風機過濾單元的製作方法
2023-04-24 18:51:01 1
風機過濾單元的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種風機過濾單元，安裝在半導體立式爐設備的側壁上，包括：殼體，所述殼體為長方體空心結構，殼體的正面開設有出風口；第一過濾器，所述第一過濾器固定安裝在殼體的出風口處；空腔，所述第一過濾器與所述殼體之間設有供氣流通過的空腔；所述殼體的底部設有凸出的離心風機安裝位，所述離心風機安裝在離心風機安裝位上，殼體底部設有進氣口，所述進氣口將半導體立式爐設備內的氣流吸入，經過離心風機並排送氣體至空腔，經第一過濾器過濾後，提供氣流至半導體立式爐設備內部。本發明提供的風機過濾單元結構簡單，佔用空間小，充分的利用半導體立式爐設備中的空間，為微環境提供穩定的、高潔淨度的、均勻的水平氣流。
【專利說明】風機過濾單元
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體設備領域，具體是涉及一種用於淨化/無塵/潔淨室氣體的風機過濾單元。
【背景技術】
[0002]半導體立式爐設備是集成電路裝備的一種，可用於集成電路製造工藝過程中的氧化、退火、化學氣相澱積等工藝過程。由於矽片的製造有極高的外界環境要求，尤其是隨著集成電路製造工藝的更新換代，要求立式爐設備內部微環境滿足一級潔淨室的高潔淨度和均勻的水平流場等要求。
[0003]風機過濾單元(FFU)是將風機和過濾器組合在一起，風機由FFU空腔將空氣吸入並經過過濾器，從而形成潔淨的均勻氣流。FFU廣泛應用於半導體生產商的潔淨室，可為潔淨室提供較為穩定的潔淨氣流。但現有FFU的風機位於FFU空腔內部，且目前市場中廣泛應用的風機尺寸較大，極大地佔用了空腔空間，導致FFU整體厚度方向尺寸過大。
[0004]半導體立式爐設備微環境為密閉空間，通過風機過濾單元將內部氣流循環交替，最終為微環境提供穩定的、高潔淨度的、均勻的水平氣流。由於半導體立式爐設備結構的特點，一方面半導體立式爐設備在厚度方向給FFU提供的空間尺寸有限；另一方面又要求過濾器提供較高過濾效率，而過濾效率要求越高，過濾器的濾芯就越厚，佔用空腔空間就越大。因此，目前應用的FFU結構不能滿足半導體立式爐設備對空間的要求。
[0005]因此，在半導體立式爐設備本身的有限的空間內，如何充分的利用半導體立式爐設備中空腔的空間成為本領域技術人員亟待解決的問題。
【發明內容】
[0006]本發明的目的在於提供一種風機過濾單元，使半導體立式爐設備中空腔的空間得到最大利用。
[0007]本發明為解決上述技術問題而採用的技術方案是提供一種風機過濾單元，安裝在半導體立式爐設備的側壁上，包括:
[0008]殼體，所述殼體為長方體中空結構，殼體的正面開設有出風口 ；
[0009]第一過濾器，用於過濾氣流中的顆粒物，所述第一過濾器固定安裝在殼體的出風口處，所述出風口的尺寸與第一過濾器尺寸相匹配；以及
[0010]空腔，所述第一過濾器與所述殼體之間設有供氣流通過的空腔；
[0011]所述殼體的底部設有凸出的離心風機安裝位，所述離心風機安裝位上設有離心風機，靠近離心風機進氣端的殼體底部設有進氣口，所述進氣口將半導體立式爐設備內的氣流吸入，經過離心風機並排送氣體至空腔，經第一過濾器過濾後，提供氣流至半導體立式爐設備內部。
[0012]優選的，所述第一過濾器與所述殼體之間通過階梯狀的支撐骨架固定連接，所述支撐骨架包括第一凸臺和第二凸臺，所述第一凸臺的長度與所述第一過濾器的厚度相匹配。
[0013]優選的，所述第一過濾器與所述殼體之間還設有第二過濾器，所述第二過濾器安裝在所述支撐骨架的第二凸臺上，所述第二凸臺的長度與所述第二過濾器的厚度相匹配。
[0014]優選的，所述第一過濾器與支撐骨架之間設有密封墊。
[0015]優選的，所述密封墊為柔性件。
[0016]優選的，所述第一過濾器的出風側固定連接至少一塊均流板，所述均流板上設有若干個供氣流通過的通孔。
[0017]優選的，所述離心風機與所述殼體之間設有減震裝置。
[0018]優選的，所述減震裝置包括安裝板和減震墊，所述安裝板和減震墊上均設有與離心風機出風口相匹配的通孔，所述離心風機的出風口處依次固定連接安裝板及減震墊。
[0019]優選的，所述空腔的頂部設有至少一個用於向空腔補充潔淨的氣流的補氣進氣□。
[0020]優選的，所述進氣口末端固定連接用於降低氣流噪音的消音器。
[0021]本發明的優勢在於:
[0022]1.本發明通過所述殼體的底部設有離心風機安裝位，所述離心風機安裝在殼體底部的離心風機安裝位上，從而不佔用空腔的空間，從而使FFU的空腔空間得到最大的利用。
