡化，測試信號和選通信號可直接由事件時序數據產生。由於這一簡便性，每一測試器引腳(引腳單元)都可以相互獨立地進行操作。
如上所述，在基於事件的測試系統中，一般來說，存儲在事件存儲器中的每一事件的時序(事件)數據是用當前事件與上一事件之間的時差表示的。由於相鄰事件之間的這種時差(增量時間)很小，它與自固定起始點的時差(絕對時間)不同，因此存儲器中數據的長度也可以很小，這樣就減少了存儲容量。
為了產生高解析度的時序，事件之間的時間長度(延遲值)由基準時鐘周期的整數倍數(整數部分，或事件計數)和基準時鐘周期的幾分之一(分數部分或事件遊標)這兩者的組合來限定。事件計數與事件遊標之間的時序關係表示在圖5A—5E的時序圖中。在這一實例中，圖5A中基準時鐘的時鐘周期為T。事件0、事件1和事件2的時序關係如圖5C所示。
為了對以事件0為基準的事件1進行描述，在事件存儲器中限定這兩個事件之間的時差(延遲)ΔV1。事件2的時序由自事件1的時差(延遲)ΔV2來規定。同樣，圖5E中事件3的定時由自事件3的時差(延遲)ΔV3來規定。在該事件測試系統中，事件存儲器中的時序數據被讀出並總計到所有前面的事件中，以產生當前事件最後的時序。
因此，在圖5C給出的實例中，為產生事件1，採用圖5B的時序關係，其中N1T表示事件計數，它是基準時鐘周期T的N1倍，Δ1T則表示事件遊標，它是基準時鐘周期T的幾分之一。同樣，要產生圖5E中以事件0為基準的事件3，就要將前面所有事件的時序數據累加起來，以產生一個用N3T＋Δ3T表示的總時差，其中N3T表示事件計數，它是基準時鐘周期T的N3倍，Δ3T則表示事件遊標，它是基準時鐘周期T的幾分之一。
再參看圖4，基於事件的測試系統包括大量引腳單元31(測試器引腳或事件測試器)，每一引腳單元都能單獨將測試信號提供給DUT對應的引腳，並鑑定DUT的響應輸出。在圖4的實例中，256個引腳單元311—31256是基於事件的測試系統中所提供的。驅動器52和54從引腳單元311—31256接收測試結束信號，並將這些信號發送給上述單元。主計算機30(系統控制器)通過系統總線33與所有引腳單元31相聯，並控制該基於事件的測試系統的整體運行。
每一引腳單元31都包括一個事件存儲器41、一個事件控制器43、一個事件定標器45、一個延遲控制器47以及一個引腳電子線路(PE)49。在每一個引腳單元31中，事件存儲器41存儲事件數據，該數據基本上由事件時序數據和事件類型數據組成。一般來說，事件時序數據限定兩個相鄰事件之間的時差。這種事件時序數據用於產生當前事件自圖5B和5E所示的基準點的總延遲時間。事件類型數據用於限定如圖5C和圖5E所示的驅動事件和採樣事件這樣一些事件的類型。
事件控制器43是一個象微處理器那樣的控制器，用於控制引腳單元31的整體操作。事件控制器43通過系統總線33從系統控制器(主計算機)30接收指令，將測試程序裝入引腳單元31，並執行這些測試程序。事件控制器43將測試信號提供給被測器件的特定引腳，並對該器件的響應輸出進行鑑定。事件控制器43通過對事件存儲器41中的事件時序數據進行累加，來計算每一事件的總延遲。該事件控制器43還起著地址序列發生器的作用，把地址數據提供給引腳單元中的事件存儲器41，該引腳單元與其它引腳單元相互獨立。
如圖5所示，由事件時序數據限定的兩個相鄰事件之間的時差，是由基準時鐘周期的整數倍數和基準時鐘周期的幾分之一體現的。因此，在計算總延遲時間的過程中，當分數數據的總和超過基準時鐘周期時，就要有進位運算。
