旋流形成體及非接觸式運送裝置的製作方法

2023-04-29 05:06:11

專利名稱：旋流形成體及非接觸式運送裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及旋流形成體及使用該旋流形成體的非接觸式運送裝置，特別涉及在大型的液晶顯示器(IXD)和/或等離子顯示器(PDP)等FPD (平板顯示器)和/或太陽能電池板(太陽能板)等的生產中使用的軌道狀的非接觸式運送裝置及構成該非接觸式運送裝置的旋流形成體。
背景技術：
以往，在FPD和/或太陽能電池板等的生產時，採用了通過使一個面板大型化來提高生產效率的方法。例如，在液晶玻璃的情況下，第十代可成為2850X3050X0. 7mm的大小。因此，當如以往那樣在排列多個的輥上裝載液晶玻璃來滾動運送時，會因支撐輥的軸的彎曲和/或輥高度的波動而在液晶玻璃上局部地作用較強的力，有可能損傷液晶玻璃。
上述由輥形成的滾動運送裝置，在要求該裝置與面板之間是非接觸的、例如FPD的處理工序中不能採用，近年來，正在開始採用空氣浮起的運送裝置。作為非接觸式運送裝置，有在板狀的軌道的一部分使用多孔質材料並通過使其與供氣路徑連通來供氣、從而通過噴出空氣將FPD浮起運送的裝置。但是，當使用該裝置時，FPD成為一邊在上下方向上運動一邊浮遊的狀態，因此雖然可在運送工序中使用，但是卻無法在例如要求3(Γ50 μ m的高精度的浮起高度的處理工序中採用。此外，如果在使用上述多孔質材料的板狀的軌道上設置抽真空用的孔，則裝置的構成變複雜，裝置自身變得高價，並且，當為了高精度地維持浮起高度而提高供氣壓力時，發生高剛性空氣的壓縮性涉及的激勵振動，存在不能高精度地保持浮起高度這樣的問題。再有，雖然也存在與抽真空用的孔交替地穿設節流孔(小徑的孔)來代替多孔質材料的裝置，但是，存在因來自節流孔的較強的噴出空氣而產生靜電或者弄亂淨室的環境，消耗流量增大而使運轉成本增高這樣的問題。於是，在專利文獻I中，作為流體流量及能量消耗量減少且可高精度地維持浮起高度的非接觸式運送裝置，提出了如下裝置在基體的運送面上具備兩個以上旋流形成體，該旋流形成體通過從流體噴出口噴出流體產生朝向從環狀部件的表面側離開的方向的旋流，並且在環狀部件的表面側的開口部附近產生朝向背面方向的流體流。現有技術文獻專利文獻I :國際公開第2009/119377號小冊子。

發明內容
發明所要解決的問題在上述專利文獻I記載的非接觸式運送裝置中，在形成於基體的運送面的凹部收置旋流形成體，通過突出設置於凹部周圍的隆起部斂縫接合該旋流形成體的外周面，因此，將旋流形成體向基體安裝需要很長時間而導致非接觸式運送裝置的製造成本上升，並且在將旋流形成體斂縫接合於基體時，旋流形成體的安裝角度會產生不均或者在旋流形成體和/或基體(軌道)會產生反翹，存在被運送物的浮起高度的精度可能下降的問題。於是，本發明是鑑於上述現有技術中的問題而研製的，其目的在於提供能夠減少非接觸式運送裝置的製造成本且防止被運送物的浮起高度的精度下降的旋流形成體及使用該旋流形成體的非接觸式運送裝置。為實現上述目的，本發明一種旋流形成體，其特徵在於，具備碗狀的主體，其具有在表面側開口的俯視呈圓形的孔部；流體噴出口，其在該主體的形成所述孔部的內表面開口 ；和流體取入口，其在所述主體的外表面開口且與所述流體噴出口連通，通過從所述流體噴出口噴出流體，在所述主體的表面側產生朝向從該表面離開的方向的上升旋流。根據本發明，旋流形成體使流體噴出口在碗狀的主體的內表面開口，且在外表面具備與流體噴出口連通的流體取入口，因此將該旋流形成體收置於基體的凹部等，且從流體取入口取入流體，由此能夠簡單地構成非接觸式運送裝置，能夠將非接觸式運送裝置的製造成本抑制得較低。