用於薄膜分離裝置的能量管理系統的製作方法

2023-04-24 15:07:46 2

專利名稱：用於薄膜分離裝置的能量管理系統的製作方法
技術領域：
本發明通常涉及一種用於薄膜分離裝置的能量管理系統。例如，本發明尤其涉及
調節清洗流量以減少過量的清洗流體的消耗。
背景技術：
在本領域中已知的是，可對具有包括在食品包裝、製藥實驗室以及集成電路製造 中的多種用途的壓縮空氣進行處理以去除汙染物和水汽。壓縮空氣在用於製造系統之前被 處理以去除空氣中的水汽和汙染物，這些水汽和汙染物可能損壞終端產品或者至少通過消 耗系統的功率和效率而增加生產成本。當未經處理的壓縮空氣運動通過系統時，溫度可能 下降，這依次可能使得水汽凝結。水分的引入可能使得空氣管道生鏽或洩露。對於傳統的 壓縮空氣處理設備，可通過從壓縮空氣中去除水汽來保持系統功率、降低運行費用並且提 高生產質量。 在本領域中已知的是，利用薄膜乾燥器清洗壓縮空氣去除了汙染物和水汽，並且 也降低了其用於水汽成分凝結成水的露點，所述露點為在恆定大氣壓下空氣一定會被冷卻 的溫度。可使壓縮空氣運動通過一束由特別設計為吸收水汽的薄膜組成的中空纖維。因 此，當壓縮空氣通過薄膜的一側時，水汽被吸收進薄膜中，水汽迅速地穿過薄膜並在薄膜的 相反側上被解吸成清洗氣流。乾燥器由穿過薄膜的水汽壓差來驅動。傳統的薄膜乾燥器利 用一部分經乾燥的壓縮空氣作為清洗氣流。使該經乾燥的空氣膨脹到低壓以進一步降低水 汽分壓，從而增大用於處理的驅動力。清洗氣流衝洗來自中空纖維的滲透側的水汽並因此 連續地清洗薄膜的水汽。 相似地，其他流體混合物的分離可以通過使流體混合物穿過半滲透薄膜的一側來 實現，只要存在一個以上高滲透成分和其它的較低滲透成分即可。之後，薄膜可以通過利用 已經脫去了高滲透成分的氣流衝掃系統而被清洗。之後，清洗氣流將更多的可滲透成分運 送出系統。 在傳統的薄膜氣體分離裝置中，可以使用連續衝掃或清洗以增加驅動系統的分壓 差、提高產出氣體純度並且增大薄膜的生產率。然而，薄膜的連續清洗是非常昂貴的。在薄 膜空氣乾燥器的情況下，利用來自於乾燥器出口的恆流對薄膜乾燥器的連續清洗浪費了資 源，因為每當以小於設計容量使用乾燥器時，可能會使用更低的清洗率以保持產出的純度。
許多薄膜氣體分離系統需要使用清洗氣流以帶走滲透薄膜壁的氣體成分。大多數 傳統的薄膜分離系統以恆定的流量連續地清洗。已經嘗試過降低用於衝掃薄膜的氣體的 量，但是這些之前的系統通過監控出口氣體純度來控制清洗，因為能夠在出口處監控輕微 汙染物的儀器通常很貴，因此這會非常昂貴。因為該清洗氣流包括與操作薄膜分離系統相 關的主要運行費用，因此存在最小化清洗流量而不會給系統增加昂貴儀器的優點。因此，需 要提供一種選擇性地清洗薄膜同時避免過量清洗的系統。

發明內容
為了通過本發明最大程度地滿足上述需要，其中能量管理特徵的方案可以增加到 薄膜分離系統以允許選擇性清洗薄膜。本發明使得氣體分離系統能夠通過監控由清洗出口 氣流帶走的滲透量而選擇性地清洗薄膜。本發明的示範性實施例提供了一種能量管理系 統，其基於清洗出口氣流的相對溼度(RH)調節清洗流量。 依照本發明的實施例，用於薄膜分離裝置的能量管理系統可包括薄膜分離裝置， 所述薄膜分離裝置具有薄膜，其具有滲透部和非滲透部；薄膜外殼，其包住所述薄膜；供 給流體入口管；清洗入口管；非滲透產出流體出口管；以及，清洗出口管，其被配置為將清 洗流體運送出薄膜分離裝置。在一些實施例中，薄膜分離裝置包括整體清洗控制特徵。在 另一些實施例中，薄膜分離裝置可包括中空纖維薄膜。薄膜分離裝置還可包括薄膜乾燥器。
