用於晶片粘接的方法及其裝置的製作方法

2023-05-04 16:42:46 1

專利名稱：用於晶片粘接的方法及其裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及的是一種用於晶片粘接的方法及其裝置，屬於粘接晶片技術 領域。
背景技術：
現有技術中用於晶片粘接的工藝方法包括如下工藝步驟
1) 粘接晶片膠的配置各組成成份間的重量比為地蠟松香熱熔膠-10: 6- 6;混合後放到鋼精鍋中在加熱板上，使地蠟，松香，熱熔膠使其充分溶
化後並攪拌均勻後使膠液用60目的金屬過濾網到30cm*50cm的託盤中；
2) 粘接晶片的夾具進行預熱要把使用的夾具放到電熱板上進行預熱；
3) 用長鑷子夾住滲透均勻的晶片組成的石它放到夾具中用雙手擠壓夾具， 並用鏟刀把擠壓出來多餘的膠，然後壓平、壓齊。最後待常溫冷卻後從夾具 中取出。
上述工藝缺陷晶片粘接的強度小，晶片與膠不能充分溶解，晶片與晶
片之間的密封性差，後序加工此產品的損壞率高。

發明內容
本發明提出一種用於晶片粘接的方法，旨在克服現有技術所存在的上述 缺陷，保證晶片粘接強度，晶片與膠充分溶解，提高晶片與晶片之間的密封 性和產品的合格率。本發明的技術解決方案該方法包括如下工藝步驟
一、 粘接晶片膠的配置各組成的重量比85號地蠟松香熱熔膠=5: 3: 5;混合後放到鋁鍋中的加熱板上加溫，加熱板的功率1000W，使地蠟、 松香、熱熔膠充分溶化後，進行攪拌，攪拌均勻後，膠液用60目的金屬過濾
網過濾，放入30crr^50cm的託盤中；
二、 粘接的晶片烘烤把晶片放到電烤箱內的託盤中，電烤箱的溫度為
180°C±10°C，烘烤時間為40土5分鐘；
三、 B電爐加熱板上的夾具架和夾具架上的可移動夾具進行預熱預熱溫 度30。C-50°C;
四、 把配置好的膠放到A電爐加熱板上加熱，熔化後的混合膠的溫度150 。C土1(TC;
五、 將上述工藝步驟二中已加熱好的晶片放到加熱的膠合鐵板上，膠合鐵 板上加熱溫度150°C±10°C，然後將上述工藝步驟一中已配置好的膠放在膠 合鐵板上進行充分溶解滲透到每一片晶片的表面
六、 用普通竹筷子進行搓拉晶片使晶片被膠滲透均勻使晶片表面混合膠 充分均勻地分散到晶片表面的每一處；
七、 在B電爐加熱板上預熱好的可移動夾具的底部和側面均勻地塗上一層 46#潤滑油0.32千克/平方米，夾具架的底部和側面也均勻地塗上一層46#潤 滑油0.32千克/平方米，然後用長鑷子夾住滲透均勻的晶片組成的砣放到可移 動夾具中再用雙手擠壓夾具，並用鏟刀把擠壓出來多餘的膠鏟掉，然後用直 角尺檢測直角度要求90。 ±1° ，用刀口尺和塞尺進行檢測平整度要求小於0.2mm，最後待常溫冷卻後從夾具中取出。
用於晶片粘接裝置，其結構是A電爐加熱板上設有膠合鐵板，B電爐加 熱板上設有加熱板架，膠合鐵板、加熱板架、夾具架安裝在工作檯上，夾具 架上有可移動夾具。
本發明的優點提高晶片粘接的強度，提高晶片與膠的充分溶解和滲透 均勻，同時提高晶片與晶片之間的密封性，減少後序加工此產品的損壞同時 提高最終產品的各項質量指標。


