對準裝置的製作方法

2023-05-12 15:12:31

專利名稱：對準裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種對準裝置。
背景技術：
液晶顯示屏板，等離子顯示屏板等平面板一般由2張基板相粘合而形
成。例如，在液晶顯示屏板中，以極窄的間隔面對面布置有，將薄膜電晶體 以矩陣狀布置而形成的元件基板，和形成有遮光膜及濾色鏡等的對面基板。 然後，在兩基板被重疊的時候，在這兩個基板之間，在被包含光固化性樹脂 的密封材料所包圍的領域中封入液晶。接著，隔著遮光罩向密封材料照射紫 外線，通過使該密封材料固化而將兩基板粘合，製造液晶顯示屏板。己有各 種在進行遮光罩和基板的位置對準時使用的對準裝置被提案(例如，日本專
利公開公報特開2002-220944)。
一般，這種對準裝置具備放置封入有液晶並重疊的2張基板的載 臺；將載臺在放置面上的X， Y方向及旋轉方向移動的移動機構；在載臺 的上方位置保持遮光罩的遮罩保持部件。然後，使放置在載臺上的重疊 的2張基板與由遮罩保持部件保持的遮光罩面對面。然後，將移動機構 進行驅動控制以使載臺沿X， Y方向及旋轉方向移動，也就是說，將重疊 的2張基板對於遮光罩相對移動，以進行高精度的位置對準。
然而，由於移動機構通過移動放置有2張基板(液晶顯示屏板)的 載臺將2張基板(液晶顯示屏板)對於遮光罩相對移動，而進行位置對 準，所以不得不移動2張基板(液晶顯示屏板)的重量加上載臺重量的 總重量。因此，移動機構要求具有考慮到載臺重量的高機械強度的構成， 從而導致裝置的大型化及高成本的同時，還會導致用於驅動移動機構的 耗電量增大。而且，伴隨著近年顯示屏板的大型化，這越來越成為問題。

發明內容
本發明是為了解決上述課題而提出的，其目的在於，提供可以將裝 置全體小型輕量化，並可以降低對工件進行位置對準的負荷，還可以降 低耗電量的對準裝置。
為了達到上述目的，本發明的對準裝置放置在基座的上面，將工件向一個方向及與所述一個方向相垂直的其他方向移動，並將其水平旋轉， 以進行所述工件的位置對準。該對準裝置具備2個第1移動塊，其分別 以可沿所述一個方向往返移動的形式設在，定位於所述基座的上面的、 形成正四方形或者長方形的4個頂點中處在一方的對角線上的一對頂點
位置；2個第2移動塊，其分別以可沿所述其他方向往返移動的形式設在， 所述4個頂點中處在另一方的對角線上的一對頂點位置；2個第l驅動部，
其分別使所述第l移動塊中與其對應的l個沿所述一個方向往返移動；2 個第2驅動部，其分別使所述第2移動塊中與其對應的1個沿所述其他 方向往返移動；2個第1旋轉工作檯，其分別以可水平旋轉地被支撐的同 時還可沿所述其他方向往返移動的形式設在所述對應的第1移動塊的上 面；2個第2旋轉工作檯，其分別以可水平旋轉地被支撐的同時還可沿所 述一個方向往返移動的形式設在所述對應的第2移動塊的上面；2個第1 聯結部件，其在所述一個方向上聯結所述2個第1旋轉工作檯和所述2 個第2旋轉工作檯；2個第2聯結部件，其在所述其他方向上聯結所述2 個第1旋轉工作檯和所述2個第2旋轉工作檯；4個對準工作檯，其合作
支撐所述工件，並分別設在所述第1旋轉工作檯及所述第2旋轉工作檯 中與其對應的一個上。
基於本發明，可以將裝置全體小型輕量化，並可以降低對工件進行 位置對準的負荷，還可以降低耗電量。


圖l是用於說明本實施方式的紫外線照射裝置的概要圖。 圖2是該紫外線照射裝置的概要平面圖。 圖3是顯示對準裝置的安裝狀態的平面圖。 圖4是構成對準裝置的對準載臺的正面圖。 圖5是該對準載臺的平面圖。
圖6是用於說明紫外線照射裝置的電氣構成的方塊電路圖。 符號說明
1-紫外線照射裝置，2-載臺部，3-光照射部，5-燈室，6-紫外線燈， 7-遮罩保持部件，8-遮光罩，13-支撐塊，15-滾珠螺杆，16-升降座，19-間隔保持部件，20-交接板，25-交接座，26-交接銷，30-對準裝置，31-對準載臺，31a-左前對準載臺，31b-右前對準載臺，31c-右後對準載臺， 31d-左後對準載臺，32-基座，33-滾珠螺杆，34-移動塊，35-旋轉板， 36-引導部件，37-旋轉放置工作檯，39-緊固部件，40a-前側X軸聯結杆，
540b-後側X軸聯結杆，41a-左側Y軸聯結杆，41b-右側Y軸聯結杆，61-控制裝置，62-攝像裝置，66-浮起用電磁閥，68-氣缸用電磁閥，70-吸 附用電磁閥，AT-對準工作檯，P-液晶顯示屏板，Ml-升降馬達，M2-移動 馬達，SL-升降用氣缸，ST-升降載臺。
具體實施例方式
下面，參照附圖對適用了本發明的對準裝置的光照射裝置(紫外線 照射裝置)的一個實施方式進行說明。本實施方式的紫外線照射裝置為 一種光照射裝置，用於隔著遮光罩向形成於由2張基板粘合而成的液晶 顯示屏板的兩基板間的密封材料照射紫外線，使該密封材料固化從而粘 合兩基板。