此外，在將該旋流形成體安裝於基體時，將該旋流形成體的主體的外表面壓入基體的收置部的內表面，由此能夠不會在該主體的外表面與基體的收置部的內表 面之間產生流體的洩漏地將該旋流形成體安裝於所述基體。此外，在所述旋流形成體中，所述主體在底面具備突出部，並且具備在所述孔部的開口部的外周緣一體形成的環狀凸緣部，該主體具備從該環狀凸緣部的外周面向所述底面側突出且在前端具有卡止突起的多個突出部。根據該構成，能夠將旋流形成體用一個工序安裝於基體上，能夠進一步降低製造成本。此外，在將旋流形成體安裝於基體時，不使用以往的斂縫接合，因此旋流形成體的安裝角度不會產生不均、旋流形成體及基體產生也不會產生反翹，因此能夠較高地維持被運送物的浮起高度的精度。在所述旋流形成體中，在所述孔部的圓筒狀內壁面上的、位於該圓筒狀內壁面的切線方向上且夾著該孔部的中心在對角線上的相對向的位置上形成有凹部，在該凹部分別形成有所述流體噴出口，所述流體噴出口的所述開口部朝向所述孔部的圓筒狀內壁面側且分別朝向相反方向。這樣，通過在該凹部形成分別向相反方向開口的流體噴出口，從該流體噴出口噴出的流體與圓筒狀的內壁面抵接，能夠在該孔部產生右旋方向或左旋方向的上升旋流。此外，旋流形成體能夠由熱塑性合成樹脂一體成型，能夠進一步降低旋流形成體的製造成本。再有，本發明的非接觸式運送裝置，包括基體；和在該基體的運送面安裝的產生互相俯視呈相反方向的上升旋流的兩個以上旋流形成體，其特徵在於，該基體具備在運送面開口的俯視呈圓形的多個收置部；該收置部的底面；和帶狀的圓筒卡止凹部，其在該收置部的圓筒狀內壁面形成，直徑比該收置部的開口部的直徑大，通過形成於所述旋流形成體的所述主體的底面的突出部抵接於所述基體的收置部的底面而使該主體彎曲，從而所述多個卡止突起分別被收置在所述基體的圓筒卡止凹部中，通過該主體恢復到原來的形狀從而將所述多個卡止突起分別卡止於該圓筒卡止凹部，並且該主體的環狀凸緣部的外周面壓入嵌合於所述基體的收置部的圓筒狀內壁面從而該旋流形成體被安裝於所述基體的收置部。此外，在所述非接觸式運送裝置中，沿該基體的長度方向交替地配置將產生一個方向的上升旋流的所述旋流形成體和流體吸入用的孔沿所述基體的寬度方向交替配置而成的列以及將產生另一方向的上升旋流的所述旋流形成體和流體吸入用的孔沿所述基體的寬度方向交替配置而成的列，並且所述流體吸入用的孔排列成位於位於該基體的寬度方向及長度方向上的按相同方向產生上升旋流的所述旋流形成體之間。根據該構成，從旋流形成體擴展流動的面在多個旋流形成體為共面，使被運送物浮起的基準面成為基體的運送面，因此能夠高精度地控制被運送物的浮起高度，並且通過利用流體吸入用的孔真空吸附周圍的微量流體，就能夠高精度地控制被運送物的浮起高度，能夠合適地應用於處理工序等。發明效果如上所述，根據本發明，能夠提供能夠降低非接觸式運送裝置的製造成本且防止被運送物的浮起高度的精度下降的旋流形成體及使用該旋流形成體的非接觸式運送裝置。


圖I是表示本發明涉及的產生俯視呈右旋方向(順時針方向)的旋流的旋流形成體 的一個實施方式的圖，Ca)是主視圖，(b)是俯視圖，(c)是仰視圖，Cd)是(b)的A-A線剖視圖，(e)是(C)的B部的放大剖視圖，(f )是C部的放大剖視圖。圖2是表示本發明涉及的產生俯視呈左旋方向(逆時針方向)的旋流的旋流形成體的一個實施方式的圖，Ca)是主視圖，(b)是俯視圖，(c)是仰視圖，Cd)是(b)的D-D線剖視圖，(e)是(C)的E部的放大剖視圖，Cf)是F部的放大剖視圖。圖3是表示安裝旋流形成體的基體的一個實施方式的圖，(a)是俯視圖，(b)是(a)的G-G線剖視圖。圖4是表示安裝旋流形成體的基體的另一實施方式的圖，(a)是俯視圖，(b)是(a)的H-H線劑視圖。