多線鋸切割機的砂漿分流閥的製作方法

2023-05-12 08:39:56 1

專利名稱：多線鋸切割機的砂漿分流閥的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種將流體進行分流的裝置，特別是涉及一種能夠將高粘度、高密度的流體砂漿進行分流的多線鋸切割機的砂漿分流閥。
背景技術：
多線鋸切割機是通過其高速運動的切割鋼線沾黏上砂漿後，將半導體晶棒或晶錠切割加工成晶片的設備。它具有加工效率和成品率高的特點，所以得到廣泛使用。但是，隨著材料價格的提高以及半導體晶棒或晶錠尺寸的增大，為降低加工成本，減少經濟損失，對加工成品率的要求則越來越高。大直徑晶棒加工過程中，晶片的翹曲度要求很高。現有技術中，大直徑的多線鋸切割機均分別設有由兩條管道構成的兩個砂漿噴淋口，高速運動的切割鋼線往返循環一次僅僅通過其中一個砂漿噴淋口粘黏附著砂漿，對晶棒進行切割。切割過程中，雖然一個砂漿泵同時對兩個砂漿噴淋口輸送砂漿，但是同時噴出有砂漿的兩個砂漿噴淋口總是交替的參與工作，當一條管道砂漿參與切割時，另一管道的砂漿則白白噴出不參與工作。當鋼線反向運行切割時，以前沒有起作用的噴淋砂漿再起切割作用，而另一個噴淋口噴出的砂漿則白白流淌退出工作。由於一個砂漿泵同時分配給兩個不同工作位置的噴淋口的砂漿流量實質上是不可能相等的，因而造成鋼線粘黏附著的砂漿量不等，為此極大地影響了沾黏有砂漿的鋼線對晶片的切割質量。另外，砂漿泵同時對兩個噴淋口做功，但是噴淋口卻只有一個參與工作，砂漿泵做了許多無用功，這樣既浪費了能源，又加劇了砂漿泵的損壞。

發明內容
本發明的目的是針對已有技術的不足，給出一種能降低砂漿泵使用功率、增長砂漿泵使用壽命，若干砂漿噴淋口可變換砂漿供給狀態，需要參與切割工作的噴淋口有砂漿流出，不參與切割工作的噴淋口沒有砂漿流出，參與噴淋工作的噴淋口同時噴出的砂漿流量一致、連續的多線鋸切割機的砂漿分流閥。本發明的目的是能夠實現的。本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥的特徵在於所述砂漿分流閥包括有一個腔體，所述腔體上部通過螺釘連接一個中心具有砂漿入口的上蓋，所述上蓋與所述腔體之間形成有砂漿分配腔，所述腔體的砂漿分配腔處環形向外均布設有至少兩個砂漿出口，所述腔體中心設有一個軸孔，所述軸孔上面設有環形槽，環形槽內安裝帶有凸凹結構的密封墊，所述軸孔下面設有軸承安裝孔，軸承安裝孔內通過螺釘、壓蓋固定有大軸承，所述腔體的軸孔以及大軸承的內孔上置有一個轉軸，所述轉軸處在所述密封墊上面的部分為一個大偏心體，所述轉軸的下部通過鍵連接一個蝸輪，所述轉軸的底端通過轉軸螺釘以及壓墊固定一個小軸承，所述蝸輪通過小軸承及墊圈固定在所述轉軸上，所述蝸輪與所述大軸承的壓蓋之間的所述轉軸上套接有一個張力彈簧，所述蝸輪的輪齒嚙合一個蝸杆，所述腔體的下部通過螺釘固定有固定座，所述蝸輪處在所述固定座的內部中心，所述固定座的底部設有一個中心凹槽，所述轉軸上的小軸承固定在所述中心凹槽中， 所述蝸杆通過限位墊圈以及軸承安裝在蝸杆座上，所述蝸杆通過聯軸節和鍵與電機連接，所述蝸杆座通過固定板、電機通過支座均固定在所述固定座上，所述固定座的底部安裝有所述大偏心體的位置傳感器。本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥，其中所述轉軸上的大偏心體由上表面的斜嚮導流面、側壁垂直面、砂漿出口遮擋面以及帶有密封槽的底面形成，所述轉軸在所述腔體上具有一個垂直的往返轉動軌跡。本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥，其中所述斜嚮導流面與所述砂漿出口或者另一砂漿出口呈敞口導流工作配合副，所述砂漿出口遮擋面與所述砂漿出口或者另一砂漿出口呈遮擋封嚴工作配合副，所述帶密封槽的底面與所述密封墊呈密封工作配合副，所述位置傳感器與所述蝸輪呈互為感應工作配合副。