如圖1所示，設置在地面上的紫外線照射裝置1在其下側具備載臺 部2，在其上側具備光照射部3。載臺部2上放置著作為密封材料固化之 前的工件的液晶顯示屏板(下面，稱為面板)P，該載臺部2將面板P向 設置在上方的光照射部3引導，實行位置對準。
在布置於載臺部2上方的光照射部3設有由雙點劃線表示的燈室5， 該燈室5由未予圖示的支撐部件支撐固定。在該燈室5內，以向下方照 射紫外線的形式安裝有多個紫外線燈6。
在燈室5的下側布置有板狀的且具有透光性的遮罩保持部件7，在該 遮罩保持部件7的下面吸附保持有遮光罩8。從紫外線燈6射出的紫外線 有一部分被遮光罩8遮擋，只向放置在載臺部2上的面板P中形成的密 封材料照射。
載臺部2的四方框形的框架11設置並固定在地面12上。如圖1所 示，在構成框架11的左側及右側框架lla、 llb的內側，分別固定設置 著前後一對的支撐塊13。在本說明書中，前後方向是指圖2中所示的Y 箭頭方向和與反Y箭頭方向。
支撐塊13在上下兩端部具有支撐臂14，該支撐臂14朝內側伸出形 成。在上下一對的支撐臂14之間，可旋轉地支撐有滾珠螺杆15。在下側 支撐臂14的下側面固定設置有升降馬達M1，在其旋轉軸上驅動聯結著滾 珠螺杆15。所以，在各支撐塊13上設置的滾珠螺杆15基於各個升降馬 達M1的正反旋轉而正反旋轉。
在四方框形的框架11的內側，設有作為四方框形底座的升降座16。 升降座16由例如四方形狀的不鏽鋼板形成，在該座上在左右方向(反X 箭頭方向及X箭頭方向)及前後方向(反Y箭頭方向及Y箭頭方向)上 等間隔地形成有沿上下方向(Z方向)貫穿該座的多個下側引導孔17。在升降座16的左右側面伸出形成有前後一對聯結突片18。左右兩側面上
形成的前後一對聯結突片18分別螺合於，可旋轉地支撐在所述支撐塊13 上的滾珠螺杆15上(參照圖2)。
所以，通過正反旋轉各支撐塊13上的滾珠螺杆15，升降座16將上 下移動。另外，在本實施方式中，各升降馬達M1正轉時，升降座16向 上移動(上升)，各升降馬達M1反轉時，升降座16向下移動(下降)。 在本實施方式中，支撐塊13，滾珠螺杆15及升降馬達M1構成第l升降 部。
在升降座16的上面16a的四處固定設置有間隔保持部件19，在該間 隔保持部件19的上端聯結固定有交接板20。所以，交接板20和升降座 16—起上下移動。交接板20為例如四方形狀的不鏽鋼板，隔著間隔保持 部件19與升降座16平行布置。如圖2所示，在交接板20上與形成在升 降座16的各下側引導孔17相對的位置，分別形成有沿上下方向(Z方向) 貫穿交接板20的上側引導孔21。
而且，如圖4所示，交接板20上以等間隔(約300mm的間距)設有 噴嘴孔22。噴嘴孔22將從布置在交接板20下面的空氣導入管23送來的 空氣噴出，使放置在交接板20上的面板P浮起(本實施方式為0. 3mm)。 噴嘴孔22及空氣導入管23是使作為工件的面板P浮起的工件浮起機構 的一例。
另外，在本實施方式中，升降座16 (交接板20)構成為，交接板20 向上移動至設在光照射部3上的遮光罩8的下側位置(稱為對準位置) 附近，而向下方則移動至設置在升降座16下側的交接座25的上側位置 (稱為待機位置)的附近。
布置在升降座16下側的交接座25 (固定座)支撐固定在框架11上。 交接座25為例如四方形狀的工作檯板，在其上面豎立設置著多個交接銷 26，這些交接銷26分別貫穿於形成在升降座16及交接板20上的、相對 應的一對上側及下側引導孔17、 21。各交接栓26基於升降座16 (交接 板20)的上下移動從交接板20的上面20a出沒。
詳細地說，在升降座16 (交接板20)處於待機位置時，各交接銷26 的頂端從交接板20的上面20a向上方突出，在升降座16 (交接板20) 處於對準位置時，各交接銷26的頂端從交接板20的上側引導孔21向下 方拔出。
在升降座16 (交接板20)處於待機位置，各交接銷26的頂端從交 接板20的上面20a向上方突出的時候，在該交接銷26的頂端上放置面 板26。然後，將升降座16 (交接板20)向上方移動，各交接銷26的頂端一沒入交接板20的上側引導孔21，放置在交接銷26上的面板P就被 放置在交接板20上而進行交接。
升降座16 (交接板20)進一步向上移動到對準位置時，被交接到交 接板20上的面板P被布置在與設在光照射部3上的遮光罩8相向而鄰接 的位置。
另外，在升降座16 (交接板20)從對準位置朝待機位置向下移動的 時候，在其向下移動的途中各交接銷26的頂端一從交接板20的上側引 導孔21向上方突出，放置在交接板20的上面的面板P就被放置在交接 銷26上而進行交接。然後，將面板P交接到交接銷26上的升降座16 (交 接板20)向下移動到待機位置而停止，等待下次的交接動作。
