脆性材料基板的劃刻方法以及劃刻頭單元與流程

2023-05-04 14:27:45 1

本發明涉及用於通過金剛石劃刻尖(diamond point)對玻璃基板、矽晶片等脆性材料基板進行劃刻的脆性材料基板的劃刻方法以及劃刻頭單元。

背景技術：

以往，為了對玻璃基板、矽晶片進行劃刻，應用使用了劃刻輪、單晶金剛石製成的金剛石劃刻尖的劃刻工具。對玻璃基板主要使用相對於基板進行轉動的劃刻輪，但考慮到劃刻後的基板的強度提高等優點，也探討了作為固定刃的金剛石劃刻尖的使用。專利文獻1、2提出了用於對藍寶石晶片、氧化鋁晶片等硬度高的基板進行劃刻的劃刻尖切割器。在上述的專利文獻中使用在稜錐的稜線上設有切割尖(cut point)的工具、前端成為圓錐的工具。

在先技術文獻

專利文獻1：日本特開2003-183040號公報

專利文獻2：日本特開2005-079529號公報

在利用使用了金剛石劃刻尖的劃刻工具作為工具來對玻璃基板進行劃刻的情況下，存在著金剛石劃刻尖的壽命短，在劃刻了幾十米的階段即發生損傷的問題。

技術實現要素：

本發明是為了解決以上那樣的課題而作成的，其目的在於提供在對脆性材料基板進行切斷時能夠提高使用了金剛石劃刻尖的劃刻工具的耐久性、延長壽命且減少更換頻度的劃刻頭單元以及使用了該劃刻頭單元的劃刻方法。

為了解決該課題，本發明的脆性材料基板的劃刻方法對脆性材料基板沿著劃刻預定線塗布潤滑劑，將使用了金剛石的劃刻工具的劃刻尖按壓在所述劃刻預定線上，通過使脆性材料基板與劃刻工具相對地移動來進行劃刻。

在此，可以包括在向所述脆性材料基板塗布潤滑劑之前對劃刻預定線進行清潔的步驟。

在此，可以包括在對所述脆性材料基板進行劃刻之後去除潤滑劑被膜的步驟。

在此，可以包括在結束所述劃刻之後對劃刻工具的劃刻尖進行清掃的步驟。

在此，所述潤滑劑為糊狀或液體狀。

在此，所述潤滑劑可以為潤滑油、醇、表面活性劑以及水中的任一種。

為了解決該課題，本發明的劃刻頭單元以規定的載荷將劃刻工具的劃刻尖向脆性材料基板的劃刻預定線上按壓，通過使脆性材料基板與劃刻工具相對地移動來進行劃刻，所述劃刻頭單元的特徵在於，具備：劃刻工具，其具有使用了金剛石的一個或多個劃刻尖；工具支架，其用於固定所述劃刻工具；以及潤滑劑塗布機構，其用於將潤滑劑塗布在劃刻預定線上。

在此，所述劃刻頭單元可以具有沿著劃刻預定線進行脆性材料基板的異物去除的異物去除機構。

在此，所述異物去除機構可以具備：異物去除支架；以及異物去除構件，其設置在所述異物去除支架的下端。

在此，所述潤滑劑塗布機構可以具備：潤滑劑供給支架；以及潤滑劑塗布構件，其設置在所述潤滑劑供給支架的下端。

在此，所述潤滑劑塗布機構可以具有周期性地供給潤滑劑的噴射單元。

在此，所述潤滑劑塗布機構可以具有潤滑劑槽。

發明效果

根據具有這樣的特徵的本發明，首先向脆性材料基板的劃刻預定線塗布潤滑劑，由具有金剛石劃刻尖的劃刻工具進行劃刻。因此，可得到金剛石劃刻尖不易磨損、能夠大幅提高耐久性這樣的效果。並且在塗布潤滑劑前對劃刻預定線進行清潔的情況下，最初附著於脆性材料基板的異物、或者在劃刻中產生的異物不會捲入脆性材料基板與劃刻工具之間，可得到能夠進一步減少劃刻尖的損傷這樣的效果。

