加熱機具的結構改良的製作方法
2023-05-20 21:18:51
專利名稱：加熱機具的結構改良的製作方法
技術領域：
本實用新型是涉及對晶圓進行加熱製程的加熱機具改良，尤對加熱機具內部用以發出熱量的機構進行改良，旨在提供一種可方便更換零件而可延長工作壽命的加熱機具。
背景技術：
如圖1所示，是為一般晶圓加熱製程當中所普遍使用的一種加熱機具結構分解圖，其加熱機具主要是在機臺10的加熱區域處至少設置4個凹座11，各個凹座11是為呈可供用以承載物料60(即欲進行加熱的晶圓)的加熱載臺20定置，其加熱載臺20是可在相關運送器械70的帶動下達到將物料60載入凹座11處進行加熱處理，以及將完成加熱處理的物料60移出加熱區域。
請同時參閱圖2所示，該加熱載臺20下方則設有一加熱器30，其加熱器30至少包含有加熱線圈31，其加熱線圈31是設於加熱載臺20中，而加熱線圈31兩端穿出加熱載臺20處形成有導電針32，導電針32外套設有一管狀的絕緣套33，且絕緣套33套入導電針32後使導電針32露出一固定區段，並使絕緣套33可密封加熱線圈31與導電針32處，再於該固定區段上固設有電線40，以藉由電線40通電後電源由導電針32傳入加熱線圈31，使加熱線圈31發出熱量。
一般加熱載臺20內是為真空狀態，而加熱載臺20工作一段時間後，絕緣套33與加熱載臺20接觸部位易產生老化現象，使得絕緣套33無法達到密封的作用，並使加熱載臺20內破除真空，而使得加熱載臺20甚至整個加熱機具無法正常運作。
實用新型內容有鑑於此，本實用新型加熱機具的結構改良，即在改善絕緣套無法達到完全密封的缺點，利用簡單的零組件組裝而成，不僅可達到加熱線圈通電供熱的作用，也可將加熱載臺密封達到完全真空的狀態，且工作一段時間後也可更換其零組件，確保零組件不會因為老化，而使加熱載臺或整個加熱機具無法正常運作，使該加熱機具可持續使用。
本實用新型加熱機具的結構改良主要是於機臺加設區域處至少設有一個凹座，各凹座是可供用以承載物料的加熱載臺定置，而該加熱載臺下方則設有一加熱器，其加熱器至少包含有加熱線圈；其中，該加熱線圈的兩端形成有導電針，其導電針先套設有絕緣套，且絕緣套套入導電針後使導電針露出一固定區段，再於該固定區段套入一導電套將導電針包覆，其導電套並於絕緣套相螺合，而導電套並固設有電線，使電線通電後電源由導電套經導電針傳入加熱線圈，使加熱線圈發出熱量。
圖1是為晶圓加工製程當中所應用的一種加熱機具內部的加熱載臺結構分解圖；圖2是為習有加熱載臺的結構示意圖；圖3是本實用新型中加熱載臺的結構分解圖；圖4是本實用新型中加熱載臺的結構示意圖；圖5是為圖4中絕緣套與導電套的結構放大示意圖。
圖號說明10機臺35絕緣套環11凹座36壓環20加熱載臺37絕緣套體30加熱器 38熱縮套管31加熱線圈40電線
32導電針51外螺紋33絕緣套52內螺紋33』絕緣套 60物料34導電套70輸送器械341導電針部具體實施方式
為能使貴審查員清楚本實用新型的結構組成，以及整體運作方式，茲配合圖式說明如下本實用新型加熱機具的結構改良，其所應用的加熱機具基本上同樣是在機臺的加熱區域處至少設置一個凹座，各個凹座是為呈可供用以承載物料的加熱載具定置，其加熱載具是可在相關運送器械的帶動下達到將物料載入凹座處進行加熱處理，以及將完成加熱處理的物料移出加熱區域。
至於本實用新型的改良重點是如圖3及圖4所示，該加熱載臺20下方則設有一加熱器30，其加熱器30至少包含有加熱線圈31，其加熱線圈31是設於加熱載臺20中，而加熱線圈31兩端穿出加熱載臺20處形成有導電針32，其導電針32先套設有絕緣套33』(其絕緣套可以為鐵氟龍材質)，該絕緣套33』設有外螺紋51，且絕緣套33』套入導電針32後使導電針32露出一固定區段，並使絕緣套33』可密封加熱線圈31與導電針32處，再於該固定區段套入一導電套34將導電針32包覆，其導電套34設有與絕緣套33』的外螺紋51相螺合的內螺紋52，以及一導電針部341，其可利用螺合方式將絕緣套33』與導電套34相互組裝固定，而導電套34的導電針部341並固設有電線40，使電線40通電後電源由導電套34經導電針32傳入加熱線圈31，使加熱線圈31發出熱量；當然，也可進一步於電線40外與導電套34間套設有一熱縮套管38，可加強電線40與導電套34結合的穩固性。
