旋轉運動傳動設備的製作方法
2023-04-27 13:21:06 1
專利名稱：旋轉運動傳動設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種傳動設備，尤其涉及一種將旋轉運動密封地傳遞至液態環境的傳動設備。
背景技術：
隨著科學技術的迅猛發展，對工業工藝要求日益增高，真空技術在高科技產業化的發展中展現出廣闊的應用前景，尤其體現在對真空環境要求極高的數碼顯示面板產業中。例如，薄膜電晶體顯不屏(LCD-TFT, Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor) >有機發光顯示器件(OLED, Organic Light-Emitting Diode)面板、太陽能電池板及其他類似者的製程中，由於此類製程的工藝要求比較嚴格，即必須在真空狀態下以及完全潔淨的空間環境中進行。例如，在IXD-TFT、OLED及太陽能電池板的製程中，光刻是必不可少的步驟，光刻生產的目標是根據設計的要求，生成尺寸精確的特徵圖形，一般的光刻工藝要經歷·玻璃基片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序；其中，蝕刻也稱光化學蝕刻(photochemical etching),是指通過曝光製版、顯影后，將要蝕刻區域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。因此，蝕刻等步驟都是在帶有腐蝕性的液體環境下進行的，而在實現自動化生產的設備中，常需要在液體環境下傳輸玻璃基片，或進行閥門開啟等動作，在這些動作的輸入過程中，對設備的密封性也提出更高的要求。在上述製程中，液態環境下的密封傳輸凸顯了其重要意義，液態環境下的密封傳輸往往考驗著用於整個製程的真空系統的可靠性。現有的用於液態環境下的密封傳輸設備，在真空腔室內設置有大量的滾輪、滾珠頂杆和吸盤，傳動機構複雜，為了保證整個傳送系統的同步運行，一般採用一個驅動機構帶動腔室內部的所有傳送滾輪同步轉動，利用摩擦力勻速傳送玻璃基片等，由於傳動機構複雜，在將外部旋轉運動傳輸至密封腔體內的液態環境時，隨著傳輸機構的運行，密封腔體內的液體會慢慢通過傳輸軸浸出密封腔體外，造成汙染，並影響真空環境的密封性。因此，有必要提供一種高清潔度、高密封性、結構簡單、成本低廉的傳動設備來解決現有技術的不足。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種高清潔度、高密封性、結構簡單、成本低廉的旋轉運動傳動設備。為實現上述目的，本實用新型的技術方案為提供一種旋轉運動傳動設備，密封地安裝於盛有液體的密封腔體上，用於將旋轉運動密封地傳輸至液態環境，所述密封腔體的側壁上開設有安裝孔，所述旋轉運動傳動設備包括驅動機構、聯軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構，所述密封機構密封地安裝於所述側壁上的安裝孔內，所述密封機構上開設有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機構上還開設有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動軸密封地穿設於所述連接孔內，且所述傳動軸的伸入所述密封腔體內的一端安裝有所述傳動齒輪，所述傳動軸的另一端伸出所述密封機構外並與所述聯軸器的一端連接，所述聯軸器的另一端與所述驅動機構的輸出軸連接，所述驅動機構通過所述聯軸器帶動所述傳動軸轉動，所述傳動軸帶動所述傳動齒輪轉動從而將所述旋轉運動傳輸至液態環境。較佳地，所述密封機構包括密封連接件、密封壓板、軸承、軸套、第一密封環及第二密封環，所述密封連接件上開設有所述連接孔及所述壓縮空氣入口，所述密封連接件密封地安裝於所述安裝孔內並伸入所述密封腔體內，且具有所述壓縮空氣入口的一端位於所述密封腔體外，所述軸承設置於所述連接孔內，所述密封壓板密封地安裝於所述密封連接件的位於所述密封腔體外的端部，且所述密封壓板上開設有與所述連接孔相對應的通孔，所述軸套、第一密封環及第二密封環均套設於所述傳動軸上，且所述軸套位於所述第一密封環與所述第二密封環之間，所述傳動軸依次穿過所述通孔及所述連接孔伸入所述密封腔體內，且所述傳動軸承載於所述軸承上；通過壓縮空氣入口進入連接孔的壓縮空氣，在第一密封環與第二密封環之間形成高壓環境，因此，在傳輸旋轉運動的過程中，即使第一密封環、第二密封環有少許的磨損，連接孔內的高壓環境也可有效防止液體通過傳動軸浸出到外密 封腔體之外，形成良好的動密封。