圖5是用於說明將圖I所示的旋流形成體安裝於圖3所示的基體的要領的剖視圖，Ca)表示將整個旋流形成體按下到基體的收置部的底面的狀態，(b)表示已將旋流形成體安裝於基體的收置部的狀態。圖6是表示已將圖I所示的旋流形成體安裝於圖3所示的基體的收置部的狀態的首1J視圖。圖7是表示本發明涉及的非接觸式運送裝置的一個實施方式的圖，Ca)是表示處理工序用非接觸式運送裝置的一部分的俯視圖，(b)是表示包含運送工序在內的非接觸式運送裝置整體的俯視圖。圖8是表示圖7所示的處理工序用非接觸式運送裝置的圖，Ca)是俯視圖，(b)是
(a)的I-I線首I]視圖。圖9是表示本發明涉及的包含運送工序在內的非接觸式運送裝置的另一實施方式的俯視圖。
具體實施例方式下面，關於本發明的實施方式一邊參照附圖一邊詳細說明。另外，在以下的說明中，舉使用空氣作為運送用流體且運送液晶玻璃(以下稱為「玻璃」)作為被運送物的情況為例進行說明。
圖I (a)至圖I (f)是表示本發明涉及的產生旋流形成體中的俯視呈右旋方向(順時針方向)的上升旋流的旋流形成體1，該旋流形成體I具備以例如聚縮醛等熱塑性合成樹脂一體成型的碗狀的主體Ia ;位於主體Ia的內部且在一方開口的俯視呈圓形的孔部Ib ；形成於主體la、且在該孔部Ib的開口部的外周緣一體形成的環狀凸緣部Ic ;四個突出部If，其從該環狀凸緣部Ic的外周面Id向下方突出，且在前端具有卡止突起Ie並在徑向上相對向地形成；圓筒狀的突出部Ih,其在主體Ia的底面Ig的中央部從該底面Ig稍向下方突出；凹部lj、I j，其在主體Ia的孔部Ib的圓筒狀內壁面Ii上的、位於該圓筒狀內壁面Ii的切線方向上且夾著該孔部Ib的中心O在對角線上的相對向的位置上形成；空氣的噴出口lk、lk，其形成於各凹部lj、朝向孔部Ib的圓筒狀內壁面Ii側且分別向相反方向開口 ；和連通於噴出口 Ik且在主體Ia的外周面開口的空氣取入口 11、11。上述旋流形成體I，通過經由空氣取入口 11、11分別從噴出口 lk、Ik噴出的空氣抵接於主體Ia的孔部Ib的圓筒狀內壁面li，而產生俯視呈右旋方向的上升旋流(圖I (b)中的箭頭方向)。
圖2 (a)至圖2 (f)是表示本發明涉及的產生旋流形成體中的俯視呈左旋方向的上升旋流的旋流形成體4，該旋流形成體4與上述旋流形成體I同樣，具備以例如聚縮醛等熱塑性合成樹脂一體成型的碗狀的主體4a ;位於主體4a的內部且在一方開口的俯視呈圓形的孔部4b ;環狀凸緣部4c，其形成於主體4a，且在該孔部4b的開口部的外周緣一體形成；四個突出部4f，其從該環狀凸緣部4c的外周面4d向下方突出，且在前端具有卡止突起4e而在徑向上相對向地形成；圓筒狀的突出部4h，其在主體4a的底面4g的中央部從該底面4g稍向下方突出；凹部4j、4j，其在主體4a的孔部4b的圓筒狀內壁面4i上的、位於該內壁面4i的切線方向上且夾著該孔部4b的中心O在對角線上的相對向的位置上形成；空氣的噴出口 4k、4k，其形成於各凹部4j且朝向孔部4b的圓筒狀內壁面4i側分別向相反方向開口 ；和連通於噴出口 4k且在主體4a的外周面開口的空氣取入口 41、41。上述旋流形成體4，通過經由空氣取入口 41、41分別從噴出口 4k、4k噴出的空氣抵接於主體4a的孔部4b的圓筒狀內壁面4i，而產生俯視呈右旋方向的上升旋流(圖2 (b)中的箭頭方向)。如圖3 (a)、(b)所示，安裝上述旋流形成體I或4的基體2具備俯視成圓形的收置部2b，其在運送面2a穿設，且在上表面開口 ；該收置部2b的底面2d ;帶狀的圓筒狀卡合凹部2e，其在該收置部2b的圓筒狀內壁面2c形成，直徑比收置部2b的開口部的直徑大；和通孔2g，其將從泵(未圖示)經由沿基體2的長度方向形成的空氣通路2f供給的空氣供給到收置部2b。