鍍膜真空室的轉板閥結構的製作方法

2023-05-13 05:36:41 2

專利名稱：鍍膜真空室的轉板閥結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及鍍膜設備中的真空隔開技術，具體是一種鍍膜真空室的轉板閥結 構。
背景技術：
PVD (物理氣相沉積)技術，即在真空中對靶材進行蒸發、濺射，使靶材(陶瓷、合金 等)上的分子附著並沉積在沉底(玻璃、有機物、金屬等)上的方法。需要在本底真空度達 到高真空(I(T1-IO-6Pa)的條件下進行。對於目前臥式連續濺射鍍膜設備，真空室之間採用獨立門閥隔開，必需能夠將各 真空室有效隔斷，起到穩定工藝氣體、保持真空度的作用。隨著光伏太陽能行業的發展，TCO 基板的尺寸也越來越大，例如1100*1400*3. 2mm等。在TCO薄膜的鍍制過程中還需要對基 板進行加熱，以及多種工藝氣體(Ar、02、H2等)的加入。這就對目前的轉板閥系統提出了 挑戰。目前國內轉板閥傳動複雜，材料採用不鏽鋼硬連接，旋轉角度誤差大，密封效果差，更 換零件所需時間較長。

實用新型內容針對上述問題，本實用新型旨在提供一種成本低可提高真空腔體的密封性，並容 易拆卸、維修的轉板閥結構。為實現該技術目的，本實用新型的方案是一種鍍膜真空室的轉板閥結構，包括門 閥板，所述門閥板固定在一組由壓簧和壓板組成的門閥壓座上；所述門閥壓座上固定安裝 在一主軸上，該主軸通過聯軸器連接於由氣缸傳動的氣缸撥叉。為便於更穩定的傳動，所述聯軸器配備有相應的軸承座。本方案結構緊湊，傳動靈活，門閥轉動無死角，同時因採用壓簧而使其傳動更加平 穩；密封效果好。本方案可在節約成本的前提下，提高真空腔體的密封性，並容易拆卸、維 修。

圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步詳細說明。如圖1所示，本實 用新型的一種鍍膜真空室的轉板閥結構，包括門閥板，所述門閥板5固定在一組由壓簧7和 壓板6組成的門閥壓座上；所述門閥壓座上固定安裝在一主軸4上，該主軸通過聯軸器3連 接於由氣缸傳動的氣缸撥叉1。所述聯軸器配備有相應的軸承座2。本門閥利用氣缸傳動至氣缸撥叉-聯軸器-主軸-門閥壓座，最後壓緊門閥板。其 特點是結構緊湊，傳動靈活，門閥轉動無死角，門閥能緊密貼合真空室，密封效果非常理想。因為採用聯軸器和肘節各部件連接非常靈活精密，使用材料輕質耐用，因而各部件拆卸十 分簡單，方便維護和更換各種部件。 以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例，並不用以限制本實用新型，凡是依據本 實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何細微修改、等同替換和改進，均應包含在本 實用新型技術方案的保護範圍之內。
權利要求一種鍍膜真空室的轉板閥結構，包括門閥板，其特徵在於所述門閥板(5)固定在一組由壓簧(7)和壓板(6)組成的門閥壓座上；所述門閥壓座上固定安裝在一主軸(4)上，該主軸通過聯軸器(3)連接於由氣缸傳動的氣缸撥叉(1)。
2.根據權利要求1所述的轉板閥結構，其特徵在於所述聯軸器配備有相應的軸承座⑵。
專利摘要本實用新型公開了一種成本低可提高真空腔體的密封性，並容易拆卸、維修的轉板閥結構，包括門閥板，所述門閥板固定在一組由壓簧和壓板組成的門閥壓座上；所述門閥壓座上固定安裝在一主軸上，該主軸通過聯軸器連接於由氣缸傳動的氣缸撥叉。本方案結構緊湊，傳動靈活，門閥轉動無死角，同時因採用壓簧而使其傳動更加平穩；密封效果好。本方案可在節約成本的前提下，提高真空腔體的密封性，並容易拆卸、維修。
文檔編號F16K31/12GK201687954SQ20102020452
公開日2010年12月29日 申請日期2010年5月26日 優先權日2010年5月26日
發明者唐貴民, 姜翠寧, 王克斌, 閆都倫, 黃啟耀 申請人:深圳中南光電技術裝備有限公司