新四季網

用於形成著色層的放射線敏感性組合物和濾色器的製作方法

2023-04-22 19:18:46 1

專利名稱:用於形成著色層的放射線敏感性組合物和濾色器的製作方法
技術領域:
本發明涉及用於形成著色層的放射線敏感性組合物、濾色器的形成方法、濾色器和彩色液晶顯示面板。更詳細的是涉及作為在用於透射型或反射型的彩色液晶顯示裝置、彩色攝象管元件等的濾色器的製造中有用的著色層的像素和/或黑底形成用的放射線敏感性組合物、使用該放射線敏感性組合物的濾色器的形成方法、具有由該放射線敏感性組合物形成的著色層的濾色器和具有該濾色器的彩色液晶顯示面板。
背景技術:
目前,在使用用於形成著色層的放射線敏感性組合物製備濾色器時,獲得各種顏色像素的方法通常是在襯底上或者預先形成所需圖案的遮光層的襯底上形成用於形成著色層的放射線敏感性組合物的塗膜,通過具有所需圖案形狀的光掩模照射放射線後,顯影並溶解除去未曝光的部分,然後使用クリ一ンオ一ブン和加熱板進行熱處理(參照特開平2-144502號公報和特開平3-53201號公報)。通過這樣的方法製造濾色器時,一般通過旋塗方式在襯底上塗布用於形成著色層的放射線敏感性組合物,但是隨著襯底的大型化,塗布方式正在向狹縫-旋轉方式、非旋轉方式等使用狹縫噴嘴的方式改變。
但是,對於狹縫-旋轉方式、非旋轉方式,因為使用狹縫噴嘴進行塗布,由此產生塗布性、產率的問題。即,無法避免用於形成著色層的放射線敏感性組合物對狹縫噴嘴的汙染,因此必須進行狹縫噴嘴的洗滌工序。該洗滌工序中通常使用用於形成著色層的放射線敏感性組合物的主溶劑洗滌狹縫噴嘴,但如果其對主溶劑的溶解性低的話,則在噴嘴部分殘留的用於形成著色層的放射線敏感性組合物成為凸起而殘留,會產生如下問題在襯底上塗布用於形成著色層的放射線敏感性組合物時相對於噴嘴的行進方向產生條紋的問題;用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物落下並附著在襯底上,形成缺陷而使產率降低的問題。因此,用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物對溶劑的再溶解性變得重要。
另一方面,通過在用於形成著色層的放射線敏感性組合物中並用高沸點溶劑可以抑制乾燥物的產生,但是難以充分蒸發,會由於產生粘附、加熱時間變長而引起產率降低。並且,由於高沸點溶劑種類的選擇、添加量不同,在塗布用於形成著色層的放射線敏感性組合物後的加熱工序中,溶劑蒸發時組合物中含有的微小氣泡顯露在塗膜表面,還有在乾燥後直接以焰口狀缺陷(以下稱為「暴沸孔」)殘留的問題。

