半導體除塵裝置製造方法

2023-04-23 02:48:56 1

半導體除塵裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導體除塵裝置，包括支架，所述的支架上設有工作檯，所述的工作檯與支架固定連接，所述的工作檯上設有工作圍板，所述的工作圍板與工作檯可拆卸連接，所述的工作圍板上設有吹塵管，所述的吹塵管與工作圍板固定連接，所述的工作檯中心位置設有工作孔，所述的工作孔下方連接有吸塵件，所述的吸塵件上端與工作檯固定連接，所述的吸塵件下端連接有吸塵裝置，所述的吸塵裝置與吸塵件固定連接。本實用新型結構簡單，使用方便，製作成本較低，且體積小，不佔空間，利用本裝置對加工產品表面進行吹掃除塵，從而克服了因吹塵導致塵埃顆粒在無塵車間飄浮而造成工件的二次汙染，有利地保證了加工產品以及無塵車間的潔淨度。
【專利說明】半導體除塵裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電子半導體領域，更具體的說，本實用新型涉及一種半導體除塵 |101|裝直。

【背景技術】
[0002]目前，隨著汽車、移動通訊以及遙控技術等應用的發展以及電子產品的微型化發展趨勢，對於石英晶體元件的頻率穩定度和微功耗方面提出了較高的要求，就石英晶體諧振器產品而言，以前此-4即產品的激勵功率通常在100?500111左右，但隨著產品小型化發展，產品的激勵功率下降到了 0.1?100訓，甚至於1?10抓也有出現。了解石英晶體諧振器產品的人們可能知道，石英晶體諧振器在使用中偶然會出現停振或震蕩不穩定的現象，根據我們長期的分析總結的經驗來看，有很大一部分不良是因為晶體在不同激勵狀態下其頻率、阻抗發生較大變化造成，石英晶體這種隨激勵功率變化而引起的頻率、阻抗變化的特性我們通常稱為激勵電平相關性⑶⑶)。石英晶體諧振器產品在製造過程中諸多不良因素會導致產品在微小激勵或不同激勵狀態下阻抗和頻率特性的惡化，其中最為常見、影響比例最大且最不易可控的就是塵埃顆粒。
[0003]眾所周知，石英晶體諧振器生產需在極其嚴格的無塵車間完成，因為其對於質量的敏感度極高，類似於塵埃、溼氣等都能引起石英晶體諧振器性能的變化，因此如何控制製程的塵埃吸附是行業一個永恆的話題。雖然廣大石英晶體元件生產廠家大多都建造了無塵車間，員工進入振子加工車間均需更換連體淨化工作服和除塵工序，但是在製程中由於設備、工裝以及操作人員等方面的多種因素還是會導致各種塵埃的產生，這些塵埃一旦在粘附到石英晶片上不及時去除的話就可能導致產品的阻抗特性變差以及產品在不同激勵狀態下頻率、阻抗特性變化大的問題，這種不良產品在應用時會出現工作不穩定或不能正常工作的問題，這個問題是石英晶體諧振器產品應用中非常普遍的問題，也是較難解決的問題。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在於解決現有上述的問題，提供了一種半導體除塵裝置。
[0005]為實現以上目的，本實用新型的技術方案是一種半導體除塵裝置，包括支架，其特徵是，所述的支架上設有工作檯，所述的工作檯與支架固定連接，所述的工作檯上設有工作圍板，所述的工作圍板與工作檯可拆卸連接，所述的工作圍板上設有吹塵管，所述的吹塵管與工作圍板固定連接，所述的工作檯中心位置設有工作孔，所述的工作孔下方連接有吸塵件，所述的吸塵件上端與工作檯固定連接，所述的吸塵件下端連接有吸塵裝置，所述的吸塵裝置與吸塵件固定連接。圍板將加工產品密封，防止外部灰塵落如，吹塵管將加工產品表面的灰塵吹走，灰塵落到吸塵件內，通過吸塵裝置將灰塵吸走，從而克服了因吹塵導致塵埃顆粒在無塵車間飄浮而造成工件的二次汙染，有利地保證了加工產品以及無塵車間的潔淨度。
[0006]作為優選，所述的工作孔上方設有工作網，所述的工作網與工作檯固定連接。工作網方便灰塵落入吸塵件，從而方便吸塵裝置將灰塵吸走。
[0007]作為優選，所述的工作網周邊設有壓條，所述的壓條與工作網焊接固定，所述的壓條與工作檯固定連接。壓條用於固定工作網，工作網還起到承載加工產品的作用。
[0008]作為優選，所述的壓條上設有螺釘孔，所述的壓條通過壓條螺釘與工作檯螺紋連接。壓條螺釘通過螺釘孔將壓條固定在工作檯上，方便拆卸維修或更換工作網。
[0009]作為優選，所述的吸塵件包括吸塵接口和吸塵漏鬥，所述的吸塵接口與吸塵漏鬥焊接固定。吸塵接口用於連接吸塵裝置，吸塵漏鬥用於承接加工產品表面的灰塵，方便吸塵裝置吸走灰塵。
[0010]作為優選，所述的吸塵裝置為吸塵器。
[0011]本實用新型具有以下有益效果:結構簡單，使用方便，製作成本較低，且體積小，不佔空間，可在各需要的工序中進行安裝，利用本裝置對加工產品表面進行吹掃除塵，從而克服了因吹塵導致塵埃顆粒在無塵車間飄浮而造成工件的二次汙染，有利地保證了加工產品以及無塵車間的潔淨度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的一種結構示意圖。
[0013]1、支架，2、工作檯，3、工作圍板，4、吹塵管，5、螺釘孔；6、壓條螺釘，7、工作網；8、壓條；9、吸塵件；10、吸塵裝置，11、吸塵漏鬥，12、吸塵接口，13、工作孔。