在升降座16和交接板20之間設有對準裝置30。如圖3所示，對準 裝置30具有4個對準載臺31。各對準載臺31被固定設置在升降座16的 上面16a上。另外，在圖3中，為了便於說明，省略了形成在升降座16 上的下側引導孔17及間隔保持部件19。
4個對準載臺31以離升降座16的中心位置Po等距離的形式布置。 例如，4個對準載臺31以包圍升降座16的中心位置Po的形式布置，並 以將相鄰的對準載臺31連接時成為正四方形的形式布置在該四方形的各 頂點位置。
另外，在本說明書中特定各對準載臺31進行說明的時候，為了便於 說明，將設於升降座16左前側的對準載臺31稱為左前側對準載臺31a， 將設於升降座16右前側的對準載臺31稱為右前對準載臺31b。另外，將 設於升降座16右後側的對準載臺31稱為右後對準載臺31c，將設於升降 座16的左後側的對準載臺31稱為左後對準載臺31d。
所以，右前對準載臺31b和左後對準載臺31d隔著升降座16的中心 位置Po布置在對角線上的等距離位置，左前對準載臺31a和右後對準載 臺31c隔著升降座16的中心位置Po布置在對角線上的等距離位置。
如圖4所示，各對準載臺31具有固裝在升降座16的上面16a上的 基座32，在該基座32上可旋轉地支撐著滾珠螺杆33。相對基座32可旋 轉地支撐的滾珠螺杆33基於固定設置在基座32上的移動馬達M2的驅動 而正反旋轉。
在此，設在左前對準載臺31a的基座32上的滾珠螺杆33沿X箭頭 方向布置，如圖3所示，布置在基座32左側的移動馬達M2使滾珠螺杆 33正反旋轉。設在右前對準載臺31b的基座32上的滾珠螺杆33沿Y箭 頭方向布置，布置在基座32前側的移動馬達M2使滾珠螺栓33正反旋轉。
設在右後對準載臺31c的基座32上的滾珠螺杆33沿X箭頭方向布置，布置在基座32右側的移動馬達M2使滾珠螺杆33正反旋轉。設在左 後對準載臺31d的基座32上的滾珠螺杆33沿Y箭頭方向布置，布置在 基座32後側的移動馬達M2使滾珠螺杆33正反旋轉。在對準載臺31的基座32的上面，以可在長度方向滑動的形式布置 有移動塊34，在該移動塊34上螺合著滾珠螺杆33。移動塊34基於滾珠 螺杆33的正反轉沿滾珠螺杆33往返運動。詳細地說，螺合在設於左前對準載臺31a及右後對準載臺31c的滾 珠螺杆33上的移動塊34在左右方向(X及反X箭頭方向)往返移動。另 外，在本實施方式中，左前對準載臺31a及右後對準載臺31c的移動塊 34，在移動馬達M2 (滾珠螺杆33)正向轉動時分別朝圖3中的反X箭頭 方向(左側方向)和X箭頭方向(右側方向)移動，而在移動馬達M2 (滾 珠螺杆33)反向旋轉時分別朝X箭頭方向(右側方向)和反X箭頭方向 (左側方向)移動。另外，螺合在設於右前對準載臺31b及左後對準載臺31d的滾珠螺 杆33上的移動塊34在前後方向(Y及反Y箭頭方向)往返移動。另外， 在本實施方式中，右前對準載臺31b及左後對準載臺31d的移動塊34， 在移動馬達M2 (滾珠螺杆33)正向轉動時分別朝圖3中的反Y箭頭方向 (前側方向)和Y箭頭方向(後側方向)移動，而在移動馬達M2 (滾珠 螺杆33)反向旋轉時分別朝Y箭頭方向(後側方向)和反Y箭頭方向(前 側方向)移動。然後，在本實施方式中，左前對準載臺31a及右後對準載臺31c的 各個移動塊34構成了第l移動塊，右前對準載臺31b及左後對準載臺31d 的各個移動塊34構成了第2移動塊。而且，在本實施方式中，左前對準 載臺31a及右後對準載臺31c的各自的移動馬達M2及滾珠螺杆33構成 了第1驅動部，右前對準載臺31b及左後對準載臺31d的各自的移動馬 達M2及滾珠螺杆33構成了第2驅動部。在各移動塊34的上面，布置有旋轉板35。旋轉板35以作為該旋轉 板35旋轉軸的中心軸線Ct為中心，以相對於移動塊34可在水平方向上 旋轉的形式被支撐。在旋轉板35的上面固定設置有引導部件36，該引導部件36與旋轉 板35 —起以中心軸線Ct為中心相對於移動塊34在水平方向旋轉。在引 導部件36的上面凹設有截面呈U字狀的引導槽36a，該引導槽36a沿與 滾珠螺杆33的中心軸線方向相垂直的方向延伸。引導部件36的上側布置有旋轉放置工作檯37。旋轉放置工作檯37 為例如四方形狀的金屬板，固定設置在其下面的導軌38嵌合在引導槽36a中，以使旋轉放置工作檯37支撐於引導部件36上。導軌38沿引導槽36a 伸出形成，可滑動地嵌合在引導槽36a中，將旋轉放置工作檯37沿引導 槽36a可移動地進行引導。所以，旋轉放置工作檯37相對引導部件36 可以沿引導槽36a移動的同時，可以和旋轉板35 (引導部件36) —起相 對移動塊34在水平方向上旋轉。然後，在本實施方式中，左前對準載臺31a及右後對準載臺31c的 各自的旋轉板35、引導部件36及旋轉放置工作檯37構成第l旋轉工作 臺，右前對準載臺31b及左後對準載臺31d的各自的旋轉板35、引導部 件36及旋轉放置工作檯37構成第2旋轉工作檯。