光刻顯影裝置的製作方法
2023-04-23 20:37:46 1
專利名稱：光刻顯影裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種光刻顯影裝置。
背景技術：
液晶顯示器通過應用電場控制具有介電各向異性的液晶的透光率，從而顯示圖像。因此，液晶顯示器一般包括通過液晶單元矩陣顯示圖像的液晶顯示面板和驅動該液晶顯示面板的驅動電路。而現有技術的液晶顯示面板一般包括:粘結在一起的彩膜基板和陣列基板以及在二者之間設有的液晶。一般通過多輪掩模工藝形成液晶顯示面板的彩膜基板和陣列基板。這種掩模工藝包括薄膜澱積(塗覆)工藝、清洗工藝、光刻工藝、刻蝕工藝、光刻膠剝離工藝、檢查工藝等多個工藝。其中，光刻工藝以塗覆光刻膠、曝光、顯影和烘烤的順序進行。光刻膠具有光感度並可以通過曝光工藝進行構圖。光刻膠根據其特性可以分為正光刻膠和負光刻膠。正光刻膠和負光刻膠各自應該通過不同的顯影溶液顯影。實現上述的工藝的生產線中包括光刻顯影裝置，這種光刻顯影裝置包括多個用於噴射顯影液的噴嘴，這些噴嘴沿玻璃基板的前進方向依次並排排列，當玻璃基板勻速經過這些噴嘴時，這些噴嘴向玻璃基板噴出顯影液。在實際生產中，顯影液在顯影掉光刻膠之後濃度會降低，顯影效果會變差。在玻璃基板上的不同位置，需要顯影掉的光刻膠的密度存在差異，由於噴塗在整個玻璃基板上的顯影液濃度是相同的，這就導致在不同的位置處顯影后得到的關鍵尺寸偏差會不同。以正性光刻膠為例，表現為:在顯影后保留下來的光刻膠的密度高的地方，圖形關鍵尺寸較設計值偏小(或偏薄)，反之，光刻膠關鍵尺寸較設計值偏大(或偏厚)。以上光刻顯影裝置存在的弊端，導致最後成品液晶面上不同圖形設計密度的位置的顯影效果存在差異或不均勻，從而對產品的成品率有直接影響。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種保證玻璃基板上不同位置處的顯影效果均一性的光刻顯影裝置。本實用新型的光刻顯影裝置，包括用於向玻璃基板噴塗顯影液的噴塗裝置以及用於使所述玻璃基板與所述噴塗裝置相對移動的傳送裝置，所述噴塗裝置包括控制器以及多個可以噴塗不同濃度的顯影液的噴塗單元，每個所述噴塗單元包括多個噴嘴，每個所述噴嘴用於噴塗單一濃度的顯影液，所述控制器通過分別控制所述噴塗單元的每個噴嘴的開啟與關閉而控制所述噴塗單元噴塗不同濃度的顯影液。本實用 新型的光刻顯影裝置，其中，所述多個噴嘴分別通過管路與不同濃度的顯影液的儲存裝置連接，所述管路上分別設置有電磁閥，所述電磁閥與所述控制器電連接，所述控制器通過控制所述電磁閥的通斷而控制所述噴嘴的開啟與關閉。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，所述傳送裝置包括用於傳送所述玻璃基板沿一運動路徑運動的傳動部件，所述噴塗裝置固定於所述運動路徑上，以使所述噴塗單元向所述玻璃基板噴塗顯影液。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，所述多個噴塗單元沿垂直於所述玻璃基板的運動方向的方向排列於所述玻璃基板的運動路徑上。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，每一所述噴塗單元包括四個所述噴嘴，每一所述噴塗單元的四個所述噴嘴緊密排列在一起。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，所述光刻顯影裝置還包括驅動所述傳動部件振動的振動驅動裝置，與所述傳動部件連接。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，所述傳動部件包括用於運載所述玻璃基板的運載部件以及安裝於所述運載部件的底部的用於承託所述運載部件的託板，所述振動驅動裝置為振動電機，所述振動電機的輸出軸與所述託板連接，以驅動所述託板沿與所述玻璃基板的運動方向的垂直的方向振動。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，所述運載部件為多個平行排列的傳動輥，所述多個傳動輥可旋轉地設置於所述託板上，所述多個傳動輥在電機的驅動下旋轉，以傳送所述玻璃基板。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，所述光刻顯影裝置還包括固定於所述託板上的多個擋輪，所述多個擋輪分別位於所述玻璃基板的運動路線的兩側，對所述玻璃基板進行限位。本實用新型的光刻顯影裝置中的每個噴塗單元可以噴塗不同濃度顯影液，這樣在工作過程中，每個噴塗單元可以根據玻璃基板的不同位置以及顯影時間向玻璃基板噴塗不同濃度的顯影液，這樣避免在玻璃基板不同的位置處顯影后得到的關鍵尺寸偏差產生不同，由此保證玻璃基板上不同位置處的顯影效果的均一性。