附圖說明

圖1是示出本發明的實施方式的在工具支架上使用的劃刻工具的一例的俯視圖以及側視圖。

圖2是本實施方式的工具支架的立體圖。

圖3是示出本發明的第一實施方式的劃刻頭單元的一例的主視圖以及側視圖。

圖4是示出本發明的實施方式中的玻璃基板的切斷方法的流程圖。

圖5是本發明的實施方式中的玻璃基板的俯視圖。

圖6是本發明的實施方式的玻璃基板的劃刻預定線的放大圖。

圖7是在本發明的實施方式中的劃刻方法中形成的溝槽線、以及裂紋線的剖視圖。

圖8是示出本實施方式的玻璃基板的溝槽線與輔助線的圖。

圖9是示出本發明的第二實施方式的劃刻頭單元的主視圖以及側視圖。

圖10是示出本發明的第三實施方式的劃刻頭單元的主視圖以及側視圖。

圖11是示出本發明的第四實施方式的劃刻頭單元的主視圖以及側視圖。

圖12是示出本發明的第五實施方式的劃刻頭單元的主視圖以及側視圖。

圖13是示出本發明的第六實施方式的劃刻頭單元的主視圖。

圖14是示出本發明的第七實施方式的劃刻頭單元的主視圖。

圖15是示出本發明的第八實施方式的劃刻頭單元的主視圖以及側視圖。

圖16是示出本發明的第九實施方式的劃刻頭單元的主視圖以及側視圖。

圖17是示出本發明的第十實施方式的劃刻頭單元的主視圖。

附圖標記說明

10 多尖金剛石工具

11 基體

12 貫通孔

13a～13d 稜線

14a～14d 第一傾斜面

15a～15d 第二傾斜面

20 工具支架

21 工具支架主體

22a 支架保持部

22b 工具保持部

23a、23b、24a、24b 貫通孔

25 厚度調節槽

26a、26b、26c、31a、31b、31c 傾斜面

27 螺紋槽

28 工具保持槽

30 支架壓塊

33 厚度調節銷

34 螺釘

40A～40J 劃刻頭單元

41 頂板

42 氣缸

43 引導機構

44 滑動部

45 板

50 塊體

51 異物去除支架

52 海綿

53 潤滑劑供給支架

54 海綿

55 潤滑劑供給管

56 潤滑劑槽

60 玻璃基板

70、71 支承板

72 噴射單元

73 排出口

74 海綿

80 支架

81 管

82 海綿

P1～P8 劃刻尖

SIL1～SIL6 劃刻預定線

TL1～TL6 溝槽線

AL 輔助線

CL1～CL6 裂紋線

具體實施方式

接下來，對本發明的實施方式進行說明。首先，圖1是示出本實施方式的劃刻頭單元的由工具支架保持的劃刻工具、即多尖金剛石工具(以下僅稱為金剛石工具)10的一例的俯視圖以及側視圖。該金剛石工具10將具有一定的厚度且旋轉對稱的由任意數量的邊構成的多邊形的稜柱作為基體。在該實施方式中，一定厚度的四稜柱的基體11由單晶金剛石構成，且在其中心具有貫通孔12。在基體11上，與穿過貫通孔12的軸(圖1的(a)中與紙面垂直的軸)平行的稜線13a～13d均等地形成在四邊形的外周面上。

在本實施方式中，如圖1所示，對基體11以從四周的角部分的四稜柱的兩底面朝向外周面所交叉的稜線倒角的方式進行研磨。即如圖1的(b)所示，從基體11的右側的底面的四個角朝向基體11的稜線進行研磨而形成第一傾斜面14a～14d。此時，以使基體11的底面的夾著稜線的邊與傾斜面所成的角相等、即傾斜面成為以稜線的一端為頂點的等腰三角形的方式進行研磨。這樣的傾斜面可以通過雷射加工或機械加工而容易地形成。另外，也可以在雷射加工之後進一步進行機械研磨，取得更精密的研磨麵。這樣一來，能夠以各稜線13a～13d與第一傾斜面14a～14d的交點為頂點，如圖1的(b)所示那樣在對基體進行側視觀察時在右側形成四個劃刻尖P1～P4。此時基體11的傾斜面14a～14d成為頂面。在此頂面是指與形成稜線的兩個外周面相接且共有稜線的一端的面。

接下來，從基體11的另一方的底面同樣地朝向基體11的外周進行研磨而形成第二傾斜面15a～15d。此時，以第一傾斜面與第二傾斜面的研磨範圍的合計不超過基體的厚度的方式進行研磨，使得在第一傾斜面與第二傾斜面之間殘留有稜線。這樣一來，能夠以各稜線13a～13d與第二傾斜面15a～15d的交點為頂點，如圖1的(b)所示那樣在對基體進行側視觀察時在左側形成四個劃刻尖P5～P8。這樣，通過使稜線13a～13d的兩端為劃刻尖P1～P8，由此能夠對四邊形的金剛石工具10在外周形成八處劃刻尖。