如圖3、圖4所示，在X方向上相鄰的旋轉放置工作檯37經由設在 各旋轉放置工作檯37上的緊固部件39，由作為第1聯結部件的前側或者 後側X軸聯結杆40a、 40b聯結固定。另外，在Y方向上相鄰的旋轉放置 工作檯37經由設在各旋轉放置工作檯37上的緊固部件39，由作為第2 聯結部件的左側或右側Y軸聯結杆41a、 41b聯結固定。各聯結杆40a、 40b、 41a、 41b由例如不鏽鋼管構成。詳細地說，如圖3所示，左前對準載臺31a的轉動放置工作檯37和 右前對準載臺31b的轉動放置工作檯37，與前側X軸聯結杆40a聯結。 在俯視的情況下，前側X聯結杆40a的中心軸線Cx與左前對準載臺31a 的滾珠螺杆33的中心軸線一致。並且在俯視的情況下，前側X軸聯結杆 40a的中心軸線Cx與右前對準載臺31b的滾珠螺杆33的中心軸線相垂直 的同時，與右前對準載臺31b的旋轉板35的中心軸線Ct交叉。另外，右前對準載臺31b的旋轉放置工作檯37和右後對準載臺31c 的旋轉放置工作檯37與右側Y軸聯結杆41b聯結。在俯視的情況下，右 側Y軸聯結杆41b的中心軸線Cy和右前對準載臺31b的滾珠螺杆33的 中心軸線一致。並且在俯視的情況下，右側Y軸聯結杆41b的中心軸線 Cy與右後對準載臺31c的滾珠螺杆33的中心軸線相垂直的同時，與右後 對準載臺31c的旋轉板35的中心軸線Ct交叉。進一步，右後對準載臺31c的旋轉放置工作檯37和左後對準載臺31d 的旋轉放置工作檯37與後側X軸聯結杆40b聯結。在俯視的情況下，後 側X軸聯結杆40b的中心軸線Cx與右後對準載臺31c的滾珠螺杆33的 中心軸線一致。並且在俯視的情況下，後側X軸聯結杆40b的中心軸線 Cx與左後對準載臺31d的滾珠螺杆33的中心軸線相垂直的同時，與左後 對準載臺31d的旋轉板35的中心軸線Ct交叉。再者，左後對準載臺31d的旋轉放置工作檯37和左前對準載臺31a 的旋轉放置工作檯37與左側Y軸聯結杆41a聯結。在俯視的情況下，左10側Y軸聯結杆41a的中心軸線Cy與左後對準載臺31d的滾珠螺杆33的 中心軸線一致。並且在俯視的情況下，左側Y軸聯結杆41a的中心軸線 Cy與左前對準載臺31a的滾珠螺杆33的中心軸線相垂直的同時，與左前 對準載臺31a的旋轉板35的中心軸線Ct交叉。另外，在此，在左前對準載臺31a的旋轉放置工作檯37上，將垂直 通過前側X軸聯結杆40a的中心軸線Cx和左側Y軸聯結杆41a的中心軸 線Cy的交叉點的軸(Z箭頭方向)稱為基準軸Ck。再者，在右前對準載臺31b的旋轉放置工作檯37上，將垂直通過前 側X軸聯結杆40a的中心軸線Cx和右側Y軸聯結杆41b的中心軸線Cy 的交叉點的軸(Z箭頭方向)稱為基準軸Ck。進一步，在右後對準載臺31c的旋轉放置工作檯37上，將垂直通過 右側Y軸聯結杆41b的中心軸線Cy和後側X軸聯結杆40b的中心軸線Cx 的交叉點的軸(Z箭頭方向)稱為基準軸Ck。再者，在左後對準載臺31d的旋轉放置工作檯37上，將垂直通過後 側X軸聯結杆40b的中心軸線Cx和左側Y軸聯結杆41a的中心軸線Cy 的交叉點的軸(Z箭頭方向)稱為基準軸Ck。這時，在各對準載臺31的旋轉放置工作檯37處於如圖3所示的狀 態下，使各對準載臺31的移動馬達M2向反轉方向以同樣的旋轉速度一 齊旋轉，將左前及右後對準載臺31a、 31c的移動塊34分別向X箭頭方 向(右側方向)和反X箭頭方向(左側方向)，將右前及左後對準載臺 31b、 31d的移動塊34分別向Y箭頭方向(後側方向)和反Y箭頭方向(前 側方向)以同樣的速度一齊移動。這時，4個對準載臺31的旋轉放置工作檯37通過聯結杆40a、 40b、 41a、 41b固定聯結，各個旋轉放置工作檯37能以旋轉板35的中心軸線 Ct為中心水平旋轉。結果，各對準載臺31的旋轉放置工作檯37向前後 左右中的一個方向移動的同時， 一邊向各自的方向移動一邊以中心軸線 Ct為中心朝圖3的逆時針方向旋轉。也就是說，左前對準載臺31a的旋轉放置工作檯37 —邊向X箭頭方 向移動， 一邊以中心軸線Ct為中心向圖3的逆時針方向旋轉。右前對準 載臺31b的旋轉放置工作檯37—邊向Y箭頭方向移動， 一邊以中心軸線 Ct為中心向圖3的逆時針方向旋轉。右後對準載臺31c的旋轉放置工作 臺37—邊向反X箭頭方向移動， 一邊以中心軸線Ct為中心向圖3的逆 時針方向旋轉。左後對準載臺31d的旋轉放置工作檯37 —邊向反Y箭頭 方向移動， 一邊以中心軸線Ct為中心向圖3的逆時針方向旋轉。結果，將各對準載臺31的旋轉板35的中心軸線Ct連 起來的四方形以該四方形的中心軸，即垂直通過升降座16的中心位置Po的軸線為 中心，向逆時針方向水平旋轉。下面，稱此移動為左旋轉移動模式。