噴墨噴頭塗布控制方法
2023-04-29 16:16:56 1
專利名稱:噴墨噴頭塗布控制方法
技術領域:
本發明涉及一種具備有噴墨記錄噴頭(以下稱為「噴墨噴頭」)的噴墨塗布裝置的清洗方法、噴嘴檢查方法、塗布控制方法、及成膜方法,特別涉及一種用以將在噴墨噴頭的噴嘴面及其周邊所附著的髒汙、碎屑、雜質等去除的清洗方法、噴嘴檢查方法、塗布控制方法、及成膜方法。另外,本說明書中的噴墨噴頭,沒有特別的限定,是具備有單一或多個噴嘴的噴墨嗔頭。
背景技術:
噴墨記錄裝置中,為了維持高品質的記錄質量,便必須將在噴墨記錄噴頭的油墨吐出面所殘留油墨、雜質等予以去除。專利文獻I中揭示有,使擦拭刮板相對向於噴頭的油墨吐出面,通過進行擦拭動作來清洗的方法中,為了提升清洗性能,便關於擦拭刮板的材質、角度、接觸方式等進行研究。專利文獻2中揭示有,相對吐出口在所述刮板清洗的回覆操作方向的下遊側設置油墨吸收用狹縫,將經所述刮板刮取的油墨利用具有平行於多個吐出口且狹縫狀設置的抽吸口的油墨吸收用狹縫,吸取所述油墨以提升性能的方法等。在專利文獻3中揭示有,從噴霧器噴嘴朝噴墨噴頭的噴嘴及其周邊吹出而施行所述噴嘴面的洗淨之後,將附著於噴墨噴頭的噴嘴及其周邊的洗淨液利用刮板進行刮除等。專利文獻4中揭示有,配向膜的液滴吐出方法,使具有以既定間距排列的多個噴嘴的噴墨噴頭,對襯底進行相對移動,而從所述噴嘴將配向膜的液滴吐出於所述襯底上的方法,其中,所述噴墨噴頭對所述襯底相對移動的方向,是對所述襯底中構成格子狀的像素排列方向,呈既定角度傾斜。專利文獻5中揭示有,薄膜形成裝置,包括有分別具有以一定間隔排列的多個噴嘴,具備有單一或多個噴墨噴頭的噴頭支撐構造體;以及具有在這些多個噴嘴排列方向的正交方向上,可在這些多個噴嘴之間進行相對移動的襯底搬送平臺的襯底搬送機構;而從所述多個噴嘴將薄膜形成用溶液噴射於在所述襯底搬送平臺上所搭載的襯底表面上,而施行塗布並形成薄膜的非接觸式薄膜形成裝置;其特徵在於具備有至少內部設有所述襯底搬送平臺、噴墨噴頭、及將所述噴頭支撐構造體包含於內部的作為噴射塗布成膜室的真空糟;以及為了能在減壓環境下施行噴射塗布成膜,而將所述真空槽內部施行減壓的減壓手段。專利文獻6中揭示有,配向膜形成方法,具備有使用噴墨噴嘴將配向膜材料以液 滴進行滴落,通過該滴落的液滴圖案,檢查所述噴墨噴嘴異常的檢查步驟;以及當在該檢查步驟判斷液滴圖案在既定範圍內時,便使所述噴墨與襯底相對向,並使用所述噴墨噴嘴將配向膜材料以液滴滴落在該襯底上而成的配向膜的成膜步驟。專利文獻7中揭示有,裝置的製造方法,包括有對襯底的圖案形成區域,從液滴吐出噴頭吐出液體材料的 步驟的裝置的製造方法;其特徵在於包括有對除所述圖案形成區域以外的既定區域吐出所述液體材料的衝洗步驟。專利文獻I :日本特開2004-291364號公報專利文獻2 :日本特開2004-42571號公報專利文獻3 :日本特開2002-19132號公報專利文獻4 :日本特開2006-320839號公報專利文獻5 :日本特開2006-289355號公報專利文獻6 日本特開2006-058772號公報專利文獻7 :日本特開2003-282245號公報
發明內容
(發明所欲解決的問題)本發明的目的在於提供一種可解決後述技術問題的噴墨塗布裝置的清洗方法、噴嘴檢查方法、塗布控制方法、及成膜方法。(解決問題的手段)第I發明是噴墨噴頭的清洗方法,其特徵在於,將噴墨噴頭的洗淨區域,利用具有洗淨液供應口與抽吸口的單元構件覆蓋,並通過從抽吸口作用抽吸力,從與抽吸口相對向的洗淨液供應口,朝洗淨區域噴射洗淨液來加以洗淨。第2發明是,在第I發明中,在所述洗淨後,使噴墨噴頭與單元構件僅稍微離開,通過對單元構件作用抽吸力,來使噴墨噴頭的洗淨區域乾燥。第3發明是,在第I或2發明中,洗淨液是使用由具有使液材溶解的因子的溶劑所構成的液體。第4發明是噴墨噴頭的檢查方法,使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材,滴落於檢查用構件,並根據滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴異常;所述噴墨噴頭的檢查方法的特徵在於,所述檢查用構件是由液材滴落處與非滴落處的反射率不同的材料來構成。第5發明是,在第4發明中,所述檢查用構件是由於液材的滴落而溶解的薄膜。第6發明是噴墨塗布控制方法,其特徵在於,在從噴墨噴頭的吐出作業後,將在噴墨噴頭內的流路所填充的吐出用液材替換為低揮發性替換材料,並在剛要開始吐出作業之前,將替換材料再次替換為吐出用液材。第7發明是,在第6發明中,替換材料是使用由具備使液材溶解的因子的溶劑所構成的液體。第8發明是噴墨制膜方法,通過多個噴射步驟施行制膜;所述方法的特徵在於,等待前一步驟所噴射的工件上液滴乾燥至不流動的程度之後,將液材噴射向與前一步驟滴落的液材液滴接觸或部分重疊的位置。第9發明是,在第8發明中,增加噴射步驟的次數,並減少每一次的噴射量。第10發明是,在第8或9發明中,由膜形成布線圖案。
(發明效果)(I)關於噴墨噴頭的清洗,因為刮板等固體物不接觸到噴墨噴頭的噴嘴及其周邊,所以可在不發生磨損粉塵的情況下,清洗噴墨噴頭。另外,因為使用洗淨液,所以在油墨等液材已乾燥等情況,仍能以強勁洗淨力進行清洗。另外,也具有可縮短作業時間,可廉價製作的特徵。(2)能夠以高視覺識別性檢測出噴墨噴頭的噴嘴不良情況,特別是透明液材中能明顯地提高視覺識別性。(3)解決噴墨噴頭的塗布控制問題,能進行穩定的吐出動作。特別是對高揮發性的液材具更高的效果。 (4)在由噴墨的成膜中,相比於現有手法,可縮小整體面的厚度差。
