音叉型振動片、音叉型振動子及音叉型振動片的製造方法
2023-05-24 16:19:21 1
專利名稱：音叉型振動片、音叉型振動子及音叉型振動片的製造方法
技術領域：
本發明涉及音叉型振動片、其具備音叉型振動片的音叉型振動子及音叉型振動片的製造方法。尤其是，本發明涉及到避免槽內電極的斷線以及形成于振動片表面的電極之間短路(short)等不良狀況所需的改善技術。
背景技術：
以往，作為壓電振動器件的一種，易於尋求小型化的音叉型石英振動子已為眾所周知。這種振動子例如特開2002-76806號公報中所闡述的那樣，其結構具備下述音叉型振動片，並且在音叉型振動片各腿部各自的表裡面(腿部主表面)中央部模製出槽部，上述音叉型振動片是對通過腐蝕加工模製成音叉型後的石英晶片利用光刻技術在表面上形成指定電極而製作出的。這樣，在腿部的表裡面模製出槽部的情況下，即使將振動片小型化也能抑制腿部的振動損耗，可以有效控制CI值(晶體阻抗)使之變低。這種音叉型石英振動子特別適合於裝載到鐘錶等的精密設備中。
下面，具體說明這種音叉型振動片的表面所形成的電極形狀。
圖9表示出一般的音叉型石英振動子所具備的音叉型振動片a。該音叉型振動片a具備2條腿部b、c，並且在各腿部b、c上形成有第1激勵電極d1、d2及第2激勵電極e1、e2。在圖9中，給這些激勵電極d1、d2、e1、e2的形成部分附上斜線。
另外，音叉型振動片a在作為各腿部b、c各自表裡面的腿部主表面b1、c1上模製有矩形的槽部b2、c2。
而且，作為上述第1激勵電極，採用槽內電極d1和側面電極d2來構成，並且它們通過引導電極f相連接，該槽內電極d1形成於一條腿部b表裡面(腿部主表面)b1上所模製出的槽部b2內部，該側面電極d2形成於另一條腿部c的側面c3上。
同樣，作為上述第2激勵電極，採用槽內電極e1和側面電極e2來構成，並且它們通過引導電極g相連接，該槽內電極e1形成於另一條腿部c表裡面(腿部主表面)c1上所模製出的槽部c2內部，該側面電極e2形成於另一條腿部b的側面b3上。
這些電極例如是由鉻(Cr)的基礎電極層及金(Au)的上部電極層構成的薄膜，並且在採用真空蒸鍍法等的工藝全面形成之後，利用光刻技術進行金屬腐蝕，來形成為希望的形狀。
還有，由於通過真空蒸鍍方式來形成電極，因而具有下述之類的優點，即能夠容易地進行基礎電極層(鉻)和上部電極(金)的厚度管理，易於得到希望的電特性，並且通過蒸鍍裝置加以適當管理能獲得優良的膜質。
可是，就上述的音叉型振動片來說，由於槽內電極從槽部的底面遍及形成到縱向壁(與腿部主表面正交方向的面)及腿部主表面，因而在槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)，槽內電極和引導電極的連接不穩定，易於發生斷線。尤其是，在通過真空蒸鍍方式來形成電極時，從底部方的槽部底面到縱向壁(與腿部主表面正交方向的面)上也因蒸鍍源容易變成陰影，並且槽內電極和引導電極的連接不穩定，易於發生斷線。
另外，在利用光刻技術於槽部上形成槽內電極時，有時在槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)發生因抗蝕液表面張力的影響而引起的抗蝕液湧出現象，並且槽內電極的加工精密度有所下降。這樣，在不能適當得到槽內電極外緣形狀的狀況下，有可能槽內電極和引導電極產生斷線，或者在上述音叉型振動片的交叉部分上槽內電極接觸到引導電極和側面電極而發生短路。
這些問題所在在近年不斷開發的超小型石英振動子(例如，腿部的橫向尺寸為120μm左右的器件)之中，這類問題顯著表現出來。
這樣，在腿部具備槽部且在其內部形成有槽內電極的音叉型振動片之中，有可能發生因存在槽部和槽內電極而引起的電極斷線及電極之間的短路等電氣上的不良狀況。因此，在這種音叉型振動片中人們正在尋求構造上的進一步改善。
