準分子燈及準分子燈的製造方法

2023-05-15 14:55:46

專利名稱：準分子燈及準分子燈的製造方法
技術領域：
本發明涉及一種準分子燈及準分子燈的製造方法，上述準分子燈 用於通過在被處理體的表面照射紫外線，氧化除去附著於被處理體表 面的有機化合物而清潔被處理體，此外通過在被處理體的表面照射紫 外線，改變被處理體表面的性質。
背景技術：
目前，在半導體集成電路的製造、液晶顯示器的製造等中的清潔 工序的一部分，使用利用了紫外線照射的清潔方法。以往，該方法以主要對波長186nm和254nm具有光譜的低壓水銀燈作為光源的方法為 主流。最近，代替低壓水銀燈，作為更有效的方法，利用使用準分子燈 的清潔或改性方法，上述準分子燈封入有可放射波長更短的光的氙等。 準分子燈對例如封入有氙氣的發光管施加數kV的高壓而引起阻擋放 電，由在發光管內生成的等離子體使氙分子受激，並利用從該狀態回 到基態的過程中放出的光。在將氙氣用作放電氣體的準分子燈中，放 射波長172nm的真空紫外線。在上述準分子燈中，在發光管的內部形成有氣密空間，以使由電 介質材料構成的發光管內部填充的放電用氣體不會向發光管外漏出。 例如，在專利文獻1中公開了具有如下放電管的準分子燈，將具有氣 體導入孔的玻璃塊熔融接合到放電管的兩端面，並且在向放電管內填 充放電用氣體之後密封玻璃塊上形成的氣體導入孔，從而在內部形成 氣密空間。以下，根據圖9說明該專利文獻1公開的準分子燈的大致 結構。
放電管9在合成石英制扁平長方筒的放電管主體91的兩端部熔融 接合玻璃塊93。在放電管主體91的下方外表面，蒸鍍形成有格子狀的 第1電極92A，在上方外表面形成有實心的第2電極92B。玻璃塊93 對熔融石英進行切削加工而得，整體上為在前後方向上長的實心長方 體形狀，前後方向的厚度為放電管主體91的側壁91D的厚度的至少兩 倍以上。在玻璃塊93上設有氣體導入孔93A，前後貫通該玻璃塊93 而連通放電管9的內部與放電管9的外部。在上述準分子燈中，經由氣體導入孔93A向放電管91內部填充放 電用氣體之後，氣體導入孔93A的入口由熔融的密封玻璃93B密封， 從而在放電管9的內部形成氣密空間。然而，在製造上述專利文獻1記載的準分子燈時存在如下困難。 如圖10 (A)所示，在上述專利文獻1中記載的準分子燈中，放電管 主體91和玻璃塊93在將放電管主體91的端面與玻璃塊93的前端面 抵接的狀態下，用燃燒器等的加熱單元使兩者的邊界部分熔融，從而 焊著放電管主體91和玻璃塊93。可是，放電管主體91與玻璃塊93相比熱容量相對較小，與玻璃 塊93相比較容易熔融，因而如圖10 (B)所示在其端面與玻璃塊93 的前端面之間會產生間隙。並且，若在放電管主體91與玻璃塊93之 間產生間隙，則燃燒器的火苗從放電管主體91的端面與玻璃塊93的 前端面之間的間隙侵入，從而在放電管主體91的內表面附著放電管主 體91的構成材料即二氧化矽(Si02)粒子。如上所述，若在放電管9的內表面附著有二氧化矽粒子，則二氧 化矽粒子變成白斑而吸收從放電管9內生成的等離子體放射的紫外光， 因而放電管9的紫外光透過率下降，從而存在無法將足夠強度的紫外 光照射到被處理體的問題。