發明內容
本發明的目的在於解決上述問題,提供用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其在狹縫噴嘴部分上產生的用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物的溶劑再溶解性高,且沒有暴沸孔。
本發明的其它目的在於提供由上述用於形成著色層的放射線敏感性組合物製造濾色器的方法,還提供該濾色器和具備該濾色器的液晶顯示元件。
本發明的其它目的和優點由以下說明闡明。
本發明人為了解決上述課題而刻苦研究,結果發現作為用於形成著色層的放射線敏感性組合物中使用的溶劑,使用以雙丙甘醇甲基醚乙酸酯為必須成分的溶劑,由此顯著改善用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物的溶劑再溶解性,而且可以抑制暴沸孔的發生,從而完成了本發明。
根據本發明,本發明的上述目的和優點的第一方面通過放射線敏感性組合物實現,所述放射線敏感性組合物的特徵在於含有(A)著色劑、(B)鹼溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發劑和(E)含有3~8.5重量%的雙丙甘醇甲基醚乙酸酯的溶劑,且其用於形成著色層。
本發明所稱的「著色層」是指包括用於濾色器的像素和/或黑底的層。
根據本發明,本發明的上述目的和優點的第二方面通過濾色器的形成方法實現,該方法的特徵在於至少包含下述(1)~(4)的工序(1)在襯底上形成上述用於形成著色層的放射線敏感性組合物塗膜的工序;(2)將上述塗膜的至少一部分曝光的工序;
(3)使曝光後的塗膜顯影的工序;(4)熱處理顯影后的塗膜的工序。
本發明的上述目的和優點的第三方面通過具有由上述用於形成著色層的放射線敏感性組合物形成的著色層的濾色器實現。
根據本發明,本發明的上述目的和優點的第四方面通過具有上述濾色器而成的彩色液晶顯示面板實現。
下面詳細說明本發明。
用於形成著色層的放射線敏感性組合物-(A)著色劑-本發明的著色劑其色調沒有特別限制,可以根據所得濾色器的用途適當選擇,可以是顏料、染料或天然色素。
濾色器要求高純度、高透射性的顯色和耐熱性,因此作為本發明的著色劑,優選顯色性高且耐熱分解性高的著色劑。優選有機顏料和無機顏料,特別優選使用有機顏料和炭黑。
作為上述有機顏料,例如是在カラ一インデツクス(染料索引)(C.I.;The Society of Dyers and Colourists公司發行)中的顏料(pigment)分類的化合物,具體來說可列舉下述染料索引(C.I.)編號的化合物。
C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃128、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃150、C.I.顏料黃151、C.I.顏料黃152、C.I.顏料黃153、C.I.顏料黃154、C.I.顏料黃155、C.I.顏料黃156、C.I.顏料黃166、C.I.顏料黃168、C.I.顏料黃175、C.I.顏料黃185;C.I.顏料紫19、C.I.顏料紫23、C.I.顏料紫29、C.I.顏料紫32、C.I.顏料紫36、C.I.顏料紫38;C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅202、C.I.顏料紅206、C.I.顏料紅207、C.I.顏料紅208、C.I.顏料紅209、C.I.顏料紅215、C.I.顏料紅216、C.I.顏料紅220、C.I.顏料紅224、C.I.顏料紅226、C.I.顏料紅242、C.I.顏料紅243、C.I.顏料紅245、C.I.顏料紅254、C.I.顏料紅255、C.I.顏料紅264、C.I.顏料紅265;C.I.顏料藍15、C.I.顏料藍153、C.I.顏料藍154、C.I.顏料藍156、C.I.顏料藍60;C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36;
C.I.顏料黑1、C.I.顏料黑7。
上述有機顏料可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
並且,上述有機顏料可以通過例如硫酸重結晶法、溶劑洗滌法或它們的組合精製後使用。
並且,作為無機顏料可列舉例如氧化鈦、硫酸鋇、碳酸鈣、鋅白、硫酸鉛、鉛黃、鋅黃、氧化鐵紅(紅色氧化鐵(III))、鎘紅、群青、普魯士藍、氧化鉻綠、鈷綠、棕土、鈦黑、氧化鐵黑(合成鉄黒)、炭黑等。
這些無機顏料可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
在將本發明的用於形成著色層的放射線敏感性組合物用於形成像素時,優選使用1種或以上的有機顏料作為著色劑,此外,在用於形成黑底時,優選使用2種或以上的有機顏料、炭黑,或它們的組合作為著色劑。
作為用於形成黑底的炭黑可列舉例如SAF、SAF-HS、ISAF、ISAF-LS、ISAF-HS、HAF、HAF-LS、HAF-HS、NAF、FEF、FEF-HS、SRF、SRF-LM、SRF-LS、GPF、ECF、N-339、N-351等爐墨;FT、MT等熱裂炭黑;乙炔黑等。
這些炭黑可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
在本發明中,上述各種顏料可以根據需要將其粒子表面用聚合物改性使用。作為改性顏料粒子表面的聚合物,可列舉例如特開平8-259876號公報等中所述的聚合物、市售的各種顏料分散用聚合物或低聚物等。
並且,本發明的著色劑可根據需要和分散劑一起使用。
作為上述分散劑、可列舉例如陽離子型、陰離子型、非離子型、兩性、矽氧烷類、氟類等表面活性劑。
作為上述表面活性劑的具體例子,可列舉聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚;聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基苯基醚;聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二醇二酯;脫水山梨糖醇脂肪酸酯;脂肪酸改性聚酯;叔胺改性聚氨酯;聚乙烯亞胺類等,此外還有以下面商品名表示的KP(信越化學工業(株)製造)、ポリフロ-(共榮化學(株)製造)、エフトツプ(ト-ケムプロダクツ(株)製造)、メガファツク(大日本インキ化學工業(株)製造)、フロラ-ド(住友スリ-エム(株)製造)、ァサヒガ-ド、サ-フロン(以上由旭硝子(株)製造)、Disperbyk-101、Disperbyk-103、Disperbyk-107、Disperbyk-110、Disperbyk-111、Disperbyk-115、Disperbyk-130、Disperbyk-160、Disperbyk-161、Disperbyk-162、Disperbyk-163、Disperbyk-164、Disperbyk-165、Disperbyk-166、Disperbyk-170、Disperbyk-180、Disperbyk-182、Disperbyk-2000、Disperbyk-2001(以上由ビツクケミ-·ヅヤパン(株)製造)、ソルスパ-スS5000、ソルスパ-スS12000、ソルスパ-スS13240、ソルスパ-スS13940、ソルスパ-スS17000、ソルスパ-スS20000、ソルスパ-スS22000、ソルスパ-スS24000、ソルスパ-スS24000GR、ソルスパ-スS26000、ソルスパ-スS27000、ソルスパ-スS28000(以上由ァビシァ(株)製造)、EFKA46、EFKA47、EFKA48、EFKA745、EFKA4540、EFKA4550、EFKA6750、EFKA LP4008、EFKA LP4009、EFKALP4010、EFKA LP4015、EFKA LP4050、EFKA LP4055、EFKALP4560、EFKA LP4800、EFKA Polymer400、EFKA Polymer401、EFKAPolymer402、EFKA Polymer403、EFKA Polymer450、EFKAPolymer451、EFKA Polymer453(以上由エフカケミカルズ(株)製造)等。
這些表面活性劑可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
相對於100重量份著色劑,表面活性劑的用量優選為50重量份或以下,更優選為0~30重量份。
本發明中,用於形成著色層的放射線敏感性組合物可以利用適當的方法製備。作為著色劑使用顏料時,例如優選如下製備在溶劑中,分散劑的存在下,例如使用珠磨機、輥磨機等,將顏料、根據情況的鹼溶性樹脂同時粉碎、混合、分散,製成顏料分散液,將其與後述的(B)~(E)成分混合而製備。
製備顏料分散液時分散劑的用量,相對於顏料100重量份,優選100重量份或以下,更優選0.5~100重量份,進一步優選1~70重量份,特別優選10~50重量份。分散劑的用量超過100重量份時,會有有損於顯影性的可能。
另外,製備顏料分散液時使用的溶劑,例如可以舉出與後述的(E)成分中列舉的溶劑相同的,製備顏料分散液時使用的溶劑可以與添加到顏料分散液中的溶劑相同,也可以不同。
製備顏料分散液時溶劑的用量,相對於顏料100重量份,優選500~1,000重量份,更優選700~900重量份。
製備顏料分散液時使用的鹼溶性樹脂也可以與(B)成分相同,也可以不同。
製備顏料分散液時,使用珠磨機進行製備時,例如,使用直徑0.5~10mm左右的玻璃珠、氧化鈦珠等,可將含有顏料、溶劑和分散劑的顏料混合液優選用冷卻水等冷卻同時進行處理來實施。
此時,珠的填充率優選磨容量的50~80vol%。顏料混合液的注入量優選磨容量的20~50vol%左右。處理時間優選2~50小時,更優選2~25小時。
使用輥磨機進行製備時,例如使用三輥磨、雙輥磨等,可將含有顏料混合液用冷卻水等冷卻同時進行處理來實施。
此時,輥間隔優選10μm或以下,剪切力優選108dyn/秒左右。處理時間優選2~50小時,更優選2~25小時。
-(B)鹼溶性樹脂-本發明中的鹼溶性樹脂對(A)著色劑起粘合劑作用,且在製造濾色器時,對在其顯影處理工序中使用的顯影液、特別優選對鹼性顯影液具有可溶性的樹脂。例如可以列舉具有羧基、酚羥基、磺酸等酸性官能團的聚合性不飽和單體和其它可共聚的不飽和單體(以下稱為「共聚性不飽和單體」)的共聚物。
作為具有羧基的聚合性不飽和單體(以下稱為「含有羧基的不飽和單體」。),可以列舉例如(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等不飽和單羧酸;馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、檸康酸酐、中康酸等不飽和二羧酸或其酸酐;3元或以上的不飽和多元羧酸或其酸酐;琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯等2元或以上的多元羧酸的單[(甲基)丙烯醯氧基烷基]酯;ω-羧基聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯等兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(甲基)丙烯酸酯等。