接下來對工具支架進行說明。圖2是示出工具支架的組裝的立體圖。如圖2所示，構成工具支架20的主要部分的工具支架主體21包括長方體狀的支架保持部22a、以及具有在支架保持部22a的前端切去長方體的上半部分而成的形狀的工具保持部22b。如圖2所示，支架保持部22a上設有用於將工具支架固定於劃刻頭單元的安裝用的貫通孔23a、23b以及貫通孔24a、24b。並且工具保持部22b具有在接近支架保持部22a的位置處切出的與長度方向垂直的厚度調節槽25。如圖2所示，在前端部設有從左右切出的傾斜面26a、26b、和從下方切出的傾斜面26c。並且在工具保持部22b的大致中央部分設有與中心軸垂直的螺紋槽27。在工具保持部22b的表面，沿著工具支架主體21的長度方向的中心軸且具有一定深度的工具保持槽28穿過螺紋槽27而形成，在工具保持部22b的前端部，工具保持槽28朝向外側而以約90°的角度開放。換言之，工具保持槽28隨著朝向前端而寬度變寬，槽的內壁的延長線相交的角度為90。。厚度調節槽25與工具保持槽28具有相同的深度。在此，工具保持槽28的呈90°開放的區域成為對前述的四邊形的金剛石工具10進行保持且使其前端部分向外部突出的保持區域。

而且在該工具保持部22b的上部安裝有支架壓塊30。支架壓塊30呈大致長方體狀且安裝於工具保持部22b的凹處而構成長方體狀的工具支架20。在支架壓塊30的前端部左右設有與工具保持部22b的傾斜面26a、26b對應的傾斜面31a、31b，在支架壓塊30的上表面設有與傾斜面26c對應的傾斜面31c。並且在支架壓塊30的中央部分設有貫通孔32。

在將金剛石工具10保持於工具支架20的情況下，首先將具有與金剛石工具10的厚度相同的直徑的厚度調節銷33作為厚度調節構件而插入到厚度調節槽25中，接下來在向工具保持槽28嵌入金剛石工具10並使金剛石工具10的一部分突出的狀態下蓋上支架壓塊30，通過緊固螺釘34而固定。這樣一來，支架壓塊30的下表面始終相對於工具保持部22b的面平行地接觸，因此能夠將金剛石工具10可靠地固定在前端。

圖3是示出將具有金剛石工具10的工具支架20安裝於劃刻頭單元的狀態的主視圖以及側視圖。劃刻頭單元40A構成為板狀的頂板41自身通過未圖示的滑動機構而整體地上下移動。而且在該頂板41上固定有劃刻載荷用的氣缸42。氣缸42的下端的杆42a伸縮自如地突出。而且如圖3的(b)所示，在頂板41的杆42a的下方設有引導機構43和滑動部44，並以規定的載荷將滑動部44向下方按壓。引導機構43將滑動部44保持為上下移動自如。在滑動部44設有L字形的板45。板45與滑動部44一起上下移動，但下限由限動件46限制。而且，通過使螺釘47a、47b穿過貫通孔23b、24b而將工具支架20沿傾斜方向固定在該板45上。而且能夠通過使劃刻頭單元40A沿箭頭A方向移動來進行劃刻。

而且在頂板41的右端，在塊體50上設有異物去除支架51。如圖3的(b)所示，長方體狀的塊體50以使異物去除支架和後述的潤滑劑供給支架在從側面觀察時與金剛石工具位於同一位置的方式從頂板41向左方突出。異物去除支架51與工具支架同樣地為長方體狀且垂直地固定，且在前端安裝有海綿52。海綿52是在使劃刻頭單元40A沿箭頭A方向移動時，在即將進行劃刻之前與基板接觸而對附著於劃刻預定線的異物進行去除的異物去除構件。在此，異物去除支架51及其前端的柔軟的異物去除構件即海綿52構成安裝於劃刻頭單元40A的異物去除機構。

