薄膜電晶體陣列基板的製造方法與工藝
2023-05-06 12:04:59
薄膜電晶體陣列基板本申請要求於2014年11月28日提交的韓國專利申請第10-2014-0169057號的優先權，其通過引用整體併入本文。技術領域本申請涉及薄膜電晶體陣列基板，並且更具體地涉及適合於防止在包含在具有薄膜電晶體陣列基板的有機發光二極體(OLED)顯示裝置中的有機發光層中產生厚度偏差的薄膜電晶體陣列基板。
背景技術：
顯示裝置包括具有背光單元的顯示裝置和利用不需要單獨的背光單元的自發光元件的OLED顯示裝置。因此，利用自發光元件的OLED顯示裝置可以是薄的並且具有低功耗。OLED顯示裝置可以包括：包含陽極電極、陰極電極和插入在所述兩個電極之間的有機發光層的有機發光元件。有機發光元件使得通過來自陽極電極的空穴和來自陰極電極的電子的複合產生的激子進入有機發光層。另外，有機發光元件通過激子從激發態過渡到穩態而發光。可以利用氣相沉積方法形成有機發光層。噴墨印刷工藝可以用於通過滴落液化的有機發光材料在大尺寸基板上形成有機發光層。這樣的有機發光層具有鄰近堤壩(bank)圖案的與被堤壩圖案包圍的中心區域相比較厚的邊緣區域。這是由於以下事實：與有機發光層的中心部分的硬化速度相比，有機發光層的邊緣部分以較低的速度硬化；並且由於有機發光材料從有機發光層的中心區域向邊緣區域進行的硬化現象，有機發光材料從有機發光層的中心區域內部地移動到有機發光層的邊緣區域。
技術實現要素：
本申請的實施方案涉及基本消除了由於相關技術的限制和劣勢而導致的一個或更多個問題的薄膜電晶體陣列基板。根據一個實施方案的薄膜電晶體陣列基板適合於減小有機發光層的厚度並且防止有機發光層的非均勻形成以從外部露出濾色器層。所露出的濾色器層設置在平坦化膜下，穿過非發光區內的平坦化膜。實施方案的附加特徵和優點將在下面的描述中闡述，並且部分附加特徵和優點根據描述將是明顯的或可以從實施方案的實施中了解。實施方案的優點將通過在書面描述及其權利要求以及附圖中具體說明的結構來實現和獲得。為了解決上述問題，根據本實施方案的一般性方面的薄膜電晶體陣列基板包括：包括發光區和非發光區的基板；設置在基板上的濾色器層；設置在濾色器層上的平坦化層，並且平坦化層配置為移除平坦化層的與非發光區對應的至少一部分。所述薄膜電晶體陣列基板還包括：設置在平坦化膜的一部分上的第一電極；配置為露出第一電極的上表面的一部分並且鋪展至非發光區的第一堤壩圖案。所述薄膜電晶體陣列基板還包括設置在非發光區內的第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案。因此，所述薄膜電晶體陣列基板減小了第二堤壩圖案的厚度以均勻地形成有機發光層。在考察以下附圖和具體描述之後，其他系統、方法、特徵和優點對本領域技術人員將是明顯的。包含在該描述內的系統、方法、特徵和優點在本發明的範圍內，並被所附權利要求所保護。本節中的任何內容都不應該被看作對那些權利要求的限制。下面結合實施方案討論其他方面和優點。應理解的是，本發明的前述一般描述和下面的詳細描述是示例性和說明性的並且旨在提供對所要求保護的發明的進一步說明。附圖說明本申請包括附圖來提供實施方案的進一步理解並且附圖被合併到本申請中並構成本申請的一部分。附圖示出本發明的實施方案並且與描述一起用於解釋本發明。在附圖中：圖1為示出根據本發明的第一實施方案的OLED裝置的薄膜電晶體陣列基板的截面圖；圖2為示出根據第一實施方案的薄膜電晶體陣列基板的非發光區的截面圖；圖3A至圖3C為示出製造根據第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的方法的截面圖；圖4為示出根據本發明的第二實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的截面圖；圖5為主要地示出根據第二實施方案的薄膜電晶體陣列基板的非發光區的截面圖；圖6A至圖6C為示出製造根據本發明第二實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的方法的截面圖；圖7為示出根據本發明的第三實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的截面圖；圖8為示出根據本發明的第四實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的截面圖；以及圖9為示出根據本發明的第五實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的非發光區的照片。具體實施方式現在將詳細參考本發明的實施方案，在附圖中示出本發明的實施方案的實例。在下文中介紹的這些實施方案作為實例提供，以便於向本領域技術人員傳達本發明的精神。本發明不限於在此描述的這些實施方案。在實施方案中所示出的器件的尺寸和厚度等被提供為方便說明。只要可能，在整個該公開(包括附圖)中將使用相同的附圖標記以標記相同或相似的部分。圖1和圖2示出根據本發明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板。更詳細地，圖1為示出根據本發明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板的截面圖；以及圖2為主要地示出根據第一實施方案的薄膜電晶體陣列基板的非發光區的截面圖。根據本發明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板可以包括，例如薄膜電晶體、濾色器層101和有機發光元件。