本發明是鑑於這樣的問題所在而做出的，其目的在於，對於在腿部具備槽部且在其內部形成有激勵電極(槽內電極)的音叉型振動片及音型振動子，避免因振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。
發明內容
為了達到上述目的，本發明的音叉型振動片的特徵為，音叉型振動片具備底部和從該底部按同一方向平行延長的多個腿部，在各腿部主表面形成有槽部，並且同時在該槽部內部和在腿部的側面分別形成槽內電極和側面電極，上述槽內電極和上述側面電極的各自通過形成於底部的底部電極相連接；在這種音叉型振動片中形成槽延伸電極和槽側面電極，該槽延伸電極從上述槽部的槽內電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側面的上述腿部主表面引向上述底部電極。此時，槽側面電極也可以脫離上述槽部的邊緣。
根據本發明，由於形成槽延伸電極和槽側面電極，因而可以避免因該音叉型振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。也就是說，由於上述槽內電極和上述側面電極的各自從上述槽部的上述槽內電極，介由上述槽延伸電極和上述槽側面電極引向上述底部電極，因而能確實連接。例如，假設上述槽部的上述槽內電極從底部方端部引向上述底部電極來構成第1導通路，並且從槽部的上述槽內電極介由上述槽延伸電極和上述槽側面電極引向上述底部電極來構成第2導通路，則上述槽內電極和上述側面電極的各自通過這些第1導通路和第2導通路，更為確實地連接。由於存在多個這些導通路，因而在上述槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)，可以減少上述槽內電極和上述底部電極的連接不穩定以及發生斷線的危險性。還有，由於在該音叉型振動片中只構成上述第2導通路，因而可以避免因該音叉型振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況，並且由於在該音叉型振動片中構成上述第1導通路和上述第2導通路，因而可以更令人滿意的避免因該音叉型振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。
這樣，對於在腿部具備槽部且在其內部形成有槽內電極的音叉型振動片，即便進行小型化也可以抑制腿部的振動損耗，並且控制CI值(晶體阻抗)使之較低，與此同時可以改善因存在槽部和槽內電極而引起的電極斷線和電極之間的短路等電氣上的不良狀況。
另外，在上述結構中，上述槽延伸電極至少形成於上述槽部側面的縱向壁上，並且上述槽側面電極也可以與上述槽延伸電極形成一體。
這種情況下，除上述的作用及效果之外，由於上述槽延伸電極至少形成於上述槽部側面的縱向壁上，並且上述槽側面電極與上述槽延伸電極形成一體，因而可以使電極形狀單一化，提高生產性，並且使槽內電極和底部電極之間的電極連接更為穩定。
另外，在上述結構中，形成於上述多個各腿部上的槽部從該腿部的中心線向上述腿部主表面的橫方向偏心形成的同時，上述槽側面電極也可以向與所偏心形成的上述槽部相對方的橫方向偏心形成。
這種情況下，由於形成於上述多個各腿部上的槽部從該腿部的中心線向上述腿部主表面的橫方向偏心形成的同時，上述槽側面電極向與所偏心形成的上述槽部相對方的橫方向偏心形成，因而可以確保上述槽側面電極的形成區域。
另外，在上述結構中，上述槽部從該腿部的中心線向與並行設置的其他腿部分離的方向偏心形成的同時，上述槽側面電極也可以從該腿部的中心線向與並行設置的其他腿部接近的方向偏心形成。
這種情況下，除上述作用及效果之外，由於該槽部的位置偏心形成於遠離內側側面電極的位置上，因而即便成為因上述槽部邊緣的影響而不能適當獲得槽內電極到腿部主表面的迂迴尺寸的狀況，也可以抑制槽內電極接觸到內側的側面電極和內側的引導電極，避免短路等電氣上的不良狀況。
