一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元的製作方法
2023-05-18 02:27:56 1
專利名稱：一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元的製作方法
技術領域：
本發明涉及磁控濺射鍍膜裝置，特別涉及一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單
J Li ο
背景技術：
磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞，使其電離產生出Ar和新的電子；新電子飛向基片，Ar在電場作用下加速飛向陰極靶，並以高能量轟擊靶表面，使靶材發生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜。根據磁控濺射原理，設計了平面陰極和孿生陰極。在陰極永磁體的分布位置的合理和磁場強度的均勻性可以有效地提高靶材利用率和設備穩定性；濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面，使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術。但在濺射過程中，因Ar離子不斷的轟擊靶面，靶面溫度會不斷的升高，從而燒毀整個靶。所以陰極靶的冷卻十分重要。冷卻迴路能夠有效的冷卻陰極祀，且還保證了冷卻迴路的密封性。在真空環境中，保證了鍍膜過程的順利進行。靶材選擇了 AZO即氧化鋅摻鋁，製造成本低廉，無毒，易於實現摻雜，且在等離子體中穩定性好。目前採用的是平面陰極和孿生陰極。磁控反應濺射其反應不光發生在零件表面，也發生在陽極，真空腔體表面，以及靶源表面，從而引起滅火，靶源和工件表面起弧等。而孿生靶源技術，很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極，從而消除陽極表面氧化或氮化。而對於陰極靶的滅弧裝置:輔助陽極，能夠很好的解決靶的滅弧，從而保護陰極靶。中國專利CN200320125896涉及一種用於電子防腐的輔助陽極裝置，該裝置的陽極棒是採用金屬螺栓和金屬電極`與柔性材料整體注塑或通過螺紋連接在一柔性材料的兩端。兩金屬材料中間被柔性材料隔開，此柔性材料為一導電且不消耗物質如導電塑料等。該裝置由金屬容器或管道，工藝孔螺紋絲堵，緊固螺母，絕緣套筒，金屬螺栓，密封膠墊，柔性材料，金屬電極等組成，上述陽極棒上的金屬螺栓加套密封膠墊後，通過緊固螺母將陽極棒吊裝在工藝孔絲堵上，形成完整的輔助陽極裝置，該裝置結構簡單，保護持久，密封性能良好。中國專利CN200780052319提供一種內表面電鍍用絕緣隔離體及輔助陽極單元。絕緣隔離體包括多個單位隔離體和沿著軸線方向連接單位隔離體的具有撓性的連接部，單位隔離體包括具有使輔助陽極插通的插通孔的多個環狀板和以使其外周側開口的狀態在輔助陽極的軸線方向上連接環狀板的連接框部。輔助陽極單元中，該絕緣隔離體中插通輔助陽極，各單位隔離體連接，因此當輔助陽極的前端貫通一個單位隔離體後，自然位於下一個單位隔離體上設置的插通孔附近。由此，能夠通過一系列的作業在絕緣隔離體中插通輔助陽極，能夠高效地製造輔助陽極單元。中國專利CN20101025067公開一種電鍍技術領域的異型腔體內壁輔助陽極的電鍍設備，異型腔體內壁輔助陽極的電鍍設備，包括:電鍍槽、主陽極、輔助陽極、超聲設備和電源，其中:主陽極設於電鍍槽的兩邊，電源分別與主陽極和輔助陽極相連，輔助陽極設於被鍍工件的內部，超聲設備固定於電鍍槽的內部，主陽極、電源和被鍍工件組成第一循環迴路，輔助陽極和被鍍工件組成第二循環迴路。本發明解決了被鍍工件內壁電鍍的難題，適合具有不規則形狀的被鍍工件內壁的電鍍。現有技術中的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極包括一個密封的冷卻水管，陰極背板和冷卻水管固定座。其中冷卻水管和蓋板之間是絕緣的，鋁材料的陰極背板和陰極是絕緣的，冷卻水管固定座固定在陰極背板上，和陰極背板也是絕緣的。當孿生陰極加功率，開始濺射時，通水的冷卻水管可以防止孿生陰極側面打弧，並且通有冷卻水，把水管上的熱量帶走。並且冷卻水管和陰極背板之間是絕緣的，這樣它就是陰極旁的一個陽極，起到滅弧的作用。現有技術的缺點在於:
A.冷卻水管通有冷卻水，如果密封不緊，可能產生漏水事故，對整個腔室的零部件有嚴重的損害作用。B.輔助陽極只在孿生陰極兩側安裝，而孿生陰極內側也會產生打弧現象。C.結構複雜，在加工和安 裝時太費力，在使用時效果不好。
發明內容
鑑於上述問題，本發明的主要目的在於提供一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，消除了密封不緊，可能產生漏水事故，可以消除孿生陰極內側打弧現象，本發明結構簡潔，連接簡單，零件少，在加工和安裝時容易，效果良好，非常適於實用。本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。本發明提供的一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，該輔助陽極單元包括:蓋板，陰極，輔助陽極固定座，不鏽鋼圓管，陰極背板，PEEK絕緣座，蓋板連接柱和真空腔體，其特徵在於:其中不鏽鋼圓管，輔助陽極固定座，陰極背板，蓋板連接柱，蓋板和真空腔體形成一個接地的陽極。本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現:
