機械傳輸腔體的製作方法
2023-05-04 05:07:11 1
專利名稱：機械傳輸腔體的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種機械傳輸腔體，尤其涉及一種用於為生產設備之間起傳遞產
品或半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設備。
背景技術：
在半導體行業、電子工業及機械領域的加工集群設備中，產品與半成品之間的傳 輸也是很重要的一部分。因為它關係到提高產品的質量及合格率的重要因素之一，也是降 低企業生產成本重要因素之一。因此，在企業用地的成本日益增加的今天，企業越來越重視 傳輸設備的空間利用率，減少企業對土地的使用量，以降低企業生產產品的成本，從而提高 企業在市場中競爭力。但是，市場上的傳輸設備普遍存在以下的缺點 目前，在傳輸系統中，傳輸設備一般都是單對單對的工作模式，都是通過一個工序 對應一個傳輸設備進行產品的傳輸。與傳統的傳輸系統相對應，傳統的傳輸腔體一般都是 一個傳輸腔體對應兩個生產設備，即在傳品傳輸時，只能通過傳輸腔體將從一個生產設備 出來的產品通過傳輸設備在傳輸腔體內傳輸給另一個生產設備。因而，在產品流水線的生 產過程中，為了能滿足產品的流水線生產要求，尤其是滿足生產工序種類繁多的半導體產 品的生產要求，需要許多傳輸腔體和傳輸設備去負責完成各工序的生產設備之間的產品傳 輸以實現流水線生產作業目的。這一方面由於半導體行業較多的工序步驟，需要大量的傳 輸腔過渡腔和傳輸設備去執行產品和半產品的傳輸，增加了製造和使用傳輸腔體和傳輸設 備的成本；另一方面使得傳輸設備佔用了大量的土地資源，增加了土地的使用成本，從而增 加了企業產品的生產成本以及降低企業在市場上競爭力。另，由於傳輸腔體是針對某一半 導體產品的流水線作業要求而涉及制定的，當該半導體產品更新換代後，應用於該半導體 產品上的大多數傳輸腔體不能適用新的半導體產品的傳輸要求，從而使得傳輸設備的兼容 性差。 因此，急需要一種結構緊湊、內部空間利用率高、與多臺生產設備相連的、兼容性 強的傳輸腔體。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種結構緊湊、內部空間利用率高、且能與多臺生產 設備相連兼容性好、有效縮小整個生產線的佔地面積的用於為生產設備之間起傳遞產品或 半產品的機械手的活動提供密封傳輸空間的傳輸設備。 為了實現上述目的，本實用新型的技術方案為一種機械傳輸腔體，用於為生產設 備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封空間，所述機械傳輸腔體包括腔體頂 蓋、腔體主體、支撐環及多個側部法蘭，所述腔體主體呈中空結構，所述中空結構形成機械 手活動腔，所述腔體主體上端開設有腔體開口 ，所述腔體主體下端開設有機械手伸入口 ，所 述支撐環安裝於所述機械手伸入口內，所述機械手密封穿過所述支撐環並伸入所述機械手 活動腔，所述腔體頂蓋樞接於所述腔體主體上且密封所述腔體開口 ，所述側部法蘭呈平板狀且具有連接通道，所述連接通道貫穿所述側部法蘭，所述側部法蘭安裝於所述腔體主體的側壁上，且所述連接通道與所述機械手活動腔連通。 較佳地，所述腔體主體包括上封頭、具有所述腔體開口的頂部法蘭、下封頭、具有所述機械手伸入口的底部法蘭及腔體側部，所述上封頭套設於所述腔體側部上端的內壁上，所述頂部法蘭套設於所述上封頭的內側；所述下封頭套設於所述腔體側部下端的內壁上，所述底部法蘭套設於所述下封頭的內側；所述側部法蘭安裝於所述腔體側部的側壁上。