圖Ia為具備有實施例I的清洗機構的裝置的整體概略俯視圖。圖Ib為具備有實施例I的清洗機構的裝置的整體概略側視圖。圖2為表示實施例I的清洗機構一形態的概要說明圖。圖3為表示實施例I的清洗機構另一形態的概要構造圖。圖4a為表示實施例I的洗淨單元的構造俯視圖。圖4b為表示實施例I的洗淨單元的概略構造側面剖視圖。圖5為實施例I的洗淨單元所施行的洗淨步驟與乾燥步驟說明圖。圖6為實施例I的噴墨噴頭的洗淨步驟與乾燥步驟流程圖。圖7為實施例I涉及的噴嘴檢查機構說明圖。圖8為表示噴墨噴頭的塗布控制實施順序的流程圖。圖9為用於說明噴墨噴頭動作的簡略化概念構造圖。圖10為圖9構造中的噴墨噴頭的前處理動作說明圖。圖11為圖9構造中的噴墨噴頭的後處理動作說明圖。圖12為現有的厚膜形成手法與本發明的厚膜形成手法的對比說明圖。圖13為由本發明制膜方法能夠形成的布線圖案。圖14為實施例2涉及的維護機構構造圖。圖15為表示透視實施例2的吸取/衝洗單元的側視圖。圖16為從實施例2的機器類所輸出的信號波形。符號說明2液材3洗淨液4使用過的洗淨液(廢液)5負壓6噴嘴7開閉機構8信號產生裝置
9連通構件10噴墨噴頭11液材吐出面12a、12b 液材瓶13洗淨液瓶 14工件平臺15個人計算機(PC)16操作桌19壓力供應泵20洗淨單元21受液部22排放閥23清洗唇24底部抽吸口25洗淨液供應口26洗淨液回收口28開口3 la、3 Ib 洗淨液噴嘴電磁閥32a,32b 側噴嘴大氣開放閥33供應閥34a,34b 負壓用電磁閥35洗淨液供應閥36材料切換閥37噴射器38調節器40廢液罐41手動接頭51開閉電磁閥52滿量傳感器61抵接構件62框架63支撐構件64安裝構件66接頭71正式液體72檢查用薄膜73板74攝像裝置75反射照明
76穿透照明77攝像裝置的視野78滴落的正式液體81饋送用輥82卷取用輥101噴墨噴頭控制盒102 吸取/衝洗單元103 噴頭蓋單元
104 影像照相機105 液材切換單元106 噴墨控制襯底107 液材罐108 緊急停止開關109 底板110 橫梁112 各種空壓機器113 儀器盒114 控制盒121 X軸移動機構122 Y軸移動機構123 Z軸移動機構124Θ軸轉動機構125 ΗΘ軸轉動機構151 第一閥152 第二閥
具體實施例方式本發明以噴墨塗布裝置相關的下述四個技術思想為基礎。(I)清洗方法及機構[i]課題第一技術思想的課題在於改善在噴墨噴頭的射出面上所附著液滴的去除能力較低情形。另外,因為現有清洗機構的尺寸較大,所以更小型化的目標也屬於待解決問題。還有,如現有不使用堅硬刮板施行清洗也屬待解決問題。理由是如果使刮板接觸到噴墨噴頭的噴嘴或其周邊部分,則有產生磨損粉塵的問題。如果產生磨損粉塵,則成為噴嘴遭堵塞的原因,有導致周邊環境遭汙染的問題。此外,如果有磨損粉塵的產生可能性,則需要在無塵室內使用而受到限制。[ii]主旨為將噴墨噴頭射出面上所附著的液材去除,使所附著的液材與溶解液材的洗淨液(洗淨劑)接觸,利用洗淨液將液材溶解較具效果。另外,在所述射出面上形成將液材射出的射出口,而毫無遺漏地使其周邊接觸到洗淨液是重要的。對射出面設有多個射出口的噴墨噴頭而言,特別重要。第一技術思想是從噴墨噴頭射出面一端所供應的洗淨液,在所述射出面的表面上流動,並從距供應洗淨液端最遠的一端進行回收。使用洗淨液從射出面端將在射出面上所附著的液材溶解,同時流動至射出面的相對向端,由此可無遺漏且效率佳地將射出面進行清洗。優選為,從射出面的一端的多個位置將洗淨液供應給射出面,並從相對向端的多個位置將洗淨液回收。此處對供應洗淨液的位置數並不需要與將洗淨液回收的位置數相同。更優選的是,從噴墨噴頭射出面的長邊方向側的一端供應洗淨液,並從相同射出面長邊方向側的相對向端將洗淨液回收。理由是可縮短在噴墨射出面上的洗淨液流動距 離,可提升洗淨效率。根據具有多個射出口的噴墨噴頭,對於尺寸變大的單元也有效。另外,經洗淨的射出面因洗淨液而溼潤,但為了能縮短等待時間,最好施行乾燥。經洗淨的射出面的乾燥手段優選為自然乾燥或吹氣乾燥,因為可防止射出面遭受汙染。如上所述,如果在噴墨噴頭射出面上無液滴的附著,則提升從噴墨噴頭所射出液滴的量精度及液滴在工件上的滴落位置精度。較佳方式的洗淨液是由具備將油墨溶解的因子的無色溶劑(例如使油墨溶解的主成分的溶劑)構成。但是,一般噴墨印表機所使用的油墨可分類為染料系或顏料系。所謂「染料」是指利用載體介質作為分子進行分散或溶合的著色劑。載體介質在室溫下呈液態或固態。通常所使用的載體介質是水、或水與有機共溶劑的混合物。一般以水為主成分,並在其中含有著色劑、以及為了防止堵塞等情況含有諸如甘油等溼潤劑。當載體介質是使用水的情況,一般此種油墨也出現耐水牢固性偏低的缺點。所謂「顏料」是指雖不溶於載體介質中,但以小粒子形態分散或懸浮,平常為了不致發生凝聚與沉澱現象,利用分散劑而呈安定化的著色劑。此種化合物多數為已知,例如存在將有機顏料或碳黑等顏料使用界面活性劑或分散劑予以微粒子化,並通過分散於水等介質中而作為著色劑使用的顏料油墨等。本技術思想與染料系或顏料系無關均可適用。油墨的黏度以數十cps程度的低黏度者為主流,但是在可進行飛散噴出的前提下,也可適用在數百cps程度的中黏度以上的情況。