薄膜電晶體包括半導體層201、柵極絕緣膜202、柵電極203、層間絕緣膜204、源電極205、漏電極206和緩衝層207。濾色器層101包括紅色濾色器圖案101a、綠色濾色器圖案101b和藍色濾色器圖案。有機發光元件包括第一電極103、有機發光層106和第二電極107。可以利用旋塗方法、噴墨方法和狹縫塗布方法之一通過向用第二堤壩圖案105包圍的區域中噴射或者滴落液化的有機發光材料並且然後使所噴射或滴落的有機發光材料進行硬化來形成有機發光層106。因為，在相關技術中，有機發光層一定是形成為與在被堤壩圖案包圍的區域內的中心部分相比具有鄰近堤壩圖案的較厚的邊緣部分，所以OLED顯示裝置的開口率一定變得較低。為了提高OLED顯示裝置的開口率，可以對通過包括鄰近堤壩圖案的邊緣區域的整個區域的有機發光層的上表面進行平坦化。對有機發光層的上表面進行平坦化可以形成第一堤壩圖案和設置在第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案。在這種情況下，設置在第一堤壩圖案上的第二堤壩圖案一定變厚。因此，在光刻工藝期間，變厚的第二堤壩圖案可能導致蝕刻劑侵入第一堤壩圖案與第二堤壩圖案之間。具體地，在相關技術中，用於對第二堤壩圖案進行圖案化的光刻工藝可能引起第二堤壩圖案的捲曲現象和有機發光層的平坦性的劣化的產生。第二堤壩圖案的捲曲現象可能是由於在形成在平坦化膜中的接觸孔中的具有非常大的厚度並且用於連接有機發光元件的第一電極和薄膜電晶體的漏電極的第二堤壩圖案產生的。為了解決這個問題，根據本公開的第一實施方案的OLED顯示裝置在濾色器層101的不包括在第二非發光區NA2內彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區的區域上設置了平坦化膜102。此外，在彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區中設置第二堤壩圖案105。這樣，可以減小第二堤壩圖案105的厚度。更詳細地，根據本發明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板包括設置在限定為發光區AA、第一非發光區NA1和第二非發光區NA2的基板100上的濾色器層101。這樣，根據本發明的第一實施方案的OLED顯示裝置的薄膜電晶體陣列基板限定為發光區AA、第一非發光區NA1和第二非發光區NA2。第一非發光區NA1用作其中設置有薄膜電晶體的驅動區域。第二非發光區NA2為不發光並且不包括薄膜電晶體的像素區。在設置有濾色器層101(參照圖3C)的基板100上設置平坦化膜102，但平坦化膜102不能設置在彼此不同的濾色器圖案之間的邊界區中。例如，平坦化膜102不能設置在紅色濾色器圖案101a與綠色濾色器圖案101b之間的邊界區中。另外，平坦化膜102不能設置在綠色濾色器圖案101b與藍色濾色器圖案之間的邊界區中。另外，平坦化膜102不能設置在藍色濾色器圖案與紅色濾色器圖案101a之間的邊界區中。換言之，可以在第二非發光區NA2內的平坦化膜102中形成開口以將平坦化膜分成兩個部分。可以通過從不同的濾色器圖案之間的一個邊界移除平坦化膜102的一部分來形成開口。例如，形成在平坦化膜102中的開口可以露出紅色濾色器圖案101a與綠色濾色器圖案101b之間的邊界。或者，可以在綠色濾色器圖案101b與藍色濾色器圖案之間的邊界中形成開口。另外，可以在藍色濾色器圖案與紅色濾色器圖案101a之間的邊界中形成開口。可以在發光區AA內的平坦化膜102上設置有機發光元件的第一電極103。這樣的第一電極103可以用作陽極電極。或者，第一電極103可以用作陰極電極。在下文中，在第一實施方案中將描述第一電極103用作陽極電極。另外，可以利用相對高的透明導電材料以單層形式形成第一電極103。這樣，可以實現從有機發光元件的第二電極朝著有機發光元件的第一電極103發光的底部發光型OLED顯示裝置。或者，設置在第一電極103下的反射層還可以包括在OLED顯示裝置中。因此，頂部發光型OLED顯示裝置將從第二電極朝著第一電極103發射的光反射，並且沿著向上的方向輸出光。或者，可以以多層結構形式形成第一電極103。例如，可以以包括第一層、設置在第一層上的第二層和設置在第二層上的第三層的三層結構的形式形成第一電極103。在這種情況下，第一層和第三層各自可以由透明導電材料形成。透明導電材料可以為銦錫氧化物(ITO)和銦鋅氧化物(IZO)之一。第二層可以為反射層，並且可以為金屬層和金屬合金層之一。例如，第二層可以為銀層和包含銀(Ag)的金屬合金層之一。因此，可以實現沿著向上的方向反射從第二電極朝著第一電極103發射的光的頂部發光型OLED顯示裝置。在設置有有機發光元件的第一電極103的基板100的第一非發光區NA1和第二非發光區NA2上設置第一堤壩圖案104。第一堤壩圖案104可以以覆蓋第一電極103的邊緣的方式形成。換言之，可以將第一堤壩圖案104設置為露出第一電極103的上表面的與發光區AA對應的一部分。這樣，可以防止第一電極103的邊緣部分中的電流集中。在第一電極103的邊緣上設置這樣的第一堤壩圖案104。另外，可以通過從有機發光元件的第一電極103的一個邊緣延伸至第二非發光區NA2，在露出第二非發光區NA2內的彼此不同的濾色器圖案之間的邊界的開口中設置第一堤壩圖案104。可以以與設置在開口中的第一堤壩圖案104交疊的方式設置第二堤壩圖案105。換言之，可以在開口中設置第一堤壩圖案104並且可以在與所述開口相對的第一堤壩圖案104上設置第二堤壩圖案105。以這樣的方式...