此外，雖然可以在工作之後清潔附著於放電管9內表面的二氧化 矽粒子，但是從玻璃塊93上設置的細徑的導入孔93A向放電管9內導 入清潔用液體的作業十分繁雜，因而工作之後清潔放電管9的內表面 並不現實。專利文獻l:日本專利特開2005-322510號 發明內容因此，本發明的目的在於提供一種準分子燈的製造方法及能夠高 水準地維持發光管的紫外光透過率的準分子燈，上述準分子燈的製造 方法能夠使準分子燈不會因發光管構成材料附著於發光管內表面而降 低發光管的紫外光透過率。為了解決上述課題，本發明的一種準分子燈的製造方法的特徵在 於，至少包括以下工序(1) 形成密封部件，該密封部件包括用於導入放電用氣體的氣體 導入部、和與氣體導入部連續而向氣體導入部的直徑方向擴展的凸緣 部；(2) 在發光管的內部配置上述密封部件，並且將密封部件的外周 邊緣焊著到發光管的管壁；以及(3) 經由上述氣體導入部向上述發光管的內部導入放電氣體，並 且密封氣體導入管的一端而在發光管的內部形成氣密空間。進而，本發明的一種準分子燈，在填充有放電用氣體的由電介質 構成的發光管的外表面，夾著發光管的管壁而相對地設置有一對外部 電極，其特徵在於，在上述發光管的內部，包括氣體導入部和凸緣部的密封部件的凸 緣部的外周邊緣在整個圓周方向上焊著而固定到發光管的管壁，從而 形成由密封部件和發光管的管壁隔開的氣密空間，上述氣體導入部的
一端被密封而另一端開口，上述凸緣部與氣體導入部連續而向氣體導 入部的直徑方向擴展。進而，本發明的準分子燈的特徵在於，在上述發光管的內表面形 成有紫外線反射膜，該紫外線反射膜由至少含有二氧化矽粒子的紫外 線散射粒子構成。進而，本發明的準分子燈的特徵在於，在上述氣體導入部的內表 面形成有保護膜，該保護膜由具有與上述紫外線反射膜相同組成的材 料構成。進而，本發明的準分子燈的特徵在於，在上述氣體導入部的內部 配置有吸氣劑，用於捕捉殘留在上述發光管內的氧氣。進而，本發明的準分子燈的特徵在於，上述凸緣部與上述氣密空 間接觸的表面傾斜為，發光管的管軸方向的厚度隨著從發光管的管壁 向發光管的管軸靠近而逐漸減小。根據本發明的準分子燈的製造方法，將具有氣體導入部的密封部 件配置於發光管的內部，並且使凸緣部的外周邊緣焊著到發光管的管 壁，因而在進行焊著密封部件與發光管的作業時，由於燃燒器的火苗 不會直接碰到發光管的管軸方向的外端面，因此從發光管的管軸方向 的外端面蒸發的發光管構成物質不會附著於發光管的內表面。因此， 從發光管內生成的等離子體放射的紫外光不會被發光管構成物質吸 收，對被處理體照射的紫外光的強度不會降低。此外，根據本發明的準分子燈，與氣體導入部一體形成的具有凸 緣部的密封部件，其凸緣部的外周邊緣在整個圓周方向上焊著而固定 到發光管的管壁，因此在發光管的內部能夠容易地形成由發光管的管 壁和凸緣部隔開的密閉空間，能夠在發光管內填充放電用氣體而不使其洩漏，上述氣體導入部向發光管的管軸方向延伸且發光管的管軸方 向的外端面側的端部密封，上述凸緣部向氣體導入部的直徑方向擴展。此外，在上述發光管的內表面，形成有由至少含有二氧化矽粒子 的紫外線散射粒子構成的紫外線散射反射膜，從而能夠由該紫外線散 射反射膜切實地反射發光管內產生的紫外線並向發光管外放射，並且 能夠減小因透過發光管而衰減的程度，因而紫外線的放射效率提高。進而，在上述氣體導入部的內表面，形成有由具有與上述紫外線 反射膜相同組成的材料構成的保護膜，從而能夠避免對氣體導入部直 接照射紫外線，降低蓄積在氣體導入部的紫外線失真，因而氣體導入 部不會因過度的紫外線失真蓄積在氣體導入部而損傷。進而，在上述氣體導入部的內部配置有吸氣劑，用於捕捉殘留在 上述發光管內的氧氣，從而能夠使殘留在發光管內的氧氣量非常少。所以，例如放電氣體為氙(Xe)氣時，在發光管內僅放射Xe的準分子 光，不會在發光管內放射XeO的準分子光，因此波長172mn的紫外光 的放射強度不會下降。進而，上述凸緣部與上述氣密空間接觸的表面傾斜為，發光管的 管軸方向的厚度隨著從發光管的管壁向發光管的管軸靠近而逐漸減 小，從而在凸緣部上與氣密空間接觸的表面上形成的上述紫外線散射 反射膜的厚度不會過大，能夠使紫外線散射反射膜的厚度均勻。從而， 在凸緣部與氣密空間接觸的表面，能夠無需剝離地切實地形成紫外線 散射反射膜。