在將旋流形成體安裝於基體2的收置部2b時，將旋流形成體I從突出部If的卡止突起Ie側插入基體2的收置部2b，如圖5 (a)所示，在使旋流形成體I的突出部Ih與基體2的收置部2b的底面2d抵接後，當下壓旋流形成體I時，主體Ia就會彎曲而將卡止突起Ie插入帶狀的圓筒狀卡止凹部2e。然後，當解除旋流形成體I的向下方的按壓力時，就如圖5 (b)所示，主體Ia會恢復到原來的形狀，在旋流形成體I的卡止突起Ie卡止於基體2的圓筒狀卡止凹部2e的狀態下將旋流形成體I牢固地固定於基體2。此時，旋流形成體I的主體Ia的環狀凸緣部Ic的外周面Id與基體2的收置部2b的圓筒狀內壁面2c壓入嵌合，因此可防止空氣從該壓入嵌合部洩漏。此外，在將旋流形成體4安裝於基體2的收置部2b的情況下，也可用與將上述旋流形成體I向基體2的收置部2b安裝的安裝方法相同的方法來進行。圖4 (a)、(b)表示安裝旋流形成體I或4的基體2的另一實施方式，具備俯視呈圓形的收置部2b，其在運送面2a穿設，且在上表面開口 ；該收置部2b的底面2d ;帶狀的圓筒狀卡合凹部2e，其在該收置部2b的圓筒狀內壁面2c形成，直徑比收置部2b的開口部的直徑大；和空氣通路2f，其從泵(未圖示)沿基體2的長度方向形成且一部分向上述收置部2b開口。在該圖4 (a)、(b)所示的基體2中，不需要上述圖3 (a)、(b)所示的基體2中的從空氣通路2f將空氣供給到收置部2b的通孔2g。此外，向該圖4 (a)、(b)所示的基體2安裝旋流形成體I或4的安裝方法與在上述圖5 (a)、(b)中說明了的安裝方法相同。接下來，關於上述旋流形成體I和安裝有該旋流形成體I的基體2的動作，一邊參照圖6—邊說明。

從泵(未圖示)供給到基體2的空氣通路2f的空氣，經由與該空氣通路2f連通的通孔2g而被供給到收置部2b，從收置部2b經由旋流形成體I的空氣取入口 11、11 (參照圖I (e))分別從噴出口 lk、lk被噴出到孔部lb。噴出的空氣與孔部Ib的圓筒狀內壁面Ii抵接，在旋流形成體I的孔部Ib的上方產生俯視呈右旋方向(順時針方向)的上升旋流，用該上升旋流使作為被運送物的玻璃3浮起。接下來，關於本發明涉及的非接觸式運送裝置的一個實施方式，一邊參照圖7及圖8—邊說明。圖7所示的非接觸式運送裝置10用於以非接觸方式來運送玻璃3，具備兩個運送工序11及13和位於該運送工序11及13之間的處理工序12。在兩個運送工序11及13中，並排配置有三臺非接觸式運送裝置21，該非接觸式運送裝置21構成為，在基體2的運送面2a上在兩列範圍內、在圖7的紙面上上下左右交替地安裝多個旋流形成體I及產生與該旋流形成體反向的旋流的旋流形成體4。此外，為了便於看圖，塗黑表示旋流形成體4。另一方面，如圖7 (a)所示，處理工序12中的非接觸式運送裝置32具備基體2，該基體2中，將產生俯視呈右旋方向的上升旋流的旋流形成體I和吸入微量空氣的流體吸入用的小徑孔31沿基體2的寬度方向交替配置而成的列；以及將產生俯視呈左旋方向的上升旋流的旋流形成體4和吸入微量空氣的流體吸入用的小徑孔31沿基體2的寬度方向交替配置而成的列，沿基體2的長度方向交替地配置，並且直徑廣2_左右的小徑孔31排列成位於在該基體2的寬度方向及長度方向上相鄰的旋流形成體1、1之間以及相鄰的旋流形成體4、4之間。如圖7 (b)所示，該非接觸式運送裝置32是並排配置三列而構成。接下來，關於上述處理工序12中的非接觸式運送裝置32的詳細結構，一邊參照圖8—邊說明。經由在基體2的內部中沿基體2的長度方向穿設的空氣通路2f及泵(未圖示)向已在基體2的運送面2a安裝的旋流形成體I及4供給空氣，空氣從圖I (e)所示的旋流形成體I的噴出口 lk、lk及圖2 (e)所示的旋流形成體4的噴出口 4k、4k噴出到孔部Ib及4b。