機械握爪乾燥方法和乾燥裝置的製作方法
2023-05-16 19:58:46 1
專利名稱：機械握爪乾燥方法和乾燥裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體製造工藝，且特別涉及機械握爪乾燥方法和機械握爪乾燥裝置。
背景技術：
在半導體製作過程中，往往需要將晶片依次放置於若干種不同的化學溶液中進行反應，並反覆進行將晶片從化學溶液池中取出及放入的動作。在目前的工藝製程中，通常採用機械握爪完成上述晶片的抓取和運輸，機械握爪能夠替代人手，準確快速地抓取和運輸晶片，從而提高生產效率。同時，由於採用了機械自動化的生產流程，有效地減少了對晶片的汙染，提高了成品率。然而，由於機械握爪需要從化學溶液中抓取晶片，部分化學溶液將不可避免地沾染在機械握爪上，而隨著晶片的運輸流程，機械握爪所攜帶的部分化學溶液將會汙染機臺等設備儀器，為此，現有的生產流程中需要對機械握爪進行清洗和乾燥。以SCP9415工具臺為例。參考圖1和圖2，為了實現對機械握爪110的清洗和乾燥，通常將機械握爪Iio放入一個用於清洗和乾燥的容器120，該容器120中至少包括用於清洗的噴射裝置121以及用於輸入氣體進行乾燥的乾燥管道122。當機械握爪110進入預定位置後，先通過噴射裝置121用清洗液對其清洗預定時間，然後再通過乾燥管道122輸入成份穩定的惰性氣體，例如氮氣，對其進行乾燥。由於化學溶液自身屬性存在差異，從嚴格清洗乾燥的角度來說，應該對進入不同化學溶液的機械握爪採取不同時長的清洗和乾燥， 然而，在實際操作過程中，並非所有化學溶液都會對機臺造成很大的汙染，並且也並非機械握爪進入所有的化學溶液都會沾染上一定量的化學溶液，而如果清洗乾燥的時長過長，將會影響整個生產線的生產效率。因此，為了保證生產效率和生產品質的平衡，對機械握爪的清洗和乾燥通常採用固定的時長，且時長較短。例如，在SCP9415工具臺中，通常將乾燥時間設定為10秒。在實際生產過程中，機械握爪往往無法乾燥徹底，而這使得其所沾染的化學溶液仍有可能對機臺等設備造成汙染。
發明內容
本發明提出一種機械握爪乾燥方法和乾燥裝置，在無需增加乾燥時長的前提下實現了乾燥效果的改善，節約了生產成本和工藝時間，提高了生產效率。為了實現上述技術目的，本發明提出一種機械握爪乾燥方法，至少包括加熱用於乾燥的惰性氣體；通過加熱後的惰性氣體對機械握爪進行乾燥。可選的，所述加熱用於乾燥的惰性氣體包括一邊輸入惰性氣體，一邊對其進行加熱；或者預先對惰性氣體進行加熱，然後再將加熱後的惰性氣體輸入。可選的，所述加熱用於乾燥的惰性氣體包括將所述惰性氣體加熱至40攝氏度以上。可選的，所述惰性氣體為氮氣。
此外，本發明還提出一種機械握爪乾燥裝置，至少包括乾燥管道，用於通入惰性氣體對機械握爪進行乾燥；加熱裝置，用於對所述乾燥管道中的惰性氣體進行加熱。可選的，所述惰性氣體為氮氣。可選的，所述加熱裝置為貼附於所述乾燥管道外側的加溫帶。可選的，通過控制所述加溫帶貼附於所述乾燥管道外側的纏繞面積，或通過控制加溫帶自身的溫度，實現所述加熱裝置對所述乾燥管道中惰性氣體的溫度調節。可選的，所述加熱裝置位於所述乾燥管道的進氣口，預先對進入所述乾燥管道的惰性氣體進行加熱。本發明的有益效果為通過對用於乾燥的惰性氣體預先進行加熱，然後再將其對機械握爪進行乾燥，不僅在無需增加乾燥時長的前提下實現了乾燥效果的改善，而且結構簡單，實施方便，易於有效地利用現有的機臺設備，從而節省了生產成本，提高了生產效率。
圖1和圖2為現有機械握爪乾燥裝置的結構示意圖；圖3為本發明機械握爪乾燥方法一種實施方式的流程示意圖；圖4為本發明機械握爪乾燥裝置一種實施方式的剖面結構示意圖。
具體實施例方式發明人發現，為了不影響生產效率，延長乾燥機械握爪的時長通常不太現實，而為了實現對機械握爪進一步的徹底乾燥，可通過改善其乾燥溫度來實現。事實上，現有生產流程中，對機械握爪的清洗和乾燥通常都是在常溫下進行的，特別是乾燥過程，而發明人經過多次試驗發現，提高幹燥溫度能夠有效增強機械握爪的乾燥效果。下面將結合具體實施例和附圖，對本發明機械握爪乾燥方法和乾燥裝置進行詳細闡述。參考圖3，本發明機械握爪乾燥方法的一種具體實施方式