圖1是表示本發明的準分子燈的大致結構的透視圖。 圖2是向與管軸方向和管軸正交的方向切斷圖1所示準分子燈的 剖視圖。
圖3是表示密封部件的結構的透視圖。 圖4是表示本發明的準分子燈的製造方法的剖視圖。 圖5是放大表示本發明的準分子燈的其他實施方式的主要部分的 剖視圖。圖6是放大表示本發明的準分子燈的其他實施方式的主要部分的 剖視圖。圖7是放大表示本發明的準分子燈的其他實施方式的主要部分的 剖視圖。圖8是放大表示本發明的準分子燈的其他實施方式的主要部分的 剖視圖。圖9是表示現有準分子燈的大致結構的剖視圖。 圖10是用於對預計在製造現有準分子燈的過程中產生的問題進 行說明的示意圖。
具體實施方式
圖1是表示本發明的準分子燈結構的大致情況的透視圖。圖2表 示由包含管軸的平面切斷圖l所示準分子燈的剖面(圖2 (A))、和 由與該平面正交的平面切斷的剖面(圖2 (B))。準分子燈io具有如下結構將密封部件焊著到扁平的方筒狀發光 管的兩端部附近的內表面，從而在發光管內部形成氣密空間S，在氣密 空間S的內部填充有用於生成準分子放電的放電氣體，用於在發光管1 內產生準分子放電的一對外部電極2A、2B夾著發光管1內的氣密空間 而相對配置。在發光管1內，作為放電氣體填充例如氙氣等稀有氣體、將氯氣 等滷素氣體與稀有氣體混合的物質，可以根據氣體的種類發出不同波 長的準分子光。通常以10 100kPa左右的壓力填充放電氣體。發光管1由合成石英玻璃構成，具有扁平形狀，在紙面上位於上 方側的用於設置外部電極的上方側壁面11、和在紙面上位於下方側的用於設置外部電極的下方側壁面12隔著預定間隔平行延伸，並且在紙 面上位於左方側的左方側壁面13和在紙面上位於右方側的右方側壁面 14隔著預定間隔平行延伸。上述發光管1的數值例如下管軸方向的全長為904mm，發光長 度(配設有電極的區域的管軸方向全長)為790mm，左右寬度方向的 全長為43mm，上下高度方向的全長為15mm。上方側壁面U的寬度方向(與管軸正交的方向)的各端部分別經 由彎曲面連續到左方側壁面13及右方側壁面14，下方側壁面12的寬 度方向的各端部分別經由彎曲面連續到左方側壁面13及右方側壁面 14。 g卩，發光管是在四角具有圓角的方筒形狀。並且，在本發明的發 光管中，上方側壁面11及下方惻壁面12比左方側壁面13及右方側壁 面14寬，上方側壁面11或下方側壁面12的任一個為放出發光管1內 產生的紫外線的光出射面。如圖3 (B)所示，對發光管1進行密封的密封部件3在焊著到發 光管之前的階段， 一體地形成前端側具有氣體導入用開口且延伸為筒 狀的氣體導入部31、和與氣體導入部31的基端側連接而向氣體導入部 的直徑方向擴展的凸緣部32，氣體導入部31的基端側的開口 33位於 凸緣部32的中央。上述密封部件3為了與發光管1牢固焊著，由與構 成發光管1的材料相同的材料構成，例如由合成石英玻璃構成。例如圖3 (A)所示，密封部件3在成為凸緣部的玻璃板32'中央 處形成的開口 33'的周邊，焊著成為氣體導入部的圓筒狀玻璃管31'的 基端部而形成，上述開口 33'具有與發光管內周面的形狀合適的外周邊 緣的形狀。此外，雖然未圖示，但是也可以由燃燒器等加熱單元使成 為氣體導入部的圓筒狀玻璃管的基端部熔融，將玻璃管的基端側向直 徑方向擴展而形成凸緣部。