再者，絕緣套33』與導電套34間設有一絕緣套環35，如圖3及圖5所示，其絕緣套環35是先套於絕緣套33』外後，再套入一絕緣材質的壓環36，再旋入導電套34，由導電套34旋入的作用力將壓環36壓迫絕緣套環35，進而使絕緣套33』與導電套34間達到密封的功用；當絕緣套33』老化需更換時僅需將導電套34旋出，再將絕緣套環35與壓環36取出，即可輕易將老化的絕緣套33』更換；必要時也可將絕緣套環35與壓環36同時更換；另外，導電套34外可進一步套設有一絕緣套體37使部分導電針部341露出，可以防止使用者碰觸導電套而產生觸電的危險。
值得一提的是，本實用新型利用簡單的零組件(絕緣套與導電套)組裝而成，不僅可達到加熱線圈通電供熱的作用，也可將加熱載臺密封達到完全真空的狀態，且工作一段時間後也可更換其零組件，確保零組件不會因為老化，而使加熱載臺或整個加熱機具無法正常運作，更可延長加熱機具的工作壽命。
如上所述，本實用新型提供晶圓加工另一較佳的加熱機具結構，於是依法提呈新型專利的申請；然而，以上的實施說明及圖式所示，是本實用新型較佳實施例，並非以此局限本實用新型，是以，舉凡與本實用新型的構造、裝置、特徵等近似、雷同，均應屬本實用新型的創設目的及申請專利範圍之內。
權利要求1.一種加熱機具的結構改良，其加熱機具的機臺加設區域處至少設有一個凹座，各凹座是可供用以承載物料的加熱載臺定置，而該加熱載臺下方則設有一加熱器，其加熱器至少包含有加熱線圈；其特徵在於該加熱線圈的兩端有導電針，其導電針套設有絕緣套，且絕緣套套入導電針，導電針露出一固定區段，該固定區段套入一將導電針包覆的導電套，其導電套並與絕緣套相螺合，而導電套並固設有電線。
2.如權利要求1所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該絕緣套與導電套間設有一絕緣套環。
3.如權利要求2所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該絕緣套環是套於絕緣套外後，再套入一壓環。
4.如權利要求3所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該壓環為絕緣材質。
5.如權利要求1所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該電線是固設於導電套的導電針部。
6.如權利要求1所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該絕緣套為鐵氟龍材質。
7.如權利要求1所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該導電套外可進一步套設有一絕緣套體。
8.如權利要求1所述的加熱機具的結構改良，其特徵在於該電線外與導電套間套設有一熱縮套管。
專利摘要本實用新型的加熱機具的機臺加設區域處至少設有一個凹座，各凹座是可供用以承載物料的加熱載臺定置，而該加熱載臺下方則設有一加熱器，其加熱器至少包含有加熱線圈；其中，該加熱線圈的兩端形成有導電針，其導電針先套設有絕緣套，且絕緣套套入導電針後使導電針露出一固定區段，再於該固定區段套入一導電套將導電針包覆，其電套並與絕緣套相螺合，而導電套並固設有電線，使電線通電後電源由導電套經導電針傳入加熱線圈，使加熱線圈發出熱量。
文檔編號H05B6/00GK2819700SQ20052010378
公開日2006年9月20日 申請日期2005年8月16日 優先權日2005年8月16日
發明者陳漢陽 申請人:微芯科技有限公司