這些含有羧基的不飽和單體中,特別優選(甲基)丙烯酸、琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯、ω-羧基聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯等。
上述含有羧基的不飽和單體可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
作為具有酚羥基的聚合性不飽和單體,可列舉例如鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對羥基苯乙烯、鄰羥基-α-甲基苯乙烯、間羥基-α-甲基苯乙烯、對羥基-α-甲基苯乙烯、N-鄰羥基苯基馬來醯亞胺、N-間羥基苯基馬來醯亞胺、N-對羥基苯基馬來醯亞胺等。
這些具有酚羥基的聚合性不飽和單體可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
作為具有磺酸基的聚合性不飽和單體,可列舉例如異戊二烯磺酸、對苯乙烯磺酸等。
這些具有磺酸基的聚合性不飽和單體可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
作為共聚性不飽和單體,可列舉有例如聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚矽氧烷等在聚合物分子鏈末端上具有單(甲基)丙烯醯基的大分子單體(以下僅稱為「大分子單體」。)N-苯基馬來醯亞胺、N-鄰羥基苯基馬來醯亞胺、N-間羥基苯基馬來醯亞胺、N-對羥基苯基馬來醯亞胺、N-鄰甲基苯基馬來醯亞胺、N-間甲基苯基馬來醯亞胺、N-對甲基苯基馬來醯亞胺、N-鄰甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-間甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-對甲氧基苯基馬來醯亞胺等N-(取代)芳基馬來醯亞胺,N-環己基馬來醯亞胺等N-位取代馬來醯亞胺;苯乙烯、α-甲基苯乙烯、鄰乙烯基甲苯、間乙烯基甲苯、對乙烯基甲苯、對氯苯乙烯、鄰甲氧基苯乙烯、間甲氧基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、鄰乙烯基苄基甲基醚、間乙烯基苄基甲基醚、對乙烯基苄基甲基醚、鄰乙烯基苄基縮水甘油基醚、間乙烯基苄基縮水甘油基醚、對乙烯基苄基縮水甘油基醚等芳香族乙烯基化合物;茚、1-甲基茚等茚;(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基雙丙甘醇酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸聯環戊二烯酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯等不飽和羧酸酯;(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不飽和羧酸氨基烷基酯;(甲基)丙烯酸縮水甘油基酯等不飽和羧酸縮水甘油酯;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯;乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基縮水甘油基醚等不飽和醚;(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、亞乙基二氰等丙烯腈化合物;(甲基)丙烯醯胺、α-氯丙烯醯胺、N-2-羥基乙基(甲基)丙烯醯胺等不飽和醯胺;1,3-丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共軛二烯等。
這些共聚性不飽和單體中,優選大分子單體、N-位取代馬來醯亞胺、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯等。並且,在大分子單體中特別優選聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體,在N-位取代馬來醯亞胺中特別優選N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺。
上述共聚性不飽和單體可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
作為本發明優選的鹼溶性樹脂,可以列舉含有羧基的不飽和單體和共聚性不飽和單體的共聚物(下面只稱為「含有羧基的共聚物「)。
作為含有羧基的共聚物,優選含有(a)含有羧基的不飽和單體,和(b)選自聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體、N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸苄基酯和甘油(甲基)丙烯酸酯的至少一種,根據情況還含有(c)選自苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯中至少一種的單體混合物的共聚物(下面稱為「含有羧基的共聚物(I)」),特別優選含有(a)以(甲基)丙烯酸為必要成分,根據情況還含有琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯和/或ω-羧基聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯的含有羧基的不飽和單體,和(b)選自聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體、N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸苄基酯和甘油(甲基)丙烯酸酯的至少一種,根據情況還含有(c)選自苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯的至少一種的單體的混合物的共聚物(以下稱為「含有羧基的共聚物(II))」。
含有羧基的共聚物(II)的具體例子,可列舉(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸/N-環己基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-環己基馬來醯亞胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-環己基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-環己基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物等。
含有羧基的共聚物中含有羧基的不飽和單體的共聚比例優選為5~50重量%,更優選為10~40重量%。如果含有羧基的不飽和單體的共聚比例小於5重量%,則得到的用於形成著色層的放射線敏感性組合物對鹼性顯影劑的溶解性有降低的傾向,另一方面,如果超過50重量%,則對鹼性顯影劑的溶解性變得過大,在用鹼性顯影劑顯影時,存在容易引起著色層從襯底脫落、著色層表面的膜粗糙的傾向。
本發明的鹼溶性樹脂用凝膠滲透色譜法(GPC,洗脫溶劑四氫呋喃)測定的聚苯乙烯換算的重均分子量(以下稱為「Mw」)優選為3,000~300,000,更優選為3,000~100,000。
另外,本發明的鹼溶性樹脂用凝膠滲透色譜法(GPC,洗脫溶劑四氫呋喃)測定的聚苯乙烯換算的數均分子量(以下稱為「Mn」)優選為3,000~60,000,更優選為3,000~25,000。
並且,本發明的鹼溶性樹脂的Mw與Mn之比(Mw/Mn)優選為1~5,更優選為1~4。
通過使用具有這樣特定Mw或Mn的鹼溶性樹脂,可以獲得顯影性優良的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,由此可以形成具有清晰圖案邊緣的著色層,同時顯影時在未曝光部分的襯底上和遮光層上很難產生殘渣、浮垢(地汚れ)、膜殘留等。
在本發明中,鹼溶性樹脂可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
相對於100重量份(A)著色劑,本發明的鹼溶性樹脂的用量優選為10~1,000重量份,更優選為20~500重量份。鹼溶性樹脂的用量小於10重量份的話,有例如鹼顯影性降低、未曝光部分的襯底上或遮光層上產生浮垢、膜殘留的可能性,另一方面,如果超過1,000重量份,則由於相對著色劑濃度降低,有時難以實現薄膜的目標色濃度。
-(C)多官能性單體-本發明的多官能性單體是分子內具有2個或以上聚合性不飽和鍵的單體。
作為多官能性單體,可以列舉例如乙二醇、丙二醇等亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯;聚乙二醇、聚丙二醇等聚亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯;甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元或以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯、它們的二羧酸改性物;聚酯、環氧樹脂、聚氨酯樹脂、醇酸樹脂、有機矽樹脂、螺環樹脂等的低聚(甲基)丙烯酸酯;兩末端羥基聚-1,3-丁二烯、兩末端羥基聚異戊二烯、兩末端羥基聚己內酯等兩末端羥基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯、三[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]磷酸酯等。
在這些多官能性單體中,優選3元或以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯、它們的二羧酸改性物,具體來說,優選三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。其中出於著色層強度高、著色層表面的平滑性優良、且在未曝光部分的襯底上和遮光層上難以產生浮垢、膜殘留等考慮,特別優選三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。
這些多官能性單體可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
相對於100重量份(B)鹼溶性樹脂,本發明中多官能性單體的用量優選為5~500重量份,更優選為20~300重量份。此時,多官能性單體用量小於5重量份的話,著色層的強度、表面平滑性有降低的傾向,另一方面,如果超過500重量份,會有例如鹼顯影性降低,或者容易在未曝光部分的襯底上或遮光層上產生浮垢、膜殘留等的傾向。
本發明中除了多官能性單體以外,還可以並用分子內具有1個聚合性不飽和鍵的單官能性單體。
作為上述單官能性單體可以列舉例如上述(B)鹼溶性樹脂中舉出的含有羧基的不飽和單體、共聚性不飽和單體或N-乙烯基琥珀醯亞胺、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基苯鄰二甲醯亞胺、N-乙烯基-2-哌啶酮、N-乙烯基-ε-己內醯胺、N-乙烯基吡咯、N-乙烯基吡咯烷、N-乙烯基咪唑、N-乙烯基咪唑啉、N-乙烯基吲哚、N-乙烯基二氫吲哚、N-乙烯基苯並咪唑、N-乙烯基咔唑、N-乙烯基哌啶、N-乙烯基哌嗪、N-乙烯基嗎啉、N-乙烯基吩嗪等N-乙烯基衍生物;N-(甲基)丙烯醯基嗎啉,此外還有市售的商品名為M-5300、M-5400、M-5600(以上由東亞合成(株)製造)等。