較佳地，所述連接孔貫穿所述密封連接件的前後兩端，所述密封連接件的中部向外凸伸出一連接部，所述密封連接件的前端伸入所述密封腔體內，所述連接部與所述密封腔體的側壁密封地連接，所述密封連接件的後端位於所述密封腔體外，所述壓縮空氣入口開設於所述密封連接件的後端。較佳地，所述第一密封環壓入所述密封壓板的通孔內，所述第二密封環壓入所述密封連接件的連接孔內，且所述第二密封環壓入所述密封連接件的前端，所述第一密封環及第二密封環均與所述傳動軸過盈配合，第一密封環及第二密封環均採用耐磨橡膠製成，並均與傳動軸過盈配合，因此，與傳動軸之間形成良好的動密封，密封性好且耐用。較佳地，所述軸承包括兩個，兩所述軸承均設置於所述連接孔內，且兩軸承設置於所述第一密封環與所述第二密封環之間。較佳地,所述軸套包括外軸套及內軸套,所述內軸套套設於所述傳動軸上,所述外軸套套設於所述內軸套外，且所述外軸套及內軸套均位於兩所述軸承之間。較佳地，所述密封機構還包括第一密封圈及第二密封圈，所述第一密封圈設於所述密封壓板與所述密封連接件之間，所述第二密封圈設置於所述連接部與所述密封腔體的側壁之間，通過第一密封圈及第二密封圈密封連接，使密封腔體及密封連接件均保持靜密封狀態，提高密封性能。較佳地，所述驅動機構為伺服電機，伺服電機響應速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號平穩快速轉換為電機軸上的機械輸出量，使得基片在傳送的過程中快速有效、精確且平穩可靠。與現有技術相比，由於本實用新型的旋轉運動傳動設備，包括驅動機構、聯軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構，所述密封機構密封地安裝於所述密封腔體的安裝孔內，所述密封機構上開設有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機構上還開設有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動軸密封地穿設於所述連接孔內，且所述傳動軸的伸入所述密封腔體內的一端安裝有所述傳動齒輪，所述傳動軸的另一端伸出所述密封機構外並與所述聯軸器的一端連接，所述聯軸器的另一端與所述驅動機構的輸出軸連接，所述驅動機構通過所述聯軸器帶動所述傳動軸轉動，所述傳動軸帶動所述傳動齒輪轉動從而將所述旋轉運動密封地傳輸至液態環境，通過壓縮空氣入口將壓縮空氣壓入密封機構的連接孔內，從而使所述連接孔內保持高壓環境，有效防止液體通過傳動軸浸出到密封腔體之外，形成良好的動密封，且密封機構密封地安裝於所述密封腔體的安裝孔內，有效避免外部環境給密封腔體內帶來的汙染，使真空環境保持良好的氣密性及高清潔度，且該旋轉運動傳動設備的結構簡單、成本低廉。
圖I是本實用新型旋轉運動傳動設備的結構示意圖。圖2是圖I中A部分的放大示意圖。
具體實施方式
·[0017]現在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。如圖I、圖2所示，本實用新型所提供的旋轉運動傳動設備I，密封地安裝於盛有液體的密封腔體2上，用於將密封腔體2外的旋轉運動密封地傳輸至液態環境，具體地，所述密封腔體2的側壁21上開設有安裝孔211，所述旋轉運動傳動設備I密封地安裝於所述安裝孔211內，且其一端伸入密封腔體2內的液體中，另一端位於密封腔體2外。如圖I、圖2所示,所述旋轉運動傳動設備I包括驅動機構10、聯軸器20、傳動軸30、傳動齒輪40及密封機構50，所述密封機構50上開設有貫穿其前後兩端的連接孔511，所述密封機構50的後端還開設有連通所述連接孔511的壓縮空氣入口 512，所述密封機構50密封地安裝於所述側壁21上的安裝孔211內，其前端伸入密封腔體2內，其後端位於密封腔體2外，所述連接孔511與密封腔體2連通，所述傳動軸30密封地穿設於所述連接孔511內，且傳動軸30的一端伸入密封腔體2內的液體中，傳動軸30的另一端位於密封機構50之外，所述傳動軸30的伸入所述密封腔體2內的一端安裝有傳動齒輪40，所述傳動軸30的位於所述密封機構50外的一端與所述聯軸器20的一端連接，所述聯軸器20的另一端與所述驅動機構10的輸出軸連接，所述驅動機構10通過所述聯軸器20帶動所述傳動軸30轉動，所述傳動軸30帶動所述傳動齒輪40轉動從而將所述旋轉運動傳輸至液態環境。繼續結合圖I、圖2所示，所述密封機構50包括密封連接件51、密封壓板52、兩軸承53a、53b、內軸套54a、外軸套54b、第一密封環55a、第二密封環55b、第一密封圈56a及第二密封圈56b。