根據圖4所示步驟進行上述密封部件與發光管內周面的焊著、及放電氣體向發光管內的導入。(a)將各密封部件3如下配置在成為發光管的發光管構成部件l'的 內部，各密封部件3的氣體導入部31的前端超過發光管構成部件l'的 各外端面而向發光管構成部件的外方伸出，並且氣體導入部31的中心軸與發光管構成部件r的管軸一致。(b)由燃燒器等加熱單元對與各密封部件3的凸緣部32的外周邊緣對 應的發光管構成部件r的各外表面區域進行加熱，將各凸緣部32的外 周邊緣與發光管構成部件l'的內壁面焊著，由此形成焊著部W。(c)從任一密封部件3的氣體導入部31前端側的開口 34，將氙氣導入到發光管構成部件r內部。(d)由燃燒器等加熱單元加熱熔融各密封部件3的氣體導入部31的前 端部，由此閉塞各氣體導入部前端側的開口，從而形成閉塞部35。根據上述製造方法，在進行上述(b)的工作時，在發光管l與密 封部件3的凸緣部32之間不會產生間隙，也不用擔心加熱單元的火苗 燒到凸緣部32的外周邊緣。從而，可削除現有技術的如下不良情況 火苗進入到發光管的外端面與玻璃塊之間產生的間隙，火苗燒到發光 管的外端面，從而從發光管的外端面蒸發並飛散的二氧化矽附著於發 光管內表面。
如圖2 (A)所示，在根據上述步驟製作的發光管內部，形成有由以下幾部分氣密地隔絕的氣密空間S:發光管1的各壁面11 14、向 與發光管的各壁面11 14垂直的方向延伸的凸緣部32、及配置在與發 光管1的管軸相同的軸上而在前端側具有閉塞部35的氣體導入部31。此外，根據上述說明，在發光管兩端附近的內周面焊著有各密封 部件的凸緣部，但是在使用一端密封的結構的發光管時，可以僅在具 有開口的發光管另一端側的內周面焊著密封部件的凸緣部。此外，在通過焊著發光管與密封部件而形成的焊著部W，凸緣部 形成在距發光管管軸方向的外端面30mm左右的位置，優選形成在距 發光管的外端面20mm以上的位置。焯著部w與其他位置相比向內方側凹陷，因此當將該焊著部W 固定到用於支撐準分子燈的固定器具時，無法高精度地配置準分子燈。 所以，為了將準分子燈固定到固定器具，需要將與氣體導入部31相對 的上方側壁面11A、 11B以及下方側壁面12A、 12B固定到固定器具， 但是若11A、 11B以及12A、 12B的全長過短，則不僅無法高精度地支 撐準分子燈，而且發光管會在11A、 11B以及12A、 12B處破損。然而，通過將焊著部W形成在距發光管外端面20mm以上的位置， 可以不損壞準分子燈的發光管，可以高精度地配置準分子燈。在圖1、圖2所示的準分子燈中，在成為光出射面的上方側壁面 11設有網狀外部電極2A，以使在發光管l內產生的紫外線能夠透過， 並且在下方側壁面12設有網狀外部電極2B，即一對外部電極2A、 2B 夾著氣密空間S、上方側壁面11及下方側壁面12而相對。外部電極2A與外部電極2B在發光管1的管軸方向及寬度方向的 全長分別相同，不會超過密封部件3的凸緣部32與發光管1的內周面
的焊著部W。外部電極2A通過在上方側壁面11的外表面例如蒸鍍金(Au)等 金屬而形成，外部電極2B通過在下方側壁面12的外表面例如蒸鍍金 (Au)等金屬而形成。在與光出射面相對的下方側壁面12與氣密空間S接觸的表面，在 其整個區域形成有紫外線散射反射膜4，該紫外線散射反射膜4由至少 含有二氧化矽粒子的紫外線散射粒子構成。紫外線散射反射膜4具有 凹凸的光散射面，從而將入射到紫外線散射反射膜的紫外線向作為光 出射面的上方側壁面11的方向反射。如圖2 (B)所示，紫外線散射反射膜4優選除了作為光出射面的 上方側壁面11與氣密空間S接觸的表面以外，形成在下方側壁面12、 左方側壁面13及右方側壁面14與氣密空間S接觸的整個表面。