另外，由於向該各腿部的內側擴大主表面區域，因而可以在該擴大後的主表面區域上形成槽側面電極，因此能夠形成不發生斷線且更為穩定的電極膜，並且使從槽內電極到底部電極的電極連接得到大幅度的穩定。另外，由於不只是該槽內電極，還可以將槽側面電極作為激勵電極加以靈活使用，因而能夠進一步抑制腿部的振動損耗，使CI值(晶體阻抗)得到提高。
另外，在上述結構中，也可以對於上述槽部的底部方邊緣所形成的電極，較厚地形成上述槽延伸電極的邊緣所形成的電極。
這種情況下，由於對於上述槽部底部方的邊緣所形成的電極，較厚地形成上述槽延伸電極的邊緣所形成的電極，因而除上述作用及效果之外，還不發生第2導通路中槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)上的斷線，因此使從槽內電極到底部電極的電極連接可靠性得以大幅度提高。
另外，在上述結構中，上述槽部的壁面也可以對上述腿部主表面形成為直角或銳角。
這種情況下，由於上述槽部的壁面對上述腿部主表面形成為直角或銳角，因而例如在使用蒸鍍裝置於上述槽部形成電極時，有時因蒸鍍源而直接看不到槽部的壁面(成為陰影的情形)。但是，根據本發明，即使存在成為陰影的上述槽部的壁面(例如，底部方上述槽部的縱向壁)，也能形成穩定的電極膜。
另外，為了達到上述目的，本發明的音叉型振動子的特徵為，將上述結構的音叉型振動片安裝到封裝件內來構成。
本發明的音叉型石英振動子因為具備上述音叉型振動片，並且該音叉型振動片安裝到封裝件內來構成，所以音叉型石英振動子也是本發明技術構思的範疇。也就是說，根據本解決方式，可以提供一種音叉型石英振動子，該音叉型石英振動子因為不發生電極之間的短路和斷線，所以可靠性較高，並能獲得作為形成槽部的效果的良好CI值。
另外，為了達到上述目的，本發明的音叉型振動片製造方法的特徵為，音叉型振動片具備底部和從該底部按同一方向平行延長的多個腿部，在各腿部主表面形成有槽部的同時，在該槽部內部和在腿部的側面分別形成槽內電極和側面電極，上述槽內電極和上述側面電極的各自通過形成於底部的底部電極相連接，在這種音叉型振動片的製造方法中，上述音叉型振動片從蒸鍍源隔開一定間隔，使音叉型振動片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍源，音叉型振動片的腿部主表面在對蒸鍍源傾斜的狀態下配置到工件夾具上，並且從上述蒸鍍源使電極材料蒸發而在上述音叉型振動片上附著電極材料，形成槽延伸電極和槽側面電極，該槽延伸電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
根據本發明，由於形成上述槽延伸電極和上述槽側面電極，因而可以避免因該音叉型振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。也就是說，由於上述槽內電極和上述側面電極的各自從上述槽部的上述槽內電極，介由上述槽延伸電極和上述槽側面電極引向上述底部電極(上述第2導通路)，因而能確實地連接。例如，上述槽內電極和上述側面電極的各自通過上述第1導通路和第2導通路，更為確實地連接。還有，由於在該音叉型振動片中只構成上述第2導通路，因而可以避免因該音叉型振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況，並且由於在該音叉型振動片中構成上述第1導通路和上述第2導通路，因而可以更為優選地避免因該音叉型振動片表面所形成的電極而引起的電氣上的不良狀況。
由於構成該第2導通路的槽延伸電極使音叉型振動片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍源，音叉型振動片的腿部主表面在對蒸鍍源傾斜的狀態下配置到工件夾具上，並在這種狀態下從上述槽部的槽內電極遍及到槽部的縱向壁及腿部前端方主表面來形成，因而腿部前端方的槽部邊緣附近不面對上述蒸鍍源變成陰影，而形成穩定的電極膜。另外，由於對於槽部底部方的邊緣所形成的電極，較厚地形成上述槽延伸電極的邊緣所形成的電極，因而不發生第2導通路中槽部的邊緣附近(槽部和腿部主表面之間的邊界部附近)上的斷線。
