爐管碎片清理裝置的製作方法

2023-04-25 03:17:12

本實用新型涉及晶體矽太陽能電池製作設備技術領域，尤其是涉及一種爐管碎片清理裝置。

背景技術：

太陽能晶片在PECVD工序為晶體矽太陽能生產線中等離子體增強化學氣相沉積工序，是以石墨舟為載體將去磷矽玻璃後的矽片放入石英爐管中，在400℃～450℃下進行沉積一層氮化矽的過程。目前，生產線一般使用管式設備，管式PECVD設備中的石英管為臥式爐管，長度約1.8m～2.2m，內有長約20mm的熱電偶探測儀。太陽能晶片在石英爐管中易產生碎片，若不及時清理，碎片易壓在石英爐管內熱電偶探頭上導致熱電偶測溫不準確，碎片還容易與石英管中的石墨舟接觸，導致石墨舟短路。目前清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫，用普通吸塵器清理石英爐管內碎片，該辦法既耽誤生產進程和產量，又存在汙染石英爐管的風險。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是：為了解決清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫，用普通吸塵器清理石英爐管內碎片，該辦法既耽誤生產進程和產量，又存在汙染石英爐管的風險的問題，現提供了一種爐管碎片清理裝置。

本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是：一種爐管碎片清理裝置，包括支撐座及轉動設置在支撐座一端的撥片，所述支撐座下底面設有基座，所述基座沿所述撥片轉動方向開設有通道，所述通道內設有與用於控制撥片轉動的滑杆，所述滑杆的一端與所述撥片鉸接，所述滑杆遠離撥片的一端設有限位銷，所述基座遠離撥片的一端設有導向槽，所述導向槽由基座向撥片的方向設置，所述基座上位於導向槽靠近撥片的一端設有卡槽，所述卡槽與所述導向槽連通，所述通道底部設有定位塊，所述滑杆上設有與定位塊相匹配的定位槽，所述導向槽位於所述定位塊的上方，當滑杆位於通道底部時，所述定位塊設置在定位槽內，此時支撐座與撥片相互保持垂直狀態，當所述限位銷通過導向槽卡設在卡槽內時，此時支撐座與撥片相互保持水平狀態。在將支撐座放置在爐管內時，滑杆上的限位銷是卡設在卡槽內的，此時支撐座是與撥片水平設置的；當需要將支撐座從爐管內拿出來時，將滑杆上的限位銷從卡槽內滑出，並將定位槽卡設在定位塊上，此時支撐座是與撥片相互垂直設置的，將支撐座拿出的同時，撥片對爐管內的碎片同時進行清理。

進一步地，所述定位塊為錐形凸臺。為了能夠方便快速的定位，錐形本身具有定位的導向作用，在定位時能夠更加方便快速的對滑杆進行定位。

進一步地，所述導向槽與所述卡槽之間設有用於對限位銷導向的斜倒角。為了能夠方便限位銷拔出卡槽或卡入卡槽，對限位銷起到導向作用。

進一步地，所述撥片上設有用於限位撥片的限位塊，所述限位塊位於所述撥片靠近滑杆的一端，當限位塊與所述支撐座接觸時，此時支撐座與撥片相互保持垂直狀態。在清理爐管內的碎片時，通過限位塊能夠快速定位支撐座與撥片。

本實用新型的有益效果是：本實用新型爐管碎片清理裝置在使用時，在將支撐座放置在爐管內時，滑杆上的限位銷是卡設在卡槽內的，此時支撐座是與撥片水平設置的；當需要將支撐座從爐管內拿出來時，將滑杆上的限位銷從卡槽內滑出，並將定位槽卡設在定位塊上，此時支撐座是與撥片相互垂直設置的，將支撐座拿出的同時，撥片對爐管內的碎片同時進行清理，本實用新型結構簡單，操作方便，能夠隨支撐座拿出同時將爐管內的碎片進行清理，避免了清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫，用普通吸塵器清理石英爐管內碎片，該辦法既耽誤生產進程和產量，又存在汙染石英爐管的風險的問題。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型爐管碎片清理裝置未使用時的主視圖；

圖2是本實用新型爐管碎片清理裝置未使用時的左視圖；

圖3是本實用新型爐管碎片清理裝置在撥片撥碎片時的主視圖；

圖4是本實用新型爐管碎片清理裝置在撥片撥碎片時的左視圖。

圖中：1、支撐座，2、撥片，3、基座，301、通道，302、導向槽，303、卡槽，304、斜倒角，4、滑杆，401、限位銷，402、定位槽，5、定位塊、6限位塊。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

實施例

如圖1、2、3和4所示，一種爐管碎片清理裝置，包括支撐座1及轉動設置在支撐座1一端的撥片2，撥片2是與爐管底部相匹配，所述支撐座1下底面設有基座3，所述基座3沿所述支撐座1長度方向開設有通道301，所述通道301內設有與用於控制撥片2轉動的滑杆4，所述滑杆4的一端與所述撥片2鉸接，所述滑杆4遠離撥片2的一端設有限位銷401，所述基座3上設有與所述限位銷401相匹配的導向槽302，所述基座3上位於導向槽302靠近撥片2的一端設有卡槽303，所述卡槽303與所述導向槽302連通，所述限位銷401卡設在卡槽303內，所述通道301底部設有定位塊5，所述定位塊5為錐形，所述導向槽302位於所述定位塊5的上方，所述滑杆4上設有與定位塊5相匹配的定位槽402，當滑杆4位於通道301底部時，所述定位設置在定位槽402內。

所述導向槽302與所述卡槽303之間設有用於對限位銷401導向的斜倒角304。

所述撥片2上設有用於限位撥片2的限位塊6，所述限位塊6位於所述撥片2靠近滑杆4的一端，當限位塊6與所述支撐座1接觸時，此時支撐座1與撥片2相互保持垂直狀態。

上述爐管碎片清理裝置在使用時，支撐座1的上表面用於放置石英舟，再在石英舟上盛放矽片，具體操作步驟如下：首先在將支撐座1放入爐管前，先將滑杆4上的限位銷401在導向槽302內滑動並通過斜倒角304卡入到卡槽303內，滑杆4在基座3上的通道301內滑動，並推動撥片2與支撐座1保持水平狀態；當矽片在爐管內處理完成後，利用工具將滑杆4上的限位銷401從卡槽303內推出，限位銷401脫離導向槽302，滑杆4在通道301內滑動，當限位塊6與所述支撐座1接觸時，此時支撐座1與撥片2相互保持垂直狀態，再將滑杆4上的定位槽402設置在通道301底部的定位塊5內，定位塊5和定位槽402配合起到限位作用，將支撐座1拿出即可對爐管內的碎片一併帶出。

上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的範圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性範圍並不局限於說明書上的內容，必須要根據權利要求範圍來確定其技術性範圍。