本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥，其中所述大偏心體的側壁垂直面與所述斜嚮導流面之間形成的夾角為銳角，所述側壁垂直面與所述砂漿出口遮擋面之間形成的夾角為鈍角，所述砂漿出口遮擋面與所述帶密封槽的底面之間形成的夾角為鈍角。本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥與現有技術不同之處在於本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥設有帶大偏心體的轉軸，轉軸轉動，大偏心體可以實現對砂漿噴淋口的選擇，使切割時需要參與工作的的噴淋口有砂漿流出，不參與工作的噴淋口沒有砂漿流出。本發明保證了砂漿流量的一致性，降低了砂漿泵的功率，本發明能夠有效的將高粘度、高密度的流體(如多線切割機切割使用的砂漿)進行分流並且保持砂漿流量的連續性和一致性。本發明的砂漿分流閥能夠應用到半導體行業的多線切割機中對砂漿的分流，同時也可應用到其它需要將高粘度、高密度的流體分流的行業。它具有廣泛的實用價值。下面結合附圖對本發明的多線鋸切割機的砂漿分流閥作進一步說明。


圖1為本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥的結構示意圖。圖2為本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥的蝸杆結構示意圖。圖3為本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥的轉軸結構示意圖。
具體實施例方式如圖1所示，本發明多線鋸切割機的砂漿分流閥其砂漿分流閥包括有一個腔體I。腔體I上部通過螺釘4連接一個中心具有砂漿入口 3的上蓋2，上蓋2與腔體I之間形成有砂漿分配腔。腔體I的砂漿分配腔處環形向外均布設有砂漿出口 9、24。腔體I中心設有一個軸孔。軸孔上面設有環形槽，環形槽內安裝帶有凸凹結構的密封墊7，軸孔下面設有軸承安裝孔，軸承安裝孔內通過螺釘22、壓蓋23固定有大軸承8。腔體I的軸孔以及大軸承8的內孔上置有一個轉軸6。轉軸6處在密封墊7上面的部分為一個大偏心體，轉軸6的下部通過鍵18連接一個蝸輪19，轉軸6的底端通過轉軸螺釘16以及壓墊15固定一個小軸承14，蝸輪19通過小軸承14及墊圈13固定在轉軸6上。蝸輪19與大軸承8的壓蓋23之間的轉軸6上套接有一個張力彈簧20。蝸輪19的輪齒嚙合一個蝸杆12。腔體I的下部通過螺釘10、21固定有固定座17。蝸輪19處在固定座17的內部中心。固定座17的底部設有一個中心凹槽，轉軸6上的小軸承14固定在中心凹槽中。
如圖2所示，蝸杆12通過限位墊圈31以及軸承30、32安裝在蝸杆座11上。蝸杆12通過聯軸節26和鍵29與電機27連接。蝸杆座11通過固定板33、電機27通過支座28均固定在固定座17上。固定座17的底部安裝有大偏心體的位置傳感器25。如圖3所示，轉軸6上的大偏心體由上表面的斜嚮導流面34、側壁垂直面、砂漿出口遮擋面36以及帶有密封槽的底面35形成。轉軸6在腔體I上具有一個垂直的往返轉動軌跡。大偏心體的側壁垂直面與斜嚮導流面34之間形成的夾角為銳角，側壁垂直面與所述砂漿出口遮擋面36之間形成的夾角為鈍角，砂漿出口遮擋面36與帶密封槽的底面35之間形成的夾角為鈍角。如圖1所示，轉軸6大偏心體的斜嚮導流面34與砂漿出口 9或者另一砂漿出口 24呈敞口導流工作配合副。砂漿出口遮擋面36與砂漿出口 9或者另一砂漿出口 24呈遮擋封嚴工作配合副。帶密封槽的底面35與密封墊7呈密封工作配合副。位置傳感器25與蝸輪19呈互為感應工作配合副。轉軸6通過電機27、蝸輪蝸杆帶動可以往返旋轉，以便一方面打開進入工作的砂漿出口 9或24，另一方面同時關閉退出工作的砂漿出口 9或24。以上所述的實施例僅僅是對本發明的優選實施方式進行描述，並非對本發明的範圍進行限定，在不脫離本發明設計精神的前提下，本領域普通技術人員對本發明的技術方案作出的各種變形和改進，均應落入本發明權利要求書確定的保護範圍內。