並且在塊體50上，與異物去除支架51相鄰地安裝有潤滑劑供給支架53。潤滑劑供給支架53與異物去除支架51同樣地為長方體狀且垂直地固定，且在前端安裝有海綿54。從未圖示的潤滑劑供給單元經由潤滑劑供給管55而向海綿54供給潤滑劑。海綿54是在即將進行劃刻之前向劃刻預定線上塗布潤滑劑的潤滑劑塗布構件。在此，潤滑劑的供給量、供給的時機由搭載於劃刻裝置的供給單元指示。在此，潤滑劑供給支架53及其前端的柔軟的塗布構件即海綿54構成安裝於劃刻頭單元40A的潤滑劑塗布機構。

接下來，針對使用本實施方式的劃刻頭單元40A對作為脆性材料基板的玻璃基板進行切斷的方法，利用圖4的流程圖、圖5的玻璃基板的俯視圖進行說明。首先，在步驟S1中準備具有平坦的表面SF的玻璃基板60。在對玻璃基板60進行劃刻時，將傾斜安裝的工具支架20的金剛石工具10的一個劃刻尖P1以相對於玻璃基板60接觸的方式進行固定，將劃刻頭單元40A在玻璃基板60的一邊60a的附近壓下並使之向圖示的箭頭A方向移動，從而使劃刻頭單元40A滑動至切斷預定線的接近另一邊60b的位置處。若像這樣使劃刻頭單元40A移動，則通過安裝於異物去除支架51的海綿52將劃刻預定線的異物去除。即如圖4的步驟S2所示，沿著劃刻預定線進行清潔。此時如圖6的(a)中的劃刻預定線SIL1的放大圖所示，以將劃刻預定線SIL1包含在中央的方式對規定寬度的線進行清潔。通過這樣對劃刻預定線進行清潔，從而在劃刻中異物不會被捲入玻璃基板60與刀尖之間，能夠減少金剛石工具的劃刻尖的損傷。

接下來如圖6的(b)所示，與對劃刻預定線SIL1進行清潔後的部分重疊地，通過潤滑劑供給支架53的海綿54來較薄地塗布潤滑劑(步驟S3)。然後通過由工具支架20保持的劃刻頭的金剛石工具進行劃刻，從而如圖5所示那樣，沿著劃刻預定線SIL1而形成溝槽線TL1(步驟S4)。此時，由於金剛石工具10不轉動，因此能夠以同一個劃刻尖進行劃刻。實際上，通過使劃刻頭單元40A移動，從而步驟S2～S4大致同時進行。這樣一來，通過潤滑劑的潤滑效果，能夠大幅減少金剛石工具的劃刻尖的磨損，從而能夠實現長壽命化。例如在不塗布潤滑劑的情況下，金剛石工具的劃刻尖劃刻幾十米即發生磨損，但在塗布潤滑劑的情況下，能夠在幾千米的範圍內保持耐久性。

如示出圖5的(a)的圓形部分的剖面的圖7的(a)所示那樣，溝槽線是指通過劃刻而在玻璃基板60的表面SF上僅形成塑性變形產生的槽，而在厚度方向上不產生裂紋的線。因此，與形成使裂紋產生的通常的劃刻線的情況相比，能夠採用更低的載荷等，以更寬的劃刻條件進行用於形成溝槽線的劃刻。另外，在本實施方式中，邊60a成為劃刻上遊側，邊60b成為下遊側。

同樣地，沿著玻璃基板60的表面SF的劃刻預定線SIL2～SIL6而使劃刻頭單元40A從左向右移動。由此，通過異物去除支架51的海綿52去除劃刻預定線的異物，通過潤滑劑供給支架53的海綿54塗布潤滑劑，進而通過金剛石工具10進行劃刻。這樣，與溝槽線T1平行地進一步形成五根溝槽線TL2～TL6。

接下來如圖8所示，以與各溝槽線交叉的方式形成輔助線AL1。輔助線AL1優選形成在各溝槽線的下遊側、即接近邊60b的位置。如圖1所示，輔助線AL1可以使用具有金剛石的刀尖的劃刻工具形成，也可以轉動劃刻輪而形成。在本實施方式中，輔助線為形成有裂紋的裂紋線。

若這樣形成輔助線AL1，則玻璃基板60沿著輔助線AL1被切斷。此時如圖7的(b)所示那樣，從已形成的溝槽線TL1～TL6與輔助線AL1交叉的位置產生裂紋，裂紋向各溝槽線TL1～TL6的上遊側伸展(步驟S5)。從而，溝槽線TL1～TL6變化為在其下方伴有裂紋的裂紋線CL1～CL6。

