用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法
2023-04-27 15:34:06
專利名稱：用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法
技術領域：
本發明涉及一種用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法。
背景技術：
目前，原選擇性發射電極電池在製備過程中，掩膜後在進行清洗後需要監控非掩膜區的方阻，但是四探針測試儀(測試方阻的一種儀器)在測試時，其探針很容易壓到柵線部分，造成測試誤差，對後續的工藝調整及優化帶來困難。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供一種用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，它能夠避免測試過程中壓到柵線部分造成測試誤差現象，並且測試過程快速、便捷，簡化了測試流程，節省了測試時間。為了解決上述技術問題，本發明的技術方案是:一種用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，該方法的步驟如下:1)設計光柵圖形；2)選擇同批次的選擇性發射電極電池的基板襯底，並在該基板襯底的中心處開定位孔，四探針測試儀的四個探針的中心位置以該定位孔的軸心為中心，在該基板襯底上分別形成四個探針相對應的探針區域，在基板襯底的四個探針區域上分別開出探針定位孔，形成監控片襯底；3)在監控片襯底上塗光刻膠，並且定位孔和四個探針定位孔處用同厚度的光刻膠掩蓋住；4)採用光刻工藝，將設計好的光柵圖形定義到塗好光刻膠的監控片襯底上，形成監控網版；5)將監控網版放置在印刷設備上，在監 控網版上加入掩膜材料，啟動印刷設備，將掩膜材料透過監控網版印刷在矽片上，然後將帶有掩膜的矽片烘乾，即制出監控片；6)刻蝕並清洗監控片的非掩膜區；7)採用四探針測試儀，將四個探針插入相應的探針定位孔，測試監控片的非掩膜區的方阻；8)根據測試過的方阻結果，調整選擇性發射電極電池的清洗參數，並重複步驟6)中的清洗步驟和步驟7)，直至監控片的方阻值達標，從而確定選擇性發射電極電池的清洗參數。進一步，所述的定位孔和探針定位孔為方形孔結構，所述的四個探針定位孔的中心均布在以定位孔中心為圓心的圓周上。進一步，所述的定位孔和探針定位孔的每邊邊長控制在10毫米 15毫米，所述的圓周的半徑為52毫米；
更進一步，所述的定位孔為邊長12毫米的正方形孔，每個探針定位孔均為長15毫米、寬10毫米的長方形孔，並且每個探針定位孔的一側長邊正對著定位孔。採用了上述技術方案後，本發明具有以下的有益效果:
1、電池片在四探針測試儀測試平臺上，測試平臺會旋轉，本發明的測試方阻的方法，能夠避免測試平臺旋轉帶來的電池片滑動誤差或人為放置誤差而導致的誤測現象。2、本發明方法的測試過程能夠非常精準的找準測試點，快速、便捷，簡化了測試流程，節省了測試時間。3、技術人員經過多次方案的配比並結合誤差狀況，選擇了定位孔和探針定位孔大小的最優值，測試結果更加準確。
圖1為本發明的監控網版的結構示意圖。
具體實施例方式為了使本發明的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例並結合附圖，對本發明作進一步詳細的說明，
一種用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，該方法的步驟如下:1)設計光柵圖形；2)選擇同批次的選擇性發射電極電池的基板襯底1-3，並在該基板襯底1-3的中心處開定位孔1-1，四探針測試儀的四個探針的中心位置以該定位孔1-1的軸心為中心，在該基板襯底1-3上分別形成四個探針相對應的探針區域，在基板襯底1-3的四個探針區域上分別開出探針定位孔1-2，形成監控片襯底；3)在監控片襯底上塗光刻膠，並且定位孔1-1和四個探針定位孔1-2處用同厚度的光刻膠掩蓋住；4)採用光刻工藝，將設計好的光柵圖形定義到塗好光刻膠的監控片襯底上，形成監控網版I ;5)採用監控網版(I)將監控網版I放置在印刷設備上，在監控網版I上加入掩膜材料，啟動印刷設備，將掩膜材料透過監控網版I印刷在矽片上，然後將帶有掩膜的矽片烘乾，即制出監控片；6)刻蝕並清洗監控片的非掩膜區；7)採用四探針測試儀，將四個探針插入相應的探針定位孔1-2，測試監控片的非掩膜區的方阻；8)根據測試過的方阻結果，調整選擇性發射電極電池的清洗參數，並重複步驟6)中的清洗步驟和步驟7)，直至監控片的方阻值達標，從而確定選擇性發射電極電池的清洗參數。定位孔1-1和探針定位孔1-2為方形孔結構，並且邊長控制在10毫米 15毫米。優選地，定位孔1-1為邊長12毫米的正方形孔，每個探針定位孔1-2均為長15毫米、寬10毫米的長方形孔，四個探針定位孔1-2的中心均布在以定位孔1-1中心為圓心以及半徑為52毫米的圓周上 。每個探針定位孔1-2的一側長邊正對著定位孔1-1。監控網版的工藝參數如下:
