貼片膠塗敷裝置及塗敷方法
2023-05-15 02:09:21 2
專利名稱：貼片膠塗敷裝置及塗敷方法
技術領域：
本發明涉及一種貼片膠塗敷裝置及塗敷方法，更具體地講，本發明涉及一種提高了貼片膠塗敷效率的貼片膠塗敷裝置及塗敷方法。
背景技術：
貼片膠被廣泛地應用在半導體封裝領域中，用於固定晶片。目前用於塗敷貼片膠的方法主要有兩種， 一種為點膠法，另一種為印刷法。
圖1示出了現有技術的用於塗敷貼片膠的點膠方法。參照圖1,現有技
術的塗敷貼片膠的點膠方法包括以下步驟提供塗膠臺101，用於對後續塗敷工藝提供支撐；將待塗敷基板105放置在塗膠臺101上，其中，待塗敷基板105具有預定塗敷區域；通過噴嘴106將貼片膠104滴落在基板105的預定塗敷區域上，其中，噴嘴106可以調節貼片膠104的輸出量。因此，貼片膠104被準確地塗敷在待塗敷基板105的預定塗敷區域上。
圖2示出了現有技術的用於塗敷貼片膠的印刷方法。參照圖2,現有技術的塗敷貼片膠的印刷方法包括以下步驟提供塗膠臺101,用於對後續塗敷工藝提供支撐；將待塗敷基板105放置在塗膠臺101上，其中，待塗敷基板105具有預定塗敷區域；在待塗敷基板105上方設置網板102,使得網板102的開口區域與待塗敷基板105的預定塗敷區域對應，可以通過調節網板102的厚度來確定在待塗敷基板105上塗敷的貼片膠104的厚度；將刮刀103從網板102的一端向另一端移動，使得刮刀103帶動貼片膠104沿著網板102運動，於是貼片膠102被均勻地塗敷在待塗敷基板105的預定塗敷區域上。
在上述兩種方法中，採用參照圖1的點膠方法只能對待塗敷基板105上的預定塗敷區域進行單個塗敷，效率低。採用參照圖2的印刷方法雖然能夠同時完成對一塊基板的塗敷操作，可以在一定程度上提高生產效率，但是在完成對一塊基板的塗敷操作之後，必須抬起網板102來加載新的待塗敷基板，在完成新基板的加載之後，再將網板102落下，繼續進行塗敷工藝。對於工業化生產而言，網板102的抬起和落下都會佔用生產時間，從而降低生產效
4率。
因此，需要一種提高了生產效率的貼片膠塗敷方法。
發明內容
性好並且生產效率高的貼片膠塗敷裝置及塗敷方法。
根據本發明的貼片膠塗敷裝置通過利用具有與待塗敷基板的預定塗敷區域對應的鏤空網眼的滾輪狀網板來完成對待塗敷基板的塗敷，通過驅動裝置使得滾輪狀網板和待塗敷基板同時運動，在滾輪狀網板和待塗敷基板運動的同時，貼片膠流到滾輪狀網板上，並且穿過滾輪狀網板的網眼而被塗敷到待塗敷基板的預定塗敷區域上。因此，根據本發明的貼片膠塗敷裝置在保證貼片膠準確地塗敷到待塗敷基板的預定塗敷區域的同時，提高了貼片膠的塗敷效率。
為了實現上述目的，本發明提供了這樣一種貼片膠塗敷裝置，所述貼片
膠塗敷裝置包括塗膠臺，該塗膠臺用來支撐待塗敷基板；滾輪狀網板，該滾輪狀網板上形成與所述待塗敷基板的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼；刮刀，該刮刀位於所述滾輪狀網板內部；外部加壓裝置，該外部加壓裝置用於對貼片膠加壓；第一驅動裝置，該第一驅動裝置用於驅動所述滾輪狀網板，使得滾輪狀網板在待塗敷基板的表面上方繞其中心旋轉；第二驅動裝置，該第二驅動裝置用於驅動所述待塗敷基板，使得待塗敷基板在塗膠臺的表面上水平運動；其中，當所述滾輪狀網板旋轉並且所述待塗敷基板水平運動時，所述外部加壓裝置對貼片膠加壓，使得所述貼片膠沿著所述刮刀流到所述滾輪狀網板上，並且穿過所述滾輪狀網板的鏤空網眼而被塗敷到所述待塗敷基板的預定塗敷區域上。
優選地，所述滾輪狀網板還包括旋轉軸，所述旋轉軸穿過滾輪狀網板的中心，所述滾輪狀網板通過所述第一驅動裝置的驅動圍繞所述旋轉軸轉動。
根據本發明的貼片膠塗敷方法通過利用具有與待塗敷基板的預定塗敷區域對應的鏤空網眼的滾輪狀網板來完成對待塗敷基板的塗敷，通過驅動裝置使得滾輪狀網板和待塗敷基板同時運動，在滾輪狀網板和待塗敷基板運動的同時，貼片膠流到滾輪狀網板上，並且穿過滾輪狀網板的網眼而被塗敷到待塗敷基板的預定塗敷區域上。因此，根據本發明的貼片膠塗敷方法在保證貼 片膠準確地塗敷到待塗敷基板的預定塗敷區域的同時，提高了貼片膠的塗敷效率。