也就是說，構成第2導通路的槽側面電極也同樣不成為上述蒸鍍源的陰影而形成穩定的電極膜，並且通過使形成了相互穩定的電極膜的槽延伸電極和槽側面電極組合，可以提供沒有槽內電極和底部電極之間斷線的危險性、電極連接穩定且可靠性更高的音叉型振動片。
再者，由於交叉部分的電極結構使音叉型振動片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍源，音叉型振動片的腿部主表面在對蒸鍍源傾斜的狀態下配置到工件夾具上，因而可以防止該音叉型振動片的交叉部分因上述蒸鍍源變成陰影、在各腿部的交叉部分上形成無用的電極以及各側面電極發生短路。
這樣，對於在腿部具備槽部且在其內部形成有槽內電極的音叉型振動片，即便進行小型化也可以抑制腿部的振動損耗，並且控制CI值(晶體阻抗)使之較低，與此同時可以改善因存在槽部和槽內電極而引起的電極斷線和電極之間的短路等電氣上的不良狀況。
圖1是表示本實施方式所涉及的音叉型振動片的平面圖。
圖2是沿著圖1中的I-I線的剖面圖。
圖3是沿著圖1中的A-A線的剖面圖。
圖4是將槽側面電極形成一體時的圖1的等效圖。
圖5是沿著圖4中的II-II線的剖面圖。
圖6是表示形成了與圖1、圖4所示的引導電極不同方式的引導電極後的音叉型振動片的平面圖。
圖7是表示本實施方式變形例所涉及的音叉型振動片的平面圖。
圖8是沿著圖7中的III-III線的剖面圖。
圖9是表示以往示例所涉及的音叉型振動片的平面圖。
圖10是真空蒸鍍裝置的模式圖。
具體實施例方式
下面，根據附圖來說明本發明的實施方式。本方式將對於在具備2條腿部的音叉型石英振動子中使用本發明的情形，予以說明。圖1是表示本方式所涉及的音叉型石英振動子中具備的音叉型振動片1的平面圖。另外，圖2是沿著圖1中的I-I線的剖面圖，圖3是沿著圖1中的A-A線的剖面圖。
該音叉型振動片1具備底部17和2條腿部11、12，該腿部從該底部17按同一方向平行延長，在各腿部11、12內形成有第1激勵電極13a、13b及第2激勵電極14a、14b。在圖1中，給這些激勵電極13a、13b、14a及14b的形成部分附上斜線。
另外，音叉型振動片1在作為各腿部11、12各自表裡面的腿部主表面11a、12a上模製成矩形的槽部11c、12c。這些各槽部11c、12c的形狀(橫向尺寸、長度尺寸、深度尺寸)為相互相同的形狀。另外，槽部11c、12c的縱向壁如圖1、圖2、圖3所示，對腿部主表面形成為直角。此處所說的直角並不只限定為對腿部主表面的絕對直角，也可以稍微傾斜。
這樣在各腿部11、12的表裡面模製出槽部11c、12c時，即使對音叉型振動片1進行小型化，也能抑制腿部11、12的振動損耗，並可以有效控制CI值(晶體阻抗)使之較低。在此，將各槽部11c、12c形成為相同的形狀，其原因是抑制腿部11、12的振動損耗，並控制CI值(晶體阻抗)使之較低。因此，各槽部11c、12c的形狀並不限定於此，也可以形成為任意的形狀。
還有，音叉型振動片的外形形狀(2條腿部和底部等)、各腿部的槽部，由於使用光刻技術在石英晶片希望的區域上形成抗蝕膜，進行溼法腐蝕，因而可以容易地進行製作。
而且，作為上述第1激勵電極，採用槽內電極13a和側面電極13b構成，並且它們通過引導電極(底部電極)15相連接，該槽內電極形成於一條腿部11的表裡面(腿部主表面)11a上所模製出的槽部11c內部，該側面電極形成於另一條腿部12的側面12b上。
同樣，作為上述第2激勵電極，採用槽內電極14a和側面電極14b構成，並且它們通過引導電極(底部電極)16相連接，該槽內電極形成於另一條腿部12的表裡面(腿部主表面)12a上所模製出的槽部12c內部，該側面電極形成於一條腿部11的側面11b上。