相反地，將各對準載臺31的移動馬達M2向正轉方向以同樣的旋轉 速度一齊旋轉，將左前及右後對準載臺31a、 31c的移動塊34分別向反X 箭頭方向(左側方向)和X箭頭方向(右側方向)，將右前及左後對準 載臺31b、 31d的移動塊34分別向反Y箭頭方向(前側方向)和Y箭頭 方向(後側方向)以同樣的速度一齊移動。結果，與上次相反，將各對準載臺31的旋轉板35的中心軸線Ct連 接起來的四方形以該四方形的中心軸，即垂直通過升降座16的中心位置 Po的軸線為中心，向順時針方向水平旋轉。下面，稱此移動為右旋轉移 動模式。再者，使左前對準載臺31a和右後對準載臺31c的移動馬達M2分別 向反轉方向和正轉方向以同樣的旋轉速度旋轉，將左前及右後對準載臺 31a、 31c的移動塊34—起向圖3的X箭頭方向(右側方向)移動。另外， 右前及左後對準載臺31b、 31d的移動塊34處於停止狀態。這時，由於右前及左後對準載臺31b、 31d的旋轉放置工作檯37分 別相對於移動塊34 (引導部件36)沿引導槽36a可向左右方向移動，各 對準載臺31的旋轉放置工作檯37各自向右側方向(X箭頭方向)移動。 結果，將各對準載臺31的旋轉板35的中心軸線Ct連接起來的四方形向 X箭頭方向平行移動。下面，稱此移動為右側平行移動模式。相反地，使左前對準載臺31a和右後對準載臺31c的移動馬達M2分 別向正轉方向和反轉方向以同樣的旋轉速度旋轉，將左前及右後對準載 臺31a、 31c的移動塊34—起向圖3的反X箭頭方向(左側方向)移動。 另外，右前及左後對準載臺31b、 31d的移動塊34處於停止狀態。這時，由於各對準載臺31的旋轉放置工作檯37各自向左側方向(反 X箭頭方向)移動，將各對準載臺31的旋轉板35的中心軸線Ct連接起 來的四方形向反X箭頭方向平行移動。下面，稱此移動為左側平行移動 模式。進一步，使右前對準載臺31b和左後對準載臺31d的移動馬達M2分 別向反轉方向和正轉方向以同樣的旋轉速度旋轉，將右前及左後對準載 臺31、 31d的移動塊34—起向圖3的Y箭頭方向(後側方向)移動。另 外，左前及右後對準載臺31a、 31c的移動塊34處於停止狀態。這時，由於左前及右後對準載臺31a、 31c的旋轉放置工作檯37分 別相對於移動塊34 (引導部件36)沿引導槽36a可向前後方向移動，各 對準載臺31的旋轉放置工作檯37各自向後側方向(Y箭頭方向)移動。結果，將各對準載臺31的旋轉板35的中心軸線Ct連接起來的四方形向Y箭頭方向平行移動。下面，稱此移動為後側平行移動模式。相反地，使右前對準載臺31b和左後對準載臺31d的移動馬達M2分 別向正轉方向和反轉方向以同樣的旋轉速度旋轉，將右前及左後對準載 臺31b、 31d的移動塊34—起向圖3的反Y箭頭方向(前側方向)移動。 另外，左前及右後對準載臺31a、 31c的移動塊34處於停止狀態。這時，由於各對準載臺31的旋轉放置工作檯37各自向前側方向(反 Y箭頭方向)移動，將各對準載臺31的旋轉板35的中心軸線Ct連接起 來的四方形向反Y箭頭方向平行移動。下面，稱此移動為前側平行移動 模式。通過這樣用各模式來旋轉控制各移動馬達M2，將各對準載臺31的旋 轉板35的中心軸線Ct連接起來的四方形可以向水平旋轉方向往返轉動， 還可沿X箭頭方向、Y箭頭方向往返移動。在各對準載臺31的旋轉放置工作檯37的上面，設有作為第2升降 部的升降用氣缸SL。升降用氣缸SL以，活塞杆SLa朝向上方的同時，活 塞杆SLa的中心軸線與所述基準軸Ck 一致的形式，固裝在旋轉放置工作 臺37上。在活塞杆SLa的頂端，聯結固定有圓板狀的升降載臺ST，升降 用氣缸SL使升降載臺ST上下移動。在升降載臺ST的上面，固裝著金屬制的圓柱體44，該圓柱體44貫 穿形成在交接板20上的貫穿孔20b。形成在交接板20上的貫穿孔20b與 擴展形成於交接板20上面側的大直徑的收容凹部20c連通。在圓柱體44的上面，固裝著圓板狀的對準工作檯AT，對準工作檯 AT通過升降用氣缸SL的驅動，收容於收容凹部20c或從交接板20的上 面突出(本實施方式為0.3mm)。另外，對準工作檯AT及圓柱體44的中 心軸與所述基準軸Ck一致。所以，各對準載臺31的對準工作檯AT—從交接板20的收容凹部20c 突出，放置在交接板20上的面板P就從交接板20由各對準工作檯AT向 上方抬起0. 3mm。然後，在通過各對準工作檯AT將面板P抬起的狀態下，所述各旋轉 放置工作檯37 —實行所述各種移動模式，被各對準工作檯AT抬起的面 板P就與各旋轉放置工作檯37—起進行左旋轉移動，右旋轉移動，右側 平行移動，左側平行移動，後側平行移動，及前側平行移動。也就是說，通過以各模式旋轉控制各移動馬達M2，可以使面板P在 水平旋轉方向往返轉動，還可以沿X箭頭方向、Y箭頭方向往返移動。如圖5所示，在各對準工作檯AT的上面，在中央部形成有多個吸引孔46，吸引孔46通過形成在圓柱體44上的通路與設在該圓柱體44側面 上的埠47 (參照圖4)相連通。