然後在圖4的步驟S6中，通過沿著該裂紋線CL1～CL6將玻璃基板60切斷，由此能夠將玻璃基板60切斷為所希望的形狀。

另外在本實施方式中，通過形成輔助線並沿著輔助線分離來產生裂紋，但也可以設為不伴有輔助線的分離的工序。在該情況下，在形成輔助線時沿著溝槽線形成裂紋。另外，不形成輔助線，而進行在溝槽線的終端使金剛石工具向反方向滑動而形成裂紋的工序、或者延長溝槽線而使金剛石工具通過基板的端部的工序等，由此也能夠沿著溝槽線產生裂紋。

在與基板接觸的劃刻尖P1由於磨損而劣化的情況下，從劃刻頭單元將工具支架拆下後旋轉180°來調換前後，由此能夠使用劃刻尖P5。或者將金剛石工具10暫時從工具支架20拆下後旋轉90°並再次固定於工具支架20，從而使其他的劃刻尖、例如劃刻尖P2與玻璃基板60接觸而同樣地進行劃刻預定線的清潔、潤滑劑塗布以及劃刻。

接下來，對具有異物去除、塗布潤滑劑的功能的劃刻頭單元的其他實施方式進行說明。圖9～圖17示出第二至第十實施方式的劃刻頭單元，對與前述的實施方式相同的部分用相同的附圖標記表示。如圖9所示，在第二實施方式的劃刻頭單元40B中，在潤滑劑供給支架53的前端設置的海綿54用於塗布潤滑劑，並且也用作用於進行異物去除的海綿。這樣一來，不需要異物去除支架51、海綿52，從而能夠簡化構造。在該情況下，也可以使塊體50更加小型。

圖10是示出本發明的第三實施方式的劃刻頭單元40C的一例的主視圖。如本圖所示，在平板狀的支承板70上安裝異物去除支架51。支承板70與塊體50同樣地以使異物去除支架51在從側面觀察時與金剛石工具位於同一位置的方式從頂板41向左方突出。在異物去除支架51的前端固定的海綿52與第一實施方式相同。並且與異物去除支架51相鄰而在支承板71設置噴射單元72。噴射單元72自排出口73對玻璃基板60的面脈衝地塗布潤滑劑，且供給量、時刻由劃刻裝置的控制部指示。在該實施方式中，與前述的第一實施方式相同地，通過異物去除支架51及其前端的海綿52對劃刻預定線進行異物去除之後，能夠塗布潤滑劑而進行劃刻。在此，噴射單元72構成將潤滑劑向玻璃基板塗布的潤滑劑塗布機構。

圖11是示出第四實施方式的劃刻頭單元40D的主視圖以及側視圖。在該實施方式中，在前述的噴射單元72的前端的潤滑劑排出口73的周圍安裝有海綿74。這樣一來，即使潤滑劑的供給是脈衝性的，如圖6的(b)所示，通過海綿74也能夠沿著劃刻預定線以一定的寬度塗布潤滑劑。

圖12是示出第五實施方式的劃刻頭單元40E的主視圖以及側視圖。在該實施方式中，海綿74塗布潤滑劑，並且也用作用於進行異物去除的海綿。這樣一來，不需要異物去除支架51、海綿52，從而能夠簡化構造。

接下來，圖13是示出第六實施方式的劃刻頭單元40F的主視圖。在該劃刻頭單元中，潤滑劑供給支架53上未連接潤滑劑供給管55，僅保持海綿54。而且，以使劃刻頭單元40F的潤滑劑供給支架53位於保持潤滑劑的潤滑劑槽56的正上方的方式進行周期性地移動、下降，從而將海綿54浸於潤滑劑，然後使劃刻頭單元40F上升。然後使劃刻頭單元40F沿箭頭A方向移動，從而與第一實施方式同樣地塗布潤滑劑。

接下來，圖14是示出第七實施方式的劃刻頭單元40G的主視圖。在該實施方式中，潤滑劑供給支架53上也未連接潤滑劑供給管，省略了異物去除支架51和海綿52。本實施方式與第六實施方式同樣地，通過將海綿54周期性地浸於潤滑劑槽56來塗布潤滑劑，並且將海綿54兼用作異物去除用的海綿。由此，能夠通過海綿54來進行劃刻預定線的擦拭和潤滑劑的塗布。