另外,本技術思想還可使用於諸如印刷襯底的布線圖案印刷、對微小零件施行潤滑劑的塗布、或戶外耐光性顯示材料印刷、UV硬化油墨印刷等情況所使用的功能性油墨。[iii]實施順序噴墨噴頭的清洗是依照Al步驟的順序實施(參照圖6)。另外,「B.洗淨作業」以圖3所示構造的順序例進行說明。CL噴墨噴頭對清洗機構的安置)使噴墨噴頭10與清洗機構的洗淨單元20相抵接。即,使噴墨噴頭10下面,以覆蓋在洗淨單元20中央部呈凹狀設置的受液部21的方式,抵接於洗淨單元20上面。清洗唇23 (cleaner lip)便成為噴墨噴頭10下面與洗淨單元20上面的接觸面。(B.洗淨作業)I)開啟洗淨液噴嘴電磁閥3la、31b,而連通於經由該電磁閥3la、3Ib相連接的流路。2)利用側噴嘴大氣開放閥32a、32b阻斷與大氣間的連通,而位於與經由該開放閥32a、32b相連接流路呈連通狀態的位置處。(利用開放閥32a將洗淨單元20與電磁閥31a相連通,而利用開放閥32b將電磁閥31b與排放閥22相連通。) 3)利用排放閥22,使噴射器37、與洗淨單元20的受液部21相連通,並開啟負壓用電磁閥34a、34b。4)利用至所述3)為止的步驟,對洗淨單元20的流路,由噴射器37產生負壓,將洗淨液瓶13內所儲存的洗淨液供應至洗淨單元20。5)供應至洗淨單元20的洗淨液,從洗淨液供應口 25供應於噴墨噴頭10。洗淨液供應口 25靠近噴墨10的下面外周形成,從洗淨液供應口 25所排出的洗淨液,有效率地供應於噴墨噴頭10下面的外周端附近。6)對噴墨噴頭10下面所供應的洗淨液,在噴墨噴頭10下面流動,並從與噴墨10下面的洗淨液供應側的相對向端附近所形成的洗淨液回收口 26,再度回收於洗淨單元20中,或在到達洗淨液回收口 26之前,離開噴墨噴頭10下面,而回收於洗淨單元20的受液部21中。受液部21連通於排放閥22,而排放閥22則位於將經由排放閥22的其它流路、與受液部21間的連通阻斷的位置處,因而在受液部21中滯留洗淨液。從洗淨液回收口 26流入於洗淨單元20的洗淨液,經由排放閥22及噴射器37而回收於廢液罐40中。7)經充分施行洗淨之後,將洗淨液噴嘴3la、3Ib關閉,並將負壓用電磁閥34a、34b關閉,而使側噴嘴大氣開放閥32a、32b位於與大氣相連通的位置。由此,停止洗淨液對洗淨單元20的供應,受液部21的壓力從負壓變為大氣壓。(C.噴墨噴頭自清洗機構的脫離)使噴墨噴頭10下面離開洗淨單元20上面,在噴墨噴頭10下面與洗淨單元20上面之間形成間隙。該間隙基於後續要施行的乾燥作業,而設為產生適當氣流的距離。(D.乾燥作業)I)為將廢液罐40與洗淨單元20相連通,切換排放閥22,將負壓用電磁閥34a、34b開啟。2)由此,洗淨單元20的受液部21與廢液罐40相連通,且對受液部21作用負壓,因此受液部21中所儲存的洗淨液便朝廢液罐40流動,而成為廢液的洗淨液由廢液罐40回收。3)另外,在噴墨噴頭10下面與洗淨單元20上面之間設置間隙,並從所述間隙將抵銷受液部21的負壓的大氣流入於受液部21中。在該間隙中流動的大氣作用為使在噴墨噴頭10下面所附著的洗淨液滴下,而滴下的洗淨液滴落於受液部21,並由廢液罐40回收。另外,也可通過對噴墨噴頭10下面與洗淨單元20間的距離調整,來調整氣流(負壓力)。4)在受液部21中所儲存的洗淨液回收至廢液罐40之後,如果也保持該狀態,則在所述間隙中流動的空氣作用為使噴墨噴頭10下面乾燥。在噴墨噴頭10下面形成有射出液材的射出口,因為可在該下面不會接觸到其它物質的情況進行乾燥,所以可將所述射出口保持於極潔淨的狀態。5)將噴墨噴頭10下面充分乾燥後,使負壓用電磁閥34a、34b動作而位於封閉位置,停止洗淨單元20對受液部21的負壓供應。6)然後,使供應閥33產生動作,而將噴墨噴頭10與液材供應瓶12相連通,將液材流路整合成可將液材供應於噴墨噴頭10的狀態。[iv]效果
根據如所述所說明的第一技術思想,因為利用洗淨液施行清洗,所以不會產生磨損粉塵。另外,因為是利用負壓的作用來將洗淨液噴射的原理,所以如果噴墨噴頭未密接洗淨單元則不供應洗淨液。所以,即使萬一噴墨噴頭與洗淨單元相離開,仍可因為真空破壞而停止洗淨液的供應,可防止將洗淨液噴出於洗淨單元外的情況發生。另外,因為乾燥作業也是利用負壓作用實施,因此可防止洗淨單元的外部遭受洗淨液的汙染。(2)噴嘴檢查方法及機構[i]課題現有的噴墨塗布裝置由於屬於噴墨方式,所以因噴嘴故障、噴嘴朝向、噴嘴被液材阻塞等原因,導致發生有無法對必要處適當地塗布必要量液滴的問題。另外,如專利文獻6所揭示,在檢查用薄膜上滴下液材而實施的檢查方法中,因為經滴落後,在到達影像辨識照相機為止,液滴的形狀已崩散,所以即使對液滴形狀施行影像辨識,仍無法精度佳地施行檢查。[ii]主旨第二技術思想如專利文獻6所揭示,屬於通過將液材滴下於檢查用構件(受滴物)而執行噴嘴檢查。不同於專利文獻6之處在於並非著眼於所塗布的液材(液滴),而是受滴物中有液材塗布的部分與其它部分的對比。較佳方式的本發明為,受滴物由具溶解性材質的檢查用薄膜構成。由此,即使對視覺識別性差的透明液材,該液材所滴落處仍會溶解,使檢查用薄膜產生渾濁(透明度改變、或呈不透明)。所以,滴落處的視覺識別性高,可輕易地檢測出所滴落之處。特別是使用高透明度液體材料時的效果更為顯著。液材滴落的受滴物對應射出的液材來適當選擇,重點在於液材滴落部分的反射率會改變。如果受滴物的滴落處被溶解,則會因漫反射等而改變反射率,因此可利用影像處理來高精度地擷取滴落處。