用於真空鍍膜設備的多功能基片架的製作方法

2023-05-21 06:25:16 1

專利名稱：用於真空鍍膜設備的多功能基片架的製作方法
技術領域：
本發明屬於真空鍍膜設備附件製造技術領域，涉及一種基片架，具體涉及一種用於真空鍍膜設備的多功能基片架。
背景技術：
真空鍍膜設備中具有一個或多個基片安裝架，用於固定需要鍍膜的基片。光學薄膜是真空鍍膜中的一種產品，鍍制光學薄膜的設備較其他的真空鍍膜設備相對較大，基片架的形狀較大、個數較多。在鍍制光學薄膜的過程中，需要根據基片的形狀尺寸進行基片架的設計以滿足鍍膜要求，但是在實際的光學薄膜的研製和生產過程中，不同用戶對最終光學薄膜基底的形狀、厚度等尺寸的要求不盡相同，這就需要設計和加工不同的基片架，給鍍膜前帶來了麻煩，造成財力、人力以及時間的浪費。特別是對於時間要求比較短的產品研製來說，往往來不及加工一種新的基片架。上述問題不僅僅存在於光學薄膜的鍍制過程，其他真空鍍膜也存在同樣的問題。

發明內容
為了克服上述現有技術中存在的問題，本發明的目的是提供一種用於真空鍍膜設備的多功能基片架，能安裝固定不同形狀和尺寸的基片，節省財力、人力和時間。為實現上述目的，本發明所採用的技術方案是，一種用於真空鍍膜設備的多功能基片架，包括安裝盤和至少兩根安裝條，安裝盤上平行設置有兩條長條形的滑槽，安裝條上加工有兩個安裝孔，兩個安裝孔的中心距與兩條滑槽的中心距相等。安裝條上、與安裝孔軸線相平行的兩個側面上分別設置有一個凸出的臺階。安裝條上、與安裝孔軸線相平行的兩個側面中的一個側面上設置有一個凸出的臺階。臺階的厚度為0. Imm 0. 2mm。本發明基片架的安裝盤上加工有兩條平行的滑槽，通過該兩條滑槽安裝多根安裝條，在相鄰的兩根安裝條之間放置多個形狀尺寸相同的基片。該適合不同形狀的基片，具有安裝簡單、便於清洗等特點。能夠滿足目前光學薄膜鍍制設備對幾乎全部的基片的鍍膜要求。此外，該基片架完全可以應用到其他的真空鍍膜設備上。