所述密封連接件51上開設有所述連接孔511，且連接孔511貫穿密封連接件51的前後兩端，所述密封連接件51的中部向外凸伸出一連接部513，所述密封連接件51的前端伸入所述密封腔體2內，所述連接部513與所述密封腔體2的側壁21密封地連接，且所述第二密封圈56b設置於所述連接部513與所述密封腔體2的側壁21之間，所述連接部513與側壁21之間通過第二密封圈56b密封連接，保持良好的靜密封。所述密封連接件51的後端位於所述密封腔體2外，且所述壓縮空氣入口 512開設於所述密封連接件51的後端，該壓縮空氣入口 512與連接孔511相連通。另外，在連接孔511內還設置有所述軸承53a、53b，兩所述軸承53a、53b間隔的設置於連接孔511內，具體地，一軸承53a設置於密封連接件51的後端，另一軸承53b設置於靠近密封連接件51的前端的位置處。所述密封壓板52安裝於所述密封連接件51的後端，且密封壓板52與密封連接件51之間通過第一密封圈56a密封連接，在所述密封壓板52上開設有與所述連接孔511相對應的通孔521 ;所述第一密封環55a壓入所述密封壓板52的通孔521內，所述第二密封環55b壓入所述密封連接件51的連接孔511內，且所述第二密封環55b壓入所述密封連接件51的前端端部，因此，兩軸承53a、53b設置於所述第一密封環55a與所述第二密封環55b之間。所述內軸套54a套設於所述傳動軸30上，所述外軸套54b套設於所述內軸套54a外。安裝時，所述傳動軸30依次穿過所述通孔521及所述連接孔511伸入所述密封腔體2內，且所述傳動軸30承載於所述軸承53a、53b上，並使所述外軸套54b及內軸套54a均位於兩軸承53a、53b之間，並且所述第一密封環55a及第二密封環55b均與所述傳動軸30過盈配合，第一密封環55a及第二密封環55b均採用耐磨橡膠製成，因此，與傳動軸30之間形成良 好的動密封，密封性好且耐用；通過壓縮空氣入口 512進入連接孔511的壓縮空氣，在第一密封環55a與第二密封環55b之間形成高壓環境，因此，在傳輸旋轉運動的過程中，即使第一密封環55a、第二密封環55b有少許的磨損，連接孔511內的高壓環境也可有效防止液體通過傳動軸30浸出到外密封腔體2之外，形成良好的動密封。優選地，所述密封連接件51為密封法蘭，所述驅動機構10為伺服電機，伺服電機響應速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號平穩快速轉換為電機軸上的機械輸出量，使得基片在傳送的過程中快速有效、精確且平穩可靠。結合圖I、圖2所示，在蝕刻等工序中需在液態環境下傳輸玻璃基片時，所述驅動機構10通過聯軸器20帶動傳動軸30轉動，傳動軸30再帶動傳動齒輪40運動，進而將旋轉運動傳輸至密封腔體2內的液態環境中，進而實現玻璃基片等在液態環境下的傳輸。由於通過所述壓縮空氣入口 512壓入壓縮空氣到連接孔511內，使第一密封環55a與第二密封環55b之間形成高壓環境，因此，在傳輸旋轉運動的過程中，密封腔體2內的液體不會通過傳動軸30浸出到外密封腔體2之外，形成良好的動密封；同時，密封壓板52與密封連接件51之間通過第一密封圈56a密封連接，密封連接件51與密封腔體2的側壁21之間通過第二密封圈56b密封連接，形成良好的靜態密封。由於本實用新型的旋轉運動傳動設備1，包括驅動機構10、聯軸器20、傳動軸30、傳動齒輪40及密封機構50，所述密封機構50密封地安裝於所述密封腔體2的安裝孔211內，所述密封機構50上開設有連通所述密封腔體2的連接孔511，所述密封機構50上還開設有連通所述連接孔511的壓縮空氣入口 512，所述傳動軸30密封地穿設於所述連接孔511內，且所述傳動軸30的伸入所述密封腔體2內的一端安裝有所述傳動齒輪40，所述傳動軸30的另一端伸出所述密封機構50外並與所述聯軸器20的一端連接，所述聯軸器20的另一端與所述驅動機構10的輸出軸連接，所述驅動機構10通過所述聯軸器20帶動所述傳動軸30轉動，所述傳動軸30帶動所述傳動齒輪40轉動從而將所述旋轉運動傳輸至液態環境，而通過壓縮空氣入口 512可將壓縮空氣壓入密封機構50的連接孔511內，從而使所述連接孔511內保持高壓環境，有效防止液體通過傳動軸30浸出到外密封腔體2之外，形成良好的動密封，且密封機構50密封地安裝於所述密封腔體2的安裝孔211內，有效避免外部環境給密封腔體2內帶來的汙染，使真空環境保持良好的氣密性及高清潔度。本實用新型旋轉運動傳動設備I不限於對玻璃基片在液態環境下的傳輸，還可根據實際需要，用於相類似的其他平板物件在液態環境下的傳輸。以上所揭露的僅為本實用新型的優選實施例而已，當然不能以此來限定本實用新 型之權利範圍，因此依本實用新型申請專利範圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的範圍。