事件定標器45用於為事件控制器43中的總延遲數據定標。事件定標器與一比例因子成比例地更改總延遲數據。延遲控制器47根據事件定標器45標定的總延遲時間，產生象驅動事件和採樣事件這樣的測試模式。測試模式通過引腳電子線路施加於DUT，該電子線路包括一個驅動器，用於將測試模式(驅動事件)傳送到DUT，另外還包括一個比較器，用於根據採樣事件的時序，對DUT的響應輸出進行比較。
在同一測試系統中，每一引腳單元31的啟動和停止都能夠獨立於其它引腳單元。例如，當在對應引腳測試出一個錯誤，或者當測試模式用完時，該引腳單元31便停止其測試操作。在本發明中，每一引腳單元31將這一測試結束(EOT)信號發送給其它引腳單元，並從其它引腳單元那裡收到測試結束(EOT)信號。驅動器52和54緩衝進出該引腳單元的測試結束信號(EOT)。正如稍後參照圖6所描述的那樣，驅動器52和54包括用於根據特定條件選擇測試結束信號的裝置。
在本發明中，每一引腳單元31都會涉及到兩種類型的測試結束信號，即測試結束輸出(EOT-Out)信號和測試結束輸入(EOT-In)信號。在圖4中，每一引腳單元31中的事件控制器43產生一個EOT-Out信號，並收到一個EOT-In信號。例如，引腳單元用EOT-In信號來停止執行測試程序，EOT-Out信號則用作為系統中斷，用於請求系統服務。
圖6所示電路圖的實例，用於由引腳單元31產生一個EOT-Out信號。事件控制器43產生基於各種條件的測試結束信號，其中包括在DUT對應引腳測試出的故障類型、用戶規定的條件、測試結束程序等等。輸出控制寄存器58用於從事件控制器43中選擇一種或多種類型的測試結束信號。系統控制器30的系統程序用於控制輸出控制寄存器58的內容。
與門551-558分別連接到事件控制器43的輸出端和寄存器58，這樣，只有所選擇的測試結束信號才能在驅動器571-578的輸出端產生。驅動器571-578的輸出端是以「線或(wired OR)」形式連接的。儘管沒有說明，但提供給事件控制器43的測試結束輸入(EOT-In)信號，是由與上述結構相類似的結構產生的。可以用象輸出控制寄存器58這樣的輸入控制寄存器來產生選擇信號，以選擇準備傳送到事件控制器43的EOT-In信號的類型。
由於被測試的半導體器件有大量的I/O引腳，例如32個引腳或更多，因此引腳單元31被分成若干引腳單元組(測試器模塊)。在一個實例中，本發明的測試系統有8個不同的引腳單元組，它們可相互獨立地操作。因此，在圖4的實例中設有256個引腳單元311-31256，每一引腳單元組(測試器模塊)有32個引腳單元，其中同一測試結束信號分配到同一組的32個引腳單元。
這種結構在圖7中示出，其中8個測試結束輸出(EOT-Out)信號和8個測試結束輸入(EOT-In)信號分別分配到8個引腳單元組。在這個例子中，EOT-In線1和EOT-Out線1分配到具有引腳單元311-3132的第一引腳單元組；EOT-In線2和EOT-Out線2分配到具有引腳單元3133-3164的第二引腳單元組。按照這一方式，EOT-In線1-8和EOT-Out線1-8分別分配到引腳單元311-31256。為簡便起見，圖7隻示出160個引腳單元。
如以上根據圖4之所述，每一引腳單元31，比如在事件控制器43中，都含有產生測試結束信號的邏輯。測試結束信號可根據各種條件產生，這些條件由系統軟體通過輸出控制寄存器58(見圖6)進行控制。所選擇的測試結束信號為如圖6所示的開式流出(open-drain)(線或)。8個這種開式流出的測試結束輸出端連接到EOT-Out線1-8中的一個。同樣，8個開式流出的測試結束輸入端也連接到EOT-In線1-8中的一個。