【具體實施方式】
[0014]下面結合具體實施例，並結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步的說明:
[0015]實施例:半導體除塵裝置(見附圖1、2?，包括支架1，所述的支架1上設有工作檯2，所述的工作檯2與支架1固定連接，所述的工作檯2上設有工作圍板3，所述的工作圍板3與工作檯2可拆卸連接，所述的工作圍板3上設有吹塵管4，所述的吹塵管4與工作圍板3固定連接，所述的工作檯2中心位置設有工作孔13，所述的工作孔13下方連接有吸塵件9，所述的吸塵件9上端與工作檯2固定連接，所述的吸塵件9下端連接有吸塵裝置10，所述的吸塵裝置10與吸塵件9固定連接，所述的工作孔13上方設有工作網7，所述的工作網7與工作檯2固定連接，所述的工作網7周邊設有壓條8，所述的壓條8與工作網7焊接固定，所述的壓條8與工作檯2固定連接，所述的壓條8上設有螺釘孔5，所述的壓條8通過壓條螺釘6與工作檯2螺紋連接，所述的吸塵件9包括吸塵接口 12和吸塵漏鬥11，所述的吸塵接口 12與吸塵漏鬥11焊接固定，所述的吸塵裝置10為吸塵器。
[0016]使用時，從吹塵管吹入氮氣，利用高壓氮氣對加工產品表面進行吹掃，吹落的灰塵通過工作網落入吸塵漏鬥內，吸塵器通過吸塵接口將灰塵吸走，完成對半導體加工產品的除塵工序，即可對下一個加工產品進行除塵，本實用新型結構簡單，使用方便，製作成本較低，且體積小，不佔空間，可在各需要的工序中進行安裝，利用本裝置對加工產品表面進行吹掃除塵，從而克服了因吹塵導致塵埃顆粒在無塵車間飄浮而造成工件的二次汙染，有利地保證了加工產品以及無塵車間的潔淨度。
[0017]上述【具體實施方式】用來解釋說明本實用新型，而不是對本實用新型進行限制，在本實用新型的精神和權利要求的保護範圍內，對本實用新型做出的任何修改和改變，都落入本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種半導體除塵裝置，包括支架，其特徵是，所述的支架上設有工作檯，所述的工作檯與支架固定連接，所述的工作檯上設有工作圍板，所述的工作圍板與工作檯可拆卸連接，所述的工作圍板上設有吹塵管，所述的吹塵管與工作圍板固定連接，所述的工作檯中心位置設有工作孔，所述的工作孔下方連接有吸塵件，所述的吸塵件上端與工作檯固定連接，所述的吸塵件下端連接有吸塵裝置，所述的吸塵裝置與吸塵件固定連接。
2.根據權利要求1所述的半導體除塵裝置，其特徵是，所述的工作孔上方設有工作網，所述的工作網與工作檯固定連接。
3.根據權利要求2所述的半導體除塵裝置，其特徵是，所述的工作網周邊設有壓條，所述的壓條與工作網焊接固定，所述的壓條與工作檯固定連接。
4.根據權利要求3所述的半導體除塵裝置，其特徵是，所述的壓條上設有螺釘孔，所述的壓條通過壓條螺釘與工作檯螺紋連接。
5.根據權利要求1或2或3或4所述的半導體除塵裝置，其特徵是，所述的吸塵件包括吸塵接口和吸塵漏鬥，所述的吸塵接口與吸塵漏鬥焊接固定。
6.根據權利要求1或2或3或4所述的半導體除塵裝置，其特徵是，所述的吸塵裝置為吸塵器。
【文檔編號】B08B15/02GK204122436SQ201420522292
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年9月12日 優先權日:2014年9月12日
【發明者】馬劍鋒 申請人:舟山潤達電子有限公司