這些單官能性單體可以單獨使用或將2種或以上混合使用。相對於多官能性單體和單官能性單體合計重量,單官能性單體的使用比例優選為90重量%或以下,更優選為50重量%或以下。如果單官能性單體的使用比例超過90重量%,則著色層的強度、表面平滑性有降低的傾向。
-(D)光聚合引發劑-本發明的光聚合引發劑是可以通過可見光、紫外線、遠紫外線、電子射線、X射線等曝光產生可引發上述(C)多官能性單體和根據情況使用的單官能性單體聚合的活性種的化合物。
作為這樣的光聚合引發劑,例如可列舉苯乙酮化合物、聯二咪唑化合物、三嗪化合物、苯偶姻化合物、二苯甲酮化合物、α-二酮化合物、多核醌(多核キノン)化合物、呫噸酮化合物、重氮化合物等。
本發明中,光聚合引發劑可以單獨使用或將2種或以上混合使用,作為本發明的光聚合引發劑,優選使用選自苯乙酮化合物、聯二咪唑化合物和三嗪化合物中的至少一種。
相對於100重量份(C)多官能性單體或它與單官能性單體的總量,本發明的光聚合引發劑的用量優選為0.01~80重量份,更優選為1~60重量份。這時,光聚合引發劑的用量如小於0.01重量份,則利用曝光的固化變得不充分,有獲得著色層圖案按規定排列配置的濾色器變得困難的可能性,另一方面,如果超過80重量份,會有形成的著色層在顯影時容易從襯底脫落的傾向。
在本發明的優選光聚合引發劑中,作為苯乙酮化合物的具體例子可列舉2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、1-羥基環己基·苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲醯肟)等。
在這些苯乙酮化合物中,優選2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲醯肟)等。
上述苯乙酮化合物可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
本發明中,相對於100重量份(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量,使用苯乙酮化合物作為光聚合引發劑時的用量優選為0.01~80重量份,更優選為1~60重量份,進一步優選為1~30重量份。苯乙酮化合物的用量如小於0.01重量份,則利用曝光的固化變得不充分,有獲得著色層圖案按規定排列配置的濾色器變得困難的傾向,另一方面,如果超過80重量份,會有形成的著色層在顯影時容易從襯底脫落的傾向。
作為上述聯二咪唑化合物的具體例子,可列舉有2,2』-雙(2-氯苯基)-4,4』,5,5』-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2-溴苯基)-4,4』,5,5』-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2-氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4-二氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2-溴苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4-二溴苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4,6-三溴苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』聯二咪唑等。
在這些聯二咪唑化合物中,優選2,2』-雙(2-氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4-二氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑等,特別優選2,2』-雙(2,4-二氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑。
上述聯二咪唑化合物對溶劑的溶解性優良,不會產生未溶解物、析出物等異物,且敏感度高,在少量能量的曝光下就可以充分進行固化反應,同時對比度高,未曝光部分不會發生固化反應,因此曝光後的塗膜可以明確區分對顯影液不溶的固化部分和對顯影液具有高溶解性的未固化部分,因此可以形成沒有側壁腐蝕(ァンダ一カツト)的著色層圖案按照規定排列酏置的高精細濾色器。上述聯二咪唑化合物可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
本發明中,相對於100重量份的(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量,使用聯二咪唑化合物作為光聚合引發劑時的用量優選為0.01~40重量份,更優選為1~30重量份,進一步優選為1~20重量份。如聯二咪唑化合物的用量小於0.01重量份,則由於曝光引起的固化變得不充分,有獲得著色層圖案按規定排列配置的濾色器變得困難的可能性,另一方面,如果超過40重量份,則會有在顯影時形成的著色層從襯底脫落、容易引起著色層表面的膜粗糙的傾向。
本發明中,使用聯二咪唑化合物作為光聚合引發劑時,從進一步改善敏感度來考慮,優選與下述的氫供體並用。
這裡所稱的「氫供體」是指可向由曝光從聯二咪唑化合物產生的自由基提供氫原子的化合物。
作為本發明中的氫供體,優選下述定義的硫醇系化合物、胺系化合物。
上述硫醇系化合物包括以苯環或雜環作為母核,具有1個或以上、優選1~3個,更優選1~2個直接鍵合到該母核上的巰基的化合物(以下稱為「硫醇系氫供體」)。
上述胺系化合物包括以苯環或雜環作為母核,具有1個或以上、優選1~3個,更優選1~2個直接鍵合到該母核上的氨基的化合物(以下稱為「胺系氫供體」)。
另外,這些氫供體可以同時具有巰基和氨基。
以下更具體地說明這些氫供體。
硫醇系氫供體可以分別具有1個或以上苯環或雜環,還可以同時具有苯環和雜環二者。具有2個或以上這些環時,可以形成稠合環,也可以不形成稠合環。
硫醇系氫供體在具有2個或以上巰基時,只要殘留有至少1個游離的巰基,殘留巰基的1個或以上即可以被烷基、芳烷基或芳基取代。進而只要殘留有至少1個游離巰基,可以具有通過亞烷基等2價有機基團鍵合2個硫原子的結構單元、或者2個硫原子以二硫化物的形態鍵合的結構單元。
進而,硫醇系氫供體在巰基以外的位置可以被羧基、(取代)烷氧基羰基、(取代)苯氧基羰基、腈基等取代。
作為這樣的硫醇系氫供體的具體例子,可列舉2-巰基苯並噻唑、2-巰基苯並唑、2-巰基苯並咪唑、2,5-二巰基-1,3,4-噻二唑、2-巰基-2,5-二甲基氨基吡啶等。
這些硫醇系氫供體中,優選2-巰基苯並噻唑、2-巰基苯並唑等,特別優選2-巰基苯並噻唑。
胺系氫供體在分子內可以分別具有1個或以上苯環或雜環,還可以同時具有苯環和雜環二者。具有2個或以上這些環時,可以形成稠合環,也可以不形成稠合環。
並且,胺系氫供體可以用烷基或取代烷基取代1個或以上氨基,並且氨基以外的位置也可以被羧基、(取代)烷氧基羰基、(取代)苯氧基羰基、腈基等取代。
作為這樣的胺系氫供體的具體例子,可列舉有4,4』-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯基氰等。
在這些胺系氫供體中,優選4,4』-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等,特別優選4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。
另外,即使是在聯二咪唑化合物以外的光聚合引發劑的情況下,胺系氫供體也具有敏化劑的作用。
在本發明中,氫供體可以單獨使用或將2種或以上混合使用,但是由於高敏感度、形成的著色層在顯影時難以從襯底上脫落以及著色層強度也高,優選將1種或以上的硫醇系氫供體與1種或以上的胺系氫供體組合使用。
作為優選的硫醇系氫供體與胺系氫供體組合的具體例子,可列舉2-巰基苯並噻唑/4,4』-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯並噻唑/4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯並唑/4,4』-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯並唑/4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等。更優選的組合有2-巰基苯並噻唑/4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯並唑/4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等,特別優選的組合為2-巰基苯並噻唑/4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。
在硫醇系氫供體與胺系氫供體的組合中,硫醇系氫供體與胺系氫供體的重量比優選為1∶1~1∶4,更優選為1∶1~1∶3。
在本發明中,相對於100重量份的(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量,氫供體與聯二咪唑化合物並用時的用量優選為0.01~40重量份,更優選為1~30重量份,特別優選1~20重量份。如氫供體的用量小於0.01重量份,則會有敏感度改良效果降低的傾向,另一方面,如果超過40重量份,則會有形成的著色層在顯影時容易從襯底脫落的傾向。
作為上述三嗪化合物的具體例子,可列舉2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪等具有滷代甲基的三嗪化合物。
在這些三嗪化合物中,特別優選2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪。
上述三嗪化合物可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
在本發明中,相對於100重量份的(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量,使用三嗪化合物作為光聚合引發劑時的用量優選為0.01~40重量份,更優選為1~30重量份,特別優選為1~20重量份。如三嗪化合物的用量小於0.01重量份,則由於曝光引起的固化變得不充分,有可能難以獲得著色層圖案按規定排列配置的濾色器,另一方面,如果超過40重量份,則會有在顯影時形成的著色層容易從襯底脫落的傾向。
-(E)溶劑-
本發明的溶劑是混合溶劑,是以雙丙甘醇甲基醚乙酸酯為必須成分的溶劑。
溶劑中的雙丙甘醇甲基醚乙酸酯的含量比例為3~8.5重量%,優選為3~7.5重量%,特別優選為3~7重量%。如雙丙甘醇甲基醚乙酸酯的含量比例小於3重量%,則用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物、暴沸孔等的抑制效果有可能降低,另一方面,如果超過8.5重量%,則有溶劑溶解力降低、析出不溶物的可能性。