在各對準工作檯AT的上面，形成有吸 附槽48，其與吸引孔46相連接。然後，在各對準工作檯AT的上面放置 了面板P的時候，吸附槽48的開口部被面板P堵塞，通過經由吸引孔46 吸引被堵塞的空間中的空氣，將面板P吸附在對準工作檯AT上。另一方 面，在將面板P吸附在對準工作檯AT上的狀態下，通過從吸引孔46向 吸附槽48導入空氣，將面板P從對準工作檯AT放開。如圖4所示，在升降載臺ST和旋轉放置工作檯37之間，在升降用 氣缸SL的周圍，以等角度的間隔設有例如3個升降引導部件50。升降引 導部件50具有圓筒形的引導筒50a和貫穿引導筒50a的引導軸50b。引 導筒50a的下端固定在旋轉放置工作檯37上，上側由支撐板51支撐固 定。引導軸50b的上端部固裝在升降載臺ST的下面，下側可滑動地貫穿 在引導筒50a中。在升降載臺ST的下面，以圍繞著升降用氣缸SL的形式固裝有例如3 個止動銷52，形成在其頂端的螺紋部52a以可上下移動的形式貫穿支撐 板51,從支撐板51的下面向下方突出。形成在止動銷52上的螺紋部52a 的頂端螺接著例如2個螺帽53，升降載臺ST向上移動的時候，螺帽53 與支撐板51卡和，限制升降載臺ST使之不能向上移動超過預定的距禽 (本實施方式為0. 3mm)。接著，基於圖6所示的方塊電路圖，對以上述形式構成的紫外線照 射裝置1的電氣構成進行說明。在圖6中，控制裝置61由具備CPU、 ROM、 RAM等的微機構成。控制 裝置61 (CPU)依照記錄在ROM中的程序實行用於在待機位置和對準位置 之間引導面板P的引導處理，及用於將面對遮光罩8的面板P對於該遮 光罩8進行位置對準的位置對準處理等。攝像裝置62拍攝設於遮光罩8及面板P上的對準標記(未圖示)。 攝像裝置62回應來自控制裝置61的控制信號而開始對準標記的攝像， 並將拍攝的圖像資料輸出至控制裝置61。控制裝置61基於攝像裝置62拍攝的對準標記的圖像資料，演算面 板P是否相對於遮光罩8在X箭頭方向，Y箭頭方向及水平旋轉方向上發 生了位置偏差。控制裝置61根據經演算的、面板P相對於遮光罩8在X箭頭方向、 Y箭頭方向及水平旋轉方向的位置偏差生成移動控制信號，該信號用於， 為了通過將面板P進行左旋轉移動、右旋轉移動、右側平行移動、左側 平行移動、後側平行移動、或者前側平行移動使其位置偏差變為零，而將移動塊34在X箭頭方向或者Y箭頭方向上往返移動。控制裝置61與移動馬達驅動電路63形成電氣連接。移動馬達驅動 電路63與各移動馬達M2連接，回應來自控制裝置61的移動控制信號而 使各移動馬達M2正反旋轉。控制裝置61生成用於使升降座16升降的升降控制信號，並將其輸 出至升降馬達驅動電路64。升降馬達驅動電路64與各升降馬達Ml連接， 回應來自控制裝置61的升降控制信號使各升降馬達M1正反旋轉。控制裝置61連接於浮起用閥驅動電路65，該浮起用閥驅動電路65 連接在浮起用電磁閥66上。浮起用電磁閥66為，用於將由未圖示的空 氣供給單元供給的空氣供給至形成在交接板20上的噴嘴孔22的電磁閥， 其回應來自控制裝置61的開關信號，由浮起用閥驅動電路65驅動而進 行開關動作。再者，控制裝置61連接在氣缸用閥驅動電路67上，該氣缸用閥驅 動電路67連接在氣缸用電磁閥68上。氣缸用電磁閥68為，用於將由未 圖示的空氣供給單元供給的空氣供給至升降用氣缸SL，或從該升降用氣 缸SL吸引空氣的電磁閥，其回應來自控制裝置61的控制信號由氣缸用 閥驅動電路67驅動而進行切換動作。詳細地說，控制裝置61輸出用於 使對準工作檯AT向上方移動的控制信號時，氣缸用電磁閥68向升降用 氣缸SL供給空氣使對準工作檯AT向上移動。相反地，控制裝置61輸出 用於使對準工作檯AT向下方移動的控制信號時，氣缸用電磁閥68從升 降用氣缸SL吸排空氣使對準工作檯AT向下移動。進一步，控制裝置61連接在吸附用閥驅動電路69上，該吸附用閥 驅動電路69連接在吸附用電磁閥70上。吸附用電磁閥70為用於從設在 圓柱體44上的埠47 (吸引孔46)吸引空氣的電磁閥，回應來自控制 裝置61的開關信號由吸附用閥驅動電路69驅動而進行開關動作。再者，控制裝置61連接在燈驅動電路71上，該燈驅動電路71連接 在紫外線燈6上。控制裝置61通過燈驅動電路71對紫外線燈6進行點 燈控制。接著，對設置於以上述方式構成的紫外線裝置中的對準裝置30的作 用進行說明。此時，如圖1所示，升降座16 (交接板20)處於與交接座25鄰接 的待機位置。所以，設在交接座25上的各交接銷26的頂端從交接板20 的上面20a向上方突出。在此狀態下，使用叉狀的機器手將面板P放置 在從交接板20的上面20a突出的交接銷26的頂端上。面板P被放置在交接銷26的頂端上後，控制裝置61通過升降馬達驅動電路64使升降馬達M1正轉，將升降座16 (交接板20)向上移動至 對準位置。