網版張力28N，線徑23納米，目數325目，細柵線寬度300納米，光刻膠厚度20納米，細柵線間距中心到中心:1.9494毫米。本發明方法具有以下的優點:
1、電池片在四探針測試儀測試平臺上，測試平臺會旋轉，本發明的測試方阻的方法，能夠避免測試平臺旋轉帶來的電池片滑動誤差或人為放置誤差而導致的誤測現象。2、本發明方法的測試過程能夠非常精準的找準測試點，快速、便捷，簡化了測試流程，節省了測試時間。3、技術人員經過多次方案的配比並結合誤差狀況，選擇了定位孔和探針定位孔大小的最優值，測試結果更加準確。以上所述的具體實施例，對本發明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本發明的具體實施例而已，並不用於限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。
權利要求
1.一種用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，其特徵在於該方法的步驟如下: 1)設計光柵圖形； 2)選擇同批次的選擇性發射電極電池的基板襯底(1-3)，並在該基板襯底(1-3)的中心處開定位孔(1-1)，四探針測試儀的四個探針的中心位置以該定位孔(1-1)的軸心為中心，在該基板襯底(1-3)上分別形成四個探針相對應的探針區域，在基板襯底(1-3)的四個探針區域上分別開出探針定位孔(1-2)，形成監控片襯底； 3)在監控片襯底上塗光刻膠，並且定位孔(1-1)和四個探針定位孔(1-2)處用同厚度的光刻膠掩蓋住； 4)採用光刻工藝，將設計好的光柵圖形定義到塗好光刻膠的監控片襯底上，形成監控網版(I)； 5)將監控網版(I)放置在印刷設備上，在監控網版(I)上加入掩膜材料，啟動印刷設備，將掩膜材料透過監控網版(I)印刷在矽片上，然後將帶有掩膜的矽片烘乾，即制出監控片； 6)刻蝕並清洗監控片的非掩膜區； 7)採用四探針測試儀，將四個探針插入相應的探針定位孔(1-2)，測試監控片的非掩膜區的方阻； 8)根據測試過的方阻結果，調整選擇性發射電極電池的清洗參數，並重複步驟6)中的清洗步驟以及步驟7)，直至監控片的方阻值達標，從而確定選擇性發射電極電池的清洗參數。
2.根據權利要求1所述的用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，其特徵在於:所述的定位孔(1-1)和探針定位孔(1-2)為方形孔結構，所述的四個探針定位孔(1-2)的中心均布在以定位孔(1-1)中心為圓心的圓周上。
3.根據權利要求2所述的用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，其特徵在於:所述的定位孔(1-1)和探針定位孔(1-2)的每邊邊長控制在10毫米 15毫米，所述的圓周的半徑為52毫米。
4.根據權利要求3所述的用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，其特徵在於:所述的定位孔(1-1)為邊長12毫米的正方形孔，每個探針定位孔(1-2)均為長15毫米、寬10毫米的長方形孔，並且每個探針定位孔(1-2)的一側長邊正對著定位孔(1-1)。
5.根據權利要求1所述的用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，其特徵在於:所述的光刻膠的厚度為20納米。
全文摘要
本發明公開了一種用於選擇性發射電極電池製備過程中的測試方阻的方法，該方法的步驟如下1)設計光柵圖形；2)製作監控片襯底；3)在監控片襯底上塗光刻膠，並且定位孔和四個探針定位孔處用同厚度的光刻膠掩蓋住；4)製作監控網版；5)採用監控網版按照電池片製作工藝印刷出監控片；6)刻蝕並清洗監控片的非掩膜區；7)採用四探針測試儀，將四個探針插入相應的探針定位孔，測試監控片的非掩膜區的方阻；8)根據測試過的方阻結果，調整選擇性發射電極電池的清洗參數，並重複步驟6)中的清洗步驟和步驟7)，直至監控片的方阻值達標，從而確定選擇性發射電極電池的清洗參數。本發明能夠避免測試過程中壓到柵線部分造成測試誤差現象，並且測試過程快速、便捷，簡化了測試流程，節省了測試時間。
文檔編號G01R27/02GK103235185SQ20131013689
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月18日 優先權日2013年4月18日
發明者衛志敏 申請人:常州天合光能有限公司