另外，形成於各槽部11c、12c內部的槽內電極13a、14a已形成槽延伸電極13c、14c，該槽延伸電極遍及到槽部的縱向壁(與腿部主表面正交方向的面)以及腿部前端方主表面。該槽延伸電極13c、14c在各腿部的內側，利用沿著槽部側面的腿部主表面所形成的槽側面電極13d、14d引向上述引導電極(底部電極)15、16。在本方式中，例如在腿部11、12各自的橫向尺寸是120μm並且上述槽部11c、12c的寬度為60μm時，由於到該腿部主表面11a、12a的槽延伸電極13c、14c的迂迴尺寸W形成為10～30μm左右，槽側面電極13d、14d的橫向尺寸W1形成為10μm左右，因而使電極膜得以穩定形成，不會降低導通電阻，因與側面電極和引導電極接近而引起的短路危險也較少。
這些電極例如是由鉻(Cr)的基礎電極層及金(Au)的上部電極構成的薄膜，並且在採用真空蒸鍍法形成到音叉型振動片的全面上之後，利用光刻技術在上述全面電極希望的區域上形成抗蝕膜，並進行金屬蝕刻來形成為希望的形狀。其膜厚例如設定為0.2μm。
作為槽部11c、12c及槽內電極13a、14a的形成位置，該槽部11c、12c以及槽內電極13a、14a的橫方向中心位置T1與腿部11、12的橫方向中心位置T相比，更偏心形成於與並行設置的另一條腿部分離的方向(遠離音叉型振動片中心線的一側，例如20μm左右)。上述槽側面電極13d、14d與腿部11、12的橫方向中心位置相比，更偏心形成於與並行設置的另一條腿部接近的方向(靠近振動中心位置的一側)。
按照這種結構，可以確保槽部11c、12c和槽內電極13a、14a的內側邊緣以及腿部11、12的內側邊緣之間的距離使之增大。可以擴大槽側面電極的橫向尺寸、到腿部11a、12a的側面電極13b、134b的迂迴尺寸以及引導電極16到腿部主表面11a、12a的迂迴尺寸之自由量。在圖1所示的示例中，已設計成擴大後的腿部主表面區域以便在寬闊的狀態下形成槽側面電極13d、14d，並且可以形成不發生斷線且更為穩定的電極膜。
在本方式中，將槽側面電極13d、14d形成於遠離上述槽部11c、12c的側面部分上，但是如圖4、圖5所示，通過將槽延伸電極13c、14c形成於槽部11c、12c的縱向壁(與腿部主表面正交方向的面及側面)上，並將槽側面電極13d、14d同槽延伸電極13c、14c形成一體，而可以使電極形狀單一化，提高生產性，並且使槽內電極和底部電極之間的電極連接更為穩定。在本方式中，例如在腿部11、12各自的橫向尺寸是120μm並且上述槽部11c、12c的寬度是60μm時，由於到該腿部主表面11a、12a的槽延伸電極13c、14c的迂迴尺寸W形成為10～30μm左右，槽側面電極13d、14d的迂迴尺寸W2形成為15μm左右，因而使電極膜得以穩定形成，不會降低導通電極，因與側面電極和引導電極接近而引起的短路危險也較少。
另外，在圖4、圖5所示的音叉型振動片1中，將槽延伸電極13c、14c形成於槽部11c、12c的縱向壁(與腿部主表面正交方向的面及側面)上，並將槽側面電極13d、14d同槽延伸電極13c、14c形成一體，但是並不限定於此，也可以將槽延伸電極13c、14c只形成於槽部11c、12c側面的縱向壁上，並將槽側面電極13d、14d同槽延伸電極13c、14c形成一體。
另外，在本方式中如圖1、圖4所示，形成了引導電極15、16，但是並不限定於此，也可以如圖6所示形成引導電極15、16。也就是說，其構成也可以為只與槽側面電極13d、14d連接。
另外，在本方式中，各腿部11、12上所形成的槽部11c、12c例如形成到圖1、圖2所示的位置上，但這是為了抑制槽內電極接觸到內側的側面電極和內側的引導電極所示的最佳示例，並且不限定於此。也就是說，各腿部上所形成的槽部從腿部的中心線向上述腿部主表面的橫方向偏心形成，與此同時槽側面電極可以按與所偏心形成的槽部相反方的橫方向偏心形成，並且也可以在與圖1、圖2所示的位置相反方的位置(接近音叉型振動片中心的位置)上形成槽部。即使在這種情況下，也可以確保槽側面電極的形成區域。
通過將這種結構的音叉型振動片1安裝到未圖示的封裝件內，來構成音叉型石英振動子。
下面，與圖10的真空蒸鍍裝置模式圖一起，說明在上述音叉型振動片上利用真空蒸鍍方式形成全面電極的方法。
