一種傾斜度測量器的製作方法
2023-05-06 22:42:21 1
專利名稱：一種傾斜度測量器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及測量器裝置領域，特別涉及一種傾斜度測量器。
背景技術：
矽片製造的很多工藝如熱生長氧化物、離子注入後矽片表面的熱退火、澱積膜、玻 璃體回流及矽化物膜的形成等等均需要使用到高溫爐設備。由於這些工藝與溫度有密切關 系，這就使高溫爐在IC製造中成為非常關鍵的因素。現有技術的高溫爐中，連接點火器的石英管與連接工藝腔體的石英管通過法蘭相 連接。法蘭連接的具體結構請參看圖1。如圖1所示，密封圈100放置於連接於點火器的石 英管101上的法蘭102及連接於工藝腔體的石英管103上的法蘭104之間，將兩個法蘭對 接，通過固定鎖緊裝置105將兩個對接法蘭緊密的固定在一起，從而使連接對於點火器的 石英管101同連接於工藝腔體的石英管103連接在一起並不發生洩漏。但現有技術中在將兩個法蘭對接在一起時，無法測量兩個法蘭在水平方向上是否 處於同一軸線，也無法測量兩個法蘭在垂直方向上是否保持水平，因此當兩個法蘭對接存 在高度差異或傾斜度差異時，對接後被固定鎖緊的法蘭即會因受力不均而發生破碎，造成 石英管內的氣體洩漏，最終導致高溫爐停止工作而產生較大的損失。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種傾斜度測量器，可測量某一特定平面的 水平度、垂直度或傾斜度的測量器。為解決上述技術問題，本實用新型提供一種傾斜度測量器，包括底座、測量槓桿、 支撐盤和千分表；所述測量槓桿包括支點、測量杆、支杆、傳距軸以及移距量杆；所述支杆固定於所 述支點上，兩端可在所述支點的支撐作用下上下移動，所述支杆的一端連接所述測量杆，另 一端連接所述傳距軸的一端，所述傳距軸的另一端為上窄下寬的錐形體；所述移距量杆包 括內部形成腔室的套筒和杆體，所述杆體穿過所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的兩 端之外，所述杆體的一端安裝有滾珠，另一端連接千分表，所述套筒內設置有彈簧，支撐所 述杆體上安裝有滾珠的一端向所述套筒外部移動，緊挨於所述傳距軸的錐形體上；所述測 量杆包括內部形成腔室的套筒和杆體，所述杆體穿過所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套 筒的兩端之外，所述套筒固定於安裝於所述支撐盤之上的支架上，所述杆體的一端安裝有 滾珠，另一端連接所述支杆，所述測量杆垂直於所述支杆；所述支點固定於所述支撐盤之上；支撐盤的中心設置有第一腔體，所述支撐盤內 還設置有第二腔體，所述第二腔體同所述第一腔體相通；所述傳距軸置於所述第一腔體內， 所述移距量杆置於所述第二腔體內，所述傳距軸和所述移距量杆在所述第一腔體和第二腔 體內可分別進行垂直運動和水平運動；所述支撐盤固定於所述底座上。[0010]可選的，所述支撐盤的底部具有貫通其兩端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩端 的凹塊，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適應，所述凸塊安裝於凹槽中。可選的，所述支撐盤包括上支撐盤和下支撐盤，所述上支撐盤和下支撐盤的中心 設置有所述第一腔體，所述下支撐盤內設置有所述第二腔體，所述支點固定於所述上支撐 盤之上；所述上支撐盤和下支撐盤之間設置有軸承；所述下支撐盤固定於所述底座上。可選的，所述下支撐盤的底部具有貫通其兩端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩 端的凸塊，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適應，所述凸塊安裝於凹槽中。可選的，所述下支撐盤的底部具有貫通其兩端的第一凹槽；所述底座包括上底座 和下底座，所述上底座的一面具有貫通其兩端的第一凸塊，同該面相對的另一面具有第二 凸塊；所述上底座上，第一凸塊垂直於第二凸塊；所述第一凸塊的形狀、尺寸同所述第一凹 槽相適應，所述第一凸塊安裝於所述第一凹槽中；所述下底座的一面具有貫通其兩端的第 二凹槽，其形狀、尺寸同所述第二凸塊相適應，所述第二凸塊安裝於所述第二凹槽中。可選的，所述凸塊為燕尾型凸塊，所述凹槽為燕尾型凹槽。可選的，所述第一凸塊及所述第二凸塊為燕尾型凸塊，所述第一凹槽及所述第二 凹槽為燕尾型凹槽。可選的，所述底座採用磁性材質製成。可選的，所述下底座採用磁性材質製成。使用本實用新型的傾斜度測量器可精確測量特定裝置的水平度、垂直度或傾斜 度，且使用方便。特別是使用在高溫爐中時，可精確測量連接點火器的石英管上的法蘭與連 接工藝腔體的石英管上的法蘭之間是否對準，從而可有效提高安裝精確度，改善安全性能， 增加石英管壽命，同時也可節省調節安裝的時間。
