一種精密提升裝置的製作方法
2023-05-21 06:22:26 1
專利名稱：一種精密提升裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種提升裝置，尤其涉及一種精密儀器安裝的提升裝置。
技術背景對於剪式升降臺來說，本身最小高度一般較小，但是在實際工作中往往需 要提升較大的高度，所以外形尺寸一般比較大，這樣一來就會降低提升精度。 同時提升時會有較大的振動，不能用於提升高精密設備。並且整個升降臺不能 靈活移動和旋轉，在整個提升過程中，沒有高度限位機構，完全依賴目測，很 難達到精確對準。不管升降方式採用手動、氣動、液壓、油壓還是電動，整個 升降臺的重量都較重，搬運不方便。中國專利CN2761570Y公布了一種氣動剪式升降臺，包括底架、臺面板和 舉升撐臂，臺面板由舉升撐臂撐於底架上，在底架上裝有氣動千金頂，該氣動 千斤頂的活塞杆與舉升撐臂相連接。該氣動剪式升降臺主要應用於摩託車修理， 但是該裝置不能用於精確對準，因而不能適用於精密儀器的安裝，並且它的靈 敏度有限。在光刻機整機集成過程中，大多數部件都需要精密提升工裝，將部件精密 提升到安裝位置，實現機械接口的連接。調焦調平部件就是一個精密測量部件， 在安裝過程中，不能有大的震動，在它周圍有許多已經要裝好的精密部件，但 調焦調平部件本身較大，給的安裝空間有限，所以要求工裝能靈活自由移動和 旋轉，當到達定位點後能快速固定，無需機械連接，而目前的提升裝置都不能 滿足這樣的要求。發明內容本發明提供了一種精密提升裝置，它體積小，質量小，提升高度和負載都 比較大，並且可以靈活的移動和旋轉，穩定性也較好，適用於精密儀器的安裝，
並且該裝置中還有高度限位機構，能保證提升過程中的安全性。為解決上述技術問題，本發明公布了一種精密提升裝置，包括承載板，提 升機構，上面板，下面板，驅動裝置，其中提升機構由兩個以上的提升單元並 聯組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，驅動裝置裝配在所述 的鉸鏈連接處。其中，裝置還包括一個固定裝置，固定在下面板上， 一個滾動裝置，固定在下 面板上， 一個高度限位機構，固定在承載板的一端。其中該高度限位機構包括彈簧、螺母、螺杆，其中彈簧和螺母套在螺杆上， 螺母在彈簧的上部，高度限位機構的螺杆的頂部安裝有橡膠端蓋，橡膠端蓋的 頂面高於待安裝部件的上部安裝面，高度限位機構的螺杆頂端安裝有一.個接近 開關。其中固定裝置為真空吸附機構或者螺栓連接固定裝置，真空吸附機構包括 氣管、彈簧、滑杆、吸附墊、氣管，其中，吸附墊安裝在滑杆的一端，彈簧套在滑杆上，滑杆固定在下面板上，第一氣管和第二氣管與滑杆的另一端相連。 其中驅動裝置可以是.手輪或者電動驅動裝置。 其中滾動裝置可以是鋼珠滾輪機構或者萬向腳輪裝置。 與現有的技術相比，本發明有以下的優點1， 體積小，質量小，但是負載大，提升高度大，並且可以靈活移動和旋轉；2, 利用真空吸附的方式固定整個精密提升裝置，穩定性好，在提升過程 中，提昇平穩，提升高度值解析度高，所需力矩小；3, 本裝置中還有高度限位機構，能保證提升操作過程的安全性；4， 應用範圍廣，可以實現對多個部件的整體安裝，通用性強，尤其適用 於精密儀器的安裝。
圖l是精密提升裝置正視示意圖； 圖2是精密提升裝置仰視示意圖； 圖3是精密提升裝置真空吸附機構示意圖； 圖4是鋼珠滾輪機構示意圖具體實施方式
下面結合附圖，對本發明一種精密提升裝置作進一步說明如圖l所示，本發明包括定位塊2，承載板4，提升機構6，鋼珠滾輪機構 16,手輪19,真空吸附衝幾構，高度限位機構。定位塊2利用螺釘3固定在承載板4的兩端，承載板4利用螺釘5安裝在 提升機構6的上面板601上，高度限位機構固定在承載板4的一端。其中提升機構6由兩個以上的提升單元並聯組成，所述的提升單元由兩個X 型街架通過鉸鏈連接，驅動裝置裝配在所漆的鉸鏈連接處。其中高度限位機構包括彈簧23,墊片24，螺母25，螺杆26和橡膠端蓋 27。橡膠端蓋27固定在螺杆的頂端，其中螺母25,墊片24，彈簧23,螺母21 順次連接將螺杆26固定在連接板22上，連接板22通過螺釘20固定在提升機 構6的上面板601的一端。其使用方法為通過調整螺母21和螺母25,使橡膠 端蓋27的頂面高於待安裝部件的上部安裝面在提升過程中，通過觀察螺母21 和螺杆26就可以判斷待安裝部件是否提升到位。手輪19固定在提升機構6的雙頭螺柱603的中間，鋼珠滾輪16和真空吸 附機構安裝在提升機構6的下面板602上，鋼珠滾輪如圖4所示。其中手輪19用於手動調節提升機構，實現提升機構高度的調節，手輪也可 以用電動驅動裝置來替換，來實現提升裝置的自動升降。真空吸附機構如圖3所示，包括管接頭7、第一氣管8、螺母9、墊片10、 彈簧ll、滑杆12、吸附墊13、滑套14、管接頭15、氣管17、管接頭18、第二 氣管28。滑套14固定安裝在提升機構6的下面板602上。吸附墊13安裝在滑 杆12的一端。利用彈簧ll、墊片10、螺母9將滑杆12固定在滑套14中，滑 杆12可以在滑套14中靈活滑動。調節彈簧11的壓縮量，保證吸附墊13與吸 附面有約2毫米的間隙，以保證精密提升裝置移動和旋轉時，吸附墊13與吸附 面之間不會有摩擦。管接頭7、管接頭15安裝在滑杆12上，氣管8連接管接頭 7和管接頭15,氣管17連接管接頭15和管接頭18、氣管28連接管接頭15和 管接頭18,管接頭18接真空氣源。