本發明中的溶劑可以含有除雙丙甘醇甲基醚乙酸酯之外的溶劑(下面稱為「其他溶劑」)91.5~97重量%,優選92.5~97重量%,特別優選93~97重量%。
作為其他溶劑,只要是分散或溶解構成用於形成著色層的放射線敏感性組合物的上述(A)~(D)成分、添加劑成分,且和這些成分不反應,具有適度的揮發性的溶劑,即可適宜選擇使用,優選沸點小於150℃,更優選為130℃或以上、小於150℃的溶劑(下面稱為「低沸點溶劑」)。本發明中所稱的「沸點」是指在1個大氣壓下的值。
作為低沸點溶劑的具體例子,可列舉丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、2-庚酮、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸異戊酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丙酮酸乙酯等。
在這些低沸點溶劑中,優選丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、2-庚酮、乙酸異戊酯、丙酮酸乙酯等,特別優選丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯。
上述低沸點溶劑可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
混合溶劑(E)中低沸點溶劑的含量比例優選為30~70重量%,更優選為50~70重量%,特別優選為50~65重量%。如果低沸點溶劑的含量比例小於30重量%,則有可能由於產生粘附、加熱時間變長而引起產率降低,另一方面,如果超過70重量%,則用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物抑制效果有可能會變得不充分。
在本發明中,作為其他溶劑,混合溶劑(E)還可為優選含有沸點在150℃或以上、小於180℃的溶劑,更優選列舉155或以上、小於180℃的溶劑(以下稱為「中沸點溶劑」)。
作為中沸點溶劑的具體例子,可列舉乙二醇單正丁醚、乙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、環己酮、3-乙氧基丙酸乙酯、丁酸正丁酯、乙醯乙酸甲酯等。
在這些中沸點溶劑中,優選乙二醇單正丁醚、乙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、環己酮、3-乙氧基丙酸乙酯等,特別優選丙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、環己酮、3-乙氧基丙酸乙酯。
上述中沸點溶劑可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
溶劑中的中沸點溶劑的含量比例優選為20~60重量%,更優選為20~50重量%,特別優選為25~45重量%。如果中沸點溶劑的含量比例小於20重量%,則會有容易產生用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物的傾向,另一方面,如果超過60重量%,則有可能由於產生粘附、加熱時間變長而引起產率降低。
進而,在本發明中,與上述各種溶劑一起混合溶劑(E)還可以含有沸點超過180℃的溶劑(其中,除雙丙甘醇甲基醚乙酸酯)(下面稱為「高沸點溶劑」)。
作為高沸點溶劑的具體例子,可列舉有苄基乙基醚、二己醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、γ-丁內酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯等。
上述高沸點溶劑可以單獨使用或將2種或以上混合使用。
如果更具體地表示本發明溶劑中各溶劑的含量比例,則優選雙丙甘醇甲基醚乙酸酯為3~8.5重量%,低沸點溶劑為40~70重量%,中沸點溶劑為20~60重量%,高沸點溶劑為20重量%或以下,更優選雙丙甘醇甲基醚乙酸酯為3~7.5重量%,低沸點溶劑為50~70重量%,中沸點溶劑為20~50重量%,高沸點溶劑為20重量%或以下,特別優選雙丙甘醇甲基醚乙酸酯為3~7重量%,低沸點溶劑為50~65重量%,中沸點溶劑為25~45重量%,高沸點溶劑為20重量%或以下。通過使用這樣的混合溶劑,能獲得顯著抑制用於形成著色層的放射線敏感性組合物的乾燥物、暴沸孔等的產生,不會由於粘附的產生、加熱時間長而帶來產率降低、且不會析出不溶物的良好的用於形成著色層的放射線敏感性組合物。
對本發明的用於形成著色層的放射線敏感性組合物中的溶劑總用量沒有特別限制,從得到的組合物的塗布性、穩定性等觀點考慮,優選使除去該組合物溶劑的固體成分濃度達到5~50重量%,特別優選達到10~40重量%的量是適宜的。
-其他添加劑-本發明的用於形成著色層的放射線敏感性組合物含有上述(A)~(E)作為必須成分,根據需要還可以含有其他添加劑。
作為上述其他添加劑,可列舉例如玻璃、氧化鋁等填充劑;聚乙烯醇、聚(氟代烷基丙烯酸酯)類等高分子化合物;非離子系表面活性劑、陽離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑等表面活性劑;乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)矽烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基矽烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基矽烷、3-氨基丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-巰基丙基三甲氧基矽烷等附著促進劑;2,2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚等抗氧化劑;2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯代苯並三唑、烷氧基二苯甲酮等紫外線吸收劑;聚丙烯酸鈉等抗凝聚劑。
濾色器的形成方法接著,說明使用本發明的用於形成著色層的放射線敏感性組合物(下面只稱為「用於形成著色層的組合物」。)形成本發明的濾色器的方法。
本發明的濾色器的形成方法至少包括下述(1)~(4)的工序(1)在襯底上形成用於形成著色層的組合物的塗膜的工序;(2)將上述塗膜的至少一部分曝光的工序;(3)使曝光後的塗膜顯影的工序;(4)熱處理(以下稱為「後焙烤」)顯影后的塗膜的工序。
以下依次說明這些工序。
-工序(1)-首先,根據需要,在襯底的表面上以分區形成像素的部分的方式來形成遮光層,在該襯底上塗布用於形成著色層的組合物後,在減壓下進行予焙烤(以下稱為「真空焙烤」),蒸發除去溶劑,形成塗膜。
作為在該工序中使用的襯底,例如可列舉玻璃、矽、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚醯胺、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺、聚醚碸、環烯烴的開環聚合物及其加氫產物等。
並且,根據期望,還可以對這些襯底適當地實施利用矽烷偶聯劑等進行的化學藥品處理、等離子體處理、離子鍍敷、濺射、氣相反應法、真空蒸鍍等前處理。
作為在襯底上塗布用於形成著色層的組合物的方法沒有特別的限制,優選狹縫-旋轉塗布法、非旋轉塗布法等使用狹縫噴嘴的方法(下面稱為「狹縫噴嘴塗布法」)。
狹縫噴嘴塗布法中使用的用於形成著色層的組合物的固體成分,優選為10~20重量%,更優選為13~18重量%。
狹縫噴嘴塗布法的塗布條件如下,根據狹縫-旋轉塗布法和非旋轉塗布法、塗布襯底的大小,其條件有所不同,例如通過非旋轉塗布法塗布笫5代玻璃襯底(1,100mm×1,250mm)時,從狹縫噴嘴吐出的用於形成著色層的組合物的吐出量優選為500~2,000微升/秒,更優選為800~1,500微升/秒,並且塗布速度優選為500~1,500mm/秒,更優選為700~1,200mm/秒。
真空焙烤的條件為真空度優選為0.1~1.0託,更優選為0.2~0.5託左右,溫度優選為60~120℃,更優選為70~110℃左右,另外焙烤時間優選為1~5分鐘,更優選為2~4分鐘左右。
以除去塗膜後的膜厚計,在該工序在形成塗膜的厚度優選為0.1~10μm,更優選為0.2~8.0μm,特別優選為0.2~6.0μm。
-工序(2)-然後,將形成的塗膜的至少一部分曝光。對塗膜的一部分進行曝光時,通常通過具有適當圖案的光掩模進行曝光。
作為曝光使用的放射線,可列舉例如可見光、紫外線、遠紫外線、電子射線、X射線等。優選波長在190~450nm範圍的放射線。
放射線的曝光量優選為10~10,000J/m2左右。
-工序(3)-然後,使用顯影液進行顯影,溶解除去塗膜的未曝光部分。
作為上述顯影液,優選例如含有碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四甲基銨、膽鹼、1,8-二氮雜雙環-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜雙環-[4.3.0]-5-壬烯等水溶液的鹼性顯影液。
在上述鹼性顯影液中還可以適量添加例如甲醇、乙醇等水溶性有機溶劑、表面活性劑。另外,在鹼性顯影后通常進行水洗。
作為顯影處理方法可以採用噴淋顯影法、噴霧顯影法、浸漬顯影法、葉片攪拌(液盛り)顯影法等。
顯影條件優選在常溫下進行5~300秒左右。
-工序(4)-然後,可以通過後焙烤在襯底上形成著色層。
後焙烤條件優選在180~230℃下進行20~40分鐘左右。
在本發明濾色器的形成方法中,使用分散了紅色、綠色或藍色顏料的各用於形成著色層的組合物重複上述工序(1)~(4),在同一襯底上形成紅色像素圖案、綠色像素圖案和藍色像素圖案,從而可以在襯底上形成以規定排列配置紅色、綠色和藍色三原色像素圖案的著色層。但是,在本發明中,對各種顏色的像素圖案的形成順序沒有特別限制。
這樣形成的像素的膜厚優選為0.5~5.0μm,更優選為1.5~3.0μm。
具體實施例方式
本發明的用於形成著色層的組合物含有(A)著色劑、(B)鹼溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發劑和(E)混合溶劑作為必要成分,(E)混合溶劑含有3~8.5重量%的雙丙甘醇甲基醚乙酸酯。特別優選的組合物的具體例子如下面的(1)~(11)所述。
(1)用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(B)成分包含含羧基的共聚物(II),(D)成分含有選自苯乙酮系化合物、聯二咪唑系化合物和三嗪系化合物中的至少一種。