如上所述，EOT信號的功能包括請求同一引腳單元組(測試器模塊)的所有引腳單元停止執行測試程序、請求系統服務、以及請求停止當前測試並轉入下一個測試。因此，8個測試器模塊(引腳單元組)能夠同時以並行方式對被測器件實施8種不同的測試。
圖8給出一個實例，它說明在對如圖2所示的單晶片系統(SOC)IC進行測試時，本發明所描述的事件測試系統中測試時間的分配情況。圖8顯示了與圖3所示常規實例相比的器件測試時間之改進。在這一實例中，事件測試系統將第一引腳單元組(引腳單元311—3132)和EOT線1分配到被測器件(DUT)的PCI芯，將第二引腳單元組(引腳單元3133—3164)和EOT線2分配到DUT的RISC芯，依此類推。
因此，PCI、RISC、存儲器控制器、編碼器和顯示器芯分別由引腳單元組(測試器模塊)1—5進行測試，而EOT線1—5則分別被分配到引腳單元組1—5。在對每一功能芯的測試結束時，要求EOT輸出信號通知系統控制器30請求服務。在EOT信號檢測時，測試系統控制器30將裝入下一個事件測試程序，並在不中斷其它引腳單元組執行其各自事件測試程序的情況下，開始執行該功能芯的下一個測試程序。
在圖8中，假設用A、B和C三個測試程序來對被測試的SOC進行鑑定。在對相應功能芯測試過程中執行測試程序A時，每次檢測EOT信號，測試系統都裝入下一個測試程序B。此外，在對相應功能芯測試過程中執行測試程序B時，每次檢測EOT信號，該測試系統都裝入下一個測試程序C。由於每一個測試程序的執行可以是每一功能芯，並獨立於其它芯，因此可以進行完全的並行測試，因而總的測試時間就大大減少了。
圖9A和9B顯示出兩個系統在存儲器管理結構方面的不同之處，即常規的基於周期的測試系統與本發明的基於事件的測試系統。對於常規的測試系統，單地址序列發生器控制一個用於產生測試模式的模式存儲器和一個用於存儲故障信息的故障存儲器。
因此，如圖9A所示，例如在故障分析過程中，故障存儲器是按順序進行存取的，完成對所有功能芯的故障分析需要很長的分析時間。而對本發明描述的事件測試系統來說，每一引腳單元都有自己獨立的故障存儲器和自己的存儲器地址序列發生器。因此，有可能以並行方式在故障存儲器中存儲故障信息，並以並行方式在故障分析階段讀出故障信息，從而大大減少了故障分析時間。
本發明的另一個特點是器件測試模式的產生簡單。當採用傳統的基於周期的測試系統時，生成單個測試模式並不可取，因為這樣做會增加器件的測試時間。要開發一種測試模式功能塊，以便以並行方式將器件(DUT)作為複合功能塊進行測試，所需設計量很大，而實際上在某些功能塊上仍然不可能沒有空閒時間。由於在本發明的基於事件的測試系統中，實現了多重測試結束，設計者能夠專心致力於單個功能塊的測試覆蓋。用於每一功能塊的測試模式被看作為單個的事件測試程序。這樣在同一測試時間內，使得對於DUT每一功能塊的測試覆蓋更多。
本發明的又一個特點是，它旨在構成一個完全的可擴展結構。本發明的測試系統的結構是具有伸縮性的(能夠改變尺寸和結構)，因為對於每一測試結束信號的控制邏輯都是相同的。每一測試結束信號組(引腳單元組)所包含的引腳單元可以從至少兩個到多達整個系統的所有引腳單元。這種結構方式使未來的測試系統設計能得到擴展，以便處理引腳數量很大的VLSI(超大規模集成)器件。