[0023]2.本發明採用雙過濾器結構，提高了氣流的潔淨度，進而提高了過濾器的過濾效率。
[0024]3.本發明通過所述第一過濾器與支撐骨架之間設有密封墊，提高風機過濾單元的密封性。
[0025]4.本發明在所述過濾器的出風側設有均流板，使FFU均流效果更好。
[0026]5.本發明通過在離心風機上增設減震裝置，減小風機振動對FFU的影響。
[0027]6.本發明通過在FFU空腔的上方設計一個潔淨氣體的進氣口，用於向設備微環境補充潔淨的氣流；進氣口末端設計消音裝置，從而降低高速氣流產生的噪音。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0028]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0029]圖1為本發明風機過濾單元原理圖；
[0030]圖2為本發明風機過濾單元結構示意圖；
[0031]圖3為本發明風機過濾單元側視圖；
[0032]圖4為本發明風機過濾單元剖面圖；
[0033]圖5為本發明風機過濾單元離心風機結構示意圖；
[0034]圖6為本發明風機過濾單元安裝板結構示意圖；
[0035]圖7為本發明風機過濾單元防震墊結構示意圖。
[0036]圖中標號說明如下:
[0037]1、殼體；2、第一過濾器；3、空腔；4、離心風機；5、進氣口 ；6、支撐骨架；61、第一凸臺；62、第二凸臺；7、第二過濾器；8、密封墊；9、均流板；10、安裝框架；11、減震裝置；111、安裝版；112、減震板；12、補氣進氣口 ；13、消音器；14、風機蓋板；15、固定夾。
【具體實施方式】
[0038]下面結合圖1至圖7對本發明中的一種風機過濾單元作進一步的說明:
[0039]風機過濾單元(FFU)是半導體設備微環境內部的組成部件，主要作用是對半導體設備微環境內部的氣流淨化、均流。由於半導體設備微環境內部空間限制，目前現有的風機位於FFU空腔的內部，而且風機單元尺寸較大，從而使FFU的厚度尺寸過大，不能安裝於半導體立式爐設備中。同時由於半導體設備對潔淨度要求極高,過濾效率要求越高,過濾器的濾芯就越厚，佔用空腔空間就越大。
[0040]如圖1所示，一種風機過濾單元(FFU)，安裝在半導體立式爐設備的側壁上，包括:殼體1，所述殼體I為長方體中空結構，殼體I的正面開設有出風口 ；第一過濾器2，用於過濾氣流中的顆粒物，所述第一過濾2器固定安裝在殼體I的出風口處，所述出風口的尺寸與第一過濾器2尺寸相匹配；以及空腔3，所述第一過濾器2與所述殼體I之間設有供氣流通過的空腔3 ;所述殼體I的底部設有凸出的離心風機安裝位，所述離心風機4安裝在殼體I底部的離心風機安裝位上，靠近離心風機4進氣端的殼體I底部設有進氣口 5，所述進氣口5將半導體立式爐設備內的氣流吸入，經過離心風機4並排送氣體至空腔3，經第一過濾器2過濾後，提供氣流至半導體立式爐設備內部。
[0041]所述離心風機4位於所述殼體I的下方，半導體立式爐設備內的氣流由進風口 5吸入，並送入空腔3，氣流進入空腔3後，由於第一過濾器2的風阻較大，氣流在空腔3內部經過平衡後形成穩壓的流場，經過濾後，形成高潔淨的均勻氣流經出風口進入半導體立式爐設備微環境中，氣流在半導體立式爐設備內形成循環。
[0042]所述殼體I的離心風機安裝位的側面還設有與離心風機4尺寸相匹配的風機蓋板14，所述風機蓋板14與殼體I固定連接，用於容納離心風機4。
[0043]請參考圖4，其中，所述第一過濾器2固定安裝在殼體I的出風口處，所述第一過濾器2與所述殼體I之間通過階梯狀的支撐骨架6固定連接，所述支撐骨架包括第一凸臺61和第二凸臺62，所述第一凸臺61的長度與所述第一過濾器2的厚度相匹配。所述第一過濾器2與所述殼體I之間還設有第二過濾器7，所述第二過濾器7安裝在所述支撐骨架6的第二凸臺62上，所述第二凸臺62的長度與所述第二過濾器7的厚度相匹配。
[0044]所述第二過濾器7通過固定夾15安裝在所述支撐骨架6的第二凸臺62上，所述固定夾15為階梯狀結構，同時固定第二過濾器7及支撐骨架。
[0045]值得說明的是，所述第一過濾器2為超高效過濾器，所述第二過濾器7為化學過濾器，採用超高效過濾器和化學過濾器的雙過濾器結構，提高了氣流的潔淨度。其中超高效過濾器用於過濾微小顆粒，化學過濾器用於過濾有機顆粒。
[0046]請繼續參考圖4，為了進一步提高FFU的密封性，所述第一過濾器2與支撐骨架6之間設有密封墊8。所述密封墊為柔性件。在外力的作用下，密封墊被壓縮，從而起到了密封的作用，所述第一過濾器2為長方體結構，在第一過濾器2四角處均設有所述密封墊8。