能量管理系統還可包括至少一個清洗入口流量控制閥，其連接到所述清洗入口 管；排出傳感器，其被配置為測量從清洗出口管排出的流體的排出滲透流體濃度；以及，控制 器，其接收來自於排出傳感器的輸出信號並將閥控制信號發送到至少一個清洗入口流量控制 閥。在一些實施例中，排出傳感器可包括相對溼度發送器(transmitter)，所述相對溼度發送 器被配置為測量從清洗出口管排出的流體的排出相對溼度。在示範性實施例中，至少一個清 洗入口流量控制閥被配置為提供可連續變更的流量。在一些實施例中，至少一個清洗入口流 量控制閥包括多個開關閥，每個開關閥連接到控制器上，所述控制器例如可包括兩個電磁閥。
能量管理系統可包括入口傳感器，所述入口傳感器被配置為測量進入到供給流體 入口管中的流體的入口滲透流體濃度。能量管理系統還可包括孔，所述孔用於計量進入安 裝到薄膜外殼上的清洗入口管和/或歧管的流量。在這樣的實施例中，至少一個清洗入口 流量控制閥可安裝到歧管上。 依照本發明，一種利用結合有薄膜分離裝置的能量管理系統的方法，包括將流體 引導到薄膜分離裝置中，其中薄膜分離裝置包括薄膜，其具有滲透部和非滲透部；薄膜外 殼，其包住所述薄膜；供給流體入口管；清洗入口管；非滲透產出流體出口管；以及，清洗出 口管，其被配置為將排出流體運送出薄膜分離裝置。 利用結合有薄膜分離裝置的能量管理系統的方法還可包括利用排出傳感器測量 從清洗出口管排出的流體的出口滲透流體濃度；將來自排出傳感器的第一輸出信號發送到 控制器；將來自控制器的閥控制信號發送到至少一個清洗入口流量控制閥；以及，基於測 量到的出口滲透流體濃度並利用連接在所述清洗入口管和所述控制器之間的至少一個清 洗入口流量控制閥來引導進入到清洗入口管中的流量。 利用能量管理系統的方法還可包括利用入口傳感器測量進入到供給流體入口管 的供給流體的入口滲透流體濃度並將來自於入口排出傳感器的第二輸出信號發送到控制 器。在本發明的一些實施例中，利用連接在所述清洗入口管和所述控制器之間的至少一個 清洗入口流量控制閥來引導進入到清洗入口管中的流量的步驟可包括配置至少一個清洗 入口流量控制閥以提供可連續變更的流量。在一些實施例中，將來自於控制器的閥控制信 號發送到至少一個清洗入口流量控制閥包括將閥控制信號發送到多個開關閥。所述方法還 可包括利用孔計量進入到清洗入口管的流量。 在本發明的示範性實施例中，能量管理系統可包括薄膜分離器件，其用於分離滲 透流體與非滲透流體，其可包括薄膜外殼器件，其用於包住所述薄膜分離器件；供給入口器件，其用於使供給流體流入到薄膜分離器件中；清洗入口器件，其用於使清洗流體流入到 薄膜分離器件中；產出出口器件，其用於使產出流體流出薄膜分離器件；以及，清洗出口器 件，其用於使排出流體流出薄膜分離器件。能量管理系統還可包括清洗入口流量控制器 件，其用於控制進入到清洗入口器件的清洗流體的流量，排出傳感器器件，其用於測量從清 洗出口器件排出的排出流體的排出滲透流體濃度；以及控制器器件，其用於接收來自於排 出傳感器器件的輸出信號並將閥控制信號發送到清洗入口流量控制器件。能量管理系統可 進一步包括入口傳感器器件，其連接到控制器，用於測量進入到供給入口器件的供給流體 的入口滲透流體濃度。在一些實施例中，能量管理系統還包括孔器件，用於計量進入到清洗 入口器件中的流量。 為了更好地理解本發明的詳細說明，並且為了更好地理解對現有技術作出的貢 獻，已經相當廣泛地概述了本發明的特定實施例。當然，存在將在下文進行描述並形成所隨 附的權利要求的主題的本發明的附加的實施例。 在這一點上，在詳細說明本發明的至少一個實施例之前，應該理解的是本發明在 其應用中不局限於下列描述中所闡述的或附圖中所圖示的結構細節以及元件排列。除了能 夠實例化為所描述那些實施例之外，本發明還能夠以各種方式實踐和實現。同樣，應該理解 的是，在此使用的措詞、術語以及摘要都是出於說明的目的，而不應該被認為是限制。