根據本發明，該基於事件的半導體測試系統能夠根據存儲於事件存儲器中的事件數據，產生具有不同時序的測試信號的事件，以鑑定半導體器件。該基於事件的測試系統包含多個引腳單元，其中每一引腳單元能為DUT的一個特定引腳產生測試信號，該系統還包括用於產生測試結束信號的裝置，產生的信號相對於每一引腳單元，而獨立於其它引腳單元。
因此，該基於事件的測試系統能同時以並行方式執行多個不同的測試。此外，該基於事件的測試系統還能自由地將多個引腳單元指定為若干引腳單元組，並產生多重信號，每一信號表示一對應引腳單元組中測試的結束，其中每一引腳單元組都能進行相互獨立的測試操作。因此，該基於事件的測試系統能同時以並行方式執行多個不同的測試。
儘管這裡只對優選的實施例作了具體的說明和描述，可以理解的是，根據以上所述和在附加權利要求的範圍內、不違背本發明的精神和預定範圍，本發明有可能作出很多修改和變化。
權利要求
1.一種基於事件的半導體測試系統，用於測試半導體器件，該系統包括多個引腳單元，它們被分配到被測半導體器件(DUT)的引腳，用於測試該DUT，其中各個引腳單元進行相互獨立的操作，每一引腳單元包括一事件存儲器，用於存儲事件時序數據，該數據用於產生施加於DUT相應引腳的測試信號；一事件控制器，根據事件存儲器提供的事件時序數據產生測試信號，並鑑定DUT的響應輸出，以控制該引腳單元的整體操作；用於產生測試結束信號的裝置，該測試結束信號指示相應引腳單元已執行的當前測試結束，為各個引腳單元產生的測試結束信號與其它引腳單元無關；及一系統控制器，與每一引腳單元中的事件控制器相聯，並將包括事件時序數據的測試程序提供給每一引腳單元中的事件存儲器，以控制該基於事件的測試系統中的整體運行；其中，每一引腳單元的測試結束信號是根據系統控制器規定的條件選擇的，所選擇的測試結束信號被提供給該系統控制器和其它引腳單元。
2.根據權利要求1所述的基於事件的測試系統，其中，該測試結束信號包括一個測試結束輸入信號和一個測試結束輸出信號，測試結束輸入信號作為輸入信號被提供給每一引腳單元，測試結束輸出信號由每一引腳單元作為輸出信號產生。
3.根據權利要求1所述的基於事件的測試系統，其中，該系統控制器將下一個測試程序提供給已產生測試結束信號的引腳單元，從而由該引腳單元執行下一個測試。
4.根據權利要求1所述的基於事件的測試系統，其中，該產生測試結束信號的裝置包括一個輸出控制寄存器，該寄存器存儲選擇引腳單元的測試結束信號的條件，其中的選擇條件是由系統控制器通過測試程序規定的。
5.根據權利要求1所述的基於事件的測試系統，其中，該產生測試結束信號的裝置包括一輸出控制寄存器，該寄存器存儲選擇引腳單元的測試結束信號的條件，其中的選擇條件是由系統控制器通過測試程序規定的；門電路，用於根據該輸出控制寄存器指示的選擇條件，選擇引腳單元的測試結束信號；驅動器，用於將選擇的測試結束信號傳送到其它引腳單元和系統控制器。
6.根據權利要求5所述的基於事件的測試系統，其中，用於產生測試結束信號的驅動器的輸出端是以線或方式連接的。
7.根據權利要求1所述的基於事件的測試系統，其中，每一引腳單元還包括一個事件定標器，用於按比例因子之比例修改事件時序數據；一個延遲控制器，它根據事件定標器提供的總延遲時間來產生事件；及一個引腳電子線路，它將事件作為測試信號提供給被測器件(DUT)，該測試信號具有特定的振幅和轉換速率。
