監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統的製作方法

2023-05-20 18:31:56 4

監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統的製作方法
【專利摘要】本發明提供了一種監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統，包括以下步驟：設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍，獲取所述探針卡每根探針的漏電電流，將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍進行比對，若所述漏電電流在所述標準漏電流範圍內，則所述漏電電流對應的探針卡上的探針正常，若所述漏電電流不在所述標準漏電流範圍內，則所述漏電電流對應的探針卡上的探針異常，則發出警報。本發明解決了不能及時發現探針卡漏電異常的問題。
【專利說明】監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統

【技術領域】
[0001] 本發明涉及微電子領域，尤其是一種監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系 統。

【背景技術】
[0002] 使用探針卡對半導體器件進行檢測是當今半導體器件測試中的一種十分常用的 方法。使用探針卡進行測試是為了規格一致性而在矽片集成電路上進行的電學參數測試， 通過使用探針卡對矽片的測試能夠發現被測矽片存在的缺陷，避免將有缺陷的矽片投入市 場，同時在發現了存在缺陷的矽片後能夠將數據反饋給半導體工程師，從而發現並糾正制 造過程中的問題。
[0003] 娃片在生廣完成後被安裝在印刷電路板（PCB)上，當印刷電路板生廣完畢後，這 時如果在對PCB進行的檢測中發現問題，需要極其複雜的診斷過程和人工分析才能找到問 題的原因。如果是集成電路的問題，這就需要將存在問題的集成電路拆卸下來，將替換的 集成電路安裝上去，由於當下大規模集成電路的封裝一般都是球柵陣列封裝（Ball Grid Array Package, BGA)，使得手工拆卸幾乎不可能，因此在拆卸過程中需要使用專業的工具。 由此可見，如果在印刷電路板的生產完畢後才測試出問題，對於生產的影響是大大高於單 片階段的發現問題的，對於複雜的設備，如果在整機階段才發現集成電路的問題，其對於生 產的影響是更為巨大的。
[0004] 所以，對於集成電路生產時的測試是很有意義的。
[0005] 而對於集成電路生產時的測試通常採用探針卡對晶片進行測試，探針卡是自動測 試儀與待測器件之間的橋梁，通過探針卡實現測試儀和被測晶片的連接。因此在測試過程 中探針卡的狀態是十分重要的，因此需要對探針卡進行漏電檢查。探針卡漏電合格則可以 正常測試，不合格則需要維修才能測試。
[0006] 現有技術都需要工程師拿著探針卡在機臺中手動進行漏電檢查，檢查合格則進行 測試。但在晶片測試過程中，工程師往往看不到結果，總是在數據出現異常時再去檢查探針 卡的漏電，往往這時已經影響到許多待測器件。而且，數據出現異常也有可能是機臺上的部 件出現故障，很難分辨出是機臺的故障還是探針卡漏電異常。


【發明內容】

[0007] 本發明的目的在於提供一種監控探針卡漏電的方法，能夠長時間的監控探針卡的 漏電結果，並能及時發現探針卡漏電異常，還能經過分析判斷是機臺故障還是探針卡漏電 異常。
[0008] 為了達到上述目的，本發明所提供的技術方案為：
[0009] 一種監控探針卡漏電的方法，包括以下步驟：
[0010] 設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍；
[0011] 獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0012] 將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍進行比對；
[0013] 若所述漏電電流在所述標準漏電流範圍內，則所述漏電電流對應的探針卡上的針 正常；
[0014] 若所述漏電電流不在所述標準漏電流範圍，則所述漏電電流對應的探針卡上的針 異常，則發出警報。
[0015] 優選的，在上述監控探針卡漏電的方法中，標準漏電流範圍為-3. OOpA?3. OOpA。
[0016] 一種探針卡漏電監控系統，包括：
[0017] 設定存儲模塊，用於設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍；
[0018] 信息採集模塊，用於獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0019] 處理模塊，用於將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍進行比對。
[0020] 優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，所述設定存儲模塊設定的標準漏電 流範圍為-3. OOpA?3. OOpA。
[0021] 優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，還包括信息輸出模塊，用於輸出所述 探針卡每根探針的漏電電流。
[0022] 優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，採用顯示器作為所述信息輸出模塊。
[0023] 優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，所述處理模塊對所述探針卡每根探 針的漏電電流與-3. OOpA?3. OOpA進行比對。
[0024] 優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，還包括喇叭，當所述漏電電流不在所 述標準漏電流範圍內時，所述喇叭發出警報。
[0025] 上述技術方案具有如下優點或有益效果：
[0026] 本發明通過設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍，在獲取探針卡的每根探針 的漏電電流後，與所述標準漏電流範圍進行比對，來判斷探針卡漏電是否異常，若出現異 常，則向工程師發出警報，工程師則可以第一時間發現探針卡的漏電異常。同時還可以對同 一機臺上工作過的多個探針卡的漏電電流分析，若連接所述機臺同一 PIN腳的多個探針卡 均出現漏電異常，則可判斷為機臺故障，而且根據PIN腳可判斷出機臺上出現故障的具體 部件。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027] 圖1為本發明實施例中監控探針卡漏電的方法的步驟示意圖；
[0028] 圖2為本發明實施例中探針卡漏電監控系統的原理示意圖。