同樣，本領域的技術人員應該理解的是，本公開所基於的構思可容易地用作設計 用於執行本發明的幾個目的的其他結構、方法和系統的基礎。因此，重要的是，權利要求被 認為在不背離本發明的宗旨和範圍的範圍內包括所述等同結構。


圖1為示出了根據本發明的實施例的能量管理系統的示意圖。
圖2為示出了根據本發明的又一實施例的能量管理系統的示意圖。
圖3為示出了根據本發明的又一實施例的能量管理系統的示意圖。
具體實施例方式
本發明的各種實施例提供了一種例如和薄膜分離裝置一起使用的能量管理系統。 在一些配置中，本發明可用作能量守恆特徵，用於通過結合一測量從薄膜中排出的清洗氣 體中的汙染物水平的裝置來調製壓縮空氣薄膜乾燥器的清洗氣體消耗量。然而，應該理解 的是，本發明不局限於應用到壓縮空氣薄膜乾燥器系統中，而是例如用在使用產出流體衝 掃(product fluid swe印)的其它氣體分離系統中。現在將結合附圖進一步描述本發明的 實施例，其中相似的附圖標記始終表示相似的部分。 圖1為示出了根據本發明的實施例的能量管理系統100的示意圖。如圖1所示， 系統100可結合諸如薄膜乾燥器105的薄膜分離裝置使用。薄膜乾燥器105可連接到可由 控制器115控制的清洗流量控制閥110上。控制器115可接收來自測量特定流體流的濃度 水平的諸如RH發送器120的傳感器的模擬輸出信號117。在本發明的示範性實施例中，閥 控制信號125可以為氣動、電氣或其他適合的形式，該閥控制信號125使得在控制器115和 清洗流量控制閥110之間進行通信。 在本發明的示範性實施例中，來自壓縮機的溼壓縮空氣W可在溼空氣入口 I處進入薄膜乾燥器105。壓縮空氣穿過容納在薄膜乾燥器殼或筒體(bowl) 135中的薄膜纖維束 130。薄膜纖維束130可以為螺旋形或其它的形狀並具體設計為吸收水汽，並且在本發明的 一個實施例中，薄膜纖維束130可由一束中空纖維組成。隨著空氣穿過薄膜纖維束130的 中空薄膜纖維，從流W中吸收水汽。 在本發明的示範性實施例中，水汽的分壓差存在於薄膜纖維束130的內部和外部
之間使得水汽會遷移到纖維束130的殼的外部。因此，隨著壓縮空氣入口流W穿過薄膜纖
維的內部，水汽在塗敷纖維的薄膜材料上被吸收並迅速地穿過纖維壁到達薄膜的外層。如
下面進一步討論的，為了連續地操作，必須清洗光纖束130的外層的水汽。 大量的乾燥空氣行經薄膜乾燥器105並通過乾燥空氣出口 D從系統100排出。產
出乾燥空氣接著被用來執行工作或相反用在工業處理和製造中。少部分產出乾燥空氣被轉
移到清洗流量控制閥110。在示範性實施例中，諸如用於和比例電磁閥一起使用，控制閥可
利用連續可變節流閥，例如1-5伏以上的直流(VDC)，以使得流量能夠連續變化。 在本發明的示範性實施例中，清洗空氣流P可使反向流運行至入口流W並且以低
壓產生用於乾燥處理的驅動力。穿過開口閥110的清洗空氣掃過薄膜纖維束130的外部並
產生溼氣梯度。這樣，一旦水汽到達薄膜纖維束130的外部，水汽就由清洗空氣入口流P清
掃出表面。該低壓溼清洗空氣然後通過清洗排氣流E從系統100排出。 在本發明的示範性實施例中，RH發送器120測量存在於空氣和在清洗排氣流E中
從系統100排出的水分的氣體混合物中的水汽的量。在該示範性實施例中，RH可被定義為
在空氣和流P中的水分的氣體混合物中的水汽的分壓與在給定的溫度處的水分的飽和蒸