權利要求
1.一種多線鋸切割機的砂漿分流閥，其特徵在於:所述砂漿分流閥包括有一個腔體(1)，所述腔體(I)上部通過螺釘(4)連接一個中心具有砂漿入口(3)的上蓋(2)，所述上蓋(2)與所述腔體(I)之間形成有砂漿分配腔，所述腔體(I)的砂漿分配腔處環形向外均布設有至少兩個砂漿出口(9、24)，所述腔體(I)中心設有一個軸孔，所述軸孔上面設有環形槽，環形槽內安裝帶有凸凹結構的密封墊(7)，所述軸孔下面設有軸承安裝孔，軸承安裝孔內通過螺釘(22)、壓蓋(23)固定有大軸承(8)，所述腔體(I)的軸孔以及大軸承(8)的內孔上置有一個轉軸(6)，所述轉軸(6)處在所述密封墊(7)上面的部分為一個大偏心體，所述轉軸(6)的下部通過鍵(18)連接一個蝸輪(19)，所述轉軸(6)的底端通過轉軸螺釘(16)以及壓墊(15)固定一個小軸承(14)，所述蝸輪(19)通過小軸承(14)及墊圈(13)固定在所述轉軸(6)上，所述蝸輪(19)與所述大軸承(8)的壓蓋(23)之間的所述轉軸(6)上套接有一個張力彈簧(20)，所述蝸輪(19)的輪齒嚙合一個蝸杆(12)，所述腔體(I)的下部通過螺釘(10、21)固定有固定座(17)，所述蝸輪(19)處在所述固定座(17)的內部中心，所述固定座(17)的底部設有一個中心凹槽，所述轉軸(6)上的小軸承(14)固定在所述中心凹槽中， 所述蝸杆(12)通過限位墊圈(31)以及軸承(30、32)安裝在蝸杆座(11)上，所述蝸杆(12)通過聯軸節(26)和鍵(29)與電機(27)連接，所述蝸杆座(11)通過固定板(33)、電機(27 )通過支座(28 )均固定在所述固定座(17 )上，所述固定座(17 )的底部安裝有所述大偏心體的位置傳感器(25)。
2.根據權利要求1所述的多線鋸切割機的砂漿分流閥，其特徵在於:所述轉軸(6)上的大偏心體由上表面的斜嚮導流面(34)、側壁垂直面、砂漿出口遮擋面(36)以及帶有密封槽的底面(35)形成，所述轉軸(6)在所述腔體(I)上具有一個垂直的往返轉動軌跡。
3.根據權利要求1或2所述的多線鋸切割機的砂漿分流閥，其特徵在於:所述斜嚮導流面(34)與所述砂漿出口(9)或者另一砂漿出口(24)呈敞口導流工作配合副，所述砂漿出口遮擋面(36)與所述砂漿出口(9)或者另一砂漿出口(24)呈遮擋封嚴工作配合副，所述帶密封槽的底面(35 )與所述密封墊(7 )呈密封工作配合副，所述位置傳感器(25 )與所述蝸輪(19)呈互為感應工作配合副。
4.根據權利要求3所述的多線鋸切割機的砂漿分流閥，其特徵在於:所述大偏心體的側壁垂直面與所述斜嚮導流面(34)之間形成的夾角為銳角，所述側壁垂直面與所述砂漿出口遮擋面(36)之間形成的夾角為鈍角，所述砂漿出口遮擋面(36)與所述帶密封槽的底面 (35)之間形成的夾角為鈍角。
全文摘要
一種多線鋸切割機的砂漿分流閥，包括一個腔體，腔體連接具有砂漿入口且二者中心形成砂漿分配腔的上蓋。腔體有兩個砂漿出口，中心設有轉軸。轉軸上部為一個大偏心體，下部連接蝸輪蝸杆副，中部連接大軸承。蝸輪通過底端小軸承固定在轉軸上。蝸輪與大軸承之間的轉軸上套接有張力彈簧。蝸杆與電機連接。固定座安裝有大偏心體的位置傳感器。大偏心體由斜嚮導流面、側壁垂直面、砂漿出口遮擋面以及底面形成。電機轉動轉軸，大偏心體可旋轉選擇砂漿出口。本發明保證了砂漿流量的一致性，降低了砂漿泵的功率。它應用於半導體行業多線切割機中對砂漿的分流，也可應用到其它高粘度、高密度的流體分流的行業。
文檔編號F16K31/53GK103075542SQ20121058187
公開日2013年5月1日 申請日期2012年12月28日 優先權日2012年12月28日
發明者種寶春 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所