音叉型振動片以石英晶片的狀態被放入未圖示的掩蔽模具中，並且在從蒸鍍源J隔開一定間隔的狀態下固定到工件夾具H上。該工件夾具H安裝於在蒸鍍源上面進行水平旋轉的轉盤I四周的多個處所，各工件夾具H的構成為可以對上述轉盤I進行自轉。各工件夾具H例如在下述狀態下進行定位，該狀態為將對上述轉盤I的仰角設為45°，並且對於各工件夾具H的自轉軸也在水平面上從工件夾具H所正對的狀態使之傾斜45°。而且，固定於工件夾具H上的石英晶片的各音叉型振動片使音叉型振動片底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍源，並且音叉型振動片的腿部主表面對蒸鍍源傾斜45°。
另外，由於上述各工件夾具H的構成為，例如在轉盤I每次旋轉120°時，只是自轉90°就再次進行定位，因而通過使上述轉盤I旋轉，與此同時將從上述蒸鍍源J所蒸發出的電極材料供應給石英晶片，可以在上述各音叉型振動片的表裡面和兩個側面上全面附著電極材料。
由於按上述方法形成電極，因而可以防止該音叉型振動片的交叉部分因上述蒸鍍源變成陰影、在各腿部的交叉部分上形成無用的電極以及各側面電極產生短路。尤其是，在對石英進行溼法腐蝕來形成音叉型振動片時，由於在交叉部分上形成微小的突起，並且若在該部分上形成電極則對抗蝕膜進行感光時感光光束不易到達，難以高精度地進行金屬腐蝕，因而雖然有時各側面電極產生短路，但是不會引起它們的不良狀況。另外，如圖3所示，上述槽延伸電極13c、14c(只圖示出13c)的邊緣附近不面對上述蒸鍍源變成陰影，而形成穩定的電極膜。另外，由於對於槽部底部方的邊緣E2上所形成的電極，上述槽延伸電極13c、14c的邊緣E1(槽部的腿部方邊緣)上所形成的電極被較厚地形成，因而不會發生斷線。
另外，在本方式中如圖1所示，即使槽部11c、12c的縱向壁對腿部主表面形成為直角，也不會發生斷線，而可以形成穩定的電極膜。另外，不僅僅是直角，槽部11c、12c的縱向壁也可以對腿部主表面形成為銳角，即使在這種情況下，也不會發生斷線，而可以形成穩定的電極膜。
變形例下面，根據
本發明的變形例。圖7是表示本方式的變形例所涉及的音叉型石英振動子所具備的音叉型振動片1的平面圖。另外，圖8是沿著圖7中的III-III線的剖面圖。
在本示例中表示出，槽部11c、12c及槽側面電極13d、14d形狀的變形例。槽部11c、12c及槽內電極13a、14a形成於各腿部11、12的腿部主表面11a、12a的橫方向中央，各槽部11c、12c內部所形成的槽內電極13a、14a如同形成遍及到整個槽部11c、12c內部的槽內電極13a、14a那樣，在圖7所示的平面圖中設定為，與槽部11c、12c的面積相比槽內電極13a、14a的面積稍大。因此，實際上也如圖8所示，槽內電極13a、14a從各槽部11c、12c的底面遍及形成到縱向壁及腿部主表面11a、12a。繞到槽部11c、12c的腿部前端方之槽內電極以及繞到槽部11c、12c的兩個側面之槽內電極成為槽延伸電極13c、14c，並且該槽延伸電極13c、14c同槽側面電極13d、14d形成一體。在本方式中，例如在腿部11、12各自的橫向尺寸是120μm並且上述槽部11c、12c的寬度為60μm時，到該腿部主表面11a、12a的槽內電極13a、14a的迂迴尺寸W3是10μm左右。
該槽延伸電極13c、14c通過沿著各槽部兩個側面的腿部主表面所形成的槽側面電極13d、14d，引向上述引導電極(底部電極)15、16。
根據這種結構，由於繞到槽部11c、12c的腿部前端方之槽內電極以及繞到槽部11c、12c的兩個側面之槽延伸電極13c、14c同槽側面電極13d、14d形成為一體，因而可以使電極形狀單一化，提高生產性，並且使槽內電極和底部電極之間的電極連接更為穩定。
在本發明的實施方式中，雖然說明了在具備2條腿部11、12的音叉型振動片1中使用本發明的情形，但是本發明不限於此，還可以使用於具備3條以上腿部的音叉型振動片。再者，在上述實施方式中，雖然說明了作為壓電材料使用石英的情形，但是此外對於使用鈮酸鋰和鉭酸鋰等的振動片也可以使用。
