槽式太陽能集熱管用減反射膜的製作方法
2023-05-14 03:17:51
專利名稱：槽式太陽能集熱管用減反射膜的製作方法
技術領域：
本發明屬於太陽能發電的技術領域，更具體地說，本發明涉及一種槽式太陽能集熱管用減反射膜。
背景技術：
伴隨著傳統能源的日漸枯竭、環境汙染問題的日益加劇，新能源的開發和應用已經成為人類研究的熱點。取之不盡用之不竭、綠色無汙染的太陽能是新能源開發利用的重點之一。降低成本和提高轉換效率是太陽能電池研究的重點方向。矽太陽能電池由於原料來源廣泛，成本較低，佔據太陽能電池市場的主導地位。減少電池受光面上入射陽光的反射 是提高太陽能電池的光電轉換效率的手段之一。常用的減反射措施主要有刻蝕矽襯底，在矽襯底表面或電池的受光面沉積二氧化鋁、氮化矽、二氧化矽等減反射膜。現有技術有研究使用表面的織構化來降低一部分反射，一般是通過腐蝕處理，增加鋁片表面的粗糙度，但是反射率的降低並不明顯，特別是對於多晶矽，使用各向異性的酸法制絨，產生的黑線容易破壞PN結，使太陽能電池片的漏電流增大。現有技術普遍使用的是在鋁片表面覆蓋一層折射率適中的透光介質膜，從而降低鋁片表面反射。現有工藝化的減反射膜一般為一層，也有研究在鋁片表面製備兩層折射率不同的減反射膜。納米薄膜材料的減反射膜由於工藝複雜、成本較高且難控制，並不利於大規模生產。同時這種多層減反射膜由於每層的折射率和厚度較難控制，且折射率變化太大，鋁片表面對光的反射率降低效果並不理想，同時由於減反射膜的減反射效果與對鋁片的表面和體鈍化的效果是相互矛盾，相互制約的，因此此種減反射膜對鋁片的表面和體鈍化效果較差，製備的太陽能電池片的性能仍然不能滿足現有技術的發展。
發明內容
為了解決現有技術問題中存在的上述技術問題，本發明的目的在於提供一種能有效提高矽基太陽能薄膜電池工作效率的槽式太陽能集熱管用減反射膜。一種槽式太陽能集熱管用減反射膜，其特徵在於所述的減反射膜為AlNg，其中X=O. 15-0. 35。其中，所述減反射薄膜的厚度為100-200 nm。其中，所述透明薄膜採用磁控濺射方法製備，所述磁控濺射方法包括以下步驟 利用純鋁片作為靶材，利用磁控濺射方法製備薄膜材料以矽為襯底，通入純度
為99. 99 %的N2，襯底溫度為100-150°C，工作氣壓為I 10Pa，之後在還原氣氛下於200-300°C退火處理 30-90 min。與現有技術相比本發明的減反射膜對波長為300-900nm的電磁波平均反射率降低到了 2. 5-3. 5%。將本發明所述的透明薄膜沉積在矽太陽電池上表面，能夠降低矽太陽電池的熱化效應，提高電池的光電轉換效率。
具體實施例方式實施例I
採用純鋁片為靶材，採用中頻反應立式磁控濺射鍍膜設備進行鍍膜。以矽晶圓為襯底，首先對鋁片進行清洗，烘乾後裝入鍍膜室中，通入純度為99. 99%的N2,流量為50-100 sccm,電壓為800 V，電流為20 A，襯底溫度為100°C，工作氣壓為10Pa，濺射沉積完成之後在還原 氣氛下於300°C退火處理30 min。實施例2
採用純鋁片為靶材，採用中頻反應立式磁控濺射鍍膜設備進行鍍膜。以矽晶圓為襯底，首先對鋁片進行清洗，烘乾後裝入鍍膜室中，通入純度為99. 99%的N2，流量為50-100 sccm,電壓為800 V，電流為20 A，襯底溫度為150°C，工作氣壓為10Pa，濺射沉積完成之後在還原氣氛下於200°C退火處理90 min。實施例3
採用純鋁片為靶材，採用中頻反應立式磁控濺射鍍膜設備進行鍍膜。以矽晶圓為襯底，首先對鋁片進行清洗，烘乾後裝入鍍膜室中，通入純度為99. 99%的N2，流量為50-100 sccm,電壓為800 V，電流為20 A，襯底溫度為150°C，工作氣壓為10Pa，濺射沉積完成之後在還原氣氛下於250°C退火處理30 min。
權利要求
1.一種槽式太陽能集熱管用減反射膜，其特徵在於所述的減反射膜為AlNg，其中X=O. 15-0. 35。
2.權利要求I所述的減反射膜，其特徵在於所述減反射薄膜的厚度為100-200nm。
3.權利要求I所述的減反射膜，其特徵在於所述透明薄膜採用磁控濺射方法製備，所述磁控濺射方法包括以下步驟利用純鋁片作為靶材，利用磁控濺射方法製備薄膜材料以矽為襯底，通入純度為99. 99%的N2，襯底溫度為100-150°C，工作氣壓為I 10 Pa，之後在還原氣氛下於200-300°C退火處理30-90 min。
全文摘要
本發明涉及一種槽式太陽能集熱管用減反射膜，其中所述的減反射膜為AlN1-X，其中X=0.15-0.35。本發明的減反射膜對波長為300-900nm的電磁波平均反射率降低到了2.5-3.5%。將本發明所述的透明薄膜沉積在矽太陽電池上表面，能夠降低矽太陽電池的熱化效應，提高電池的光電轉換效率。
文檔編號H01L31/0216GK102723377SQ20121022047
公開日2012年10月10日 申請日期2012年6月29日 優先權日2012年6月29日
發明者葛波 申請人:蘇州嘉言能源設備有限公司