在向上移動的途中，各交接銷26—沒入到交接板20中，放 置在交接銷26上的面板P就被交接並放置於交接板20上。升降座16 (交接板20)向上移動至對準位置時，控制裝置61通過 升降馬達驅動電路64使升降馬達Ml停止。接下來，控制裝置61通過浮起用閥驅動電路65開動浮起用電磁閥 66，從形成於交接板20上的噴嘴孔22噴出空氣，使面板P從交接板20 浮起0.3mm。接著，控制裝置61通過氣缸用閥驅動電路67開動氣缸用電 磁閥68，向各升降用氣缸SL供給空氣，使杆SLa伸長，使各對準工作檯 AT從交接板20向上移動0. 3mm。於此同時，控制裝置61通過吸附用閥驅動電路69開動吸附用電磁 閥70，通過從各對準工作檯AT的吸引孔46吸引空氣，以將面板P吸附 在對準工作檯AT上。由此，浮起的面板P被放置固定在各對準工作檯AT 上。接著，進行對準動作。首先，控制裝置61使攝像裝置62動作，並 取得由攝像裝置62拍攝的對準標記的圖像資料。控制裝置61根據取得 的對準標記的圖像資料，演算面板P是否相對於遮光罩8在X箭頭方向， Y箭頭方向及水平旋轉方向上發生了位置偏差。然後，位置偏差被算出時，控制裝置61根據位置偏差生成移動控制 信號，該信號用於，為了通過將面板P進行左旋轉移動、右旋轉移動、 右側平行移動、左側平行移動、後側平行移動、或者前側平行移動使該 位置偏差成為零，而將移動塊34在X箭頭方向或者Y箭頭方向上往返移 動。控制裝置61將生成的移動控制信號輸出至移動驅動電路63，對各移 動馬達M2進行適當的驅動控制，將面板P相對於遮光罩8的位置偏差變 成零。面板P相對於遮光罩8的位置偏差一被消除，控制裝置61就通過浮 起用闊驅動電路65切換浮起用電磁閥66，停止從形成在交接板20上的 噴嘴孔22噴出空氣。接著，控制裝置61通過氣缸用閥驅動電路67切換 氣缸用電磁閥68，從各升降用氣缸SL吸排空氣，使杆SLa收縮，將各對 準工作檯AT收容在收容凹部20c內。結果，面板P僅由自重放置在交接板20的上面20a上，進入靜止狀 態，對準結束。對準一結束，控制裝置61就通過燈驅動電路71點亮紫外線燈6，隔 著遮光罩8向形成在面板P中(基板間)的密封材料照射紫外線，使該 密封材料固化使面板P(兩基板)粘合。16在照射紫外線時，面板P (兩基板)因紫外線而溫度上升，構成面板 P的各個基板會稍微擴展。這時，由於面板P (兩基板)僅由自重放置在交接板20的上面20a上，所以兩基板會進行相同的擴展，不會發生由於 擴展的不同而造成的應力。密封材料固化，面板P (兩基板)的粘合完成時，控制裝置61通過 燈驅動電路71將紫外線燈6熄滅後，通過升降馬達驅動電路64使升降 馬達M1高速反正轉，使升降座16 (交接板20)高速下降至各交接銷26 從交接板20突出之前的位置(例如3niffl之前)。升降座16 (交接板20)下降至各交接銷26距離從交接板20突出 還有3mra時，控制裝置61通過升降馬達驅動電路64使升降馬達M1的旋 轉暫時停止後，使升降馬達M1以低速反正轉，使升降座16 (交接板20) 以低速下降大約5mm。由此，在此低速下降的途中，各交接銷26的頂端從交接板20的上 側引導孔21向上方突出，放置在交接板20的上面的面板P被放置在交 接銷26上而進行交接。然後，面板P—被交接到交接銷26上，控制裝置61就通過升降馬 達驅動電路64使升降馬達M1的旋轉暫時停止後，使升降馬達M1以高速 反正轉，使升降座16 (交接板20)高速$降至待機位置後停止，等待下 次的交接動作。下面，將以上述形式構成的實施方式的效果記載如下。(1) 對準裝置30由互相分開的4個對準載臺31構成，通過分別設 在互相分開的對準載臺31上的對準工作檯AT來支撐面板P。然後，通過 聯結杆40a、 40b、 41a、 41b使位於4處的對準工作檯AT連動，使面板P 對應於位置偏差進行左旋轉移動，右旋轉移動，右側平行移動，左側平 行移動，後側平行移動，或者前側平行移動。所以，可以將面板P相對 於遮光罩8的位置偏差變為零。(2) 用各對準載臺31的對準工作檯AT支撐面板P的4處。而且， 通過聯結杆40a、 40b、 41a、 41b使之連動以使面板P移動。所以，與支撐面板P的下面全體、為了位置對準而移動面板P的對 準載臺相比，可以使裝置小型化，隨之可以降低成本。而且，和以往的 對準載臺相比可以大幅輕量化，可以降低用於驅動移動機構的耗電量。而且，由於聯結杆40a、 40b、 41a、 41b由管構成，可以進一步實現輕量化，並進一步降低用於驅動移動機構的耗電量。(3) 由於只通過向上移動升降座16就可以將放置在交接銷26上的 面板P交接至交接板20上，並且只通過向下移動升降座16就可以將放置在交接板20上的面板P交接至交接銷26上，所以在將面板P對準遮光罩8後，可以連續地進行照射紫外線、面板粘合加工的作業。
這時，將各對準工作檯AT向上移動，在使面板P從交接板20分開的狀態下進行對準。所以，在對準的時候，交接板20和面板P不會摩擦。