在發 光管1的內表面，超過與薄膜狀外部電極2B的寬度方向的兩端部對應 的區域而在左方側壁面13及右方側壁面14上也形成有紫外線散射反 射膜4，從而不必擔心由於電場集中於紫外線散射反射膜4的端部而在 發光管l的內部產生異常放電。紫外線散射反射膜4可以是僅由二氧化矽粒子形成具凹凸的散射 面的結構，也可以是由二氧化矽粒子和其他紫外線散射粒子形成具有 凹凸的散射面的結構。作為二氧化矽粒子以外的其他紫外線散射粒子，例如使用氧化鋁、氟化鎂、氟化鈣、氟化鋰、氧化鎂等。在由二氧化 矽粒子和其他散射粒子形成紫外線散射反射膜時，優選二氧化矽粒子的含有比例在30重量％以上。如上所述，上述紫外線散射反射膜4在將密封部件3的凸緣部32 焊著到發光管構成部件l'的內表面之前的階段，形成在發光管構成部 件的內表面。以下，對稱為流下法(flow down)的方法進行說明。將使紫外線散射粒子溶解到乙酸丁酯而得的溶液流入到發光管構 成部件，以填充發光管構成部件的下方側壁面、左方側壁面及右方側 壁面的一部分，從而使其附著於發光管構成部件的內表面。在該狀態 下，對發光管構成部件的內表面上附著的含有紫外線散射粒子的溶液 進行乾燥、煅燒。為了避免在發光管1的內部產生的紫外線穿過發光管的下方側壁面12從而降低穿過上方側壁面11而向發光管外方放出的紫外線的輸 出，優選紫外線散射反射膜4形成在發光管1的內壁面。這是由於在 發光管1的外表面形成有紫外線散射反射膜4的情況下，與在發光管 的內壁面形成有紫外線散射反射膜4的情況相比，發光管內產生的紫 外線多餘地二次穿過位於光出射面相反側的下方側壁面12，從而在發 光管1的壁面吸收的紫外線的比例更大。但是，若忽略由發光管1的下方側壁面12吸收的紫外線，則也可 將紫外線散射反射膜4形成在發光管1的外表面，在該情形下，在下 方側壁面12的外表面上形成的紫外線散射反射膜4上形成薄膜狀外部 電極2B。根據上述本發明的準分子燈10，通過使密封部件3的凸緣部32 的外周邊緣焊著在發光管1的內壁面而在發光管1的內部形成氣密空 間S，因而作為發光管的構成物質的二氧化矽不會附著到發光管1的內 壁面，不必擔心發光管1的紫外線透射率下降，從而能夠將在發光管1 的內部產生的紫外線很好地向發光管1的外方放射。並且，在本發明的準分子燈10中，通過使凸緣部32的外周邊緣 部焊著到發光管1的內壁面而在發光管1的內部形成氣密空間S，並且 氣體導入部31的內徑與發光管1的內徑相比較小，從而可獲得如下效 果。
如上所述，密封部件3的氣體導入部31經由前端側的開口 34在 發光管l內封入放電氣體後進行加熱熔融從而在前端側形成閉塞部35， 但是該閉塞部35在紫外線下處於脆弱狀態。並且，在發光管l內部產 生的紫外線的輸出不會由準分子發光自我吸收，因此如上所述，在管 軸方向的全長接近lm的長尺寸發光管中，與向上下高度方向放射的紫 外線強度相比，向管軸方向放射的紫外線強度非常強。然而，根據本發明，由於氣體導入部31的內徑小於發光管1的內 徑，因而在發光管1內部產生的紫外線中入射至氣體導入部31內的紫 外線的比例減少，由此向在紫外線下處於脆弱狀態的閉塞部35放射的 紫外線的放射量減少，因此不會產生氣體導入部31的閉塞部35因蓄 積紫外線失真而損傷的不良情況。為了切實地獲得上述效果，在將發光管1的內徑設為H，將氣體 導入部的內徑設為G時，優選滿足0.1IKGO.8H的關係。通過使氣體 導入部的內徑G在該範圍內，可避免氣體導入部31的閉塞部35因蓄 積紫外線失真而損壞。以下，對本發明的準分子燈的其他實施方式進行說明。圖5至圖 S是將本發明的準分子燈的其他實施方式的主要部分放大表示的剖視 圖。另外，對於圖5至圖8所示的方式的說明，在與圖1至圖4相同 的部分標以相同的標號而省略說明。圖5所示的準分子燈50，除了發光管1的內壁面以外，還在氣體 導入部31的內壁面、凸緣部32與氣密空間S接觸的表面、及該表面 的周邊形成有由二氧化矽粒子構成的紫外線保護膜51。紫外線保護膜 51由與紫外線散射反射膜4相同的物質構成。上述紫外線保護膜51是 在上述(c)工序之後經由氣體導入部31前端側的開口 34流入用於形 成紫外線保護膜的溶液而形成。另外，紫外線保護膜也可以在將密封