這樣，使得所述機械傳輸腔體密封性能更好。 較佳地，所述側部法蘭均勻分布於所述腔體主體的側壁上。其中，與所述側部法蘭相連的生產設備也以所述腔體為中心安裝在腔體四周，使得整個生產線上的設備結構緊湊、規律。 較佳地，所述側部法蘭上還具有連接導管，所述連接導管一端與所述側部法蘭的連接通道連通，另一端與所述腔體主體的側壁連接且與所述機械手活動腔連通。所述連接導管使得側部法蘭突出的安裝於所述腔體的側壁上，這樣使得側部法蘭方便的連接在生產設備上，並使成品和半成品方便的穿過所述側部法蘭的連接通道傳輸到生產設備上。[0010] 較佳地，所述側部法蘭上還設有閘門裝置，所述閘門裝置包括閘門、閘門驅動機構及傳感器，所述傳感器安裝於所述腔體主體上並與所述閘門驅動機構電連接，所述閘門安裝於所述側部法蘭的連接通道內，所述傳感器控制所述驅動機構對所述閘門進行開啟或關閉。工作時，所述側部法蘭與所述生產設備相連且所述連接通道與所述生產設備相連通，當被傳輸的產品或半產品需要傳輸到某一生產設備時，機械手將產品或半產品傳輸到相應的連接通道，所述傳感器感應到被傳輸產品或半產品，從而控制所述閘門驅動機構對所述閘門打開，產品或半產品穿過該連接通道到達與之相連的生產設備。 較佳地，所述支承環與所述腔體主體的內壁之間設有內加強筋，所述腔體側部與所述連接導管之間還設有外加強筋。內加強筋和外加強筋可靠的加強了所述多級傳輸模塊用腔體的強度。 較佳地，所述腔體主體的頂部和底部相對應的位置上分別設有與所述側部法蘭數目相對應的多個窗口法蘭，所述窗口法蘭的頂面呈透明狀，所述窗口法蘭與所述機械手活動腔連通且位於所述連接通道之前。通過所述窗口法蘭可以觀測到產品或半產品進入連接通道的傳輸過程。 較佳地，所述窗口法蘭上還具有連接套管，所述連接套管分別與所述腔體主體的頂部和底部連接且與所述機械手活動腔連通。所述窗口法蘭通過所述連接套管使所述窗口法蘭方便穩定地連接到所述腔體主體上。 較佳地，所述多級傳輸模塊用腔體還包括頂蓋控制機構，所述腔體頂蓋控制機構包括支架、安裝在支架上的轉輪和頂蓋傳動機構，所述頂蓋傳動機構與所述支架樞接，所述支架與所述頂部法蘭固定連接，所述轉輪控制所述頂蓋傳動機構繞所述支架轉動。當需要多級傳輸模塊用腔體或者該腔體內的機械手時，轉動所述轉輪，所述轉輪驅動所述頂蓋傳動機構，所述頂蓋傳動機構帶動所述腔體頂蓋繞所述支架轉動，從而控制所述腔體頂蓋打開。 較佳地，所述腔體頂蓋上具有觀察窗口。可以通過所述觀察窗口觀測機械手傳遞產品或半產品的工作狀況。[0016] 與傳統技術相比，本實用新型機械傳輸腔體的腔體主體的側壁上具有若干個與生產設備相連的側部法蘭，輔助用來傳遞產品和半產品的機械手，實現多臺相連設備之間進行產品和半產品的相互傳遞，節省了多餘的空間和多餘的傳輸設備，具有結構緊湊、內部空間利用率高、與多臺生產設備相連、兼容性強優點。另一方面，本實用新型的機械傳輸腔體側壁上的側部法蘭呈平板狀，可以和多種生產設備相連接，使得本實用新型機械傳輸腔體的兼容性好，可以集多功能設備於一體，實現產品或半產品在多種不同功能的生產設備之間方便快捷的傳遞，有效地節省了多餘的空間、多餘的傳輸設備和多餘的傳遞時間。因此，本實用新型機械傳輸腔體結構緊湊、內部空間利用率高、密封性好、且能與多臺生產設備相連兼容性好、集多功能設備於一體，能有效縮小整個生產線的佔地面積。
