防靜電光罩的製作方法
2023-05-15 13:12:51
專利名稱：防靜電光罩的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及液晶顯示器製造技術，尤其涉及一種防靜電光罩。
背景技術：
在目前液晶顯示面板行業加工過程中，光罩是一種圖形轉移的重要制具，將光罩 上的設計圖案通過曝光過程定義在顯示面板的IT0玻璃或晶片的光抗蝕層上後，通過化學 蝕刻製成與光罩圖案一樣的圖形。因而，光罩上的圖形圖案十分重要，若光罩上的圖形出現 問題或損傷，對後續使用光罩加工的產品圖案也無法達到設計所要求的電路及路線圖；所 以如何保證光罩的電路圖形就顯到十分重要。光罩的構成是在一塊蘇打特性的玻璃上鍍一層金屬鉻層(Cr)，而其設計的圖案就 形成在該金屬鉻層上。然而，眾所周知地，在環境變化等情況下，特別是在空氣乾燥的季節， 物體間的摩擦很容易產生靜電電荷，摩擦起電所產生的電壓取決於相互摩擦的材料本身的 特性，而人體與玻璃之間是比較常見容易摩擦起電的主體，而光罩表面為金屬層，故在該金 屬層上非常容易累積靜電電荷，當其累積的靜電電荷達到一定程度時，就會找尋一個釋放 的渠道。在這種情況之下，靜電電荷通常會在相鄰的圖形圖案間，尤其是相對較細的圖形間 以角對角、尖對尖、大圖形向小圖形的方式釋放靜電，這種釋放靜電過程叫靜電電荷放電。 而靜電放電現象所產生的瞬間熱能、電能足以破壞光罩上的圖形圖案，從而使產品合格率 和可靠性下降，甚至導致光罩圖形損傷無法使用。因此，許多大型的製造廠引進專業技術以減小生產環境中的靜電積累，用戶根據 自己的經驗也懂得了防治靜電放電損害的重要性。目前，在光罩加工及應用領域中，常見的 一種防靜電方法是在光罩表面增加隔膜層或保護層，以此來減少或防止靜電累積，該方案 製造方法較為繁瑣，而且會增加光罩製造困難度與成本；而另一種則是從環境上著手，如通 過增加空氣的溼度來降低靜電產生或在光罩放置位置以及移動的路線上噴灑離子以中和 產生的靜電等。這些方案往往都需要大量的設備和成本。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種防靜電光罩，該光罩可大大節省放 靜電光罩的防靜電設備和成本。為解決上述技術問題，本實用新型採用如下技術方案—種防靜電光罩，包括覆蓋有金屬鉻層的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻有光罩圖 形，繞該光罩邊緣的金屬鉻層表面設置有一放電環，該放電環通過設置在所述金屬鉻層的 靜電導引線連接到光罩圖形，而該放電環的首尾通過兩組相對設置的放電端子對接，每組 放電端子由若干以預設的間隔並排設置的放電端子構成。本實用新型的有益效果是本實用新型的實施例通過圍繞光罩的邊緣設置帶有尖端放電區的放電環，將累積 在光罩上的靜電導引出有效圖形外進行釋放，從而有效地避免了光罩受靜電擊傷的可能
3性，並大大降低了光罩對運輸、保存及使用環境的要求，增加了光罩使用壽命，降低了製造 成本，節省了大量因靜電破壞報廢的產品的費用。
以下結合附圖對本實用新型作進一步的詳細描述。
圖1是本實用新型提供的防靜電光罩一個實施例的結構示意圖。圖2是本實用新型提供的防靜電光罩一個實施例中放電端子的放大圖。圖3是提供的防靜電光罩一個實施例中放電組的放大圖。
具體實施方式
下面參考圖1-圖3詳細描述本實用新型提供的防靜電光罩的一個實施例。如圖1所示，本實施例主要包括覆蓋有金屬鉻層1的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻 有光罩圖形(圖中未示出)，繞該光罩邊緣的金屬鉻層1表面設置有一放電環10，該放電環 10通過設置在金屬鉻層1的靜電導引線20連接到光罩圖形，而該放電環10的首尾通過兩 組相對設置的放電端子101、102對接，每組放電端子由若干以預設的間隔並排設置的放電 端子1012構成。具體實現時，放電環10可為黑色的矩形環，其環邊寬可為8-10釐米。其中，放電端子101、102起到釋放累積的靜電的作用，其具體結構如圖2所示。具 體實現時，同一組中放電端子101(102)中每個放電端子1012間的間隔及單個放電端子 1012的寬度均小於所述光罩圖形的最小線寬，為其1/2最好，如光罩圖形中最小線條的寬 度為lOum，則同一組放電端子101 (102)間的間隔及單個放電端子1012的寬度分別為5um ； 而兩組放電端子101、102間的相對距離則不超過每個放電端子1012寬度的二分之一，如 其端子1012寬度與間隔均為5um，則兩組放電端子101、102間的相對距離為2. 