部件3焊著到發光管的內壁之前預先形成。如上所述，在密封部件3的氣體導入部31的內表面形成有紫外線 保護膜51，並且構成紫外線保護膜51的二氧化矽的折射率比構成氣體 導入部31的石英玻璃的折射率大，從而可以獲得如下效果。即，在發 光管1的上方側壁面11及下方側壁面12的內部傳導並根據纖維效應 而向發光管的管軸方向傳播的光，在氣體導入部31與紫外線保護膜51 的邊界面不會向氣體導入部31側全部反射，而是由紫外線保護膜51 吸收，因此根據光纖效應向閉塞部35傳播的光量減少。從而，在閉塞 部35蓄積的紫外線失真的總量減少，因而可防止閉塞部35破損。圖6所示的準分子燈60從圖5所示的準分子燈改良而得，氣體導 入部61包括軸方向部61A，沿著管軸延伸且基端側與凸緣部62連 續；垂直方向部61B，從軸方向部61A彎曲而向與管軸正交的方向延 伸；以及軸方向部61C，從垂直方向部61B彎曲而向軸方向延伸，且 在位於前端側的軸方向部61C的前端側形成有閉塞部61D。即，若以圖3所示結構為參考，對圖6的準分子燈使用的密封部 件6進行說明，則包括成為凸緣部的玻璃板，在從中心部稍微偏離 的位置具有開口；和成為導入部的筒狀玻璃管，具有從垂直方向部的兩端彎曲而向與垂直方向部正交的方向延伸的一對軸方向部，且在玻 璃板的開口邊緣焊著玻璃管基端側的軸方向部而構成。在圖6所示的準分子燈60中，在一對軸方向部61A、 61C的內表 面和垂直方向部61B的內表面的整個區域、凸緣部62與氣密空間S接 觸的表面、及該表面的周邊，形成有由二氧化矽粒子構成的紫外線保 護膜51。根據該圖6所示的準分子燈60，朝向管軸方向的強度高的紫 外線入射到氣體導入部61中位於前端側的軸方向部61C的比例進一步 減少，因而在前端側的軸方向部61C處形成的閉塞部61D上蓄積的紫 外線失真的總量進一步減少，因此不必擔心氣體導入部61損傷。
圖7所示的準分子燈70具有密封部件7的凸緣部72與氣密空間 S接觸的表面72A形成為錐形的結構。即，在以包含管軸的平面切斷 圖7所示準分子燈70的剖面中，凸緣部72的管軸方向厚度隨著從外 周邊緣部向管軸靠近而逐漸減小，與放電空間接觸的表面72A傾斜為 錐形。在凸緣部72與氣密空間S接觸的表面周邊和氣體導入部71的內 表面，形成有由二氧化矽粒子構成的紫外線保護膜51，用於吸收發光 管內的氣密空間中向管軸方向放射的高強度的紫外線。如上所述，通 過使凸緣部72與氣密空間S接觸的表面72A傾斜為錐形，從而和如上 述所述的凸緣部與氣密空間S接觸的表面正交於發光管壁面的結構(例 如圖5所示的結構)相比，可使在凸緣部72與氣密空間S接觸的表面 72A上形成的紫外線保護膜51的厚度均勻。從而，在凸緣部72與氣 密空間S接觸的表面，紫外線保護膜51的厚度不會過厚，可無需剝離 地切實地形成紫外線保護膜51。在圖8所示的準分子燈80中，氣體導入部81具有用於容納吸氣 劑83的吸氣室81B，上述吸氣劑83用於捕捉氧氣。即，氣體導入部 81包括軸方向部81A，位於基端側而與凸緣部82連續；吸氣室81B， 與軸方向部81A的前端側連續而內徑大於軸方向部81A;以及軸方向 部81C，與吸氣室81B的前端側連續而內徑小於吸氣室81B，並且通 過閉塞位於吸氣室81B前端側的軸方向部81C的前端側而形成閉塞部 81D。