圖1為現有技術的法蘭連接結構示意圖；圖2為本實用新型的傾斜度測量器的剖面結構示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，
以下結合附圖對本 實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。本實用新型所述的傾斜度測量器可廣泛應用於多種工藝中，並且可以利用多種替 換方式實現，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當然本實用新型並不局限於該具體實 施例，本領域內的普通技術人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本實用新型的保護範圍 內。其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為了 便於說明，示意圖不依一般比例局部放大，不應以此作為對本實用新型的限定。請參看圖2，圖2為本實用新型的傾斜度測量器的剖面結構示意圖。如圖2所示， 本實用新型的傾斜度測量器包括底座110、測量槓桿120、支撐盤130和千分表140。所述測量槓桿120包括支點121、測量杆122、支杆123、傳距軸124以及移距量 杆；所述支杆123固定於所述支點121上，兩端可在所述支點121的支撐作用下上下移動，所述支杆123的一端連接所述測量杆122，另一端連接所述傳距軸124的一端，所述傳距軸 124的另一端為上窄下寬的錐形體125 ；所述移距量杆包括內部形成腔室的套筒1 和杆體 127，所述杆體127穿過所述套筒126的腔室且其兩端伸出所述套筒126的兩端之外，所述 杆體127的一端安裝有滾珠128，另一端連接千分表140，所述套筒126內設置有彈簧129， 支撐所述杆體127上安裝有滾珠128的一端向所述套筒1 外部移動，緊挨於所述傳距軸 124的錐形體125上；所述測量杆122的結構同所述移距量杆相似，包括內部形成腔室的套 筒和杆體，所述杆體穿過所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的兩端之外，所述套筒固 定於安裝於所述支撐盤之上的支架150上，所述杆體的一端安裝有滾珠，另一端連接所述 支杆123，所述測量杆122垂直於所述支杆123。所述支撐盤130包括上支撐盤131和下支撐盤132，所述上支撐盤131和下支撐盤 132的中心設置有第一腔體，所述下支撐盤132內設置有第二腔體，所述第二腔體同所述第 一腔體相通，所述傳距軸1 置於所述第一腔體內，所述移距量杆置於所述第二腔體內，所 述傳距軸IM和所述移距量杆在所述第一腔體和第二腔體內可分別進行垂直運動和水平 運動。所述支點121固定於所述上支撐盤131之上。所述上支撐盤131和下支撐盤132之 間設置有軸承133，使得所述上支撐盤131可相對於所述下支撐盤132轉動。所述下支撐盤 132的底部具有貫通其兩端的燕尾槽。所述底座110包括上底座111和下底座112，所述上底座111的相對兩面上分別具 有第一燕尾型凸塊和第二燕尾型凸塊，所述第一燕尾型凸塊垂直於所述第二燕尾型凸塊； 所述上底座111上第一燕尾型凸塊的形狀、尺寸同所述下支撐盤132底部的燕尾槽相適應， 所述上底座111上的第一燕尾型凸塊安裝於所述下支撐盤132底部的燕尾槽中，使得所述 下支撐盤132可沿其上的燕尾槽進行移動；所述下底座112的一面具有貫通燕尾槽，其形 狀、尺寸同所述上底座111上的第二燕尾型凸塊相適應，所述上底座111上的第二燕尾型凸 塊安裝於所述下底座112上的燕尾槽中，使得所述上底座111可沿所述下底座112表面的 燕尾槽進行移動。優選的，所述下底座112採用磁性材質製成。本實用新型的傾斜度測量器在使用時，所述測量槓桿的測量杆上的滾珠接觸待檢 測的平面，並沿待檢測平面進行移動。若帶檢測平面具有一定的傾斜度，則所述測量杆即進 行垂直的上下移動，帶動所述支杆的兩端在所述支點的支撐作用垂直移動，進而帶動所述 傳距軸上下垂直移動。由於傳距軸的末端為上窄下寬的錐形體，同所述錐形體緊挨的所述 移距量杆上的滾珠則由於錐形體的上下移動而進行水平的左右移動，最終通過千分表測得 測量杆在待檢測平面上的垂直移動距離。由於底座上存在的互相垂直的燕尾槽，使得測量槓桿可實現在水平方向和垂直方 向的滑動。同時由於上下支撐盤也可相對轉動，使得本實用新型的傾斜度測量器可更為靈 活的進行測量。若將傾斜度測量器的底座採用磁性材料製成，則可使傾斜度測量器吸附於 某一平面上進行，通過使測量槓桿在水平方向或垂直方向進行滑動，或通過使上下支撐盤 相對移動實現傾斜度測量。使用本實用新型的傾斜度測量器可精確測量特定裝置的水平度、垂直度或傾斜 度，且使用方便。特別是使用在高溫爐中時，可精確測量連接點火器的石英管上的法蘭與連 接工藝腔體的石英管上的法蘭之間是否對準，從而可有效提高安裝精確度，改善安全性能，增加石英管壽命，同時也可節省調節安裝的時間。 顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及 其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種傾斜度測量器，其特徵在於，包括底座、測量槓桿、支撐盤和千分表；所述測量槓桿包括支點、測量杆、支杆、傳距軸以及移距量杆；所述支杆固定於所述支 點上，兩端可在所述支點的支撐作用下上下移動，所述支杆的一端連接所述測量杆，另一端 連接所述傳距軸的一端，所述傳距軸的另一端為上窄下寬的錐形體；所述移距量杆包括內 部形成腔室的套筒和杆體，所述杆體穿過所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的兩端之 外，所述杆體的一端安裝有滾珠，另一端連接千分表，所述套筒內設置有彈簧，支撐所述杆 體上安裝有滾珠的一端向所述套筒外部移動，緊挨於所述傳距軸的錐形體上；所述測量杆 包括內部形成腔室的套筒和杆體，所述杆體穿過所述套筒的腔室且其兩端伸出所述套筒的 兩端之外，所述套筒固定於安裝於所述支撐盤之上的支架上，所述杆體的一端安裝有滾珠， 另一端連接所述支杆，所述測量杆垂直於所述支杆；所述支點固定於所述支撐盤之上；支撐盤的中心設置有第一腔體，所述支撐盤內還設 置有第二腔體，所述第二腔體同所述第一腔體相通；所述傳距軸置於所述第一腔體內，所述 移距量杆置於所述第二腔體內，所述傳距軸和所述移距量杆在所述第一腔體和第二腔體內 可分別進行垂直運動和水平運動；所述支撐盤固定於所述底座上。
2.如權利要求1所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述支撐盤的底部具有貫通其兩 端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩端的凹塊，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適應， 所述凸塊安裝於凹槽中。
3.如權利要求1所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述支撐盤包括上支撐盤和下支 撐盤，所述上支撐盤和下支撐盤的中心設置有所述第一腔體，所述下支撐盤內設置有所述 第二腔體，所述支點固定於所述上支撐盤之上；所述上支撐盤和下支撐盤之間設置有軸承； 所述下支撐盤固定於所述底座上。
4.如權利要求3所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述下支撐盤的底部具有貫通其 兩端的凹槽，所述底座上具有貫通其兩端的凸塊，所述凸塊的形狀、尺寸同所述凹槽相適 應，所述凸塊安裝於凹槽中。
5.如權利要求3所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述下支撐盤的底部具有貫通其 兩端的第一凹槽；所述底座包括上底座和下底座，所述上底座的一面具有貫通其兩端的第 一凸塊，同該面相對的另一面具有第二凸塊；所述上底座上，第一凸塊垂直於第二凸塊；所 述第一凸塊的形狀、尺寸同所述第一凹槽相適應，所述第一凸塊安裝於所述第一凹槽中；所 述下底座的一面具有貫通其兩端的第二凹槽，其形狀、尺寸同所述第二凸塊相適應，所述第 二凸塊安裝於所述第二凹槽中。
6.如權利要求2或4所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述凸塊為燕尾型凸塊，所述 凹槽為燕尾型凹槽。
7.如權利要求5所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述第一凸塊及所述第二凸塊為 燕尾型凸塊，所述第一凹槽及所述第二凹槽為燕尾型凹槽。
8.如權利要求1至4中任一權利要求所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述底座採用 磁性材質製成。
9.如權利要求5所述的傾斜度測量器，其特徵在於，所述下底座採用磁性材質製成。
專利摘要本實用新型提供一種傾斜度測量器，包括底座、測量槓桿、支撐盤和千分表；所述測量槓桿包括支點、測量杆、支杆、傳距軸以及移距量杆；所述支點固定於所述支撐盤之上；所述支撐盤固定於所述底座上。使用本實用新型的傾斜度測量器可精確測量特定裝置的水平度、垂直度或傾斜度，且使用方便。特別是使用在高溫爐中時，可精確測量連接點火器的石英管上的法蘭與連接工藝腔體的石英管上的法蘭之間是否對準，從而可有效提高安裝精確度，改善安全性能，增加石英管壽命，同時也可節省調節安裝的時間。
文檔編號G01B5/245GK201844832SQ201020564890
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月16日 優先權日2010年10月16日
發明者王剛 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司