可以是由滴落改變反射率的受滴物與液材的組合,也可以是液材滲入受滴物中的方式。液材滲入受滴物中的方式,特別有效的是,不以溶劑作為主成分的液體材料,例如以水為溶劑的液體材料。優選為,受滴物在液材滴落的瞬間便迅速溶解(或滲透)。理由是如果滴落於受滴物上面的液材的保持時間較長,滴落痕跡直徑會擴大。較佳為,不使用溶解時擴散的材質,而使用以貫穿下方的方式溶入(或滲透)材質的受滴物。例如以甲苯為溶劑的液體材料,較佳為使用聚苯乙烯系薄膜。較佳為,受滴物厚度設定為不會因液材的滴落而溶解達受滴物背面。較佳為受滴物為透明,但未必一定要透明,也可著色。重點在於滴落部分與非滴落部分的識別性佳。受滴物當然是由單一材料構成,但也包括表面經塗布、多個薄膜形成層狀的情況。對受滴物滴落的液材識別,可使用諸如CCD照相機等攝像裝置、雷射傳感器等感測裝置。影像處理為,例如對包含滴落處的攝像視野影像,施行邊緣擷取或二值化,由此來擷取滴落處。[iii]實施順序對噴嘴的檢查步驟,以圖7的(a)所示構造的順序例進行說明。 I)使卷取用輥82旋轉,使新的檢查用薄膜72位於噴墨噴頭10下方。此處,位於噴墨噴頭10下方的檢查用薄膜72是由板73定位,正確地保持與噴墨噴頭10間的距離。2)從噴墨噴頭10中吐出正式液體71,並滴落於檢查用薄膜72上面。由滴落使檢查用薄膜72溶解,而留下滴落的痕跡。3)再使卷取用輥82旋轉,而使檢查用薄膜72的滴落位置位於攝像裝置74上方。4)利用攝像裝置74拍攝檢查用薄膜72。另外,攝像裝置74的拍攝,可使檢查用薄膜72停止之後再實施,也可在使檢查用薄膜72移動的狀態下實施。5)根據由攝像裝置74所取得的影像數據,檢查噴墨噴頭10的狀態。從滴落痕的「脫落」及「直徑」便可檢查堵塞事項,而從滴落位置的偏離便可檢查飛散不良情況。(3)塗布控制方法[i]課題課題為通過防止噴墨噴頭的噴嘴發生堵塞等不良情況,來實現穩定油墨吐出動作,而具有所需精度。液材吐出動作停止時,噴墨噴頭的射出口附近的流路乾燥,因液材的增黏化、從液材中固體成分的析出而發生堵塞、吐出液材的飛行彎曲情況,導致有無法進行穩定吐出動作的問題。另外,如果液材的吐出穩定性惡化,有無法製造出要求所需精度產品的問題,在量產過程中,從對一工件進行的吐出作業起至對下一個工件施行吐出作業為止,必須施行工件搬出、下一工件的搬入/定位、對準處理等處理。在此期間,噴墨噴頭不進行吐出作業而必須等待,但卻因等待而導致在噴墨噴頭中所填充的液材容易發生乾燥現象的問題。[ii]主旨第三技術思想的特徵在於經吐出作業後,將在噴墨噴頭內的流路中所填充的吐出用液材,替換為低揮發性液材(替換材料),並在正要開始吐出作業之前,將替換材料再次替換為吐出用液材。此處,替換材料較佳為對液材具溶解作用的液體、或具洗淨作用的液體。較佳為,在將替換材料填充於噴墨噴頭內的流路之後,追加對形成射出液材的射出口的噴墨噴頭下面施行洗淨的洗淨步驟。經過所述替換材料填充與洗淨步驟的噴墨噴頭,不會有液材殘留,即便在吐出作業等待中,仍無液材增黏化、從液材中析出固體成分的顧慮。所以,可徹底地排除所述問題的發生。根據本技術思想,即使因意外的故障等因素導致長時間處於吐出作業等待時間,仍不致發生固體成分的析出/固化、噴嘴堵塞情形。還有,因為液材在正要進行吐出作業之前被填充於噴墨噴頭內,因此能夠將新鮮液材使用於工件上。[iii]實施順序塗布作業以如下順序實施。首先,將在噴墨噴頭下面所裝接的噴頭蓋單元脫離。噴頭蓋單元為可使形成於噴墨噴頭下面的射出口保持潔淨,並防止在與所述射出口相連通的噴墨噴頭內的流路中所填充的流體(替換材料)發生不必要蒸發,而在塗布作業等待時進行裝接。在噴頭蓋單元脫離後,便在噴墨噴頭內填充射出的液材。該液材填充前的噴墨噴 頭內的流路,填充有稱為替換材料的不同於液材的流體物。替換材料如前所說明,較佳為具有將液材溶解的作用。這樣,液材填充作業以吸取/衝洗單元將噴墨噴頭的所述射出口覆蓋,並施加負壓而抽吸噴墨噴頭內的替換材料並排出後,再同樣地利用抽吸動作進行油墨填充。S卩,所實施的噴墨噴頭的維護方法,是以單元構件將噴墨噴頭所具有的噴嘴覆蓋,並產生負壓而抽吸液體的維護方法;其中設有將單元構件與負壓產生機構相連通的廢液罐;與噴墨噴頭連通的低黏性液體儲存部;與噴墨噴頭連通的油墨儲存部;以及使噴墨噴頭擇一地與低黏性液體儲存部或油墨儲存部相連通的液體切換機構;使低黏性液體儲存部與噴墨噴頭相連通,並使單元構件產生負壓,並在噴墨噴頭中填充低黏性液體,後續使油墨儲存部與噴墨噴頭相連通,並在噴墨噴頭中填充油墨。在噴墨噴頭中填充射出液材之後,將液材射出於工件之外的其它既定位置處,並確認是否有確實射出(虛擬噴射動作)。特別是當噴墨噴頭設有多個射出口的情況,必須確認是否從所有的射出口射出液材。在該確認作業中,在沒有從所有射出口射出液材的情況下,則將在噴墨噴頭中所填充的液材全部排出,並再度填充。以將替換材料替換為液材的方法來實施。經再填充後,再度施行虛擬噴射動作,並確認是否從所有的射出口射出液材。如果確認已從所有射出口射出液材,則使噴墨噴頭與載置有工件的平臺進行相對移動,並將噴墨噴頭配置於工件上的塗布位置處,實施塗布作業。如果既定塗布作業完成,工件則被排出於通稱卸載機的工件收納裝置中。在執行該工件排出的期間,針對噴墨噴頭依照所述要領,將在噴墨內的流路中所填充的液材排出,並施行填充替換材料的作業。通過該項作業,噴墨噴頭的流路內的液材被替換為替換材料。當替換材料具有將液材溶解作用的情況,即使如果在流路內還稍微殘留液材,也會由於溶解於該填充的替換材料,所以在噴墨噴頭的流路內不會發生液材固化。替換材料的填充,將噴墨噴頭內的流路施行靜態溶解洗淨。替換材料填充作業完成後,將噴墨噴頭下面施行清洗。較佳為,清洗利用在所述第一技術思想中所說明的使用洗淨液的手法實施。如果已完成至噴嘴清洗,則噴墨噴頭內部外部均被洗淨,而成為無液材附著的潔淨狀態。待清洗已完成後,在噴嘴單元下面裝接噴頭蓋單元,從而防止替換材料的揮發。對每個工件重複實施以上的步驟。⑷成膜方法