在吸氣室81B內配置有吸氣劑83，用於吸收發光管1的氣密空間 S內殘留的氧氣。吸氣劑83例如由Ba (鋇)等物質構成。如上所述， 在圖8所示的準分子燈80中，通過在氣體導入部81中設置的吸氣室 81B內配置有吸氣劑83，由吸氣劑83切實地吸收點亮時從發光管1的 內壁面11 14向氣密空間S內放出的氧氣，因而可防止發光效率下降。
並且，設置在氣體導入部81的吸氣室81B，未配置在形成準分子 放電的區域X、即發光管1內的氣密空間S中由外部電極2A與外部電 極2B相夾的區域，因此不會由吸氣室81B遮擋從發光管1內產生的準 分子放電放射的紫外線，從而向發光管1的外方放射的紫外線強度不 會降低。本發明的準分子燈並不限於上述實施方式，也可以進行各種變更。 例如發光管可以是沒有圓角的方筒狀或圓筒狀，電極的形狀也可以根 據需要適當變更。
權利要求
1. 一種準分子燈的製造方法，其特徵在於，至少包括以下工序(1)形成密封部件，該密封部件包括用於導入放電用氣體的氣體導入部和與氣體導入部連續而向氣體導入部的直徑方向擴展的凸緣部；(2)在發光管的內部配置上述密封部件，並且將凸緣部的外周邊緣焊著到發光管的管壁；以及(3)經由上述氣體導入部向上述發光管的內部導入放電氣體，並且密封氣體導入部的一端而在發光管的內部形成氣密空間。
2. —種準分子燈，在填充有放電用氣體的由電介質構成的發光管 的外表面，夾著發光管的管壁而相對地設置有一對外部電極，其特徵 在於，在上述發光管的內部，具有與氣體導入部一體形成的凸緣部的密 封部件其凸緣部的外周邊緣在整個圓周方向上焊著而固定到發光管的 管壁，從而形成由密封部件和發光管的管壁隔開的氣密空間，上述氣 體導入部向發光管的管軸方向延伸且發光管的管軸方向的外端面側的 端部被密封，上述凸緣部向氣體導入部的直徑方向擴展。
3. 如權利要求2所述的準分子燈，其特徵在於， 在上述發光管的內表面形成有紫外線反射膜，該紫外線反射膜由至少含有二氧化矽粒子的紫外線散射粒子形成。
4. 如權利要求3所述的準分子燈，其特徵在於， 在上述氣體導入部的內表面形成有保護膜，該保護膜由具有與上述紫外線反射膜相同組成的材料構成。
5. 如權利要求2所述的準分子燈，其特徵在於， 在上述氣體導入部的內部配置有吸氣劑，用於捕捉殘留在上述發 光管內的氧氣。
6.如權利要求2所述的準分子燈，其特徵在於， 上述凸緣部與上述氣密空間接觸的表面傾斜為，發光管的管軸方 向的厚度隨著從發光管的管壁向發光管的管軸靠近而逐漸減小。
全文摘要
本發明的目的在於提供一種準分子燈的製造方法及能夠高水準地維持發光管的紫外光透過率的準分子燈，上述準分子燈的製造方法能夠使準分子燈不會因發光管構成材料附著於發光管內表面而降低發光管的紫外光透過率。本發明的準分子燈，在填充有放電用氣體的由電解質構成的發光管的外表面，夾著發光管的管壁而相對地設置有一對外部電極，其特徵在於，在發光管的內部，包括氣體導入部和凸緣部的密封部件的凸緣部的外周邊緣在整個圓周方向上焊著而固定到發光管的管壁，從而形成由密封部件和發光管的管壁隔開的氣密空間，氣體導入部的一端被密封而另一端開口，且一端向發光管的管軸方向的外端延伸，凸緣部與氣體導入部連續而向氣體導入部的直徑方向擴展。
文檔編號H01J9/00GK101393839SQ20081016171
公開日2009年3月25日 申請日期2008年9月22日 優先權日2007年9月20日
發明者川口真孝, 竹添法隆, 遠藤真一 申請人:優志旺電機株式會社