圖1為本實用新型的光刻顯影裝置的結構示意圖的立體圖；圖2為圖1中噴塗裝置的結構示意圖的立體圖；圖3為本實用新型的光刻顯影裝置的結構示意圖的主視圖；圖4為本實用新型的光刻顯影裝置中噴塗裝置與控制器的連接示意圖。
具體實施方式
本實用新型的光刻顯影裝置在玻璃基板上不同的地方，塗覆不同濃度的顯影液，並在顯影時增加對所塗覆顯影液的振動來實現顯影效果的均勻化。如圖1、圖2、圖4所示，本實用新型的光刻顯影裝置，包括用於向玻璃基板I噴塗顯影液的噴塗裝置20以及用於使玻璃基板I與噴塗裝置20相對移動的傳送裝置10，其中，噴塗裝置20包括控制器4以及多個可以噴塗不同濃度顯影液的噴塗單元2，每個噴塗單元2包括多個噴嘴3，每個噴嘴3用於噴塗單一濃度顯影液。控制器4通過分別控制噴塗單元2的多個噴嘴3的開啟與關閉控制噴塗單元2噴塗不同濃度的顯影液。控制器4可以為單片機、PLC或計算機。當本實用新型的光刻顯影裝置工作時，控制器4控制每一個噴嘴3噴出的單一濃度的顯影液的流量，以調配每個噴塗單元2噴塗顯影液的濃度。[0023]本實用新型的光刻顯影裝置中的每個噴塗單元因為其本身包括多個用於噴塗單一濃度顯影液噴嘴，則可以噴塗不同濃度顯影液，這樣在工作過程中，每個噴塗單元可以根據玻璃基板的不同位置以及顯影時間向玻璃基板噴塗不同濃度的顯影液，例如，在需要顯影掉的光刻膠的密度較大位置噴塗濃度較大的顯影液，在需要顯影掉的光刻膠的密度較小位置噴塗濃度較小的顯影液，這樣避免在玻璃基板不同的位置處顯影后得到的關鍵尺寸偏差產生不同，由此保證玻璃基板上不同位置處的顯影效果的均一性。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，多個噴嘴3分別通過管路與不同濃度的顯影液的儲存裝置5連接，管路上分別設置有電磁閥6，電磁閥6與控制器4電連接，控制器4通過控制電磁閥6的通斷控制噴嘴3的開啟與關閉。當本實用新型的光刻顯影裝置工作時，控制器4可以根據玻璃基板的不同位置以及顯影時間控制噴塗單元2噴塗不同濃度的顯影液。工作人員可以事先根據玻璃基板I的運動位置、運動速度對控制器4進行編程，這樣隨著玻璃基板I的運動，控制器4自動控制每一個噴塗單元2噴塗不同濃度顯影液。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，傳送裝置10包括用於傳送玻璃基板I沿一運動路徑運動的傳動部件，噴塗裝置20固定於上述運動路徑上，以使噴塗單元2向玻璃基板I噴塗顯影液。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，多個噴塗單元2沿垂直於玻璃基板I的運動方向的方向排列於玻璃基板I的運動路徑上。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，每一噴塗單元2包括四個噴嘴3，每一噴塗單元2的四個噴嘴4緊密排列在一起。每一噴塗單元2包括四個噴嘴3，每一噴嘴3噴塗單一濃度的顯影液，這樣控制器4通過分別控制四個噴嘴3噴出的單一濃度的顯影液的流量來控制一個噴塗單元2噴塗顯影液的濃度。結合圖3所示，本實用新型的光刻顯影裝置，其中，光刻顯影裝置還包括驅動上述傳動部件振動的振動驅動裝置30,與上述傳動部件連接。當本實用新型的光刻顯影裝置工作時，振動驅動裝置30使玻璃基板I沿與玻璃基板I的運動方向的垂直的方向振動，這樣有助於增強顯影效果的均勻化。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，上述傳動部件包括用於運載玻璃基板的運載部件11以及安裝於運載部件11的底部的用於承託運載部件的託板12，振動驅動裝置30為振動電機，振動電機的輸出軸與託板12連接，以驅動託板12沿與玻璃基板I的運動方向的垂直的方向振動。本實用新型的光刻顯影裝置，其中，運載部件11為多個平行排列的傳動輥13，多個傳動輥13可旋轉的設置於託板12上，多個傳動輥13在電機15的驅動下旋轉，以傳送玻