圖1是本實用新型機械傳輸腔體與底座連接的結構示意圖。 圖2是本實用新型機械傳輸腔體與底座連接的另一結構示意圖。 圖3是本實用新型機械傳輸腔體的分解示意圖。 圖4a是本實用新型機械傳輸腔體的結構示意圖。 圖4b是本實用新型機械傳輸腔體的另一結構示意圖。 圖4c是本實用新型機械傳輸腔體的又一結構示意圖。
具體實施方式如圖1、圖2及圖3所示，本實用新型機械傳輸腔體l，用於為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封空間，所述機械傳輸腔體1包括腔體頂蓋13、腔體主體11、支撐環12及多個側部法蘭41，所述腔體主體11呈中空結構，所述中空結構形成機械手活動腔14，所述腔體主體11上端開設有腔體開口 211，所述腔體主體11下端開設有機械手伸入口 311，所述支撐環12安裝於所述機械手伸入口 311內，所述機械手密封穿過所述支撐環12並伸入所述機械手活動腔14，所述腔體頂蓋13樞接於所述腔體主體11上且密封所述腔體開口 211，具體地，通過手動轉動具有手柄的轉輪134使腔體頂蓋13繞支架131轉動，從而實現腔體頂蓋13對腔體開口 211的密封關閉或開啟，所述側部法蘭41呈平板狀且具有連接通道411，所述連接通道411貫穿所述側部法蘭41，所述側部法蘭41安裝於所述腔體主體11的側壁上，且所述連接通道411與所述機械手活動腔14連通。更具體地，結合圖4a、圖4b及圖4c所示， 較佳者，所述腔體主體11包括上封頭22、具有所述腔體開口 211的頂部法蘭21、下封頭32、具有所述機械手伸入口 311的底部法蘭31及腔體側部15，所述上封頭22套設於所述腔體側部15上端的內壁上，所述頂部法蘭21套設於所述上封頭22的內側；所述下封頭32套設於所述腔體側部15下端的內壁上，所述底部法蘭31套設於所述下封頭32的內側；所述側部法蘭41安裝於所述腔體側部15的側壁上。這樣，所述機械傳輸腔體1腔體通過上封頭22、頂部法蘭21、及樞接於所述腔體主體11上的腔體頂蓋13使得所述腔體的頂部密封，通過下封頭32、底部法蘭31、及密封穿過所述支撐環12的機械手使得腔體的底部密封，最終形成一個密封的機械手活動腔14，使所述機械傳輸腔體1密封性能更好。[0025] 較佳者，所述側部法蘭41均勻分布於所述腔體主體11的側壁上。這樣的結構使所述腔體的整體布局規律、緊湊，與所述側部法蘭41相連的生產設備也以所述腔體為中心安裝在腔體四周，有效地提高了空間利用率。 較佳者，所述側部法蘭41上還具有連接導管42，所述連接導管42 —端與所述側部法蘭41的連接通道411連通，另一端與所述腔體主體11的側壁連接且與所述機械手活動腔14連通。將所述側部法蘭41固定在所述腔體主體11的側壁上。所述連接導管42使得側部法蘭41突出的安裝於所述腔體的側壁上，這樣使得側部法蘭41的另一側方便的連接在生產設備上，從而成品和半成品方便的穿過所述側部法蘭41的連接通道411傳輸到生產設備上。 較佳者，所述側部法蘭41上還設有閘門裝置，所述閘門裝置包括閘門(圖中未示)、閘門驅動機構43及傳感器53，所述傳感器53安裝於所述腔體主體上並與所述閘門驅動機構43電連接，所述閘門安裝於所述側部法蘭41的連接通道411內，所述傳感器53控制所述驅動機構43對所述閘門進行開啟或關閉。工作時，所述側部法蘭41與所述生產設備相連且所述連接通道411與所述生產設備相連通，當被傳輸的產品或半產品需要傳輸到某一生產設備時，機械手將產品或半產品傳輸到相應的連接通道411，所述傳感器53感應到被傳輸產品或半產品，所述閘門驅動機構43控制所述閘門打開，產品或半產品穿過該連接通道411時到達與之相連的生產設備。 