為了實現上述目的，本發明提供了這樣一種貼片膠塗敷方法，所述貼片
膠塗敷方法包括以下步驟將待塗敷基板放置在塗膠臺上，所述待塗敷基板 具有預定塗敷區域；在所述待塗敷基板上方設置滾輪狀網板，所述滾輪狀網 板包括與所述待塗敷基板的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼；通過第一驅 動裝置驅動所述滾輪狀網板，使得滾輪狀網板在待塗敷基板的表面上方繞其 中心旋轉；通過第二驅動裝置驅動所述待塗敷基板，使得待塗敷基板在塗膠 臺的表面上水平運動；其中，當所述滾輪狀網板旋轉並且所述待塗敷基板水 平運動時，利用外部加壓裝置對貼片膠加壓，使得所述貼片膠沿著所述刮刀 流到所述滾輪狀網板上，並且穿過所述滾輪狀網板上的鏤空網眼而被塗敷到 所述待塗敷基板的預定塗敷區域上。
圖1示出了現有技術的用於塗敷貼片膠的點膠方法；
圖2示出了現有技術的用於塗敷貼片膠的印刷方法；
圖3是示出了根據本發明示例性實施例的貼片膠塗敷裝置對平板形基板 進行塗敷的示意圖4是示出了根據本發明示例性實施例的貼片膠塗敷裝置對巻帶形基板 進行塗敷的示意圖5是示出了根據本發明示例性實施例的滾輪狀網板的詳細結構的示意圖。
在附圖中，相同的標號將用來表示相同或相似的元件。
具體實施例方式
在下文中，將參照附圖對本發明的示例性實施例進行詳細的描述。 參照圖3和圖5,圖3示出了根據本發明示例性實施例的貼片膠塗敷裝 置對平板形的待塗敷基板塗敷貼片膠的情況。根據本發明示例性實施例的貼 片膠塗敷裝置包括塗膠臺101,用於對待塗敷基板105提供支撐；滾輪狀 網板107,設置在待塗敷基板105上方，滾輪狀網板107具有與待塗敷基板
6105的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼109 (參見圖5);刮刀103，設置在 滾輪狀網板107內部。其中，可以通過刮刀103與待塗敷基板105的距離來 確定貼片膠的厚度。根據本發明示例性實施例的貼片膠塗敷裝置還包括第一 驅動裝置(未示出)，用於驅動滾輪狀網板107,使得滾輪狀網板107在待塗 敷基板105的表面上方繞其中心旋轉，而不進行水平運動。貼片膠塗敷裝置 還包括第二驅動裝置(未示出)，用於驅動待塗敷基板105，使得待塗敷基板 105在塗膠臺101的表面上水平運動。優選地，在接觸待塗敷基板105的位 置，滾輪狀網板107旋轉運動的切線方向與待塗敷基板105的水平運動方向 相同。
貼片膠塗敷裝置還包括外部加壓裝置(未示出)，當滾輪狀網板107旋轉 並且待塗敷基板105水平運動時，通過外部加壓裝置對貼片膠104加壓，使 得貼片膠104沿著刮刀103的流到滾輪狀網板107上，並且穿過滾輪狀網板 107的鏤空網眼109而被塗敷到基板105的預定塗敷區域上。
另外，滾輪狀網板107還可以包括旋轉軸(未示出)，所述旋轉軸穿過滾 輪狀網板的中心。所述滾輪狀網板107通過第一驅動裝置的驅動來圍繞所述 旋轉軸轉動。
板105放置在塗膠臺101上，其中，待塗敷基板105具有預定塗敷區域；將 滾輪狀網板107放置在待塗敷基板105上，其中，滾輪狀網板107具有與待 塗敷基板105的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼109 (參見圖5);通過第 一驅動裝置(未示出)來驅動滾輪狀網板107,使得滾輪狀網板107在待塗 敷基板105的表面上方繞其中心旋轉；通過第二驅動裝置(未示出)來驅動 待塗敷基板105,使得待塗敷基板105在塗膠臺101的表面上水平運動；其 中，當滾輪狀網板107旋轉並且待塗敷基板105水平運動時，利用外部加壓 裝置(未示出)對貼片膠104加壓，使得貼片膠104沿著刮刀103流到滾輪 狀網板107上，並且穿過滾輪狀網板107的鏤空網眼109而被塗敷到待塗敷 基板105的待塗敷區域上。