還有，本發明可以在不脫離其宗旨或主要特徵的狀況下，以其他各種各樣的形式加以實施。因此，上述實施方式在所有方面只不過是一個示例，並且不能以局限的方式進行解釋。本發明的範圍通過權利要求的範圍來表示，並且不受說明書正文中的任何限制。再者，屬於權利要求範圍的同一範圍的變形和變更全都在本發明的範圍內。
另外，本申請用來主張根據特願2003-200079號的優先權，該特願2003-200079號是2003年7月22日在日本提出的。由於涉及到此，因而其全部內容被編入本申請。
本發明所涉及的音叉型振動片、其具備音叉型振動片的音叉型振動子及音叉型振動片的製造方法特別優選的是，使用壓電材料。
權利要求
1.一種音叉型振動片，其特徵為音叉型振動片具備底部和從該底部按同一方向平行延長的多個腿部，在各腿部主表面形成有槽部，同時在該槽部內部和在腿部的側面分別形成槽內電極和側面電極，上述槽內電極和上述側面電極的各個通過形成於底部的底部電極相連接，該音叉型振動片形成有槽延伸電極和槽側面電極，該槽延伸電極從上述槽部的槽內電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
2.根據權利要求1所述的音叉型振動片，其特徵為上述槽延伸電極至少形成於上述槽部側面的縱向壁上，上述槽側面電極與上述槽延伸電極形成一體。
3.根據權利要求1或2所述的音叉型振動片，其特徵為形成於上述多個各腿部上的槽部從該腿部的中心線向上述腿部主表面的寬方向偏心形成，同時上述槽側面電極按與所偏心形成的上述槽部相對方的寬方向偏心形成。
4.根據權利要求3所述的音叉型振動片，其特徵為上述槽部從該腿部的中心線向與並行設置的另一條腿部分離的方向偏心形成，同時上述槽側面電極從該腿部的中心線向與並行設置的另一條腿部接近的方向偏心形成。
5.根據權利要求1至4任一項所述的音叉型振動片，其特徵為相對於上述槽部底部方的邊緣上所形成的電極，上述槽延伸電極的邊緣上所形成的電極被較厚地形成。
6.根據權利要求1至5任一項所述的音叉型振動片，其特徵為上述槽部的縱向壁對上述腿部主表面形成為直角或銳角。
7.一種音叉型振動子，其特徵為其構成包括，權利要求1至6任一項所述的音叉型振動片，並且該音叉型振動片安裝於封裝件內。
8.一種音叉型振動片的製造方法，其特徵為音叉型振動片包括底部和從該底部按同一方向平行延長的多個腿部，在各腿部主表面形成有槽部，同時在該槽部內部和在腿部的側面分別形成槽內電極和側面電極，上述槽內電極和上述側面電極的各個通過形成於底部的底部電極相連接，在這種音叉型振動片的製造方法中，上述音叉型振動片從蒸鍍源隔開一定間隔，使音叉型振動底部方的端部比腿部方的端部接近蒸鍍源，音叉型振動片的腿部主表面在對蒸鍍源傾斜的狀態下配置到工件夾具上，從上述蒸鍍源使電極材料蒸發而在上述音叉型振動片上附著電極材料，形成槽延伸電極和槽側面電極，該槽延伸電極遍及到與上述槽部的上述底部相向的縱向壁和上述槽部側面的縱向壁至少之一的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
全文摘要
音叉型振動片具備底部和從該底部延伸的腿部，在各腿部主表面形成有槽部的同時，在該槽部內部和在腿部的側面分別形成槽內電極和側面電極，上述槽內電極和上述側面電極的各個通過形成於底部的底部電極相連接，在這種音叉型振動片中形成有槽延伸電極和槽側面電極，該槽延伸電極從上述槽部的槽內電極遍及到與上述底部相向槽部的縱向壁以及腿部前端方主表面，該槽側面電極用來將上述槽延伸電極沿著上述槽部側面的上述腿部主表面引向上述底部電極。
文檔編號H03H9/21GK1701508SQ200480000829
公開日2005年11月23日 申請日期2004年7月20日 優先權日2003年7月22日
發明者佐藤俊介, 藤井智 申請人:株式會社大真空