當管接頭18接通真空氣源，管路內形成真空後，吸附墊13會自動吸附到 吸附面上，在大氣壓的作用下，吸附墊13會牢牢的吸附在吸附面上，使得整個 提升裝置相當的穩固；當管接頭18與真空氣源斷開，管路內氣壓與環境大氣壓 相同時，吸附墊13在彈簧11的作用下，會自動上升，脫離吸附面，在滾輪裝 置的共同作用下，能夠自由靈活的轉動和移動。其中滾動裝置可以是鋼珠滾動機構或者萬向腳輪裝置等類似裝置。其中提升機構可以是剪式提升機構或者千斤頂或者液壓缸或者氣壓缸。圖2為本發明的仰視圖，其中吸附機構共有四個，鋼珠滾輪機構也有四個， 分別固定在下面板602的四個角上。本發明一種精密提升裝置中，還可以在高度限位機構上安裝接近開關，精 確控制提升高度，使提升裝置提升到正確的位置。下面結合在光刻機整機集成過程中，安裝調平調焦部件，對本發明的使用 方法作具體介紹首先，先將調焦調平部件1放在定位塊上；其次，移動整個精密提升裝置到安裝位置後，將管接頭18與真空氣源接通， 由於吸附墊離吸附面距離約2毫米，真空產生的吸力會大於彈簧的彈力'，滑杆 12自動下滑，吸附墊與吸附面接觸後，由於吸附墊內外存在氣壓差，4個吸附 墊非常牢固的吸附在吸附面上，由於滑杆12與滑套14之間只有一個小的間隙， 所以整個精密提升裝置的位置被固定了 。第三，轉動手輪19，實現精密提升機構6的高度改變，從而實現調焦調平 部件安裝高度位置的改變。最後，調整螺母21和螺母25,使橡膠端蓋27的頂面高於調焦調平部件1 的上部安裝面，在提升時，通過觀察螺母21和螺杆26可以判斷調焦調平部件1 是否提升到位。
權利要求
1、一種精密提升裝置，包括承載板(4)，提升機構(6)，上面板(601)，下面板(602)，驅動裝置(19)，其特徵在於，所述的提升機構(6)由兩個以上的提升單元並聯組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，所述的驅動裝置(19)裝配在所述的鉸鏈連接處。
2、 如權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，該裝置還包括 一個固定裝置，固定在下面板(602)上。
3、 如權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，該裝置還包括 一個滾動裝置，固定在下面板(602)上。
4、 權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，該裝置還包括一 個高度限位機構，固定在承載板(4 )的一端。 '
5、 如權利要求4所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，所述的高度限 位機構包括彈簧(23)、螺母(25)、螺杆(26),其中彈簧(23)和 螺母(25)套在螺杆(26)上，螺母(25)在彈簧(23)的上部。
6、 如權利要求4所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，所述高度限位 機構的螺杆(26)的頂部安裝有橡膠端蓋(27)。
7、 如權利要求4所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，所述的高度限 位機構中，橡膠端蓋(27)的頂面高於待安裝部件的上部安裝面。
8、 如權利要求1所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，所述的高度限 位機構的螺杆(26)頂端安裝有一個接近開關。
9、 如權利要求2所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，所述的固定裝 置為真空吸附機構或者螺栓連接固定裝置。
10、 如權利要求9所述的一種精密提升裝置，其特徵在於，所述的真空吸 附機構包括氣管(8)、彈簧(11)、滑杆(12)、吸附墊(13)、氣管(28),其中，吸附墊(13)安裝在滑杆(12)的一端，彈簧(ll)套 在滑杆(12)上，滑杆(12)固定在下面^反(602)上，第一氣管(8) 和第二氣管(28)與滑杆(12)的另一端相連。
11、 如權利要求1所述地一種精密提升裝置，其特徵在於，所述的驅動裝 置(19)可以是手輪或者電動驅動裝置。
12、如權利要求3所述的一種精密提升裝置，其特徵在於所述的滾動裝置 可以是鋼珠滾輪機構(16)或者萬向腳輪裝置。
全文摘要
本發明為一種精密提升裝置，包括承載板(4)，提升機構(6)，上面板(601)，下面板(602)，驅動裝置(19)，其中提升機構(6)由兩個以上的提升單元並聯組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，所述的驅動裝置(19)裝配在所述的鉸鏈連接處。該裝置體積小，靈活性好，並且也更加穩定，移動方便，適用於精密儀器的安裝提升。
文檔編號B66F7/06GK101164859SQ20071004558
公開日2008年4月23日 申請日期2007年9月4日 優先權日2007年9月4日
發明者嚴天宏, 肖可雲, 袁志揚 申請人:上海微電子裝備有限公司