附圖1是用於晶片粘接裝置的結構示意圖。
圖中的l是膠合鐵板、2是A電爐加熱板、3是可移動夾具、4是夾具架、 5是B電爐加熱板、6是加熱板架。
具體實施例方式
對照附圖，其結構是A電爐加熱板2上設有膠合鐵板1， B電爐加熱板 5上設有加熱板架6，膠合鐵板1、加熱板架6、夾具架4安裝在工作檯AA 上，夾具架4上有可移動夾具3。
實施例l，晶片25MHZ (晶片型號HC-49U/S)
一、 粘接晶片膠的配置85號地蠟0.5kg,松香0.3 kg，熱熔膠0.5 kg混合 後放到鋁鍋中的加熱板上加溫，加熱板的功率IOOOW，使地蠟、松香、熱熔 膠充分溶化後，進行攪拌，攪拌均勻後，膠液用60目的金屬過濾網過濾，放 入30cmX50cm的託盤中；
二、 粘接的晶片烘烤把晶片放到電烤箱內的託盤中，電烤箱的溫度為170°C，烘烤時間為35分鐘；
三、 B電爐加熱板上的夾具架4和夾具架4上的可移動夾具3進行預熱: 預熱溫度30°C;
四、 把配置好的膠放到A電爐加熱板上加熱，熔化後的混合膠的溫度140
。C;
五、 將上述工藝步驟二中已加熱好的晶片放到加熱的膠合鐵板上，膠合鐵
板上加熱溫度140°C，然後將上述工藝步驟一中已配置好的膠放在膠合鐵板
上進行充分溶解滲透到每一片晶片的表面
六、 用工具進行搓拉晶片使晶片滲透均勻使晶片的表面的混合膠充分均 勻地分散到每一處；
七、 在B電爐加熱板上預熱好的可移動夾具的底部和側面均勻地塗上一層 46#潤滑油0.32千克/平方米，夾具架的底部和側面也均勻地塗上一層46#潤 滑油0.32千克/平方米，然後用長鑷子夾住滲透均勻的晶片組成的砣放到可移 動夾具中用雙手擠壓夾具，並用鏟刀把擠壓出來多餘的膠鏟掉，然後用直角 尺檢測直角度要求9r ，用刀口尺和塞尺進行檢測平整度要求小於0.15mm，
最後待常溫冷卻後從夾具中取出。
實施例2，晶片20MHZ (晶片型號HC-49U/S)
—、粘接晶片膠的配置85號地蠟0.2kg,松香0.12 kg，熱熔膠0.2 kg混 合後放到鋁鍋中的加熱板上加溫，加熱板的功率IOOOW，使地蠟、松香、熱 熔膠充分溶化後，進行攪拌，攪拌均勻後，膠液用60目的金屬過濾網過濾， 放入30cmX50cm的託盤中；二、 粘接的晶片烘烤把晶片放到電烤箱內的託盤中，電烤箱的溫度為 190°C，烘烤時間為45分鐘；
三、 對粘接晶片的夾具架和夾具架上的可移動夾具進行預熱預熱溫度 50°C;
四、 把配置好的膠放到A電爐加熱板上加熱把配置好的粘接膠放到A 電爐加熱板上，熔化後的混合膠的溫度160'C;
五、 將上述工藝步履二中已加熱好的晶片放到加熱的膠合鐵板上，膠合鐵
板上加熱溫度16(TC，然後將上述工藝步驟一中已配置好的膠放在膠合鐵板
上進行充分溶解滲透到每一片晶片的表面
六、 用工具進行搓拉晶片使晶片滲透均勻使晶片的表面的混合膠充分均 勻地分散到晶片表面的每一處；
七、 在B電爐加熱板上預熱好的可移動夾具的底部和側面均勻地塗上一層
46弁潤滑油0.32千克/平方米，夾具架的底部和側面也均勻地塗上一層46#潤 滑油0.32千克/平方米，然後用長鑷子夾住滲透均勻的晶片組成的砣放到可移 動夾具中用雙手擠壓夾具，並用鏟刀把擠壓出來多餘的膠鏟掉，然後用直角 尺檢測直角度89° ，用刀口尺和塞尺進行檢測平整度要求小於O.lOmm，最 後待常溫冷卻後從夾具中取出。
權利要求
1、用於晶片粘接的方法，其特徵是該方法包括如下工藝步驟一、粘接晶片膠的配置各組成的重量比為85號地蠟∶松香∶熱熔膠＝53∶5；經混合後放到A電爐加熱板上的鋁鍋中加溫，加熱板的功率1000W，使地蠟、松香、熱熔膠充分溶化後，進行攪拌，攪拌均勻後，膠液用60目的金屬過濾網過濾，放入30cm*50cm的託盤中；二、粘接的晶片烘烤把晶片放到電烤箱內的託盤中，電烤箱的溫度為170℃-190℃，烘烤時間為35-45分鐘；三、B電爐加熱板上的夾具架和夾具架上的可移動夾具進行預熱，預熱溫度30℃-50℃；四、把配置好的膠放到A電爐加熱板上加熱熔化後的混合膠的溫度140℃-160℃；五、將上述工藝步驟二中已加熱好的晶片放到加熱的膠合鐵板上，膠合鐵板上加熱溫度140-160℃，然後將上述工藝步驟一中已配置好的膠放在膠合鐵板上進行充分溶解，使膠滲透到每一片晶片的表面六、用普通竹筷子進行搓拉晶片，使晶片滲透均勻，晶片表面的混合膠充分均勻地分散到晶片表面的每一處；七、在B電爐加熱板上預熱好的可移動夾具的底部和側面均勻地塗上一層46#潤滑油0.32千克/平方米，夾具架的底部和側面也均勻地塗上一層46#潤滑油0.32千克/平方米，然後用長鑷子夾住滲透均勻的晶片組成的砣放到可移動夾具中再用雙手擠壓夾具，並用鏟刀把擠壓出來多餘的膠鏟掉，然後用直角尺檢測直角度要求90°±1°，用刀口尺和塞尺進行檢測平整度要求小於0.2mm，最後待常溫冷卻後從夾具中取出。
2、用於晶片粘接的裝置，其特徵是A電爐加熱板(2)上設有膠合鐵板 (1)， B電爐加熱板(5)上設有加熱板架(6)，膠合鐵板(l)、加熱板架(6)、 夾具架(4)安裝在工作檯(AA)上，夾具架(4)上有可移動夾具(3)。
全文摘要
本發明是一種用於晶片粘接的方法及其裝置，工藝步驟粘接晶片膠的配置要粘接的晶片烘烤；粘接晶片的夾具架和夾具架上有可移動夾具進行預熱；把配置好的膠放到電爐膠合鐵板上加熱；把加熱好的晶片放到加熱的膠合鐵板上讓加熱的膠進行充分溶解滲透到每一片晶片的表面；用工具進行搓拉晶片使晶片表面滲透均勻；砣放到夾具架和夾具架上的可移動夾具中用雙手擠壓夾具，剷除多餘的膠，用直角尺檢測直角度要求90°±1°，用刀口尺和塞尺進行檢測平整度要求小於0.2mm，待常溫冷卻後從夾具中取出。優點提高晶片粘接的強度，提高晶片與膠的充分溶解和滲透均勻，提晶片與晶片之間的密封性，減少後序加工此產品的損壞同時提高最終產品的各項質量指標。
文檔編號H01L21/00GK101510516SQ20091003036
公開日2009年8月19日 申請日期2009年3月20日 優先權日2009年3月20日
發明者王玉香, 肖玉森 申請人:南京德研電子有限公司