通過從該噴出口 lk、lk及4k、4k噴出的空氣與該孔部Ib及4b的圓筒狀內壁面Ii及4i抵接，該旋流形成體I就會在孔部Ib的上方產生俯視呈右旋方向的上升旋流，而旋流形成體4則會在孔部4b的上方產生俯視呈左旋方向的上升旋流。這裡，如圖8 (b)所示，各空氣通路2f互相之間通過連通孔(未圖示)連通，因此能夠均勻地維持來自噴出口 lk、Ik及4k、4k的空氣的噴出量，且可均勻地控制玻璃3的浮起高度。此外，如圖8 (b)所示，在基體2的運送面2a開口並排列成位於在該基體2的寬度方向及長度方向上相鄰的旋流形成體I和I之間以及相鄰的旋流形成體4和4之間的、直徑廣2mm左右的小徑孔31，與沿基體2的長度方向穿設的空氣通路41連通，並且該空氣通路41通過連通孔(未圖示)連通。因此，小徑孔31通過用真空泵吸取旋流形成體I及4周圍的空氣，就可均勻地維持來自小徑孔31的空氣的吸取量，且可均勻且高精度地控制玻璃3的浮起高度。這樣，在處理工序中的非接觸式運送裝置32中，通過控制利用向旋流形成體I及旋流形成體4的噴出口 lk、Ik及4k、4k供氣的供氣壓力來增大浮起量的作用和利用來自小徑孔31的抽真空壓力來減小浮起量的作用這兩個作用，就可高精度地控制3(Γ50 μ m的被運送物的浮起高度。接下來，關於具有上述構成的非接觸式運送裝置10的動作，參照圖7進行說明。 在運送工序11中的非接觸式運送裝置21中浮起的狀態下，由另外設置的空氣噴出裝置(未圖示)運送的玻璃3，當進入處理工序12的非接觸式運送裝置32時，就會利用在旋流形成體I及4產生的上升旋流而浮起，並且利用位於各旋流形成體間的小徑孔31真空吸附周圍的微量空氣，從而就可將玻璃3高精度地控制為3(Γ50μπι的浮起高度，且可進行各種檢查和/或加工。然後，玻璃3在運送工序13中的非接觸式運送裝置21中浮起的狀態下，由另外設置的空氣噴出裝置等向下一工序運送。這裡，可得到如下的實驗結果將O. 7mm厚度的玻璃3在圖7 (b)所示的處理工序12中，在旋流形成體1、4的孔部lb、4b的直徑Φ 16mm、噴出口 lk、4k的直徑O. 35mm、供氣壓力50kPa、抽真空壓力IOkPa的條件下的運送狀態下，可將玻璃3彎曲起伏的振幅抑制在30 μ m以下，與之相對，在前後的運送工序11及13中，玻璃3彎曲起伏的振幅超過100 μ m。圖9表示圖7 (b)所示的非接觸式運送裝置10的處理工序12的另一實施方式，在該處理工序12中，相對於並排排列的三臺非接觸式運送裝置32，與該非接觸式運送裝置32相鄰地再排列三臺非接觸式運送裝置32。在排列兩列該非接觸式運送裝置32的處理工序12中，在非接觸式運送裝置32和32之間，進行例如照相機透過檢查等作業。此外，在上述實施方式中，如圖I和圖2所示，在旋流形成體I及4的孔部Ib設置有凹部Ij及4j，在凹部Ij及4j形成有噴出口 Ik及4k，但是，不一定必須設置凹部Ij及4j，也可在孔部Ib的圓筒狀內壁面Ii及4i直接形成噴出口 Ik及4k。另外，雖然在旋流形成體I及4的主體Ia及4a的環狀凸緣部Ic及4c的外周面Id及4d，在徑向上相對向地延伸設置了四個具有卡止突起Ie及4e的突出部If及4f，但是，突出部If及4f的數量不限於四個，也可以設為3個或5個以上。再有，在將旋流形成體I及4安裝於基體2時，也可不使用具有卡止突起Ie及4e的突出部If及4f而採用其他卡止結構。再有，在上述各實施方式中，雖然已就使用空氣作為流體的情況進行了說明，但是也可使用空氣以外的氮氣等處理氣體。附圖標記說明I、4旋流形成體
la、4a 主體lb、4b環狀凸緣部ld、4d環狀凸緣部的外周面le、4e卡止突起lf、4f 突出部lg、4g 底面lh、4h 突出部