較佳者，所述腔體主體11上還設有多個與所述側部法蘭41的數目相對應的窗口法蘭51和連接套管52，所述連接套管52 —端與所述窗口法蘭51連接，另一端與所述腔體主體11的頂部或底部連接且與所述機械手活動腔14連通，具體地，所述腔體主體11的頂部上且位於所述連接通道411之前的部位上設有連接套管52和與所述連接套管52相連的窗口法蘭51，相應的，所述腔體主體11的底部與上述腔體主體11的頂部相對應的部位上也設有連接套管52和與所述連接套管52相連的窗口法蘭51，從而使所述窗口法蘭51通過所述連接套管52連接到所述腔體主體11上且與所述機械手活動腔14相連通，又由於所述窗口法蘭51的頂面呈透明狀，透過所述窗口法蘭51可以看到機械手活動腔14中且位於所述連接通道411之前的部位，因此可以通過所述窗口法蘭51觀測到產品或半產品進入連接通道411的工作過程。更具體地，所述閘門裝置的傳感器53安裝在與該側部法蘭41相對應的窗口法蘭51的呈透明狀的窗口上，且所述傳感器53可為光電傳感器，當產品或半產品通過所述連接通道41時，光電傳感器53通過感應光度變化感應被傳輸的產品或半產品的傳輸狀態，從而控制與其電連接的閘門驅動機構43驅動所述閘門打開。 較佳者，所述支承環12與所述腔體主體11的內壁之間設有內加強筋61 ，所述腔體側部15與所述連接導管42之間還設有外加強筋62。內加強筋61和外加強筋62有效地加強了設備的強度，使得本實用新型機械傳輸腔體1的強度可靠。 較佳者，所述多級傳輸模塊用腔體1還包括頂蓋控制機構，所述腔體頂蓋控制機構包括支架131、安裝在支架131上的具有手柄的轉輪134、及頂蓋傳動機構133，所述頂蓋傳動機構133與所述支架131樞接，所述支架131通過設置在支架131上的螺釘13a和所述頂部法蘭21上的螺孔21a相配合，將所述支架131固定在所述頂部法蘭21上。工作時，順時針或逆時針地旋轉所述轉輪134，所述轉輪134驅動所述頂蓋傳動機構133繞著所述支架131轉動，從而帶動所述腔體頂蓋13對腔體開口211的關閉或開啟；其中，當所述腔體頂蓋13相對於所述腔體開口 211關閉時，所述腔體頂蓋13上的螺釘13b與所述頂部法蘭21上的螺孔21b相配合，使得所述腔體頂蓋13相對於所述腔體開口 211密封閉合。具體地，所述腔體頂蓋13上具有呈透明狀的觀察窗口 132。可以通過所述觀察窗口 132觀測機械手傳遞產品或半產品的工作狀況。 結合圖1和圖2說明本實用新型多級傳輸模塊用腔體1的工作過程[0032] 所述多級傳輸模塊用腔體1工作時，所述腔體主體11安裝在底座16上，所述螺釘13b與所述螺孔21b相配合，所述腔體頂蓋13相對於所述腔體開口 211密封閉合使得所述機械手活動腔14形成一個密封的空間，位於所述腔體側部15上的多個側部法蘭41分別與相應的生產設備相連，其連接通道411也與上述生產設備相連通，當需要將與一個生產設備中的產品傳輸到與另一個生產設備中時，與上述第一個生產設備相連的側部法蘭41的閘門驅動機構43動作，控制該側部法蘭41內的閘門打開，所述機械手抓持上述產品通過上述連接通道411進入到機械手活動腔14中，並該產品傳輸到與後一個生產設備相連側部法蘭41的連接通道411中，安裝在相應窗口法蘭51上的傳感器53感應到產品進入上述連接通道411，並控制側部法蘭41的閘門驅動裝置43打開位於上述側部法蘭內的閘門，所述產品通過上述側部法蘭41的連接通道411進入到後一個的生產設備中，完成將產品從一個生產設備通過本實用新型多級傳輸模塊用腔體1傳輸到另一個的生產設備的工作。