(2)上述(i)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(B)成分包含含羧基的共聚物(II),(D)成分中的苯乙酮系化合物含有選自2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙酮-1,2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁酮-1和1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲醯肟)中的至少一種,(D)成分中的聯二咪唑系化合物含有選自2,2』-雙(2-氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑、2,2』-雙(2,4-二氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑和2,2』-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4』,5,5』-四苯基-1,2』-聯二咪唑中的至少一種,(D)成分中的三嗪系化合物含有2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪。
(3)上述(1)或(2)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(B)成分中的含羧基的共聚物(II)含有選自(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-環己基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-環己基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/N-環己基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物和(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物中的至少一種。
(4)上述(1)、(2)或(3)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(C)成分含有選自三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯中的至少一種。
(5)上述(1)、(2)、(3)或(4)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(A)成分含有有機顏料和/或炭黑。
(6)上述(1)、(2)、(3)、(4)或(5)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(E)成分含有40~70重量%的低沸點溶劑。
(7)上述(6)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中低沸點溶劑含有選自丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚和丙二醇單甲基醚乙酸酯中的至少一種。
(8)上述(6)或(7)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中(E)成分還含有20~60重量%的中沸點溶劑。
(9)上述(8)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物,其中中沸點溶劑含有選自丙二醇單乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、環己酮和3-乙氧基丙酸乙酯中的至少一種。
並且,本發明優選的濾色器具有(10)由上述(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、(7)、(8)或(9)的用於形成著色層的放射線敏感性組合物形成的像素和/或黑底。
而且,本發明優選的彩色液晶顯示面板(11)具有上述(10)的濾色器。
如上所述,本發明的用於形成著色層的放射線敏感性組合物由於乾燥物的溶劑再溶解性高,且抑制暴沸孔的產生,因此可特別適用於使用狹縫噴嘴塗布法形成濾色器。
實施例下面列舉實施例更具體地說明本發明。但是本發明不限於下述實施例。
實施例1通過珠磨機處理15重量份作為(A)著色劑的C.I.顏料紅254/C.I.顏料紅177=80/20(重量比)的混合物、4重量份(換算成固體成分)作為分散劑的Disperbyk-2001、6重量份作為(B)鹼溶性樹脂的甲基丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸苄基酯共聚物(共聚重量比=20/30/20/30,Mw=9,500,Mn=5,000)和75重量份作為溶劑的丙二醇甲基醚乙酸酯,製備顏料分散液(R1)(總計100重量份)。
接著,混合100重量份的顏料分散液(R1)、5重量份作為(B)鹼溶性樹脂的甲基丙烯酸/琥珀酸單(2-甲基丙烯醯氧基乙基)酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸苄基酯共聚物(共聚重量比=25/10/30/20/15,Mw=12,000,Mn=6,500)、10重量份作為(C)多官能性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、5重量份作為(D)光聚合引發劑的2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙酮-1和作為(E)混合溶劑的12.5重量份雙丙甘醇甲基醚乙酸酯(全部混合溶劑的5重量%)、75重量份丙二醇單甲基醚乙酸酯(在(R1)中的量共計全部混合溶劑的60重量%)、75重量份的乙酸3-甲氧基丁酯(全部混合溶劑的30重量%)和12.5重量份環己酮(全部混合溶劑的5重量%),製備用於形成著色層的組合物(R1-1)。著色層形成用組合物(R1-1)中的溶劑含有顏料分散液(R1)中的溶劑,以下各著色層形成用的組合物也同樣。
根據下面的順序對得到的用於形成著色層的組合物(R1-1)進行評價。評價結果示於表1。
乾燥物的溶劑再溶解性評價在玻璃襯底上塗布用於形成著色層的組合物(R1-1),在23℃、溼度為50%的條件下風乾30分鐘後,將附著了乾燥塗膜的玻璃襯底在丙二醇單甲基醚乙酸酯中浸漬10分鐘,根據乾燥塗膜的再溶解狀態,以下面3個等級來評價。
○在浸漬中乾燥塗膜完全溶解,△浸漬10分鐘後還殘留部分乾燥塗膜,×浸漬10分鐘後乾燥塗膜幾乎沒有或完全沒有溶解。
暴沸孔的評價在表面形成防止鈉離子溶出的SiO2膜的鈉玻璃(300mm×400mm)上,使用旋塗器塗布用於形成著色層的組合物(R1-1)後,在23℃下,真空焙烤至真空度達到0.3託,形成膜厚為2.5μm的塗膜。
然後,用光學顯微鏡觀察得到的襯底,數出塗膜的5mm×400mm四方的規定區域內產生的暴沸孔的數目,根據下述3個等級評價。
○小於500個,△500個或以上,小於1000個,×1000個或以上。
實施例2在實施例1中,除了相對於100重量份顏料分散液(R1),將添加的(E)混合溶劑改變為21.25重量份(全部混合溶劑單8.5重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、75重量份(全部混合溶劑的60重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和78.75重量份(全部混合溶劑的31.5重量%)3-乙氧基丙酸乙酯以外,和實施例1進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(R1-2),並進行評價。評價結果示於表1。
實施例3在實施例1中,除了相對於100重量份顏料分散液(R1),將添加的(E)混合溶劑改變為21.25重量份(全部混合溶劑單8.5重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、25重量份(全部混合溶劑的40重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、128.75重量份(全部混合溶劑的51.5重量%)二甘醇甲基乙基醚以外,和實施例1進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(R1-3),並進行評價。評價結果示於表1。
實施例4在實施例1中,除了相對於100重量份顏料分散液(R1),將添加的(E)混合溶劑改變為7.5重量份(全部混合溶劑的3重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、50.0重量份(全部混合溶劑的50重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和117.5重量份(全部混合溶劑的47重量%)乙酸3-甲氧基丁酯以外,和實施例1進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(R1-4),並進行評價。評價結果示於表1。
比較例1在實施例1中,除了相對於100重量份顏料分散液(R1),將添加的溶劑改變為25重量份(全部混合溶劑的40重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、75重量份(全部混合溶劑的30重量%)乙酸3-甲氧基丁酯和75重量份(全部混合溶劑的30重量%)環己酮以外,和實施例1進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(R1-5),並進行評價。評價結果示於表1。
比較例2在實施例1中,除了相對於100重量份顏料分散液(R1),將添加的溶劑改變為50重量份(全部混合溶劑的50重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、75重量份(全部混合溶劑的30重量%)3-乙氧基丙酸乙酯和50重量份(全部混合溶劑的20重量%)二甘醇甲基乙基醚以外,和實施例1進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(R1-6),並進行評價。評價結果示於表1。
比較例3在實施例1中,除了相對於100重量份顏料分散液(R1),將添加的溶劑改變為37.5重量份(全部混合溶劑的15重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、25重量份(全部混合溶劑的40重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和112.5重量份(全部混合溶劑的45重量%)二甘醇甲基乙基醚以外,和實施例1進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(R1-7),並進行評價。評價結果示於表1。
實施例5通過珠磨機處理15重量份作為(A)著色劑的C.I.顏料綠36/C.I.顏料黃138/C.I.顏料黃150=50/40/10(重量比)的混合物、4重量份(換算成固體成分)作為分散劑的Disperbyk-2001、5重量份作為(B)鹼溶性樹脂的甲基丙烯酸/ω-羧基聚己內酯單丙烯酸酯/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸苄基酯/甘油單甲基丙烯酸酯共聚物(共聚重量比=15/10/20/10/35/10,Mw=6,000,Mn=3,000)和76重量份作為溶劑的丙二醇甲基醚乙酸酯,製備顏料分散液(G1)(總計100重量份)。