璃基板I。為防止振動驅動裝置30驅動玻璃基板I振動的過程中，玻璃基板I向左右滑動，本實用新型的光刻顯影裝置還包括通過支架固定於託板12上的多個擋輪18，多個擋輪18分別位於玻璃基板I的運動路線的兩側，多個擋輪18的軸線均垂直於玻璃基板I的運動路線，當玻璃基板I運動時，多個擋輪18對玻璃基板I限位，防止其由傳動輥13上滑脫。當本實用新型的光刻顯影裝置工作時，運載部件11帶動玻璃基板I非勻速進行，且可前後方向運動。兩方面結合加速顯影液的均勻化。上述實施例僅為本實用新型的光刻顯影裝置的一種實現方案，在本實用新型的光刻顯影裝置的其他實施例中，可以靈活改變噴塗單元的數量、噴塗單元的排列方向、噴塗單元中噴嘴的數量、噴塗單元中噴嘴的排列方式以及振動驅動裝置的位置，以適應不同條件的玻璃基板。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種光刻顯影裝置，包括用於向玻璃基板噴塗顯影液的噴塗裝置以及用於使所述玻璃基板與所述噴塗裝置相對移動的傳送裝置，其特徵在於，所述噴塗裝置包括控制器以及多個可以噴塗不同濃度的顯影液的噴塗單元，每個所述噴塗單元包括多個噴嘴，每個所述噴嘴用於噴塗單一濃度的顯影液，所述控制器通過分別控制所述噴塗單元的每個噴嘴的開啟與關閉而控制所述噴塗單元噴塗不同濃度的顯影液。
2.根據權利要求1所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述多個噴嘴分別通過管路與不同濃度的顯影液的儲存裝置連接，所述管路上分別設置有電磁閥，所述電磁閥與所述控制器電連接，所述控制器通過控制所述電磁閥的通斷而控制所述噴嘴的開啟與關閉。
3.根據權利要求2所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述傳送裝置包括用於傳送所述玻璃基板沿一運動路徑運動的傳動部件，所述噴塗裝置固定於所述運動路徑上，以使所述噴塗單元向所述玻璃基板噴塗顯影液。
4.根據權利要求3所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述多個噴塗單元沿垂直於所述玻璃基板的運動方向的方向排列於所述玻璃基板的運動路徑上。
5.根據權利要求4所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，每一所述噴塗單元包括四個所述噴嘴，每一所述噴塗單元的四個所述噴嘴緊密排列在一起。
6.根據權利要求3-5任一項所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述光刻顯影裝置還包括驅動所述傳動部件振動的振動驅動裝置，與所述傳動部件連接。
7.根據權利要求6所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述傳動部件包括用於運載所述玻璃基板的運載部件以及安裝於所述運載部件的底部的用於承託所述運載部件的託板，所述振動驅動裝置為振動電機，所述振動電機的輸出軸與所述託板連接，以驅動所述託板沿與所述玻璃基板的運動方向的垂直的方向振動。
8.根據權利要求7所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述運載部件為多個平行排列的傳動輥，所述多個傳動輥可旋轉地設置於所述託板上，所述多個傳動輥在電機的驅動下旋轉，以傳送所述玻璃基板。
9.根據權利要求8所述的光刻顯影裝置，其特徵在於，所述光刻顯影裝置還包括固定於所述託板上的多個擋輪，所述多個擋輪分別位於所述玻璃基板的運動路線的兩側，對所述玻璃基板進行限位。
專利摘要本實用新型提供的光刻顯影裝置，包括用於向玻璃基板噴塗顯影液的噴塗裝置以及用於使玻璃基板與噴塗裝置相對移動的傳送裝置，噴塗裝置包括控制器以及多個可以噴塗不同濃度的顯影液的噴塗單元，每個噴塗單元包括多個噴嘴，每個噴嘴用於噴塗單一濃度的顯影液，控制器通過分別控制噴塗單元的每個噴嘴的開啟與關閉而控制噴塗單元噴塗不同濃度的顯影液。本實用新型的光刻顯影裝置中的每個噴塗單元可以噴塗不同濃度顯影液，這樣在工作過程中，每個噴塗單元可以根據玻璃基板的不同位置以及顯影時間向玻璃基板噴塗不同濃度的顯影液，這樣避免在玻璃基板不同的位置處顯影后得到的關鍵尺寸偏差產生不同，由此保證玻璃基板上不同位置處的顯影效果的均一性。
文檔編號G03F7/30GK202995258SQ201220734989
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月27日 優先權日2012年12月27日
發明者張治超, 孫亮, 郭總傑, 劉正, 趙海廷, 林承武 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術有限公司