其中，本實用新型機械傳輸腔體1所涉及的機械手包括了機械手夾持部、機械手驅動裝置和機械手轉動軸17，所述機械手夾持部與所述機械手轉動軸17相連接，所述機械手驅動軸17固定安裝在所述支撐環12，且所述機械手驅動軸17具有機械手夾持部的一端密封穿過所述機械手伸入口 311並伸入所述機械手活動腔14內，所述機械手驅動裝置驅動機械手轉動軸17轉動且控制所述機械手夾持部的夾持動作，需要傳輸產品或半產品時，機械手驅動裝置通過控制所述機械手轉動軸17與所述機械手夾持部動作，將產品或半產品從一個側部法蘭41的連接通道411內傳輸到另一個側部法蘭41的連接通道411內。另，由於本實施例中共有七個與生產設備相連的側部法蘭41，因此可以將其中任意一個生產設備中的產品或半產品傳輸到另外六個生產設備中。 本實用新型的機械傳輸腔體1的腔體主體11的側壁上具有若干個與生產設備相連的側部法蘭41，輔助用來傳遞產品和半產品的機械手，實現多臺相連設備之間進行產品和半產品的相互傳遞，節省了多餘的空間和多餘的傳輸設備，具有結構緊湊、內部空間利用率高、可與多臺生產設備相連的優點。另一方面，本實用新型的機械傳輸腔體1的側部法蘭41呈平板狀，可以與多種規格多種功能的生產設備相連接，使得本實用新型機械傳輸腔體1的兼容性好，集多功能設備於一體，實現產品或半產品在多種不同功能的生產設備之間方便快捷的傳遞，具有兼容性強，集多功能設備於一體的優點。因此，本實用新型機械傳輸腔體1有效地節省了傳輸產品和半產品過程中多餘的空間、多餘的傳輸設備和多餘的傳遞時間，具有結構緊湊、內部空間利用率高、密封性好、且能與多臺生產設備相連兼容性好、集多功能設備於一體，能有效縮小整個生產線的佔地面積的優點。 本實用新型的機械傳輸腔體1所涉及的的機械手驅動裝置、門閥驅動裝置及設置在窗口法蘭上的傳感器的工作原理及結構均為本領域普通技術人員根據實際需要所熟知的，在此不再做詳細的說明。當然，本實用新型中與生產設備相連的側部法蘭的數目可以根據生產地需要設置，例如本實用新型實施例中傳輸通道的數量為七個，根據實際需要可以是五個、六個，也可以是八個，九個等等。[0035] 以上所揭露的僅為本實用新型的優選實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權利範圍，因此依本實用新型申請專利範圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的範圍。
權利要求一種機械傳輸腔體，用於為生產設備之間起傳遞產品或半產品的機械手的活動提供密封空間，其特徵在於所述機械傳輸腔體包括腔體頂蓋、腔體主體、支撐環及多個側部法蘭，所述腔體主體呈中空結構，所述中空結構形成機械手活動腔，所述腔體主體上端開設有腔體開口，所述腔體主體下端開設有機械手伸入口，所述支撐環安裝於所述機械手伸入口內，所述機械手密封穿過所述支撐環並伸入所述機械手活動腔，所述腔體頂蓋樞接於所述腔體主體上且密封所述腔體開口，所述側部法蘭呈平板狀且具有連接通道，所述連接通道貫穿所述側部法蘭，所述側部法蘭安裝於所述腔體主體的側壁上，且所述連接通道與所述機械手活動腔連通。