接著,混合100重量份的顏料分散液(G1)、5重量份作為(B)鹼溶性樹脂的甲基丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸苄基酯/甘油單甲基丙烯酸酯共聚物(共聚重量比=15/25/15/35/10,Mw=13,500,Mn=6,000)、10重量份作為(C)多官能性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、5重量份作為(D)光聚合引發劑的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁酮-1和作為(E)混合溶劑的12.5重量份(全部混合溶劑的5.0重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、50重量份(在(G1中的量)的總和為全部溶劑的50.0重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、87.5重量份(全部溶劑的35.0重量%)乙酸3-甲氧基丁酯和25重量份(全部溶劑的10.0重量%)的環己酮,製備用於形成著色層的組合物(G1-1)。
對得到的用於形成著色層的組合物(G1-1)進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
實施例6在實施例5中,除了相對於100重量份顏料分散液(G1),將添加的(E)混合溶劑改變為21.25重量份(全部溶劑的約8.5重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、75重量份(全部溶劑的約60.0重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和78.75重量份(全部溶劑的約31.5重量%)3-乙氧基丙酸乙酯以外,和實施例5進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(G1-2),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
實施例7
在實施例5中,除了相對於100重量份顏料分散液(G1),將添加的(E)混合溶劑改變為21.25重量份(全部溶劑的約8.5重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、25重量份(全部溶劑的約40.2重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和128.75重量份(全部溶劑的約51.3重量%)乙酸3-甲氧基丁酯以外,和實施例5進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(G1-3),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
實施例8在實施例5中,除了相對於100重量份顏料分散液(G1),將添加的(E)混合溶劑改變為7.5重量份(全部溶劑的約3.0重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、50重量份(全部溶劑的約50.2重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和117.5重量份(全部溶劑的約46.8重量%)乙酸3-甲氧基丁酯以外,和實施例5進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(G1-4),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
比較例4在實施例5中,除了相對於100重量份顏料分散液(G1),將添加的混合溶劑改變為75重量份(全部溶劑的約60重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、50重量份(全部溶劑的約20重量%)3-乙氧基丙酸乙酯和50重量份(全部溶劑的約20重量%)二甘醇甲基乙基醚以外,和實施例5相同地製備用於形成著色層的組合物(G1-5),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
比較例5在實施例5中,除了相對於100重量份顏料分散液(G1),將添加的混合溶劑改變為75重量份(全部溶劑的約30重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、125重量份(全部溶劑的約50重量%)3-乙氧基丙酸乙酯和50重量份(全部溶劑的約20重量%)乙酸3-甲氧基丁酯以外,和實施例5相同地製備用於形成著色層的組合物(G1-6),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
比較例6在實施例5中,除了相對於100重量份顏料分散液(G1),將添加的混合溶劑改變為37.5重量份(全部溶劑的約15重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、24重量份(全部溶劑的約40重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和112.5重量份(全部溶劑的約45重量%)乙酸3-甲氧基丁酯以外,和實施例5進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(G1-7),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表2。
實施例9通過珠磨機處理15重量份作為(A)著色劑的C.I.顏料藍15/C.I.顏料紫23=90/10(重量比)的混合物、5重量份(換算成固體成分)作為分散劑的Disperbyk-2001、4重量份作為(B)鹼溶性樹脂的丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸苯酯/甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大單體共聚物(共聚重量比=15/20/10/35/10/10,Mw=23,000,Mn=11,000)和76重量份作為溶劑的丙二醇甲基醚乙酸酯製備顏料分散液(B1)(總計100重量份)。
接著,混合100重量份的顏料分散液(B1)、10重量份作為(B)鹼溶性樹脂的甲基丙烯酸/N-苯基馬來醯亞胺/α-甲基苯乙烯/甲基丙烯酸苄基酯(共聚重量比=20/25/25/30,Mw=43,000,Mn=21,000)、20重量份作為(C)多官能性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、5重量份作為(D)光聚合引發劑的2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙酮-1和作為(E)混合溶劑的16重量份(全部溶劑的約4.9重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、104重量份(在(B1)中的量總計為全部混合溶劑的約55.2重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、32重量份(全部溶劑的約9.8重量%)二甘醇甲基乙基醚和98重量份(全部溶劑的約30.1重量%)乙酸3-甲氧基丁酯,製備用於形成著色層的組合物(B1-1)。
除了使用得到的用於形成著色層的組合物(B1-1)以外,進行和實施例1相同的評價。評價結果示於表3。
實施例10在實施例9中,除了相對於100重量份顏料分散液(B1),將添加的(E)混合溶劑改變為27.75重量份(全部溶劑的約8.5重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、104重量份(全部溶劑的約55.2重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和118.25重量份(全部溶劑的約36.3重量%)3-乙氧基丙酸乙酯以外,和實施例9進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(B1-2),並進行和實施例1相同的評價。評價結果示於表3。
實施例11在實施例9中,除了相對於100重量份顏料分散液(B1),將添加的(E)混合溶劑改變為27.75重量份(全部溶劑的約8.5重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、56重量份(全部溶劑的約40.5重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、81重量份(全部溶劑的約24.8重量%)乙酸3-甲氧基丁酯和85.25重量份(全部溶劑的約26.2重量%)環己酮以外,和實施例9進行相同地製備用於形成著色層的組合物(B1-3),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表3。
實施例12在實施例9中,除了相對於100重量份顏料分散液(B1),將添加的(E)混合溶劑改變為9.8重量份(全部溶劑的約3.0重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、54.4重量份(全部溶劑的約40.0重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、163重量份(全部溶劑的約50.0重量%)二甘醇甲基乙基醚和22.8重量份(全部溶劑的約7.0重量%)乙酸3-甲氧基丁酯以外,和實施例9進行相同地製備用於形成著色層的組合物(B1-4),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表3。
比較例7在實施例9中,除了相對於100重量份顏料分散液(B1),將添加的溶劑改變為56重量份(全部溶劑的約40.5重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯和194重量份(全部溶劑的約59.5重量%)3-乙氧基丙酸乙酯以外,和實施例9進行相同地製備用於形成著色層的組合物(B1-5),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表3。
比較例8在實施例9中,除了相對於100重量份顏料分散液(B1),將添加的溶劑改變為88重量份(全部溶劑的約50.3重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、97重量份(全部溶劑的約29.8重量%)乙酸3-甲氧基丁酯和65重量份(全部溶劑的約19.9重量%)環己酮以外,和實施例9進行相同的操作,製備用於形成著色層的組合物(B1-6),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表3。
比較例9在實施例9中,除了相對於100重量份顏料分散液(B1),將添加的混合溶劑改變為49重量份(全部溶劑的約15.0重量%)雙丙甘醇甲基醚乙酸酯、55重量份(全部溶劑的約40.2重量%)丙二醇甲基醚乙酸酯、81重量份(全部溶劑的約24.8重量%)乙酸3-甲氧基丁酯和65重量份(全部溶劑的約20重量%)環己酮以外,和實施例9進行相同地製備用於形成著色層的組合物(B1-7),並進行和實施例1相同順序的評價。評價結果示於表3。
表1