8.一種基於事件的半導體測試系統，用於測試半導體器件，該系統包括多個引腳單元，它們被分配到被測半導體器件(DUT)的引腳，用於測試該DUT，其中各個引腳單元進行相互獨立的操作，每一引腳單元包括一事件存儲器，用於存儲事件時序數據，該數據用於產生施加於DUT相應引腳的測試信號；一事件控制器，根據事件存儲器中的事件時序數據產生測試信號，並鑑定DUT的響應輸出，以控制該引腳單元的整體操作；多個引腳單元組，每一引腳單元組設有多個引腳單元，引腳單元被自由地分配到引腳單元組；用於產生測試結束信號的裝置，該測試結束信號指示相應引腳單元組已執行的當前測試結束，為各個引腳單元組產生的測試結束信號與其它引腳單元組無關；及一系統控制器，它與每一引腳單元中的事件控制器相聯，並將包括事件時序數據的測試程序提供給每一引腳單元中的事件存儲器，以控制該基於事件的測試系統中的整體運行；其中，每一引腳單元組的測試結束信號是根據系統控制器規定的條件選擇的，所選擇的測試結束信號被提供給該系統控制器和同一引腳單元組中的其它引腳單元。
9.根據權利要求8所述的基於事件的測試系統，其中，測試結束信號包括一個測試結束輸入信號和一個測試結束輸出信號，測試結束輸入信號作為輸入信號被提供給同一引腳單元組的每一個引腳單元，測試結束輸出信號由同一引腳單元組的每一引腳單元作為輸出信號產生。
10.根據權利要求8所述的基於事件的測試系統，其中，系統控制器將下一個測試程序提供給已產生測試結束信號的引腳單元組中的引腳單元，從而由該引腳單元組執行下一個測試。
11.根據權利要求8所述的基於事件的測試系統，其中，該產生測試結束信號的裝置包括一個輸出控制寄存器，該寄存器存儲選擇引腳單元的測試結束信號的條件，其中的選擇條件是由系統控制器通過測試程序規定的。
12.根據權利要求8所述的基於事件的測試系統，其中，該產生測試結束信號的裝置包括一輸出控制寄存器，該寄存器存儲選擇引腳單元的測試結束信號的條件，其中的選擇條件是由系統控制器通過測試程序規定的；門電路，用於根據輸出控制寄存器指示的選擇條件，選擇引腳單元的測試結束信號；驅動器，用於將選擇的測試結束信號傳送到其它引腳單元和系統控制器。
13.根據權利要求12所述的基於事件的測試系統，其中，用於產生測試結束信號的驅動器的輸出端是以線或方式連接的。
14.根據權利要求8所述的基於事件的測試系統，其中，每一引腳單元還包括一個事件定標器，用於按比例因子之比例修改事件時序數據；一個延遲控制器，它根據事件定標器提供的總延遲時間來產生事件；及一個引腳電子線路，它將事件作為測試信號提供給被測器件(DUT)，該測試信號具有特定的振幅和轉換速率。
全文摘要
一種測試被測半導體器件(DUT)的基於事件的測試系統,該基於事件的測試系統可自由地構成多組引腳單元,其中每一組都能獨立於其它組而執行測試操作。在每一單元組中,測試的起始和結束時序都通過產生多重測試結束信號來單獨確定。該基於事件的測試系統包括:多個分配到DUT引腳的引腳單元;用於產生測試結束信號的信號發生器,該信號指示由對應引腳單元執行的當前測試已結束,其中測試結束信號是為每一引腳單元單獨產生的,與其它引腳單元無關;及一個系統控制器,它通過與每一引腳單元的事件控制器相聯,並將包括事件時序數據在內的測試程序提供給每一引腳單元的事件存儲器,以控制該基於事件的測試系統的整體運行。每一引腳單元的測試結束信號根據該系統控制器規定的條件來選擇,所選擇的測試結束信號被提供給系統控制器和其它引腳單元。
文檔編號G01R31/28GK1330273SQ0111542
公開日2002年1月9日 申請日期2001年4月23日 優先權日2000年4月24日
發明者安東尼·勒, 詹姆斯·阿蘭·特恩奎斯特, 羅基特·拉尤斯曼, 菅森茂 申請人:株式會社鼎新