一種電子級四氯化矽的分裝裝置的製作方法
2023-05-19 02:05:51 1
本實用新型涉及四氯化矽分裝(充裝)領域，特別涉及一種電子級四氯化矽的分裝裝置。
背景技術：
電子級四氯化矽作為原子層沉積二氧化矽的源材料之一，同時四氯化矽是一種無色、具有腐蝕性，令人窒息的臭味，遇水汽產生氯化氫，其罐裝時需要確保系統是絕對密封，否則會產生安全事故。同時四氯化矽的純度對沉積薄膜的質量會產生直接影響。
又如專利公布號為CN201735306U公開了一種四氫呋喃尾氣的回收裝置，包括尾氣洗滌回收罐和離心泵，在尾氣洗滌回收罐中設置有用鮑爾環裝填的填料層。尾氣洗滌回收罐連接到精餾塔頂部，接收精餾塔排放的含有四氫呋喃的尾氣，還連接到精餾工段，接收富含1，4-丁二醇的液相物料作為洗滌液，在填料層含有四氫呋喃的尾氣與洗滌液逆流接觸，將尾氣中大量的四氫呋喃溶解在洗滌液裡面。本實用新型的回收裝置結構簡單、實用，投入成本較低，大大減少了四氫呋喃的損耗量，降低了產品的單耗，同時降低了工廠的三廢排放。又如專利公布號為CN204522964U公開了一種常溫直接製備三氯化鎵-四氫呋喃溶液的裝置，通過設置氯化氫鋼瓶進料，反應罐進行攪拌反應及溶解，反應得到的三氯化鎵-四氫呋喃溶液經過出料閥門出料用於烷基鎵製備，並且在冷凝器頂部連接氮氣管通氮氣對整個反應進行保護通入到鹼性溶液吸收罐；本裝置在反應同時，並能實現將反應產物即時溶解在四氫呋喃，將常規三氯化鎵的生產與溶解二個不同流程合併在同一裝置中實現。通過本技術方案，在獲得相同三氯化鎵產品時，避免了常規的高溫反應；同時由於製備與溶解合併在同一個單元操作中，提高生產效率，降低生產成本。
技術實現要素：
為了克服上述現有技術的不足，本實用新型提供一種電子級四氯化矽的分裝裝置。一種電子級四氯化矽的分裝裝置，包括儲罐，所述儲罐上設有隔膜閥三、隔膜閥四，所述隔膜閥三另一端與波紋管一連接，所述波紋管一另一端分別與隔膜閥一和隔膜閥二連接；所述隔膜閥四另一端與波紋管二連接；所述儲罐內設有管道與隔膜閥五連接，所述隔膜閥五另一端與波紋管三連接，所述波紋管三另一端分別與波紋管四、波紋管五、波紋管六、波紋管七連接，所述波紋管四、所述波紋管五、所述波紋管六、所述波紋管七另一端分別對應連接於隔膜閥六、隔膜閥七、隔膜閥、隔膜閥九，所述隔膜閥六、所述隔膜閥七、所述隔膜閥八、所述隔膜閥九另一端分別對應連接於充裝電容一、充裝電容二、充裝電容三、充裝電容四。
優選地，所述波紋管一、所述隔膜閥一和所述隔膜閥二之間設有壓力表。
優選地，所述儲罐底部設有電子秤。
優選地，所述儲罐兩側安裝有把手。
優選地，與所述隔膜閥五連接的管道通向於所述儲罐內底部。
通過採用該裝置，不僅實現了電子級四氯化矽的密封分裝，同時百級工作檯的應用，避免了環境對充裝過程中產品的沾汙。
附圖說明
圖1為本實用新型一種電子級四氯化矽的分裝裝置結構示意圖；
具體實施方式
下面結合具體實施方式，進一步闡明本實用新型，應理解下述具體實施方式僅用於說明本實用新型而不用於限制本實用新型的範圍。
實施例1
如圖所示，本實用新型提供一種電子級四氯化矽的分裝裝置，包括儲罐17，所述儲罐17底部設有電子秤23，所述儲罐17兩側安裝有把手24，所述儲罐17上設有隔膜閥三3、隔膜閥四4，所述隔膜閥三3另一端與波紋管一10連接，所述波紋管一10另一端分別與隔膜閥一1和隔膜閥二2連接，所述波紋管一10、所述隔膜閥一1和所述隔膜閥二2之間設有壓力表22；所述隔膜閥四4另一端與波紋管二11連接；所述儲罐17內設有管道與隔膜閥五5連接，與所述隔膜閥五5連接的管道通向於所述儲罐17內底部，所述隔膜閥五5另一端與波紋管三12連接，所述波紋管三12另一端分別與波紋管四13、波紋管五14、波紋管六15、波紋管七16連接，所述波紋管四13、所述波紋管五14、所述波紋管六15、所述波紋管七16另一端分別對應連接於隔膜閥六6、隔膜閥七7、隔膜閥8、隔膜閥九9，所述隔膜閥六6、所述隔膜閥七7、所述隔膜閥八8、所述隔膜閥九9另一端分別對應連接於充裝電容一18、充裝電容二19、充裝電容三20、充裝電容四21，所述分裝裝置充裝在100級工作檯內進行。
四氯化矽通過波紋管二(11)及隔膜閥四(4)轉移到儲罐(17)中，並置於電子秤(23)上，通過電子秤(23)可以觀察出充裝的量，隔膜閥一(1)連接真空泵，隔膜閥二(2)連接氮氣，進行抽充置換管路氣氛，通過觀察壓力表22、將儲罐17內氣壓維持於0.02-0.05兆帕，四氯化矽通過隔膜閥五(5)、隔膜閥六(6)、隔膜閥七(7)、隔膜閥八(8)、隔膜閥九(9)及波紋管三(12)、波紋管四(13)、波紋管五(14)、波紋管六(15)、波紋管七(16)分別充裝在充裝電容一(18)、充裝電容二(19)、充裝電容三(20)、充裝電容四(21)中，在充裝過程中，波紋管七(16)右後端連接氮氣保護，充裝完畢，管 路系統殘留四氯化矽，通過真空泵抽到液氮冷阱中。
除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡採用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本實用新型要求的保護範圍。