汽壓的比率。 在本發明的示範性實施例中，溼空氣入口流W可以充滿水汽。由於充分的薄膜表 面積以及入口流的低清洗率，清洗空氣的飽和水平將在到達清洗排氣口之前接近入口空氣 的飽和水平。在所述實施例中，清洗空氣的每個單位體積將運送最大可能體積的水汽，從而 有效地使用清洗空氣。然而，之後可用的薄膜區域將得到不充分的利用，因為一旦清洗空氣 飽和水平與溼空氣入口流W的飽和水平達到平衡，則用於水汽擴散的驅動力轉到零。為了 充分利用可用的薄膜表面，因此需要清洗空氣的飽和水平在清洗空氣到達清洗排氣口之前 不會接近入口空氣的飽和水平。 對於如上所述設定的清洗氣流P，由於存在少量的可用溼空氣穿過薄膜130擴散 到清洗空氣P的恆流中，因此在工藝流程(process flow)中的任意降低都會使得清洗排氣 流E的飽和水平下降。如由RH發送器120檢測到的清洗排氣流E的飽和水平的綜合降低 表示清洗流P的過量。RH信號125可用來調製清洗流量控制閥110，這依次最小化清洗空 氣消耗量。例如，當排氣流E的RH降低時，控制器115可被配置為連通到清洗流控制閥110 並使得清洗流控制閥110能夠降低清洗入口空氣流P。 本發明的示範性實施例由於清洗控制器部件而可以用作節能系統，這允許在基於 清洗排氣E的飽和水平按照需要選擇性地清洗薄膜纖維束130的系統中對壓縮空氣進行處 理。在本發明的示範性實施例中，空氣不會通過連續或過量的清洗而損失。
圖2為示出了根據本發明的又一實施例的能量管理系統的示意圖。在本發明的另 一些實施例中，如圖2所示，在乾燥器的溼壓縮空氣入口 I處可安裝第二RH發送器240以 檢測入口飽和水平。控制器115將分別接收來自RH發送器120和240的模擬輸出信號117和247。因此，當排氣流E的飽和水平下降到入口流W的飽和水平以下時，之後可以基於節 流清洗流P建立控制。 在本發明的示範性實施例中，如圖2所示，可以使用並串聯的兩個以上開關閥250 來代替單個控制閥110。例如包括多重電磁閥的開關閥250之後將以不連續的步驟調製清 洗流P。在示範性實施例中，可以提供相同尺寸或不同尺寸的閥250以適應流量需要。這 樣，清洗空氣入口 P可以由開關閥250控制，開關閥250可以基於清洗空氣的要求電動地、 例如數字地斷斷續續地循環衝掃。 在本發明的示範性實施例中，開關閥250將從控制器115分別接收單獨的閥控制 信號125。開關閥250可以被配置為單獨地打開和關閉以增加或減小清洗入口流P，以隨著 如由RH發送器240測量的入口汙染水平變化而與清洗需要相匹配。使用電磁閥而不是單個 連續可變節流閥大大降低了系統200的成本同時還減少了薄膜纖維束130的清洗消耗量。
圖3為根據本發明的又一實施例的結合能量管理系統300使用的具有整體清洗控 制特徵的薄膜乾燥器307的截面圖。在本發明的示範性實施例中，薄膜乾燥器307可具有整 體清洗控制特徵，如圖3所示。示範性實施例包括清洗控制孔355，用於計量適當量的清洗 空氣；以及清洗流量控制閥IIO，其安裝到位於薄膜乾燥器307的底部的清洗歧管357上。
在系統300的示範性實施例中，清洗流量控制閥110可以為比例電磁閥或連續可 變流量閥或節流流體流量的任意其它適合的閥。同時，清洗排氣從清洗出口 E排出的速度 也可以由計量出衝掃空氣的清洗控制孔355的直徑大小來控制。清洗控制孔355的直徑大 小可以基於用戶的需要而變化。因此，清洗流量控制閥IIO提供具有反饋迴路的用於衝掃 的電子控制。 在系統300的示範性實施例中，薄膜乾燥器307與系統100和系統200的乾燥器 105相似地操作。包含水汽的壓縮空氣通過溼空氣入口 I進入乾燥器307。壓縮空氣穿過 薄膜纖維束130。隨著壓縮空氣穿過薄膜纖維的內部，水汽被吸收到薄膜中並且迅速地穿過 纖維的壁到達薄膜纖維束130的外層。大量乾燥空氣行經輸送管360並通過乾燥空氣出口 D離開乾燥器307。 在系統300的示範性實施例中，少部分產出乾燥空氣被轉移通過薄膜束中央接頭 (fitting) 365，薄膜束中央接頭365也用作在其外殼135內為薄膜纖維束130定中心。清 洗空氣接著通過衝掃歧管357被衝掃並且進入清洗流控制閥110。與系統200和300相似， 清洗排氣流E的RH由RH發送器120測量。控制器115將從RH發送器120接收信號117。 閥IIO之後由控制器115連續地調製，控制器115從RH發送器120接收其閥控制信號125。 例如，當排氣流E的RH降低時，控制器可以被配置為連通到清洗流控制閥110並使得其保 持流P的經調製的清洗流。因此，系統300保持通過薄膜乾燥器307的最小的清洗流P。