至少包括步驟Si，加熱用於乾燥的惰性氣體；步驟S2，通過加熱後的惰性氣體對機械握爪進行乾燥。具體來說，在步驟Sl中，可一邊輸入惰性氣體，一邊對其進行加熱，也可預先對惰性氣體進行加熱，然後再將加熱後的惰性氣體輸入。其中，所述惰性氣體可根據具體生產要求進行設定，例如，可採用氮氣等。具體加熱溫度可根據實際生產要求進行調節，在具體實施中，可加熱至40攝氏度以上，例如可加熱至50攝氏度-60攝氏度。在步驟S2中，由於採用加熱後的惰性氣體進行乾燥，高溫氣體加速了機械握爪上所沾染的化學溶液中的水分蒸發，在不改變乾燥時長的前提下有效地改善了乾燥的效果。以SCP9415工具臺為具體實施例。其中，可一邊將氮氣輸入至適於對機械握爪進行乾燥的管道，一邊對氮氣進行加熱，當將氮氣加熱至40攝氏度以上，例如50攝氏度-60 攝氏度，使其對機械握爪進行乾燥。在原定的乾燥時長內，機械握爪的乾燥效果能夠得到明顯的提升。此外，參考圖4，本發明還提供了機械握爪乾燥裝置的一種具體實施方式
，至少包括
乾燥管道210，用於通入惰性氣體對機械握爪進行乾燥；加熱裝置220，用於對乾燥管道210中的惰性氣體進行加熱。具體來說，乾燥管道210可採用現有工具臺中所設計的氣體管道，用於通入惰性氣體，例如氮氣。在一種實施方式中，加熱裝置220可採用貼附於乾燥管道210外側的加溫帶，對乾燥管道210中的惰性氣體進行加熱，可根據實際生產需要，對加溫帶的溫度進行調節而實現所述惰性氣體的加熱溫度。例如，可將用於乾燥的惰性氣體加熱至40攝氏度以上，具體來說，可加熱至50攝氏度-60攝氏度，從而使得加熱後的惰性氣體能夠明顯地改善對機械握爪的乾燥效果。在具體實現中，調節加溫帶對乾燥氣體的加熱溫度，可通過控制加溫帶貼附於乾燥管道210外側的纏繞面積來實現，也可通過控制加溫帶的溫度來調節。在其它實施方式中，加熱裝置220還可位於乾燥管道210的進氣口，從而使得待用於乾燥的惰性氣體在進入乾燥管道210之前預先被加熱。本領域技術人員應能理解，在上述各實施方式中，例如清洗、乾燥、加熱等工藝的具體實現和步驟並不對本發明機械握爪乾燥方法和乾燥裝置的發明構思造成限制，上述各工藝步驟中可採用但並不限於現有的常規工藝參數、原料及設備。相較於現有技術，本發明機械握爪乾燥方法和乾燥裝置通過對用於乾燥的惰性氣體預先進行加熱，然後再將其對機械握爪進行乾燥，不僅在無需增加乾燥時長的前提下實現了乾燥效果的改善，而且結構簡單，實施方便，易於有效地利用現有的機臺設備，從而節省了生產成本，提高了生產效率。本發明雖然已以較佳實施例公開如上，但其並不是用來限定本發明，任何本領域技術人員在不脫離本發明的精神和範圍內，都可以利用上述揭示的方法和技術內容對本發明技術方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬於本發明技術方案的保護範圍。
權利要求
1.一種機械握爪乾燥方法，其特徵在於，至少包括加熱用於乾燥的惰性氣體；通過加熱後的惰性氣體對機械握爪進行乾燥。
2.如權利要求1所述的機械握爪乾燥方法，其特徵在於，所述加熱用於乾燥的惰性氣體包括一邊輸入惰性氣體，一邊對其進行加熱；或者預先對惰性氣體進行加熱，然後再將加熱後的惰性氣體輸入。
3.如權利要求1所述的機械握爪乾燥方法，其特徵在於，所述加熱用於乾燥的惰性氣體包括將所述惰性氣體加熱至40攝氏度以上。
4.如權利要求1所述的機械握爪乾燥方法，其特徵在於，所述惰性氣體為氮氣。
5.一種機械握爪乾燥裝置，其特徵在於，至少包括乾燥管道，用於通入惰性氣體對機械握爪進行乾燥；加熱裝置，用於對所述乾燥管道中的惰性氣體進行加熱。
6.如權利要求5所述的機械握爪乾燥裝置，其特徵在於，所述惰性氣體為氮氣。
7.如權利要求5所述的機械握爪乾燥裝置，其特徵在於，所述加熱裝置為貼附於所述乾燥管道外側的加溫帶。
8.如權利要求7所述的機械握爪乾燥裝置，其特徵在於，通過控制所述加溫帶貼附於所述乾燥管道外側的纏繞面積，或通過控制加溫帶自身的溫度，實現所述加熱裝置對所述乾燥管道中惰性氣體的溫度調節。
9.如權利要求5所述的機械握爪乾燥裝置，其特徵在於，所述加熱裝置位於所述乾燥管道的進氣口，預先對進入所述乾燥管道的惰性氣體進行加熱。
全文摘要
一種機械握爪乾燥方法和機械握爪乾燥裝置，其中，所述機械握爪乾燥方法至少包括加熱用於乾燥的惰性氣體；通過加熱後的惰性氣體對機械握爪進行乾燥。本發明通過對用於乾燥的惰性氣體預先進行加熱，然後再將其對機械握爪進行乾燥，從而在無需增加乾燥時長的前提下實現了乾燥效果的改善，結構簡單，易於有效地利用現有的機臺設備，節省了生產成本，提高了生產效率。
文檔編號F26B3/00GK102506561SQ201110298659
公開日2012年6月20日 申請日期2011年9月30日 優先權日2011年9月30日
發明者包中誠, 鈕晨光 申請人:上海宏力半導體製造有限公司