【具體實施方式】
[0029] 下面將結合示意圖對本發明的【具體實施方式】進行更詳細的描述。根據下列描述和 權利要求書，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均 使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0030] 本發明是一種監控探針卡漏電的方法，如圖1所示，所述監控探針卡漏電的方法， 包括以下步驟：
[0031] 首先，設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍為-3. OOpA?3. OOpA之間，該標 準漏電流範圍可根據實際情況設定。
[0032] 然後，獲取所述探針卡每根探針的漏電電流。
[0033] 進一步的，將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍-3. OOpA?3. OOpA進行比對。
[0034] 若所述漏電電流在所述標準漏電流範圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電流 對應的探針卡上的針正常，則繼續測試。
[0035] 若所述漏電電流不在所述標準漏電流範圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電 流對應的探針卡上的針異常，則發出警報。
[0036] 工程師則可以第一時間發現探針卡的漏電異常。還可以對同一機臺上工作過的多 個探針卡的漏電電流分析，若連接所述機臺同一 PIN腳的多個探針卡均出現漏電異常，則 可判斷為機臺故障，而且根據PIN腳可判斷出機臺上出現故障的具體部件。
[0037] 同時，本發明還提供一種探針卡漏電監控系統，如圖2所示，所述探針卡漏電監控 系統包括：
[0038] 設定存儲模塊，用於設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍；
[0039] 信息採集模塊，用於獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0040] 處理模塊，用於將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍進行比對。
[0041] 首先，用所述設定存儲模塊設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍 為-3. OOpA?3. 00ρΑ，該標準漏電流範圍可根據實際情況設定。
[0042] 然後，用信息採集模塊獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0043] 進一步的，處理模塊將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍-3. OOpA?3. OOpA進 行比對。
[0044] 若所述漏電電流在所述標準漏電流範圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電流 對應的探針卡上的針正常，則繼續測試。
[0045] 若所述漏電電流不在所述標準漏電流範圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電 流對應的探針卡上的針異常。
[0046] 具體的，在上述探針卡漏電監控系統中，還包括信息輸出模塊，採用顯示器作為所 述信息輸出模塊。用於輸出所述探針卡每根探針的漏電電流。
[0047] 進一步的，在本發明提供的探針卡漏電監控系統中，還包括喇叭，當所述漏電電流 不在所述標準漏電流範圍內時，所述喇叭發出警報。
[0048] 綜上，在本發明實施例提供的監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統中， 通過設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍，在獲取探針卡的每根探針的漏電電流後， 與所述標準漏電流範圍進行比對，來判斷探針卡漏電是否異常，若出現異常，則發出警報， 工程師則可以第一時間發現探針卡的漏電異常。還可以對同一機臺上工作過的多個探針卡 的漏電電流分析，若連接所述機臺同一 PIN腳的多個探針卡均出現漏電異常，則可判斷為 機臺故障，而且根據PIN腳可判斷出機臺上出現故障的具體部件。
[〇〇49] 上述僅為本發明的優選實施例而已，並不對本發明起到任何限制作用。任何所屬 【技術領域】的技術人員，在不脫離本發明的技術方案的範圍內，對本發明揭露的技術方案和 技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍 屬於本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1. 一種監控探針卡漏電的方法，其特徵在於，包括以下步驟： 設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍； 獲取所述探針卡每根探針的漏電電流； 將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍進行比對； 若所述漏電電流在所述標準漏電流範圍內，則所述漏電電流對應的探針卡上的針正 常； 若所述漏電電流不在所述標準漏電流範圍，則所述漏電電流對應的探針卡上的針異 常，則發出警報。
2. 如權利要求1所述的監控探針卡漏電的方法，其特徵在於，標準漏電流範圍 為-3. OOpA ?3· OOpA。
3. -種探針卡漏電監控系統，其特徵在於，包括： 設定存儲模塊，用於設定探針卡的每根探針的標準漏電流範圍； 信息採集模塊，用於獲取所述探針卡每根探針的漏電電流； 處理模塊，用於將所述漏電電流與所述標準漏電流範圍進行比對。
4. 如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特徵在於，所述設定存儲模塊設定的 標準漏電流範圍為_3. OOpA?3. OOpA。
5. 如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特徵在於，還包括信息輸出模塊，用於 輸出所述探針卡每根探針的漏電電流。
6. 如權利要求5所述的探針卡漏電監控系統，其特徵在於，採用顯示器作為所述信息 輸出模塊。
7. 如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特徵在於，所述處理模塊對所述探針 卡每根探針的漏電電流與-3. OOpA?3. OOpA進行比對。
8. 如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特徵在於，還包括喇叭，當所述漏電電 流不在所述標準漏電流範圍內時，所述喇叭發出警報。
【文檔編號】G01R35/00GK104101855SQ201410356387
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年7月24日 優先權日:2014年7月24日
【發明者】沈茜, 婁曉祺 申請人:上海華力微電子有限公司