在特定的設計條件下，當溼空氣入口流W完全飽和時，清洗排氣可具有接近90% 的RH。例如，如果溼空氣入口流W的流量降低大約50% ，之後水汽被傳送到乾燥器105的流 量將減少大約50X，並且清洗流P與乾燥流D的比率通常會倍增。該增加的P/D比率使得 清洗排氣流E的RH下降並且表示出過量清洗。在利用本發明的示範性實施例中，當RH發 送器120感知到排氣流E的RH的該減小時，控制器115將向清洗控制閥110或閥250發信 號以減小流量直到清洗排氣再次上升到大約90% RH。因此，清洗流P可以降低接近50X以 達到排氣流E的大約90%的飽和水平，因為大約50%少量的溼氣被傳送到薄膜纖維束130。該能量管理系統100、200或300之後將產生50%的清洗節約(purge savings)。同樣的分 析也可應用於入口流W的流量的任意特定的減少。 因此，清洗節約百分比與入口流W減少的百分比直接成比例。在本發明的另一些 實施例中，因為RH發送器120將檢測排氣E的RH產生的變化，因此如果在入口流W的RH 或壓力中存在使水汽被輸送到薄膜纖維束130的流量改變的變化，則控制器115將能夠作 出類似的調整。之後，控制器115將從RH發送器120接收信號117並將閥控制信號125傳 送到閥110以調節清洗入口流P的流量。 從詳細的說明中，本發明的許多特徵和優點是明顯的，並因此意圖通過隨附的權 利要求覆蓋在本發明的實際宗旨和範圍內的本發明的所有這些特徵和優點。此外，由於許 多修改和變化是本領域技術人員容易想到的，因此不希望將本發明局限於所圖示和描述的 準確結構和操作，並且相應地，所有適當的改進和等同替換可以被認為是落入本發明的範 圍內。
權利要求
一種能量管理系統，包括薄膜分離裝置，其中所述薄膜分離裝置包括薄膜，其具有滲透部和非滲透部；薄膜外殼，其包住所述薄膜；供給流體入口管；清洗入口管；非滲透產出流體出口管；以及，清洗出口管，其被配置為將清洗流體運送出所述薄膜分離裝置；至少一個清洗入口流量控制閥，其連接到所述清洗入口管，排出傳感器，其被配置為測量從所述清洗出口管排出的流體的排出滲透流體濃度；以及，控制器，其接收來自於所述排出傳感器的輸出信號並將閥控制信號發送到所述至少一個清洗入口流量控制閥。
2. 根據權利要求1所述的能量管理系統，其中所述排出傳感器包括相對溼度發送器。
3. 根據權利要求1所述的能量管理系統，其中所述薄膜分離裝置包括整體清洗控制特徵。
4. 根據權利要求1所述的能量管理系統，其中所述薄膜分離裝置包括中空纖維薄膜。
5. 根據權利要求1所述的能量管理系統，其中所述薄膜分離裝置包括薄膜乾燥器。
6. 根據權利要求1所述的能量管理系統，其中所述至少一個清洗入口流量控制閥被配 置為提供可連續變更的流量。
7. 根據權利要求1所述的能量管理系統，其中所述至少一個清洗入口流量控制閥包括 多個開關閥，每個開關閥連接到所述控制器。
8. 根據權利要求7所述的能量管理系統，其中所述多個開關閥包括至少兩個電磁閥。
9. 根據權利要求7所述的能量管理系統，還包括入口傳感器，所述入口傳感器被配置 為測量進入所述供給流體入口管的流體的入口滲透流體濃度。
10. 根據權利要求1所述的能量管理系統，還包括入口傳感器，所述入口傳感器被配置 為測量進入連接到所述控制器的所述供給流體入口管的流體的入口滲透流體濃度。