[i]課題現有使用噴墨的成膜法有下述兩個問題。其一是高度方向(膜厚)的問題,另一是水平方向的問題。前者是無法解決成膜面的端部周邊出現壟起的咖啡潰現象(coffeestain phenomenon),導致無法成膜為均勻膜厚的問題。後者是在成膜面的端部(邊緣)發生滲散情形,導致無法形成清晰邊緣線的問題。專利文獻4中揭示有為解決液滴間相連而形成一體導致配向膜膜厚形成不均勻的問題,使襯底呈既定角度傾斜,但是還沒有徹底解決膜厚不均勻的問題。另外,咖啡潰現象是在低黏度的溶液出現的現象,成為液晶顯示組件的配向膜致命問題。配向膜的情況下,因為主成分即聚醯亞胺較不易溶解,所以大量使用溶解材料的Y-丁內酯、N-甲基吡咯啶酮或丁基賽珞蘇等,並以低黏度施行噴射塗布,因而將容易發生咖啡潰現象。[ii]主旨
發明者發現如果以不會發生液體流動的方式施行塗布,則可進行整體均勻膜厚的成膜;以及發現如果從噴墨噴頭吐出並滴落於工件表面上的多個液滴間相結合,邊緣線將出現滲漏情形,由此創作出第四技術思想。第四技術思想的特徵在於利用噴墨噴頭的第一射出動作射出於工件上之後,當對經該射出所滴落的液材液滴的接觸位置或重疊位置進行射出時,等待直到工件上的液滴呈不流動程度的乾燥狀態(包括物質停止移動的半乾燥狀態在內),然後才施行射出。如此,如果在利用第一射出動作朝工件上所射出的第一液滴的乾燥後,在第二射出動作以後的也朝第一液滴的接觸位置或重疊位置射出時,第二射出動作以後的液滴在工件上仍不會出現流體性結合情形。即,因為由第一射出動作所射出的液滴(第一液滴)呈乾燥狀態,所以不會出現因第二射出動作以後所射出液滴(第二液滴)的接觸,而發生所謂液滴間結合而形成為一液滴現象的流體結合情形。另一方面,當如現有在第一液滴與第二液滴出現流體性結合的情況下,因為更明顯地出現咖啡潰現象,因而相比於中央處的膜厚,膜邊緣部的膜厚增厚。即,相比於結合前的一液滴中央處膜厚、與邊緣處膜厚間的厚度差,由液滴間相結合而形成的液滴中央處膜厚與邊緣處膜厚間的厚度差變為更大。但是,當液滴間相結合併形成單一液滴的情況,因為因液材的流動而形成高度均勻化,因而經結合後,不可能視覺識別該接觸區域或重疊區域。針對此點,本技術思想中,因為在每一次射出動作時均乾燥且形成膜,所以相比於現有產生流體結合的手法,面的整體厚度差可縮小。圖12是膜形成中現有射出方法與本發明方法的比較圖。圖12中,上圖(a)表示朝工件上射出的液材相結合而呈一樣的現有方法,下圖(b)表示在工件上由第一射出所射出第一液滴群的各液滴,與相鄰接的其它液滴離開而配置,然後再以埋藏各液滴間隙的方式射出的具體的膜形成方法例。下圖(b)中,施行相對第一液滴群的射出位置朝右側射出的第二射出、相對第一液滴群的射出位置朝下側射出的第三射出、相對第一液滴群的射出位置朝右斜下側射出的第四射出。此處,在第二射出、第三射出、第四射出以後的射出中,當然也是分別在乾燥至由前一步驟射出所形成液滴的流動受抑制的程度的狀態之後,才施行下一步驟的射出。而且,本技術思想當然並不僅局限於圖12所例示的射出位置順序。只要是利用多次射出步驟(噴射步驟),在工件整面上施行均勻塗布的具規則性射出位置即可。由此,射出步驟的次數也可在三次以下,也可達五次以上。如果增加射出步驟的次數,並減少每單次射出步驟的塗布量,則可縮小工件表面的凹凸。理由是工件表面的凹凸、與塗布量具有相關聯關係。此外,如果減少塗布量,也有縮短乾燥時間的效果。另外,當噴墨單元具有多個射出口的情況,由第一射出動作所射出的多個液滴(第一液滴群)間,在工件上滴落於相離開的位置處,液滴間並未相接觸。此情況下,由第二射出動作所射出的多個液滴(第二液滴群),在第一液滴群乾燥至不會流動程度之後才實施,當然也可獲得同樣的效果。工件上的液滴乾燥可為自然乾燥,但是通過使載置工件的平臺溫度上升,則可更迅速地加以乾燥。使液滴乾燥的溫度根據液材種類、間距、射出量等條件而適當調整,例如設定為從實驗環境溫度(例如15 25°C)至150°C的範圍內,較佳為實驗環境溫度至100°C的範圍內,更佳為實驗環境溫度至50°C的範圍內。 另外,關於使液滴乾燥至不會流動程度的乾燥時間,也是根據平臺溫度、液材種類、間距、射出量等條件而適當調整,例如最好設定為從滴落起2(Γ100秒左右。如以上所說明的本發明成膜方法,相比於現有成膜方法,因為可減少邊緣部的滲出量,所以可適用於諸如液晶顯示組件的配向膜形成等各種用途。本發明的成膜方法也適用於如圖13所示在襯底上形成細微布線圖案。即,現有的成膜方法因為滲出量較多,恐將導致布線間出現相連接情況,所以將無法高密度形成細微圖案,但是依照本發明的成膜方法,則能高密度的形成細微布線。理由是本發明的成膜方法可大幅減少橫向(水平方向)的擴散量(後述實施例3中,擴散量為現有成膜方法的約1/10)。本發明成膜方法特別適用於膜厚為數ηπΓ數十μ m的薄膜形成。