接下來，圖15是示出第八實施方式的劃刻頭單元40H的主視圖以及側視圖。在本實施方式中，不使用海綿等向劃刻預定線塗布潤滑劑，而是在與工具支架20相鄰的位置處通過支架80來固定潤滑劑供給管55，從而使柔軟的管81與工具支架20接觸。在該實施方式中，通過潤滑劑的自重引起的自然落下，將潤滑劑沿著工具支架20而從金剛石工具10的前端向劃刻預定線供給，從而塗布潤滑劑。

接下來，圖16是示出本發明的第九實施方式的劃刻頭單元40I的主視圖以及側視圖。在本實施方式中，也在與工具支架20相鄰的位置處通過支架80來固定潤滑劑供給管55，使用海綿82，使之與工具支架20接觸而通過工具支架20塗布潤滑劑。

另外，圖17是示出本發明的第十實施方式的劃刻頭單元40J的主視圖。如本圖所示，在劃刻頭單元40J上藉助塊體50來設置異物去除支架51和海綿52，省略了潤滑劑供給支架53和海綿54。而且使工具支架20的金剛石工具10周期性地由潤滑劑槽56直接浸透，由此向劃刻預定線塗布潤滑劑。此處，在具有潤滑劑槽56的第六、第七以及第十實施方式的劃刻頭單元40F、40G以及40J中，潤滑劑槽56構成潤滑劑塗布機構的一部分。

需要說明的是，如圖1所示，在前述的各實施方式中使用具有金剛石制的多個劃刻尖的劃刻工具，但可以使用在多邊形的外周從板厚方向或外周方向研磨而形成多個劃刻尖的劃刻工具，或者也可以使用四稜錐臺形、圓錐形狀的劃刻工具。

在此如圖4所示，在形成溝槽線後形成輔助線，但也可以包括在形成溝槽線後通過擦拭等將塗布於劃刻預定線的潤滑劑去除的步驟。

並且，在結束一定距離的劃刻後，也可以對金剛石工具的劃刻尖部分進行清潔。在清潔中，可以向刀尖的劃刻尖部分吹送空氣，也可以從劃刻尖部分吸引空氣。並且可以對劃刻尖部分進行超聲波清洗，也可以通過海綿等去除潤滑劑、異物來進行清潔。在去除潤滑劑的情況下，可以在基板的端部設置刮墊，使劃刻工具在該刮墊上通過來進行清潔。

在前述的各實施方式中，作為異物去除構件、潤滑劑塗布構件而使用海綿，但也可以使用實現與此相同功能的柔軟的構件、例如毛氈等。

在前述的第三、第四以及第五實施方式中，在劃刻前將潤滑劑通過噴射單元的排出口73向基板直接塗布或浸滲入海綿或毛氈來進行塗布，作為潤滑劑，可以使用粘度低的液體、例如潤滑油、乙醇等醇、表面活性劑、水等公知的潤滑劑。

並且在前述的實施方式中的第八至第十實施方式中，不僅能夠使用上述的低粘度的液體，還能夠使用在液體中分散有潤滑劑的成分或液體的油分的乳液狀的粘度高的液體。在該情況下，即便粘稠也能夠在基板上通過自重而擴展，能夠向劃刻預定線供給。進而在第一、第二以及第六、第七實施方式中，作為潤滑劑，不僅可以使用上述的低粘度的液體以及高粘度的液體，還可以使用糊狀的潤滑劑、即在液體中分散有潤滑劑的液體的油分的漿料、蠟、膏狀的潤滑劑。糊狀的潤滑劑不會在基板上由於自重而流動，但能夠通過海綿、毛氈等進行塗布，向劃刻預定線上供給。

並且在前述的各實施方式中，通過使劃刻頭單元移動而對基板進行劃刻，但可以通過固定劃刻頭單元並使基板移動而進行異物去除、潤滑劑塗布以及劃刻。

並且在前述的第一、第六實施方式中，在同一塊體上相鄰地安裝異物去除支架以及潤滑劑供給支架，但也可以像第四實施方式那樣將異物去除支架以及潤滑劑供給支架分別單獨地安裝在支承板上。

工業上的可利用性

本發明在通過具有金剛石劃刻尖的劃刻工具對脆性材料基板進行劃刻的情況下，能夠將金剛石劃刻尖的磨損抑制在最小限度，能夠在使用了金剛石劃刻尖的劃刻裝置中有效地應用。