所述的不鏽鋼圓管共四根，分別安裝在孿生陰極的外側和內側。所述的不鏽鋼圓管通過輔助陽極固定座固定在陰極背板上。所述的陰極背板通過PEEK絕緣座和陰極隔開。所述的陰極背板通過蓋板連接柱和蓋板連接在一起。和現有技術相比，本發明的設計不僅起到了陰極的滅弧效果，並且和陰極絕緣。不需要冷卻水，減少密封的難度。上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，並且為了讓本發明的上述和其他目的、特徵和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，並配合附圖，詳細說明如下。
參考所附附圖，以更加充分的描述本發明的實施例。然而，所附附圖僅用於說明和闡述，並不構成對本發明範圍的限制。
圖1繪示磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元的結構示意圖。圖2繪示磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元的仰視圖。標號說明:1.蓋板，2.陰極，3輔助陽極固定座，4.不鏽鋼圓管，5.陰極背板，
6.PEEK絕緣座，7.蓋板連接柱。
具體實施方式
為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所採取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，詳細說明如下。本發明的不同實施例將詳述如下，以實施本發明的不同的技術特徵，可理解的是，以下所述的特定實施例的單元和配置用以簡化本發明，其僅為範例而不限制本發明的範圍。圖1繪示磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元的結構示意圖，圖2繪示磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元的仰視圖。如圖1和圖2所示，該輔助陽極單元包括:蓋板，陰極，輔助陽極固定座，不鏽鋼圓管，陰極背板，PEEK絕緣座，蓋板連接柱和真空腔體，4根不鏽鋼圓管分別布置在孿生陰極的外側和內側，起到滅弧的作用。不鏽鋼圓管通過輔助陽極固定座固定在陰極背板上；陰極背板通過PEEK絕緣座和陰極隔開；陰極背板通過蓋板連接柱和蓋板連接在一起。這樣不鏽鋼圓管，輔助陽極固定座，陰極背板，蓋板連接柱，蓋板和真空腔體形成一個接地的陽極。和現有技術相比，本發明涉及的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元減少了冷卻結構，消除了密封不緊，可能產生漏水事故。並在孿生陰極內側加了兩個輔助陽極，可以消除孿生陰極內側打弧現象。輔助陽極和孿生陰極之間用PEEK材質的絕緣座隔開，具有良好的絕緣性，本發明的結構簡潔，連接簡單，零件少，在加工和安裝時容易，效果良好。通過說明和附圖，給出了具體實施方式
的特定結構的典型實施例。儘管上述發明提出了現有的較佳實施例，然而，這些內容並不作為局限。對於本領域的技術人員而言，閱讀上述說明後，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發明的真實意圖和範圍的全部變化和修正。在權利要求書範圍內任何和所有等價的範圍與內容，都應認為仍屬本發明的意圖和範圍內。
權利要求
1.一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，該輔助陽極單元包括:蓋板，陰極，輔助陽極固定座，不鏽鋼圓管，陰極背板，PEEK絕緣座，蓋板連接柱和真空腔體，其特徵在於:其中不鏽鋼圓管，輔助陽極固定座，陰極背板，蓋板連接柱，蓋板和真空腔體形成一個接地的陽極。
2.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，其特徵在於:所述的不鏽鋼圓管共四根，分別安裝在孿生陰極的外側和內側。
3.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，其特徵在於:所述的不鏽鋼圓管通過輔助陽極固定座固定在陰極背板上。
4.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，其特徵在於:所述的陰極背板通過PEEK絕緣座和陰極隔開。
5.如權利要求1所述的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，其特徵在於:所述的陰極背板通過蓋板連接柱和蓋板連接在一起。
全文摘要
本發明提供了一種磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元，該輔助陽極單元包括蓋板，陰極，輔助陽極固定座，不鏽鋼圓管，陰極背板，PEEK絕緣座，蓋板連接柱和真空腔體，其中不鏽鋼圓管，輔助陽極固定座，陰極背板，蓋板連接柱，蓋板和真空腔體形成一個接地的陽極。本發明涉及的磁控濺射鍍膜裝置的輔助陽極單元減少了冷卻結構，消除了密封不緊，可能產生漏水事故，並在孿生陰極內側加了兩個輔助陽極，可以消除孿生陰極內側打弧現象。本發明的結構簡潔，連接簡單，零件少，在加工和安裝時容易，效果良好，非常適於實用。
文檔編號C23C14/35GK103103487SQ201110361148
公開日2013年5月15日 申請日期2011年11月15日 優先權日2011年11月15日
發明者何光俊, 李金成, 王偉 申請人:上海北玻玻璃技術工業有限公司, 洛陽北方玻璃技術股份有限公司, 上海北玻鍍膜技術工業有限公司