另外,本發明的成膜方法也可輕易地控制膜厚。現有的成膜方法中,經滴落後的液材與下一次射出的液材相結合,而形成一樣的液滴,並朝橫向(水平方向)擴散,所以較難控制膜厚。就此點而言,本發明的成膜方法是對經滴落後呈不流動狀態的液材,射出下一液材並堆疊,由此增加膜厚,因此通過控制堆疊次數便可輕易地控制膜厚。以下,針對本發明的詳細內容利用實施例進行說明,但是本發明並不受實施例的任何限制。[實施例I]本實施例的清洗機構具備有洗淨部2,該洗淨部2具有對噴墨噴頭I噴射出洗淨液12的功能、及噴射出空氣的功能。圖Ia是表示具備本實施例清洗機構的裝置的整體概略俯視圖,圖Ib是表示該裝置的整體概略側視圖。本實施例的裝置是,使噴墨噴頭10、與位於其下方的工件平臺14進行相對移動的同時施行塗布的噴墨塗布裝置。噴墨噴頭10經由Z軸移動機構123與H Θ軸轉動機構125而安裝於橫梁110。工件平臺14是真空吸附式工件平臺。在工件平臺14也可附加溫調操控器。噴墨噴頭10與工件平臺14的相對移動、以及噴墨噴頭10的清洗等動作控制,可由在塗布裝置旁邊所設置的操作桌16上的個人計算機(PC) 15執行。
圖2是表示本實施例清洗機構一形態的概要說明圖。圖2中,組件符號42是來自CDA (潔淨乾燥空氣)的壓縮空氣,組件符號43是CDA吸入口開閉球閥,組件符號44是排氣空氣開閉球閥,組件符號45是排氣過濾器(操控器)。圖3是表示本實施例清洗機構另一形態的概要構造圖。洗淨單元20是用以在噴墨噴頭10洗淨時,防止洗淨液飛散於周邊用的零件。洗淨單元20是構成將噴墨噴頭10的噴嘴面及其周邊從下方覆蓋的開口箱型等形狀。洗淨單元20,由於必須使用考慮到洗淨液等耐藥性的材質,因而使用例如不鏽鋼、鐵氟龍(註冊商標)等構成。
洗淨液用於將在噴墨噴頭10的噴嘴面與其周邊所附著的油墨完全衝洗掉,因而使用具備將油墨溶解的因子的無色溶劑(使油墨溶解的主成分的溶劑)。圖4a是表示洗淨單元20的構造俯視圖,圖4b是表示洗淨單元20的概略構造側面剖視圖。洗淨單元20,在抵接於噴墨噴頭10的清洗唇23中央處設置開口 28,並在長邊的緣部將多個洗淨液供應口 25與多個洗淨液回收口 26相對向設置。圖5的(a)是清洗時的說明圖。如該圖所示,洗淨單元20抵接於噴墨噴頭10,洗淨液從洗淨液供應口 25朝噴墨噴頭10下面的外周端附近噴射,並從洗淨液回收口 26及受液部21進行回收,由此施行清洗。圖5的(b)是乾燥時的說明圖。如該圖所示,待清洗結束後,使噴墨噴頭10與洗淨單元20稍微(例如3mm)離開,利用在這些間隙中流動的大氣,將在噴墨噴頭10上所附著的洗淨液吹飛,而使噴墨噴頭10及洗淨單元20乾燥。洗淨單元20設有底部抽吸口 24,而所抽吸的廢液儲存於廢液罐40中。以上所概略說明的本實施例噴墨噴頭10的洗淨步驟及乾燥步驟的流程圖,如圖6所示。但是,當使洗淨單元20內產生負壓情況時,噴墨噴頭10下面(噴頭面)與洗淨單元20間的密接性就很重要。此處,當洗淨單元20對噴頭面的傾斜較大,則有產生間隙的問題。因此,本實施例中,通過可追蹤噴頭面傾斜的構造,能夠確保洗淨單元20的密接性與密封性。即,通過將支撐洗淨單元20的支撐構件以軟化彈性體構成,就具有可追蹤噴頭面傾斜的自由度,可維持密封性。另外,洗淨單元20設有使其抵接或不抵接於噴墨噴頭10的開閉機構。開閉機構可採用一般使用作為升降用的諸如手動式、滾珠螺杆式、線性式等移動平臺而構成,例如公知的移動平臺製造商有駿河精機公司制、THK公司制。(噴嘴檢查機構)本實施例的噴嘴檢查機構如圖7所示構成。首先,使噴墨噴頭10朝配置檢查用薄膜的檢查區域移動。在檢查區域中,對噴墨噴頭10所具有的各噴墨噴嘴狀態進行檢查。在檢查區域中,設置有以橫切噴墨噴頭10下方的方式進行移動的透明檢查用薄膜72。檢查用薄膜72是對正式液體71具溶解性的薄膜。檢查用薄膜72是由饋送用輥卷取呈捲筒狀,通過卷取用輥的卷取,能夠經常將新的檢查用薄膜72用於檢查。來自噴墨噴頭10的滴落液滴由攝像裝置74進行攝像。攝像裝置74可由一般現有的CCD照相機等構成。圖7的(a)表示攝像裝置由兩臺影像辨識照相機(區域傳感器)構成的方式,圖7的(b)表示攝像裝置74由線傳感器構成的方式。圖7的(b)中,通過合併使用反射照明75與穿透照明76來提高辨識性。不管選擇何種方式均屬於設計事項,根據檢查用薄膜72的寬度、檢測精度等要素來決定。檢查用薄膜72中,在沒有正式液體71的滴落的情況、或滴落位置發生偏離既定位置的情況下,噴嘴檢查機構則視為出現噴嘴堵塞等故障,並顯示出錯誤信息。圖9是表示噴墨噴頭10的動作說明的簡略化概念構造圖。如圖9所示,噴墨噴頭10經由液材切換単元105,能夠選擇性地連通正式液體(射出的液材)與洗淨液。在エ件平臺側面內側配置三個單元。所配置的三個單元,在圖9中從左側朝右側依序將噴墨噴頭流路內的液材替換為替換材料、或是產生用以將替換材料替換為液材用負 壓的吸取/衝洗單元102、將噴嘴下面施行洗浄的洗淨單元20、將噴嘴下面進行封蓋的噴頭蓋單元103。圖10是圖9構造的噴墨噴頭10的前處理動作說明圖。針對圖10所示六個分圖進行說明。而且,切換單元105中,實線表示連通狀態,虛線表示阻斷狀態。[10-1]表示在噴墨噴頭10下面安裝噴頭蓋單元103,且利用切換單元與洗淨液相連通狀態的圖。屬於塗布作業等待時的狀態。[10-2]表示為進行塗布作業,而從噴墨噴頭10將噴頭蓋單元103脫離的狀態的圖。切換單元105位於將噴墨噴頭10與洗淨液相連通的位置。