一種晶振探頭用晶振盒的製作方法

2023-05-19 16:08:36

本發明涉及一種晶振探頭用晶片盒，具體是指一種晶振探頭用晶振盒。

背景技術：

目前許多科研單位為了能準確的對基片的鍍膜時間進行控制，便採用了晶振探頭對靶材蒸發量進行檢測，操作者通過對晶振探頭所傳輸的晶片振蕩頻率的分析處理來對鍍膜時間進行控制。然而，現有的晶振探頭多採用單片式晶片盒，該單片式晶片盒只能對一種靶材蒸發量進行檢測，對多種靶材蒸發量進行檢測時則需更換晶片盒以確保檢測的準確性，這極大的增加了操作者的工作量，嚴重的影響了晶振探頭的工作效率。

技術實現要素：

本發明的目的在於克服現有的晶振探頭所採用的單片式晶片盒對多種靶材的蒸發量進行檢測時需更換晶片盒的以確保檢測的準確性的缺陷，提供一種晶振探頭用晶振盒。

本發明的目的通過下述技術方案現實：一種晶振探頭用晶振盒，主要由盒體，和設置在盒體內的晶振臺組成；其特徵在於，所述晶振臺包括晶片承接臺，和與晶片承接臺相連接的三爪絕緣背板；所述晶片承接臺上設置有多個的晶振片，所述三爪絕緣背板上設置有與晶振片相配合的信號傳輸組件。

所述信號傳輸組件包括設置在三爪絕緣背板上且與晶振片相配合的三爪片，和設置在三爪絕緣背板上且與三爪片相連接的三爪背板。

所述盒體上設置有貫穿其底部的檢測孔。

所述晶片承接臺上設置有用於安裝晶振片的凹槽，且該凹槽底部設置有與檢測孔相對應的通孔。

所述三爪絕緣背板上設置有與晶片承接臺上的凹槽相對應的安裝槽，且該安裝槽上設置有貫穿其底部的安裝孔。

所述三爪背板則設置在三爪絕緣背板的安裝孔內，所述三爪片設置在三爪絕緣背板的安裝槽內，且該三爪片通過螺釘與三爪背板相連接。

所述晶片承接臺上設置有軸套，該軸套上設置有安裝口，所述晶片承接臺上還設置有多個螺紋孔。

所述三爪背板上設置有與晶片承接臺上的螺紋孔相對應的穿心孔，所述三爪背板則通過與螺紋孔相匹配的螺栓連接在晶片承接臺上。

所述軸套外側設置有定位銷，所述三爪絕緣背板上設置有與定位銷相配合的卡槽。

本發明與現有技術相比具有以下優點及有益效果：

(1)本發明的晶片承接臺上設置了多個晶片，通過轉換位於檢測孔的晶片便能對多種不同的靶材蒸發量進行檢測，很好的解決了單片式晶片盒不能對多種靶材的蒸發量進行準確的檢測的問題，從而有效的減小了操作者的工作量，很好的提高了晶振探頭的工作效率。

(2)本發明中設置的三爪片能與晶振片緊密的接觸，有效的提高了晶振頻率傳輸的穩定性。

(3)本發明的具有結構簡單、設計合理和生產成本低等優點。

附圖說明

圖1為本發明的整體示意圖。

圖2為本發明的俯視圖。

圖3為本發明的晶振臺的結構示意圖。

圖4為本發明的整體剖面圖。

圖5為本發明的晶片承接臺的結構示意圖。

圖6為本發明的三爪絕緣背板的結構示意圖。

圖7為本發明晶振臺爆炸圖。

上述附圖中，附圖標記對應的部件名稱如下：

1—盒體，2—晶片承接臺，3—三爪絕緣背板，4—晶振片，5—三爪片，6—三爪背板，7—軸套，8—定位銷，9—檢測孔，10—凹槽，11—通孔，12—安裝槽，13—螺釘，14—安裝孔，15—螺紋孔，16—螺栓，17—卡槽，18—安裝口。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步地詳細說明，但本發明的實施方式並不限於此。

實施例

如圖1～6所示，本發明公開了一種晶振探頭用晶振盒，主要由盒體1和晶振臺組成。其中，晶振臺如圖3所示，其包括晶片承接臺2和三爪絕緣背板3。其中，如圖4、6所示，所述晶片承接臺2上設置了晶振片4，軸套7，在軸套7上設置了定位銷8。所述三爪絕緣背板3上設置的信號傳輸組件如圖4、6所示，其包括三爪片5和三爪背板6。