圖1是本發明基片架的結構示意圖。圖2是圖1的左視圖。圖3是本發明基片架中安裝條的結構示意圖。圖4是圖3的俯視圖。圖中，1.安裝盤，2.滑槽，3.安裝條，4.螺釘，5.螺母，6.本體，7.臺階，8.安裝孔。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施方式
對本發明進行詳細說明。在表面工程技術領域，物理氣相沉積是一種比較成熟的技術，主要包括磁控濺射、 離子束濺射、電弧離子鍍以及電子槍蒸發等多種沉積方式，在這些方式的沉積設備中一般都需要有專門的沉積基底安裝機構，在鍍膜領域中，我們稱之為基盤架。目前沉積設備上常見的基盤架主要為圓形的金屬結構。為了滿足不同形狀的鍍膜基片，在實際鍍膜過程中往往在一定尺寸大小的不鏽鋼板上面加工一定數量的與基片尺寸一樣的孔，然後，將需鍍膜的基片放入不鏽鋼板上的孔中。這就造成了在鍍制薄膜的前期需要花費很大的精力和財力來對基片架進行設計和加工，同時基片架的加工還需要一定的時間，對產片研製單位或人員來說一種時間和財力的極大浪費。為了克服上述現有技術中存在的問題，本發明主要結合光學薄膜鍍膜過程中存在的基盤架設計加工浪費的問題，本著節約不同產品研製時間的目的，提供了一種適合鍍制不同形狀基片的基片架，該基片架不僅僅適合光學薄膜的鍍制，它還可以廣泛的應用的不同薄膜的鍍制中，能夠大大的減少不同產品的研製成本和研製周期。本發明基片架設計思路巧妙，在一定材料的薄板(根據要求可以選擇不同的材料和形狀)上面加工兩個一定寬度的狹縫，同時加工具有固定功能的安裝條，根據基片的尺寸，通過調整螺釘的位置，調整相鄰兩安裝條之間的距離，用於安裝固定不同形狀和尺寸的基片。如圖1和圖2所示，本發明基片架的結構，包括安裝盤1和至少兩根安裝條3 ；安裝盤1上平行設置有兩條長條形的滑槽2。按照要求或者本著節約的原則，安裝盤1的材料、形狀和厚度可以不同。安裝條3的結構，如圖3和圖4所示，包括本體6，本體6為長方體，本體6上加工有兩個安裝孔8，兩個安裝孔8的中心距與兩條滑槽2的中心距相等；本體6上、與安裝孔 8軸線相平行的兩個側面上分別設置有一個凸出的臺階7，該兩個臺階7與本體6為一個整體，並形成「T」字形；臺階7也可以是一個，其與本體6形成「L」形。臺階7的厚度L為 0. 1 0. 2mm。臺階7的厚度為0. 1 0. 2mm,不能太厚，以防止造成鍍膜陰影；臺階7的深度H 一般為幾毫米，儘量接近基片的厚度，如果安裝條3採用硬質材料製作，臺階7的深度選擇 Imm就可以滿足要求。為了便於安裝基片架，可以在安裝盤1上設置一個把手。安裝條3—般選用不鏽鋼或金屬銅製成，也可以按要求選擇不同的材料製作而成，安裝條3的長度無特殊要求，但不能超過安裝盤1的邊界。設計圖如圖2所示。安裝基片時先清洗安裝盤1，然後，將安裝條3放置在安裝盤1上，使安裝條3上的臺階7朝向遠離安裝盤1的方向設置，在安裝條3上的兩個安裝孔8中分別穿入螺釘4， 螺釘4穿過安裝孔8進入滑槽2，並從滑槽2的另一端伸出，在螺釘4上套裝螺母5 ；將需要鍍膜的相同形狀和尺寸的基片放置在相鄰兩安裝條3之間的安裝盤1上，基片需鍍膜的面向上，移動該相鄰的兩安裝條3，使兩安裝條3上相對的臺階7分別壓在基片的兩邊，擰緊螺釘4使得兩個安裝條3緊緊壓住基片，固定基片，同一安裝盤1上可以設置多根安裝條 3，可以同時安裝數量很多的相同形狀和尺寸的基片，也可以安裝固定不同形狀和尺寸的基片，實現批量生產不同產品的目的；將安裝有基片的基片架放入真空鍍膜設備中，對基片進行鍍膜。基片在安裝盤1上最終排列為幾排，基片的安裝總數決定於安裝盤1的大小。
本發明基片架能夠滿足真空鍍膜中光學薄膜以及其他真空鍍膜設備中對不同尺寸和形狀的基片的鍍膜安裝要求。通過本發明能夠大大減少真空鍍膜中基片架設計加工的浪費，縮短不同產品的研製周期等等，並能實現批量鍍膜。
權利要求
1.一種用於真空鍍膜設備的多功能基片架，其特徵在於，該基片架包括安裝盤(1)和至少兩根安裝條(3 )，安裝盤(1)上平行設置有兩條長條形的滑槽(2 )，安裝條(3 )上加工有兩個安裝孔(8)，兩個安裝孔(8)的中心距與兩條滑槽(2)的中心距相等。
2.根據權利要求1所述的多功能基片架，其特徵在於，所述的安裝條(3)上、與安裝孔 (8)軸線相平行的兩個側面上分別設置有一個凸出的臺階(7)。
3.根據權利要求1所述的多功能基片架，其特徵在於，所述的安裝條(3)上、與安裝孔 (8)軸線相平行的兩個側面中的一個側面上設置有一個凸出的臺階(7)。
4.根據權利要求2或3所述的多功能基片架，其特徵在於，所述臺階(7)的厚度為 0. Imm 0. 2mmο
全文摘要
本發明公開了一種用於真空鍍膜設備的多功能基片架，包括安裝盤和至少兩根安裝條，安裝盤上平行設置有兩條長條形的滑槽，安裝條上加工有兩個安裝孔，兩個安裝孔的中心距與兩條滑槽的中心距相等。本發明基片架能夠滿足真空鍍膜中光學薄膜以及其他真空鍍膜設備中對不同尺寸和形狀的基片的鍍膜安裝要求。通過本發明能夠大大減少真空鍍膜中基片架設計加工的浪費，縮短不同產品的研製周期等等，並能實現批量鍍膜。
文檔編號C23C14/50GK102330065SQ201110283620
公開日2012年1月25日 申請日期2011年9月22日 優先權日2011年9月22日
發明者張玲, 李晨, 熊玉卿, 王多書, 王濟洲, 王超, 董茂進, 陳燾 申請人:中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所