[10-3]表示噴墨噴頭10安置於吸取/衝洗單元102的狀態的圖。[10-4]將噴墨噴頭10安置於吸取/衝洗單元102之後,利用切換單元105切換成液材與噴墨噴頭10相連通的位置。然後,通過對吸取/衝洗單元102作用負壓,而進行噴墨噴頭10內的液體替換動作(填充動作)。[10-5]表示將液材填充於噴墨噴頭10流路內之後,在吸取/衝洗單元102上施行虛擬噴射動作的圖。該虛擬噴射並非利用諸如攝像裝置或感測裝置,確認是否有從噴墨噴頭10確實射出液材的作業,而是在將噴墨噴頭10流路內的液材進行正式射出作業前所施行的預備流動作業。當施行用以進行噴嘴檢查的確認作業吋,較佳為事先施行預備流動作業。當然,通過確認作業中的射出,也可兼具預備流動作業。[10-6]表示在使噴墨噴頭10進行移動的情況下,施行塗布作業的狀態的圖。圖11是圖9構造的噴墨噴頭10的後處理動作說明圖。針對圖11所示的六個分圖進行說明。[11-1]表示待塗布作業結束後噴墨噴頭10移動至吸取/衝洗單元102上的狀態的圖。[11-2]表示將噴墨噴頭10安置於吸取/衝洗單元102,液材切換単元105切換成噴墨噴頭10與洗淨液相連通位置的狀態的圖。[11-3]表示待噴墨噴頭10內的液體替換作業結束,噴墨噴頭10脫離吸取/衝洗單元102的狀態的圖。[11-4]表示將噴墨噴頭10安置於洗淨單元20,並施行洗淨作業的圖。液材切換単元105保持於將噴墨噴頭10與洗浄液相連通的位置處。[11-5]表示在洗淨步驟後,噴墨噴頭10移至噴頭蓋單元103上的圖。
[11-6]表示在噴墨噴頭10下面裝接有噴頭蓋單元103的圖。通過噴頭蓋單元103的裝接,射出ロ保持潔淨,且可防止在噴墨噴頭10內的流路中所填充的替換材料發生不必要的蒸發。[實施例2]圖14表示本實施例噴墨塗布裝置的維護機構構造圖。噴墨噴頭10,具有多個噴嘴6,將由連通構件9連通的第一罐12中所儲存的油墨2吐出來施行列印等。噴墨噴頭10的維護是將噴嘴6利用吸取/衝洗單元102覆蓋,並使吸取/衝洗單元102內產生負壓,並將所抽吸的油墨等,排放於由連通構件9來與吸取/衝洗単元102連通的廢液罐40中。吸取/衝洗單元102與噴墨噴頭10間的抵接,由開閉機構7自動地實施。開閉機構7可以是使噴墨噴頭10進行相對移動,也可以是使吸取/沖洗単元102進行相對移動。另外,依照產業領域,也可構成以手動進行吸取/衝洗單元102開 閉。本實施例的維護機構在所述現有構造追加,利用連通構件9來與噴墨噴頭10而相連通的第二罐13、以及擇一地切換噴墨噴頭10與第一罐12或第二罐13間的連通的液體切換單元105。在第二罐13中儲存有在開始維護時最先流入的低黏性液體的洗淨液3。本實施例中,洗淨液3使用將油墨2溶解的溶剤。由此,即使油墨2在流路內出現凝固的情況也可溶解。另外,如圖15所示,本實施例的吸取/衝洗單元102構成具有可追蹤噴頭面傾斜的自由度。抵接於噴頭面的抵接構件21,是由硬化弾性體的蕭氏A硬度4(Γ80度(較佳為5(Γ70度)(JIS Κ6253規格)的橡膠構成,利用黏接或螺固等方式裝接於框架62上面。框架62是由以黏接或螺固等方式固接且以軟化彈性構件(例如橡膠或彈簧)構成的支撐構件63支撐。支撐構件63為了可追蹤噴墨噴頭I的噴嘴面安裝誤差(三維的傾斜),也可穿透深度達40 80 (較佳50 70度)。支撐構件63固接於板狀安裝構件64。在框架62的底面部配設可將至少ー個以上的抽吸用貫穿孔即底部抽吸口 24、與連通構件9相連接的接頭66。根據所述所構成的本實施例吸取/衝洗單元102,可在不受噴嘴面傾斜影響下,確保完全的密接性與密封性。本實施例的負壓產生機構由信號產生裝置8、壓カ供應泵19、調節器38、及噴射器37構成,並經由廢液罐40連通於吸取/衝洗單元102。另外,負壓產生機構中也可附加可吸收空氣聲的消音器。信號產生裝置8能夠設定並登錄多個圖案時間與電壓信號波形,且從多個登錄的圖案中僅選擇、輸出任ー圖案。調節器38可對應信號產生裝置8的信號波形電壓,進行壓力供應。信號產生裝置8也可由例如脈衝產生器、PC等構成。噴射器37可對應從調節器38所供應的壓力來產生負壓。調節器38與噴射器37可由市售空壓機器構成。即使不對由調節器38與由噴射器37所產生的負壓進行控制,也可以是在從調節器38保持一定壓カ的情況下,通過對在噴射器37的廢棄側所設置節流閥的節流量進行調整,來進行負壓的控制。
本實施例的負壓產生機構,特徵在於使吸取/衝洗單元102內所產生的負壓緩和地回復至大氣壓。即,本實施例通過發出預設信號波形的信號產生裝置8,使吸取/衝洗單元102內的負壓緩和地產生變化,由此可防止氣泡的再混入。設定的信號波形在使吸取/衝洗單元102內的負壓緩和變化的前提下,可為直線性、也可為曲線性、也可為細微階段性變化的信號波形。曲線性波形有如圖16所示的Sin波形。如圖16的(a)所示,如果將從信號產生裝置8所輸出的信號波形設為Sin波形,則從調節器38所供應的壓カ如圖16的(b)所示變化,而噴射器37的負壓如圖16的(c)所示,可防止對噴墨噴頭10的噴嘴6前端的半月板施加振動。本實施例的塗布控制方法,依照圖8中左圖流程圖所示的順序實施。首先,將液材塗布裝置的電源開啟(開始),液材塗布裝置執行起始化動作(初期動作)。然後,設定所生產產品(品種)的相關裝置參數(數據設定)。該裝置參數是諸如エ件尺寸、塗布區域、射出條件等。如果這些設定完成,則完成執行生產的準備。