另外，上述實施方式也可以按照以下的方式變更。
在上述實施方式中，在升降座16和交接板20之間設置了對準裝置30，使各對準載臺31的對準工作檯AT相對於交接板20的上面20a出沒。也可省略交接板20實施此方式。這種情況下，需要直接將面板P放置在各對準載臺31的對準工作檯AT上。
在上述實施方式中，將對準裝置30的各對準載臺31以呈正四方形的形式放置在升降座16上，然而也可以將其放置為長方形。
在上述實施方式中，為了使對準裝置30更加輕量化，將前側X軸及後側X軸聯結杆40a、 40b，左側Y軸及右側Y軸聯結杆41a、 41b形成為管狀，然而也可採用棒狀的杆。
在上述實施方式中，將對準裝置30放置在升降座16上，使放置在對準裝置30上的面板P上升到與遮光罩8相對的對準位置。也可使遮光罩8下降而與放置在對準裝置30上的面板P相對而實施此方式。
在上述實施方式中，將對準裝置30具體化為紫外線照射裝置1。也可將此應用於紫外線以外的光照射裝置、粘合液晶顯示屏板的2張基板的裝置，其他平面板的製造裝置，半導體裝置的對準裝置上。
權利要求
1、一種對準裝置，其放置在基座的上面，將工件向一個方向及與所述一個方向相垂直的其他方向移動，並將其水平旋轉，以進行所述工件的位置對準，其特徵在於具備2個第1移動塊，其分別以可沿所述一個方向往返移動的形式設在，定位於所述基座的上面的、形成正四方形或者長方形的4個頂點中處在一方的對角線上的一對頂點位置；2個第2移動塊，其分別以可沿所述其他方向往返移動的形式設在，所述4個頂點中處在另一方的對角線上的一對頂點位置；2個第1驅動部，其分別使所述第1移動塊中與其對應的1個沿所述一個方向往返移動；2個第2驅動部，其分別使所述第2移動塊中與其對應的1個沿所述其他方向往返移動；2個第1旋轉工作檯，其分別以可水平旋轉地被支撐的同時還可沿所述其他方向往返移動的形式設在所述對應的第1移動塊的上面；2個第2旋轉工作檯，其分別以可水平旋轉地被支撐的同時還可沿所述一個方向往返移動的形式設在所述對應的第2移動塊的上面；2個第1聯結部件，其在所述一個方向上聯結所述2個第1旋轉工作檯和所述2個第2旋轉工作檯；2個第2聯結部件，其在所述其他方向上聯結所述2個第1旋轉工作檯和所述2個第2旋轉工作檯；4個對準工作檯，其合作支撐所述工件，並分別設在所述第1旋轉工作檯及所述第2旋轉工作檯中與其對應的一個上。
2、 根據權利要求l記載的對準裝置，其特徵在於各個所述第1聯結部件及第2聯結部件為管。
3、 根據權利要求l或2記載的對準裝置，其特徵在於所述基座通過第l升降部在上下方向往返移動。
4、 根據權利要求3記載的對準裝置，其特徵在於進一步具備4個第2升降部，其分別布置在所述第1旋轉工作檯及所述第2旋轉工作檯中與其對應的l個上，使與其對應的對準工作檯向上下方向往返移動。
5、 根據權利要求3記載的對準裝置，其特徵在於在所述基座的上方的位置，隔著間隔保持部件平行地布置交接板，所述交接板具有收容凹部，該收容凹部凹設在所述交接板的上面，將所述對準工作檯以可從所述交接板的上面突出的形式收容，在所述基座的下方位置布置有固定座，所述固定座具有多個交接銷， 該交接銷布置在所述固定座的上面，基於所述第l升降部的開動貫穿所 述基座及所述交接板，可以從所述交接板的上面出沒。
6、 根據權利要求5記載的對準裝置，其特徵在於進一步具備4個第2升降部，其各自布置於所述第l旋轉工作檯及所述第2旋轉工作檯中與其對應的l個上，使與其對應的對準工作檯向上下方向往返移動。
7、 根據權利要求6記載的對準裝置，其特徵在於使所述工件浮起的工件浮起機構布置在所述交接板上。
8、 根據權利要求l或2記載的對準裝置，其特徵在於具備可選擇實行的水平旋轉模式及平行移動模式，在所述水平旋轉模式中，為了使所述第l旋轉工作檯及所述第2旋轉工作檯水平旋轉， 將所述2個第1驅動部及所述2個第2驅動部全部驅動，在所述平行移 動模式中，為了使所述第l旋轉工作檯及所述第2旋轉工作檯平行移動， 將所述2個第1驅動部或者所述2個第2驅動部驅動。
全文摘要
本發明提供一種可以將裝置全體小型輕量化，並可以降低對工件進行位置對準的負荷，還可以降低耗電量的對準裝置。對準裝置30具有互相分開的4個對準載臺31，並以設於各自對應的1個對準載臺31上的4個對準工作檯AT支撐面板。使位於4處的對準工作檯AT通過聯結杆40a、40b、41a、41b連動，將由對準工作檯AT支撐的面板對應於位置偏差進行左旋轉移動、右旋轉移動、右側平行移動、左側平行移動、後側平行移動、或者前側平行移動，以使面板相對於遮光罩的位置偏差變為零。
文檔編號H01L21/68GK101630086SQ200910164730
公開日2010年1月20日 申請日期2009年7月16日 優先權日2008年7月17日
發明者門脅徹二 申請人:株式會社愛發科