高純氣體匯流充裝排的製作方法
2023-05-22 23:44:16
高純氣體匯流充裝排的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種高純氣體匯流充裝排，包括環流管路、氮氣閥門、排氣閥門、接口閥門、廢液罐、廢液閥門；所述氮氣閥門一端連接高純氮氣，另一端連通所述環流管路；所述排氣閥門一端連接所述廢液罐，另一端連通所述環流管路；所述接口閥門用於連接高純氣源或鋼瓶；所述廢液閥門串聯在所述廢液罐和所述排氣閥門之間。本實用新型所提供的高純氣體匯流充裝排，能夠在一套設備上完成高純氮氣進行高純吹掃，然後再將瓶中廢液壓入廢液罐中，再進行高純氣體的充裝等工作，從而提高了工作效率，並節省了設備成本。
【專利說明】高純氣體匯流充裝排【技術領域】
[0001]本實用新型涉及高壓高純氣體生產【技術領域】，具體涉及一種高純氣體匯流充裝排。
【背景技術】
[0002]高純氣體在充裝時通常首先需要將瓶中廢液壓入廢液罐中，然後再使用高純氮氣進行高純吹掃，再進行高純氣體的充裝。因此高純氣體衝裝需要多個工序才能完成，不僅設備成本高，而且用於盛裝高純氣體的鋼瓶在不同設備間的運轉也費時費力。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的在於提供一種高純氣體匯流充裝排，能夠在一套設備上完成將瓶中廢液壓入廢液罐中，然後再用高純氮氣進行高純吹掃，再進行高純氣體的充裝等工作，從而提高了工作效率，並節省了設備成本。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型提出的技術方案是:
[0005]一種高純氣體匯流充裝排，包括環流管路、氮氣閥門、排氣閥門、接口閥門、廢液罐、廢液閥門；所述氮氣閥門一端連接高純氮氣，另一端連通所述環流管路；所述排氣閥門一端連接所述廢液罐，另一端連通所述環流管路；所述接口閥門用於連接高純氣源或鋼瓶；所述廢液閥門串聯在所述廢液罐和所述排氣閥門之間。
[0006]作為本實用新型進一步改進的高純氣體匯流充裝排，還包括真空泵、吸收池，所述真空泵一端連接所述排氣閥門，另一端連接所述吸收池，且所述真空泵與所述廢液閥門並聯。·
[0007]作為本實用新型進一步改進的高純氣體匯流充裝排，還包括廢氣閥門，所述廢氣閥門與所述真空泵、所述廢液閥門並聯，且所述廢液閥門一端連接所述排氣閥門，另一端連接所述吸收池。
[0008]本實用新型所提供的高純氣體匯流充裝排，能夠在一套設備上完成將瓶中廢液壓入廢液罐中，然後再用高純氮氣進行高純吹掃，再進行高純氣體的充裝等工作，從而提高了工作效率，並節省了設備成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1,高純氣體匯流充裝排結構示意圖。
[0010]I為氮氣閥門，2為排氣閥門，3為環流管路，4為接口閥門，5為真空泵，6為廢液閥門，7為廢氣閥門，8為吸收池，9為廢液罐。
【具體實施方式】
[0011]為了加深對本實用新型的理解，下面將結合附圖和實施例對本實用新型做進一步詳細描述，該實施例僅用於解釋本實用新型，並不構成對本實用新型保護範圍的限定。[0012]如圖1所示，本實施例提供的高純氣體匯流充裝排，包括環流管路3、氮氣閥門1、排氣閥門2、接口閥門4、廢液罐9、廢液閥門6 ;所述氮氣閥門I 一端連接高純氮氣，另一端連通所述環流管路3 ;所述排氣閥門2 —端連接所述廢液罐9，另一端連通所述環流管路3 ；所述接口閥門4用於連接高純氣源或鋼瓶；所述廢液閥門6串聯在所述廢液罐9和所述排氣閥門2之間。進一步改進的高純氣體匯流充裝排，還包括真空泵5、吸收池8，所述真空泵5 一端連接所述排氣閥門2，另一端連接所述吸收池8，且所述真空泵5與所述廢液閥門6並聯。進一步改進的高純氣體匯流充裝排，還包括廢氣閥門7，所述廢氣閥門7與所述真空泵
5、所述廢液閥門6並聯，且所述廢液閥門6 —端連接所述排氣閥門2，另一端連接所述吸收池8。
[0013]首先關閉所有的閥門，將鋼瓶接入所述環流管路3並打開接入鋼瓶的接口閥門4，再打開排氣閥門2、廢液閥門6，使鋼瓶內的廢液排入到廢液罐9中；然後關閉廢液閥門6，打開氮氣閥門1、廢氣閥門7即可進行高純氮氣吹掃作業；再關閉廢氣閥門7，打開真空泵5，抽淨環流管路3及鋼瓶內的氮氣；關閉排氣閥門2，選擇一個未接入鋼瓶的接口閥門4接入高純氣體並打開相應接口閥門4，從而進行高純氣體的充裝。
【權利要求】
1.一種高純氣體匯流充裝排，其特徵在於:包括環流管路(3)、氮氣閥門(I)、排氣閥門(2)、接口閥門(4)、廢液罐(9)、廢液閥門(6);所述氮氣閥門(I) 一端連接高純氮氣，另一端連通所述環流管路(3);所述排氣閥門(2)—端連接所述廢液罐(9)，另一端連通所述環流管路(3);所述接口閥門(4)用於連接高純氣源或鋼瓶；所述廢液閥門(6)串聯在所述廢液罐(9 )和所述排氣閥門⑵之間。
2.根據權利要求1所述的高純氣體匯流充裝排，其特徵在於:還包括真空泵(5)、吸收池(8)，所述真空泵(5) —端連接所述排氣閥門(2)，另一端連接所述吸收池(8)，且所述真空泵(5)與所述廢液閥門(6)並聯。
3.根據權利要求2所述的高純氣體匯流充裝排，其特徵在於:還包括廢氣閥門(7)，所述廢氣閥門(7)與所述真空泵(5)、所述廢液閥門(6)並聯，且所述廢液閥門(6)—端連接所述排氣閥門(2 )，另一端連接所述吸收池(8 )。
【文檔編號】F17C5/00GK203431481SQ201320424476
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年7月17日 優先權日:2013年7月17日
【發明者】繆貫通, 繆嘉通, 宋兆德, 吳瓊 申請人:愛康尼克晶體矽（蕪湖）有限公司