接著,將エ件從通稱裝載機的エ件供應裝置中,供應於液材塗布裝置的平臺。在平 臺上所載置的エ件,在定位於平臺上後,確認エ件上的塗布位置,並對液材塗布裝置與エ件上的塗布位置的相對位置偏差進行校正(對準)。該項校正是實施,對エ件位置利用CCD照相機等攝像裝置、及對所拍攝影像施行影像處理。此時,除進行使平臺旋轉移動的物理校正夕卜,也進行機器人移動相關程序的坐標位置校正的程序校正。通過施行至此的處理,就完成了為了對在裝置平臺上已定位的エ件上的既定塗布位置正確地施行塗布的準備。如果以上的校正處理結束,則開始進行塗布作業。[實施例3]本實施例的成膜方法是,經乾燥至所滴落的液滴不流動程度之後,才射出下ー個液滴,並通過滴落而形成膜的噴墨塗布方法。液材使用聚醯亞胺溶液,襯底使用玻璃襯底。聚醯亞胺溶液用以形成半導體絕緣層、液晶面板絕緣膜。玻璃襯底為了乾燥所滴落液材至不會流動程度,而載置於可進行溫度調整的平臺上。[比較例]利用現有噴墨塗布方法,對25mm角的塗布區域,以30pl/滴、70微米間距施行塗布後,出現下述狀況。(A)橫向(水平方向)相對於規定的塗布區域,外圍擴散O. 5^1. Omm程度。(B)縱向(高度方向)塗布區域中央部為8(T85nm,邊緣部則為IOOOnm左右的高度。[實施例3]由本實施例的噴墨塗布方法,同樣地對25mm方塊的塗布區域,以8pl/滴、四次噴射、70微米間距施行塗布後,出現如下述狀況。(A)橫向(水平方向)相對於規定的塗布區域,外圍擴散O. 05、· Imm程度。(B)縱向(高度方向)塗布區域中央部為80nnTl00nm,邊緣部則為80nnTl00nm左
右的高度。如上所述,可確認到本實施例的成膜方法相比於比較例所示現有成膜方法,實現有益的效果。更具體而言,可確認到本實施例的方法可實現減少在膜上所形成的凹凸,減少膜整面的高低差,還實現邊緣部滲出量也減少的效果。
(產業上的可利用性)本發明並不僅局限於噴墨印表機,還可適用於精密噴霧/注入裝置(包括塗布裝置在內)、精密塗布裝置等各種噴墨記錄。也可適用於噴墨式圖案化,例如有機EL顯示面板、大型彩色面板的印刷、エ業用標記圖等用途的塗布裝置/描繪裝置/印刷裝置。關於噴墨記錄方法也是不論壓電式等機械轉換方式、或電阻熱噴射式等氣泡產生方式均可適用。另外,也可利用於透鏡製造 業界的透鏡著色步驟、或大型印刷產業的海報與建材裝飾方面。
權利要求
1.一種噴墨塗布控制方法,其特徵在於,包含, 第一步驟,在從噴墨噴頭的吐出作業後,將在噴墨噴頭內的流路所填充的吐出用液材替換為替換材料; 第二步驟,以供應洗淨液的單元構件,將在內部的流路已填充替換材料的噴墨噴頭的下面覆蓋洗淨; 第三步驟,在剛要開始吐出作業之前,將替換材料再次替換為吐出用液材。
2.根據權利要求I所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,在第一步驟及第三步驟中,以產生負壓的單元構件覆蓋噴墨噴頭的下面,將在噴墨噴頭內的流路填充的液體抽吸替換。
3.根據權利要求I或2所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,液體的抽吸結束時,基 於預先設定的正弦曲線信號波形,將單元構件內的負壓恢復至大氣壓。
4.根據權利要求I或2所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,在載置工件的工件平臺旁邊配置所述單元構件,在從吐出作業後的工件搬出至下個工件搬入之間,施行從所述第一步驟至第三步驟。
5.根據權利要求I或2所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,替換材料是使用由具備使液材溶解的因子的溶劑所構成的低揮發性的液體。
6.根據權利要求I或2所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,噴頭蓋單元,在塗布作業等待時被裝接在噴墨噴頭的下面。
7.根據權利要求I或2所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,所述單元構件,具有如下構件而構成作為抵接於噴頭面的彈性體的抵接構件;抵接構件裝接於其上面的框架;由支撐框架的彈性構件構成的支撐構件。
8.根據權利要求I或2所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於,包含進行虛擬噴射動作的第四步驟。
9.根據權利要求8所述的噴墨塗布控制方法,其特徵在於, 所述噴墨噴頭具有多個射出口, 在第四步驟中,確認從所有的射出口射出液材, 在第四步驟中沒有從所有射出口射出液材的情況下,則包含將在噴墨噴頭中所填充的液材全部排出,並再度填充的第五步驟。
全文摘要
本發明涉及一種噴墨噴頭塗布控制方法。其中,噴墨塗布控制方法包含第一步驟,在從噴墨噴頭的吐出作業後,將在噴墨噴頭內的流路所填充的吐出用液材替換為替換材料;第二步驟,以供應洗淨液的單元構件,將在內部的流路已填充替換材料的噴墨噴頭的下面覆蓋洗淨;第三步驟,在剛要開始吐出作業之前,將替換材料再次替換為吐出用液材。
文檔編號B41J2/165GK102717598SQ20121018660
公開日2012年10月10日 申請日期2008年2月21日 優先權日2007年2月21日
發明者生島和正 申請人:武藏工業株式會社