2. 如權利要求l所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述腔體主體包括上封頭、具有所 述腔體開口的頂部法蘭、下封頭、具有所述機械手伸入口的底部法蘭及腔體側部，所述上封 頭套設於所述腔體側部上端的內壁上，所述頂部法蘭套設於所述上封頭的內側，所述下封 頭套設於所述腔體側部下端的內壁上，所述底部法蘭套設於所述下封頭的內側，所述側部 法蘭安裝於所述腔體側部的側壁上。
3. 如權利要求1所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述側部法蘭均勻分布於所述腔 體主體的側壁上。
4. 如權利要求l所述的機械傳輸腔體，其特徵在於還包括閘門裝置，所述閘門裝置包 括閘門、閘門驅動機構及傳感器，所述傳感器安裝於所述腔體主體上並與所述閘門驅動機 構電連接，所述閘門安裝於所述側部法蘭的連接通道內，所述傳感器控制所述驅動機構對 所述閘門進行開啟或關閉。
5. 如權利要求l所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述側部法蘭上還具有連接導管， 所述連接導管一端與所述側部法蘭的連接通道連通，另一端與所述腔體主體的側壁連接且 與所述機械手活動腔連通。
6. 如權利要求5所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述支承環與所述腔體主體的內 壁之間設有內加強筋，所述腔體側部與所述連接導管之間設有外加強筋。
7. 如權利要求1所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述腔體主體的頂部和底部相對 應的位置上分別設有與所述側部法蘭數目相對應的多個窗口法蘭，所述窗口法蘭的頂面呈 透明狀，所述窗口法蘭與所述機械手活動腔連通且位於所述連接通道之前。
8. 如權利要求7所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述窗口法蘭上還具有連接套管， 所述連接套管分別與所述腔體主體的頂部和底部連接且與所述機械手活動腔連通。
9. 如權利要求l所述的機械傳輸腔體，其特徵在於還包括頂蓋控制機構，所述腔體頂 蓋控制機構包括支架、安裝在所述支架上的轉輪和頂蓋傳動機構，所述頂蓋傳動機構與所 述支架樞接，所述支架與所述頂部法蘭固定連接，所述轉輪控制所述頂蓋傳動機構繞所述 支架轉動。
10. 如權利要求l所述的機械傳輸腔體，其特徵在於所述腔體頂蓋上具有呈透明狀的 觀察窗口。
專利摘要本實用新型提供了一種機械傳輸腔體，用於生產設備之間機械手活動用腔體，所述腔體包括腔體頂蓋、腔體主體、支撐環及多個側部法蘭，腔體主體呈中空結構，中空結構形成機械手活動腔，腔體主體上端開設有腔體開口，腔體主體下端開設有機械手伸入口，支撐環安裝於機械手伸入口內，機械手密封穿過支撐環並伸入機械手活動腔，腔體頂蓋樞接於腔體主體上且密封腔體開口，側部法蘭呈平板狀且具有連接通道，連接通道貫穿所述側部法蘭，側部法蘭安裝於腔體主體的側壁上，且連接通道與機械手活動腔連通。本實用新型結構緊湊、內部空間利用率高、密封性好、且能與多臺生產設備相連兼容性好、集多功能設備於一體，能有效縮小整個生產線的佔地面積。
文檔編號B25J19/00GK201446535SQ20092005925
公開日2010年5月5日 申請日期2009年6月26日 優先權日2009年6月26日
發明者楊明生, 王勇, 王曼媛, 範繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司