[0047]請參考圖2，為了使FFU均流效果更好，所述第一過濾器2的出風側固定連接至少一塊均流板9，所述均流板9上設有若干個供氣流通過的通孔。所述均流板9通過安裝框架10與第一過濾器2固定連接,所述安裝框架10為一體結構。
[0048]請參考圖3,為了減小離心風機4的振動,所述離心風機4上端設有減震裝置11,請參考圖5至圖7，所述減震裝置11包括安裝板111和減震墊112，所述安裝板111和減震墊112上均設有與離心風機4出風口相匹配的通孔，所述離心風機4的出風口處依次固定連接安裝板111及減震墊112。
[0049]請參考圖3，在FFU的空腔3上方設計了至少一個用於潔淨氣體補充進氣口 12，由於整個設備微環境是一個相對密閉的空間，氣流在微環境內部採用循環的方式，當微環境內部當氣壓不足時，潔淨的氣流通過補充進氣口 12進入微環境，為了降低高速氣流產生的噪音，在補充進氣口 12末端設有消音器13。
[0050]本發明通過將離心風機置於空腔的下方，不佔用空腔的空間，從而使風機過濾裝置的空腔空間得到最大的利用。同時採用雙過濾器結構，提高了氣流的潔淨度。本發明提供的風機過濾單元具有佔用空間小、均流效果好、結構設計簡單和密封性高等優點。
[0051]以上所述的僅為本發明的優選實施例，所述實施例並非用以限制本發明的專利保護範圍，因此凡是運用本發明的說明書及附圖內容所作的等同結構變化，同理均應包含在本發明的保護範圍內。
【權利要求】
1.一種風機過濾單元，安裝在半導體立式爐設備的側壁上，包括: 殼體，所述殼體為長方體中空結構，殼體的正面開設有出風口 ； 第一過濾器，用於過濾氣流中的顆粒物，所述第一過濾器固定安裝在殼體的出風口處，所述出風口的尺寸與第一過濾器尺寸相匹配；以及 空腔，所述第一過濾器與所述殼體之間設有供氣流通過的空腔； 其特徵在於，所述殼體的底部設有凸出的離心風機安裝位，所述離心風機安裝位上設有離心風機，靠近離心風機進氣端的殼體底部設有進氣口，所述進氣口將半導體立式爐設備內的氣流吸入，經過離心風機並排送氣流至空腔，經第一過濾器過濾後，提供氣流至半導體立式爐設備內部。
2.根據權利要求1所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述第一過濾器與所述殼體之間通過階梯狀的支撐骨架固定連接，所述支撐骨架包括第一凸臺和第二凸臺，所述第一凸臺的長度與所述第一過濾器的厚度相匹配。
3.根據權利要求2所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述第一過濾器與所述殼體之間還設有第二過濾器，所述第二過濾器安裝在所述支撐骨架的第二凸臺上，所述第二凸臺的長度與所述第二過濾器的厚度相匹配。
4.根據權利要求2所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述第一過濾器與支撐骨架之間設有密封墊。
5.根據權利要求4所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述密封墊為柔性件。
6.根據權利要求1?5任一所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述第一過濾器的出風側固定連接至少一塊均流板，所述均流板上設有若干個供氣流通過的通孔。
7.根據權利要求1?5任一所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述離心風機與所述殼體之間設有減震裝置。
8.根據權利要求7所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述減震裝置包括安裝板和減震墊，所述安裝板和減震墊上均設有與離心風機出風口相匹配的通孔，所述離心風機的出風口處依次固定連接安裝板及減震墊。
9.根據權利要求1所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述空腔的頂部設有至少一個用於向空腔補充潔淨的氣流的補氣進氣口。
10.根據權利要求9所述的風機過濾單元，其特徵在於，所述進氣口末端固定連接用於降低氣流噪音的消音器。
【文檔編號】F04D29/42GK103711734SQ201410010252
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2014年1月9日 優先權日:2014年1月9日
【發明者】宋新豐, 王麗榮 申請人:北京七星華創電子股份有限公司