11. 根據權利要求1所述的能量管理系統，還包括孔，所述孔用於計量進入所述清洗入 口管的流量。
12. 根據權利要求1所述的能量管理系統，還包括歧管，所述歧管安裝到所述薄膜外殼。
13. 根據權利要求12所述的能量管理系統，其中所述至少一個清洗入口流量控制閥安 裝到所述歧管。
14. 一種利用結合有薄膜分離裝置的能量管理系統的方法，包括將流體引導到所述薄膜分離裝置中，其中所述薄膜分離裝置包括薄膜，其具有滲透部和非滲透部；薄膜外殼，其包住所述薄膜；供給流體入口管；清洗入口管；非滲透產出流體出口管；以及，清洗出口管，其被配置為將排出流體運送出所述薄膜分離裝置； 利用排出傳感器測量從所述清洗出口管排出的流體的出口滲透流體濃度； 將來自所述排出傳感器的第一輸出信號發送到控制器；將來自所述控制器的閥控制信號發送到至少一個清洗入口流量控制閥；以及 基於所述測量到的出口滲透流體濃度並利用連接在所述清洗入口管和所述控制器之 間的所述至少一個清洗入口流量控制閥來弓I導進入到所述清洗入口管的流體。
15. 根據權利要求14所述的利用所述能量管理系統的方法，其中所述排出傳感器為相 對溼度發送器。
16. 根據權利要求14所述的利用所述能量管理系統的方法，還包括利用入口傳感器測量進入所述供給流體入口管的供給流體的入口滲透流體濃度； 將來自於所述入口排出傳感器的第二輸出信號發送到所述控制器。
17. 根據權利要求14所述的利用所述能量管理系統的方法，其中利用連接在所述清洗 入口管和所述控制器之間的至少一個清洗入口流量控制閥來引導流體進入到清洗入口管 中的步驟還包括配置至少一個清洗入口流量控制閥以提供可連續變更的流量。
18. 根據權利要求14所述的利用所述能量管理系統的方法，其中將來自於所述控制器 的所述閥控制信號發送到所述至少一個清洗入口流量控制閥的步驟包括將所述閥控制信 號發送到多個開關閥。
19. 根據權利要求14所述的利用所述能量管理系統的方法，還包括利用孔來計量進入 到所述清洗入口管的流量。
20. —種能量管理系統，包括薄膜分離器件，其用於分離滲透流體與非滲透流體，包括薄膜外殼器件，其用於包住所述薄膜分離器件；供給入口器件，其用於使供給流體流入到所述薄膜分離器件；清洗入口器件，其用於使清洗流體流入到所述薄膜分離器件；產出出口器件，其用於使產出流體流出所述薄膜分離器件；以及，清洗出口器件，其用於使排出流體流出所述薄膜分離器件；清洗入口流量控制器件，其用於控制進入到所述清洗入口器件的清洗流體的流量， 排出傳感器器件，其用於測量從所述清洗出口器件排出的排出流體的排出滲透流體濃度；控制器器件，其用於接收來自於所述排出傳感器器件的輸出信號並將閥控制信號發送 到所述清洗入口流量控制器件。
21. 根據權利要求20所述的能量管理系統，還包括入口傳感器器件，所述入口傳感器 器件連接到所述控制器用於測量進入所述供給入口器件的所述供給流體的入口滲透流體 濃度。
22. 根據權利要求20所述的能量管理系統，還包括用於計量進入所述清洗入口器件的 流量的孔器件。
全文摘要
一種用於薄膜分離裝置的能量管理系統，包括薄膜，其具有滲透部和非滲透部；薄膜外殼，其包住所述薄膜；供給流體入口管；清洗入口管；非滲透產出流體出口管；以及，清洗出口管，其被配置為將清洗流體運送出薄膜乾燥器；至少一個清洗入口流量控制閥，其連接到所述清洗入口管，傳感器，其被配置為測量從清洗出口管排出的流體的汙染物水平；以及控制器，其接收來自於傳感器的輸出信號並將閥控制信號發送到至少一個清洗入口流量控制閥。
文檔編號B01D1/00GK101784316SQ200880103781
公開日2010年7月21日 申請日期2008年8月7日 優先權日2007年8月22日
發明者約翰·E·西倫 申請人:弗萊爾公司