li、4i圓筒狀內壁面lj、4j 凹部lk、4k 噴出口11、41空氣取入口2 基體2a運送面2b收置部2c圓筒狀內壁面2d 底面2e圓筒卡止凹部2f空氣通路2g 通孔3 玻璃10非接觸式運送裝置11、13運送工序12處理工序21非接觸式運送裝置31小徑孔32非接觸式運送裝置41空氣通路
權利要求
1.一種旋流形成體，其特徵在於，具備 碗狀的主體，其具有在表面側開口的俯視呈圓形的孔部； 流體噴出口，其在該主體的形成所述孔部的內表面開口 ；和 流體取入口，其在所述主體的外表面開口且與所述流體噴出口連通， 通過從所述流體噴出口噴出流體，在所述主體的表面側產生朝向從該表面離開的方向的上升旋流。
2.根據權利要求I所述的旋流形成體，其特徵在於， 所述主體在底面具備突出部，並且具備在所述孔部的開口部的外周緣一體形成的環狀凸緣部，還具備從該環狀凸緣部的外周面向所述底面側突出且在前端具有卡止突起的多個突出部。
3.根據權利要求I或2所述的旋流形成體，其特徵在於， 在所述孔部的圓筒狀內壁面上的、位於該圓筒狀內壁面的切線方向上且夾著該孔部的中心在對角線上的相對向的位置上形成有凹部，在該凹部分別形成有所述流體噴出口，所述流體噴出口的所述開口部朝向所述孔部的圓筒狀內壁面側且分別朝向相反方向。
4.根據權利要求1、2或3所述的旋流形成體，其特徵在於， 該旋流形成體由熱塑性合成樹脂一體成型。
5.一種非接觸式運送裝置，包括基體；和在該基體的運送面安裝的、產生互相俯視呈相反方向的上升旋流的兩個以上旋流形成體，其特徵在於， 該基體具備在運送面開口的俯視呈圓形的多個收置部；該收置部的底面；和帶狀的圓筒卡止凹部，其在該收置部的圓筒狀內壁面形成，直徑比該收置部的開口部的直徑大， 所述旋流形成體是權利要求2至4中的任一項所述的旋流形成體， 通過形成於所述主體的底面的突出部抵接於所述基體的收置部的底面而使該主體彎曲，從而所述多個卡止突起分別被收置在所述基體的圓筒卡止凹部中，通過該主體恢復到原來的形狀從而將所述多個卡止突起分別卡止於該圓筒卡止凹部，並且該主體的環狀凸緣部的外周面壓入嵌合於所述基體的收置部的圓筒狀內壁面從而將該旋流形成體安裝於所述基體的收置部。
6.根據權利要求5所述的非接觸式運送裝置，其特徵在於， 產生一個方向的上升旋流的所述權利要求2至4中的任一項所述的旋流形成體和流體吸入用的孔沿所述基體的寬度方向交替配置而成的列以及將產生另一方向的上升旋流的所述權利要求2至4中的任一項所述的旋流形成體和流體吸入用的孔沿所述基體的寬度方向交替配置而成的列，沿該基體的長度方向交替地配置，並且所述流體吸入用的孔排列成位於位於該基體的寬度方向及長度方向上的按相同方向產生上升旋流的所述旋流形成體之間。
全文摘要
本發明提供可減少非接觸式運送裝置的製造成本且防止被運送物的浮起高度的精度下降的旋流形成體及使用該旋流形成體的非接觸式運送裝置。該旋流形成體1具備碗狀的主體1a，其具有在表面側開口的俯視呈圓形的孔部1b；流體噴出口1k，其在形成該主體的孔部的內表面開口；和流體取入口1l，其在主體的外表面開口且與流體噴出口連通，通過從流體噴出口噴出流體，在主體的表面側產生朝向從該表面離開的方向的上升旋流。能夠將該旋流形成體1和產生俯視呈相反方向的旋流的旋流形成體4在基體2的運送面2a配置兩個以上而構成非接觸式運送裝置，能夠將旋流形成體設置於在基體的運送面形成的凹部(收置部2b)中。
文檔編號H01L21/677GK102892693SQ20118001868
公開日2013年1月23日 申請日期2011年2月24日 優先權日2010年4月14日
發明者小澤秀夫, 角田耕一, 安田貴裕, 松本浩司 申請人:翁令司工業股份有限公司