權利要求1.一種旋轉運動傳動設備，密封地安裝於盛有液體的密封腔體上，用於將旋轉運動密封地傳輸至液態環境，所述密封腔體的側壁上開設有安裝孔，其特徵在於所述旋轉運動傳動設備包括驅動機構、聯軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構，所述密封機構密封地安裝於所述側壁上的安裝孔內，所述密封機構上開設有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機構上還開設有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動軸密封地穿設於所述連接孔內，且所述傳動軸的伸入所述密封腔體內的一端安裝有所述傳動齒輪，所述傳動軸的另一端伸出所述密封機構外並與所述聯軸器的一端連接，所述聯軸器的另一端與所述驅動機構的輸出軸連接，所述驅動機構通過所述聯軸器帶動所述傳動軸轉動，所述傳動軸帶動所述傳動齒輪轉動從而將所述旋轉運動傳輸至液態環境。
2.如權利要求I所述的旋轉運動傳動設備，其特徵在於所述密封機構包括密封連接件、密封壓板、軸承、軸套、第一密封環及第二密封環，所述密封連接件上開設有所述連接孔及所述壓縮空氣入口，所述密封連接件密封地安裝於所述安裝孔內並伸入所述密封腔體內，且具有所述壓縮空氣入口的一端位於所述密封腔體外，所述軸承設置於所述連接孔內，所述密封壓板密封地安裝於所述密封連接件的位於所述密封腔體外的端部，且所述密封壓板上開設有與所述連接孔相對應的通孔，所述軸套、第一密封環及第二密封環均套設於所述傳動軸上，且所述軸套位於所述第一密封環與所述第二密封環之間，所述傳動軸依次穿過所述通孔及所述連接孔伸入所述密封腔體內，且所述傳動軸承載於所述軸承上。
3.如權利要求2所述的旋轉運動傳動設備，其特徵在於所述連接孔貫穿所述密封連接件的前後兩端，所述密封連接件的中部向外凸伸出一連接部，所述密封連接件的前端伸入所述密封腔體內，所述連接部與所述密封腔體的側壁密封地連接，所述密封連接件的後端位於所述密封腔體外，所述壓縮空氣入口開設於所述密封連接件的後端。
4.如權利要求2所述的旋轉運動傳動設備，其特徵在於所述第一密封環壓入所述密封壓板的通孔內，所述第二密封環壓入所述密封連接件的連接孔內，且所述第二密封環壓入所述密封連接件的前端，所述第一密封環及第二密封環均與所述傳動軸過盈配合。
5.如權利要求4所述的旋轉運動傳動設備，其特徵在於所述軸承包括兩個，兩所述軸承均設置於所述連接孔內，且兩軸承設置於所述第一密封環與所述第二密封環之間。
6.如權利要求5所述的旋轉運動傳動設備,其特徵在於所述軸套包括外軸套及內軸套，所述內軸套套設於所述傳動軸上，所述外軸套套設於所述內軸套外，且所述外軸套及內軸套均位於兩所述軸承之間。
7.如權利要求3所述的旋轉運動傳動設備，其特徵在於所述密封機構還包括第一密封圈及第二密封圈，所述第一密封圈設於所述密封壓板與所述密封連接件之間，所述第二密封圈設置於所述連接部與所述密封腔體的側壁之間。
8.如權利要求I所述的旋轉運動傳動設備，其特徵在於所述驅動機構為伺服電機。
專利摘要本實用新型公開一種旋轉運動傳動設備，包括驅動機構、聯軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構，密封機構密封地安裝於密封腔體側壁上，其上開設有連接孔及壓縮空氣入口，傳動軸密封地穿設於連接孔內，且其一端安裝有傳動齒輪，另一端與聯軸器的一端連接，聯軸器的另一端與驅動機構的輸出軸連接，驅動機構通過聯軸器帶動傳動軸轉動，傳動軸帶動傳動齒輪轉動從而將旋轉運動密封地傳輸至液態環境，通過壓縮空氣入口將壓縮空氣壓入連接孔內，使連接孔內保持高壓環境，有效防止液體通過傳動軸浸出到密封腔體外，形成良好的動密封，密封機構密封地安裝有效避免外部環境給密封腔體內帶來汙染，使密封腔體保持良好的氣密性及高清潔度，且結構簡單、成本低廉。
文檔編號F16J15/16GK202629027SQ201220224168
公開日2012年12月26日 申請日期2012年5月17日 優先權日2012年5月17日
發明者餘超平, 李思述, 範振華 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司