鉬反應腔的製作方法

2023-05-23 12:23:26 3

專利名稱：鉬反應腔的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及有機金屬化學氣象沉積設備領域，更具體的說涉及一種鑰反應腔，使用於MOCVD工藝。
背景技術：
隨著化合物半導體器件(如GaAs麗1C、InP麗IC以及GaN藍光LED)市場的不斷擴大，MOCVD系統的需求量不斷增長。目前國際上實力最為雄厚的MOCVD系統製造商有德國、美國、英國等。因為MOCVD系統最關鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重複性，因此不同廠家的MOCVD系統最主要的區別在於反應室結構。目前國內使用於MOCVD設備主要是LED光電行業，而且MOCVD設備相對國內 的LED廠商來講都是全進口設備，對於該設備的部件，基本上都是採用德國原廠的部件，以保證設備的正常使用，其進口的鑰反應腔是由2個扇形組成的結構。因此MOCVD設備及其備品備件基本上都是國外設備公司壟斷。根據國內LED廠商實際使用狀況，我們國內LED晶片廠商為了降低生產成本，就需要部分設備備品備件都國產化。因此我們有必要進行自行設計和開發鑰反應腔。實用新型內容本實用新型的目的是針對現有技術的不足之處，提供一種鑰反應腔，其連接牢固，使用壽命長。本實用新型的技術解決措施如下鑰反應腔，所述鑰反應腔是由四個鑰體外側板、四個鑰體內側板和四個鑰體底板拼接而成的環形腔室結構，且四個鑰體外側板的高度大於四個鑰體內側板的高度；所述四個鑰體外側板、四個鑰體內側板與底板之間分別採用連結的方式連接在一起；所述四個鑰體外側板之間、四個鑰體內側板之間分別採用搭接的方式連接在一起；所述四個鑰體外側板和四個鑰體內側板之間採用螺杆螺母結構鎖緊在一起；所述四個鑰體外側板和四個鑰體內側板的上邊緣分別設有包邊。作為優選，所述螺杆螺母結構共16個，在側板搭接處兩側對稱各有一組螺杆螺母結構，其中一組螺杆螺母結構上還鎖有一折鉤，且螺杆螺母結構的中心線與側板搭接處的中心線之間形成的角度為3. 9°。作為優選，所述螺杆螺母結構的螺桿頭部與螺母平齊。作為優選，所述四個鑰體外側板上均布設有多個通孔。本實用新型的有益效果在於本實用新型的鑰反應腔由四個鑰體外側板、四個鑰體內側板和四個鑰體底板拼接而成的環形腔室結構，連接處用鑰的螺杆螺母連接，更具有熱脹冷縮的伸縮性，使鑰反應腔能夠整體得到平衡，不至於鑰反應腔在短時間內因為高溫的變形而破壞鑰腔體。同時本實用新型鑰反應腔的環形結構更接近真圓度，使用壽命長。


以下結合附圖對本實用新型做進一步的說明[0017]圖I為本實用新型的主視圖；圖2為本實用新型的附視圖；圖3為圖2中的A-A剖視圖；圖4為圖I中的I處的放大示意圖；圖5為圖I中的II處的放大示意圖；圖6為圖3中的III處的放大示意圖；圖7為圖3中的IV處的放大示意圖。
具體實施方式
以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，並非對本實用新型的範圍進行限定。實施例，見附圖f 3，鑰反應腔，所述鑰反應腔是由四個鑰體外側板I、四個鑰體內側板2和四個鑰體底板3拼接而成的環形腔室結構，且四個鑰體外側板的高度大於四個鑰體內側板的高度。附圖4是四個鑰體外側板之間、四個鑰體內側板之間分別採用搭接的方式連接在一起，且採用訂書釘的搭接方式連接。附圖5是四個鑰體外側板與底板之間採用連結的方式連接在一起；附圖6是四個鑰體內側板與底板之間採用連結的方式連接在一起。附圖7是四個鑰體外側板和四個鑰體內側板的上邊緣分別設有包邊5、6的結構示意圖。所述四個鑰體外側板和四個鑰體內側板之間採用螺杆螺母結構4鎖緊在一起，螺杆螺母結構都採用鑰的材質，由於鑰反應腔是在1200°C高溫的真空環境下工作，採用鑰的材質具有熱脹冷縮的伸縮性，使鑰反應腔能夠整體得到平衡，不至於鑰反應腔在短時間內因為高溫的變形而破壞鑰腔體。所述螺杆螺母結構共16個，在側板搭接處兩側對稱各有一組螺杆螺母結構，其中一組螺杆螺母結構上還鎖有一折鉤7，且四個帶折鉤的螺杆螺母結構對稱分布在鑰反應腔四周。同時螺杆螺母結構的中心線與側板搭接處的中心線之間形成的角度為3. 9°。這樣共有8個螺杆螺母結構分布在搭接處兩側，其餘8個分別均勻布置在四個側板上，每個側板兩個，這兩個螺杆螺母結構的中心線之間以及與相鄰螺杆螺母結構的中心線之間形成的角度均為27. 4°。所述螺杆螺母結構的螺桿頭部與螺母平齊。所述四個鑰體外側板上均布設有12個通孔8,通孔的直徑為20mm。
權利要求1.鑰反應腔，其特徵在於所述鑰反應腔是由四個鑰體外側板、四個鑰體內側板和四個鑰體底板拼接而成的環形腔室結構，且四個鑰體外側板的高度大於四個鑰體內側板的高度；所述四個鑰體外側板、四個鑰體內側板與底板之間分別採用連結的方式連接在一起；所述四個鑰體外側板之間、四個鑰體內側板之間分別採用搭接的方式連接在一起；所述四個鑰體外側板和四個鑰體內側板之間採用螺杆螺母結構鎖緊在一起；所述四個鑰體外側板和四個鑰體內側板的上邊緣分別設有包邊。
2.根據權利要求I所述的鑰反應腔，其特徵在於所述螺杆螺母結構共16個，在側板搭接處兩側對稱各有一組螺杆螺母結構，其中一組螺杆螺母結構上還鎖有一折鉤，且螺杆螺母結構的中心線與側板搭接處的中心線之間形成的角度為3.9°。
3.根據權利要求2所述的鑰反應腔，其特徵在於所述螺杆螺母結構的螺桿頭部與螺母平齊。
4.根據權利要求I所述的鑰反應腔，其特徵在於所述四個鑰體外側板上均布設有多個通孔。
專利摘要本實用新型涉及一種鉬反應腔，鉬反應腔是由四個鉬體外側板、四個鉬體內側板和四個鉬體底板拼接而成的環形腔室結構，且四個鉬體外側板的高度大於四個鉬體內側板的高度；四個鉬體外側板、四個鉬體內側板與底板之間分別採用連結的方式連接；四個鉬體外側板之間、四個鉬體內側板之間分別採用搭接的方式連接；四個鉬體外側板和四個鉬體內側板之間採用螺杆螺母結構鎖緊在一起；四個鉬體外側板和四個鉬體內側板的上邊緣分別設有包邊；螺杆螺母結構共16個，在側板搭接處兩側對稱各有一組螺杆螺母結構，其中一組螺杆螺母結構上還鎖有一折鉤，且螺杆螺母結構的中心線與側板搭接處的中心線之間形成的角度為3.9°。本實用新型連接牢固，使用壽命長。
文檔編號C23C16/44GK202671649SQ20122028556
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月14日 優先權日2012年6月14日
發明者高建鋒 申請人:湖州維德光電科技有限公司