表2

表3

權利要求
1.放射線敏感性組合物,其特徵在於含有(A)著色劑、(B)鹼溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發劑和(E)含有3~8.5重量%的雙丙甘醇甲基醚乙酸酯的混合溶劑,其用於形成著色層。
2.如權利要求1所述的放射線敏感性組合物,其中,(E)混合溶劑還含有40~70重量%的沸點小於150℃的溶劑。
3.如權利要求2所述的放射線敏感性組合物,其中,(E)混合溶劑還含有20~60重量%的沸點在150℃或以上、小於180℃的溶劑。
4.濾色器的形成方法,其特徵在於至少包括下述(1)~(4)的工序(1)在襯底上形成權利要求1~3任何一項所述的放射線敏感性組合物塗膜的工序;(2)將上述塗膜的至少一部分曝光的工序;(3)使曝光後的塗膜顯影的工序;(4)熱處理顯影后的塗膜的工序。
5.如權利要求4所述的濾色器的形成方法,其中,在工序(1)中,使用狹縫噴嘴進行形成放射線敏感性組合物的塗膜。
6.濾色器,其特徵在於具有由權利要求1~3任何一項所述的放射線敏感性組合物形成的著色層。
7.彩色液晶顯示面板,其特徵在於具有權利要求6所述的濾色器。
全文摘要
放射線敏感性組合物,其含有(A)著色劑、(B)鹼溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發劑和(E)含有3~8.5重量%的雙丙甘醇甲基醚乙酸酯的混合溶劑,且用於形成著色層。該組合物在狹縫噴嘴部分產生的乾燥物的溶解性高,並且在乾燥塗膜是不殘留焰口狀痕跡。
文檔編號G03F7/26GK1936704SQ200610139530
公開日2007年3月28日 申請日期2006年9月22日 優先權日2005年9月22日
發明者小原浩揮, 平野浩二, 服部達哉 申請人:Jsr株式會社

同类文章

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法【專利摘要】本實用新型公開了一種新型多功能組合攝影箱,包括敞開式箱體和前攝影蓋,在箱體頂部設有移動式光源盒,在箱體底部設有LED脫影板,LED脫影板放置在底板上;移動式光源盒包括上蓋,上蓋內設有光源,上蓋部設有磨沙透光片,磨沙透光片將光源封閉在上蓋內;所述LED脫影

壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置與流程

本發明涉及通信領域,特別涉及一種壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置。背景技術:在寬帶碼分多址(WCDMA,WidebandCodeDivisionMultipleAccess)系統頻分復用(FDD,FrequencyDivisionDuplex)模式下,為了進行異頻硬切換、FDD到時分復用(TDD,Ti

個性化檯曆的製作方法

專利名稱::個性化檯曆的製作方法技術領域::本實用新型涉及一種檯曆,尤其涉及一種既顯示月曆、又能插入照片的個性化檯曆,屬於生活文化藝術用品領域。背景技術::公知的立式檯曆每頁皆由月曆和畫面兩部分構成,這兩部分都是事先印刷好,固定而不能更換的。畫面或為風景,或為模特、明星。功能單一局限性較大。特別是畫

一種實現縮放的視頻解碼方法

專利名稱:一種實現縮放的視頻解碼方法技術領域:本發明涉及視頻信號處理領域,特別是一種實現縮放的視頻解碼方法。背景技術: Mpeg標準是由運動圖像專家組(Moving Picture Expert Group,MPEG)開發的用於視頻和音頻壓縮的一系列演進的標準。按照Mpeg標準,視頻圖像壓縮編碼後包

基於加熱模壓的纖維增強PBT複合材料成型工藝的製作方法

本發明涉及一種基於加熱模壓的纖維增強pbt複合材料成型工藝。背景技術:熱塑性複合材料與傳統熱固性複合材料相比其具有較好的韌性和抗衝擊性能,此外其還具有可回收利用等優點。熱塑性塑料在液態時流動能力差,使得其與纖維結合浸潤困難。環狀對苯二甲酸丁二醇酯(cbt)是一種環狀預聚物,該材料力學性能差不適合做纖

一種pe滾塑儲槽的製作方法

專利名稱:一種pe滾塑儲槽的製作方法技術領域:一種PE滾塑儲槽一、 技術領域 本實用新型涉及一種PE滾塑儲槽,主要用於化工、染料、醫藥、農藥、冶金、稀土、機械、電子、電力、環保、紡織、釀造、釀造、食品、給水、排水等行業儲存液體使用。二、 背景技術 目前,化工液體耐腐蝕貯運設備,普遍使用傳統的玻璃鋼容

釘的製作方法

專利名稱:釘的製作方法技術領域:本實用新型涉及一種釘,尤其涉及一種可提供方便拔除的鐵(鋼)釘。背景技術:考慮到廢木材回收後再加工利用作業的方便性與安全性,根據環保規定,廢木材的回收是必須將釘於廢木材上的鐵(鋼)釘拔除。如圖1、圖2所示,目前用以釘入木材的鐵(鋼)釘10主要是在一釘體11的一端形成一尖

直流氧噴裝置的製作方法

專利名稱:直流氧噴裝置的製作方法技術領域:本實用新型涉及ー種醫療器械,具體地說是ー種直流氧噴裝置。背景技術:臨床上的放療過程極易造成患者的局部皮膚損傷和炎症,被稱為「放射性皮炎」。目前對於放射性皮炎的主要治療措施是塗抹藥膏,而放射性皮炎患者多伴有局部疼痛,對於止痛,多是通過ロ服或靜脈注射進行止痛治療

新型熱網閥門操作手輪的製作方法

專利名稱:新型熱網閥門操作手輪的製作方法技術領域:新型熱網閥門操作手輪技術領域:本實用新型涉及一種新型熱網閥門操作手輪,屬於機械領域。背景技術::閥門作為流體控制裝置應用廣泛,手輪傳動的閥門使用比例佔90%以上。國家標準中提及手輪所起作用為傳動功能,不作為閥門的運輸、起吊裝置,不承受軸向力。現有閥門

用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法

專利名稱:用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法背景技術:1-本發明所屬領域本發明涉及一種用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置,其中的管狀容器被放在循環於配送鏈上的文檔匣或託架裝置中。本發明特別適用於,然而並非僅僅專用於,對引入自動分析系統的血液樣本試管之類的自動識別。本發明還涉及專為實現讀