下面，將參照圖4和圖5來描述根據本發明示例性實施例的貼片膠塗敷 裝置對巻帶形待塗敷基底105進行塗敷的情況。除了圖4中的待塗敷基板105 為巻帶形之外，圖4中所示的貼片膠塗敷方法與圖3中所示的貼片膠塗敷方 法相同。在待塗敷基板105為巻帶形的情況下，第二驅動裝置驅動待塗敷基
7板105,使得待塗敷基板105進行巻軸運動。
根據本發明的貼片膠塗敷裝置及塗敷方法，可以在保證將貼片膠準確地 塗敷到待塗敷基板的預定塗敷區域上的同時，實現連續的貼片膠塗敷操作， 而不需要現有技術中的將網板抬起並在完成新基板的加載之後的將網板落下 的工藝，減少了貼片膠塗敷過程的工藝時間，從而可以提高貼片膠塗敷的效 率。
儘管已經參照本發明的特定示例性實施例描述了本發明，但是本領域技 術人員應該理解，在不脫離由權利要求及其等同物限定的本發明精神或範圍 的情況下，可以對本發明進行各種修改和變化。
權利要求
1、一種貼片膠塗敷裝置，其特徵在於包括塗膠臺，該塗膠臺用來支撐待塗敷基板；滾輪狀網板，該滾輪狀網板上形成與所述待塗敷基板的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼；刮刀，該刮刀位於所述滾輪狀網板內部；外部加壓裝置，該外部加壓裝置用於對貼片膠加壓；第一驅動裝置，該第一驅動裝置用於驅動所述滾輪狀網板，使得滾輪狀網板在待塗敷基板的表面上方繞其中心旋轉；第二驅動裝置，該第二驅動裝置用於驅動所述待塗敷基板，使得待塗敷基板在塗膠臺的表面上水平運動；其中，當所述滾輪狀網板旋轉、所述待塗敷基板水平運動時，所述外部加壓裝置對貼片膠加壓，使得所述貼片膠沿著所述刮刀流到所述滾輪狀網板上，並且穿過所述滾輪狀網板的鏤空網眼而被塗敷到所述待塗敷基板的預定餘敷區域上。
2、 根據權利要求1所述的貼片膠塗敷裝置，其特徵在於所述滾輪狀網板 還包括旋轉軸，所述旋轉軸穿過滾輪狀網板的中心，所述滾輪狀網板通過所 迷第 一驅動裝置的驅動圍繞所述旋轉軸轉動。
3、 根據權利要求1或2所述的貼片膠塗敷裝置，其特徵在於所述待塗敷 基板可以為平板形或者巻帶形。
4、 一種貼片膠塗敷方法，其特徵在於包括以下步驟 將待塗敷基板放置在塗膠臺上，所述待塗敷基板具有預定塗敷區域； 在所述待塗敷基板上方設置滾輪狀網板，所述滾輪狀網板包括與所述待塗敷基板的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼；通過第一驅動裝置驅動所述滾輪狀網板，使得滾輪狀網板在待塗敷基板 的表面上方繞其中心旋轉；通過第二驅動裝置驅動所述待塗敷基板，使得待塗敷基板在塗膠臺的表 面上水平運動；其中，當所述滾輪狀網板旋轉、所述待塗敷基板水平運動時，利用外部 加壓裝置對貼片膠加壓，使得所述貼片膠沿著所述刮刀流到所述滾輪狀網板上，並且穿過所述滾輪狀網板上的鏤空網眼而被塗敷到所述待塗敷基板的預 定塗敷區域上。
5、 根據權利要求4所述的塗敷方法，其特徵在於所述滾輪狀網板還包括 旋轉軸，所述旋轉軸穿過滾輪狀網板的中心，所述滾輪狀網板通過所述第一 驅動裝置的驅動圍繞所述旋轉軸轉動。
6、 根據權利要求4或5所述的塗敷方法，其特徵在於所述待塗敷基板可 以為平板形或者巻帶形。
全文摘要
本發明公開了一種貼片膠塗敷裝置及塗敷方法。該貼片膠塗敷裝置包括塗膠臺，用來支撐待塗敷基板；滾輪狀網板，該滾輪狀網板上形成與待塗敷基板的預定塗敷區域對應的多個鏤空網眼；刮刀，位於滾輪狀網板內部；外部加壓裝置，用於對貼片膠加壓；第一驅動裝置，用於驅動滾輪狀網板，使得滾輪狀網板在待塗敷基板的表面上方繞其中心旋轉；第二驅動裝置，用於驅動所述待塗敷基板，使得待塗敷基板在塗膠臺的表面上水平運動。
文檔編號B05C1/10GK101468340SQ20071030085
公開日2009年7月1日 申請日期2007年12月29日 優先權日2007年12月29日
發明者杜茂華 申請人:三星電子株式會社;三星半導體(中國)研究開發有限公司