5um,即兩組 放電端子101、102間的相對距離是單個放電端子1012寬度的1/2。其中，靜電導引線20的作用是將光罩圖形上累積的靜電電荷導引到放電環10，使 靜電電荷在整個金屬鉻層1最細小的線條中進行釋放，從而避免光罩圖形被靜電擊傷。具 體實現時，靜電導引線20的線條寬度應小於製造光罩圖案所採用的微影刻蝕工藝的最小 精度，如果該微影刻蝕工藝精細到5um，則其導引線20線條寬度可設置為l-3um，由於在蝕 刻工藝精細度為5um的條件下，lum的導引線20在刻蝕時無法被保存，從而不會體現到後續 的產品中，因而既達到了導引靜電的作用，又不會影響光罩圖形的圖形性能。另外，由於有些光罩圖形的複雜性，為了防止有無法通過靜電導引線20連接到放 電環10的光罩圖形考慮，在這些光罩圖形之間的空白區域還可設置放電組30，放電組30包 括有四個排列成矩陣狀的環矩形放電體301，每個放電體301上設置有兩個相互垂直的放 電尖角3010，放電尖角3010分別從放電體301相鄰的兩邊朝外延伸，且每個放電尖角3010 與其相鄰放電體301的一個放電尖角3010相對設置。放電組30的作用是將光罩圖案上累積的靜電進行提前減小或釋放，避免光罩圖 形被累積的大量靜電擊傷。具體實現時，環矩形放電體301的外環寬度應小於製造光罩圖 案所採用的微影刻蝕工藝的最小精度，並設置於在光罩圖形之間的對後續產品無影響或無 要求的空白區域的中心處，其外正方形寬度可為5um，內正方形寬度可為2. 5um，放電尖角3010與其相鄰放電體301的放電尖角3010之間距離可為2. 5um,以放電組30不對產品的其 他性能產生影響為準，如有影響，將其按比例相應縮小即可，並可根據實際需要在每個Cell 與Cell之前都擺放一組放電組30。由於放電組30是整個光罩最小線寬的圖形，累積在光罩圖形的靜電會聚集在最 小處進行放電，所以該放電組能夠將累積在光罩圖形上的靜電進行釋放，以避免光罩被靜 電擊傷。本實用新型在光罩圖形的各部分都能將累積在光罩上的靜電導引出有效圖形外 進行釋放，保障了有效圖形圖案的完整性；同時不影響產品設計電路圖形的性能。本實用新 型可廣泛用於各行業中類似圖案的光罩設計，大大節省後續為防靜電所做的成本。以上所述是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術 人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤 飾也視為本實用新型的保護範圍。
權利要求一種防靜電光罩，包括覆蓋有金屬鉻層的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻有光罩圖形，其特徵在於繞該光罩邊緣的金屬鉻層表面設置有一放電環，該放電環通過設置在所述金屬鉻層的靜電導引線連接到光罩圖形，而該放電環的首尾通過兩組相對設置的放電端子對接，每組放電端子由若干以預設的間隔並排設置的放電端子構成。
2.如權利要求1所述的防靜電光罩，其特徵在於同一組放電端子中每個放電端子間 的間隔及單個放電端子的寬度均小於所述光罩圖形的最小線寬。
3.如權利要求2所述的防靜電光罩，其特徵在於所述兩組放電端子間的相對距離不 超過每個放電端子寬度的二分之一。
4.如權利要求3所述的防靜電光罩，其特徵在於所述靜電導引線的寬度小於製造所 述光罩圖形所採用的微影蝕刻工藝的最小精度。
5.如權利要求1-4中任一項所述的防靜電光罩，其特徵在於所述放電環為黑色的矩 形環，其環邊寬為8-10釐米。
6.如權利要求1所述的防靜電光罩，其特徵在於在光罩圖形之間的空白區域還設置 有放電組，所述放電組包括有四個排列成矩陣狀的環矩形放電體，每個放電體上設置有兩 個相互垂直的放電尖角，所述放電尖角分別從所述放電體相鄰的兩邊朝外延伸，且每個放 電尖角與其相鄰放電體的一個放電尖角相對設置。
7.如權利要求6所述的防靜電光罩，其特徵在於所述環矩形的外環寬度小於製造所 述光罩圖形所採用的微影蝕刻工藝的最小精度。
專利摘要本實用新型公開一種防靜電光罩，包括覆蓋有金屬鉻層的蘇打玻璃，所述金屬鉻層蝕刻有光罩圖形，繞該光罩邊緣的金屬鉻層表面設置有一放電環，該放電環通過設置在所述金屬鉻層的靜電導引線連接到光罩圖形，而該放電環的首尾通過兩組相對設置的放電端子對接，每組放電端子由若干以預設的間隔並排設置的放電端子構成。本實用新型可大大節省放靜電光罩的防靜電設備和成本。
文檔編號G03F1/08GK201607608SQ20102030109
公開日2010年10月13日 申請日期2010年1月20日 優先權日2010年1月20日
發明者杜武兵 申請人:深圳市路維電子有限公司