實施時，所述盒體1作為本發明的主載體，該盒體1用於承載晶振臺，該盒體1上設置了用於靶材的原子團或離子通過且貫穿盒體1底部的檢測孔9，在具體的使用中該盒體1則是通過螺紋連接在晶振探頭上。

所述晶片承接臺2如圖3～6所示，該晶片承接臺2上優先設置了12個晶振片4，為了使該晶振片4的晶振頻率更穩定，本發明的晶振片4優先採用了具有高傳導性的鍍金晶振片，該晶振片4則用於對靶材蒸發量的檢測，即對基片的鍍膜厚度的監測，本發明通過晶振片4在吸附靶材分子後的振蕩頻率來對基片的鍍膜厚度進行監測。同時，本實用新的晶片承接臺2上設置了用於安裝晶振片4的凹槽10，該凹槽10設置有與檢測孔9相對應且貫穿凹槽10底部的通孔11，凹槽10的設置數量與晶振片4的數量相同。具體使用時，晶片承接臺2上設置了軸套7，軸套7上設置有安裝口18，該安裝口18用於安裝外部電機轉軸所設置的傳動銷。該晶片承接臺2上還設置有多個螺紋孔15，通過軸套7連接到外部電機上，該軸套7上還設置有定位銷8，且晶片承接臺2與外部電機的轉軸相連接並通過固定螺釘進行固定後與盒體1的內側底部之間形成有一定的間隙，以確保晶振臺能在外部電機的帶動下進行轉動。

同時，如圖4、6所示，所述三爪絕緣背板3上設置了與晶片承接臺2上的凹槽10相對應且數量相同的安裝槽12，該安裝槽12設置有貫穿其底部的安裝孔14，三爪絕緣背板3還是設置有與晶片承接臺2的螺紋孔15相對應的穿心孔。本發明的三爪絕緣背板優先採用了耐高溫的陶瓷來作為絕緣背板，也可根據實際需要採用不同的絕緣材料來作為三爪絕緣背板3。在使用時，所述三爪絕緣背板3則是通過與晶片承接臺2的螺紋孔15相匹配的螺栓16連接並固定在晶片承接臺2上。設置在三爪絕緣背板3上的信號傳輸組件如圖4、6所示，其包括設置在三爪絕緣背板3的安裝槽12內其與晶振片4相配合的三爪片5，和設置在三爪絕緣背板3的安裝孔14內且與三爪片5相連接的三爪背板6，所設的三爪片5和三爪背板6的數量與晶振片4的數量相同，該三爪背板6上設置有帶絲孔的連接柱，三爪片5則通過與連接柱的絲孔相匹配的螺釘13連接在三爪背板6上。所述三爪片5具有良好的彈性，即三爪片5能與晶振片4緊密的接觸，使三爪片5能將晶振片4晶振頻率進行準確的傳輸給三爪背板6。所述三爪絕緣背板3上還設置有與定位銷8相配合的卡槽17。

使用時，三爪絕緣背板3的卡槽17與晶片承接臺2的定位銷8相配合，能使三爪片5與晶振片4進行準確的對位，使三爪絕緣背板3的卡槽與晶片承接臺2在安裝時更方便。所述的盒體1上還設置了與晶片承接臺2上凹槽的任意一個通孔相對應使用的檢測孔9，檢測時靶材的原或離子則通過該檢測孔9吸附到檢測晶振片4上，檢測人員通過對晶振片4的振蕩頻率進行分析處理後便能得到基片鍍膜的厚度，從而對基片鍍膜的時間進行控制。

本發明具體運行時，工作人員可通過控制臺輸入相應的晶振片4的位數後，控制臺則會輸出電流給外部電機，外部電機則會帶動晶片承接臺2轉動，使所選定位數的晶振片4位於盒體1的檢測孔9處，以完成對靶材蒸發量的檢測。當更換了蒸發的靶材後，工作人員只需通過控制臺輸入新的晶振片4位數，晶片承接臺2則會在外部電機的帶動下將選定位數的晶振片4轉換到盒體1的檢測孔9處，而不需要更換晶片盒，便能對新的靶材蒸發量進行準確的檢測。從而本發明很好的解決了現有的採用單片式晶振盒的晶振探頭對多種靶材的蒸發量進行檢測時，需更換晶片盒的問題，這極大的減小了操作者的工作量，有效的提高了晶振探頭的工作效率。

如上所述，便可很好的實現本發明。