真空設備的視窗遮罩裝置的製作方法
2023-05-15 19:28:01
專利名稱：真空設備的視窗遮罩裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種遮罩裝置，特別是指一種真空設備的視窗遮罩 裝置。
背景技術：
目前，最廣泛用來製備薄膜的方法，當屬真空鍍膜技術。而真空鍍 膜的技術原理是指，在一真空腔體中，透過電阻、電漿、電弧、電子束、 離子束、雷射等加熱方式，將4度膜材料予以氣化成分子或原子，並沉積、 附著於目標基板表面上以形成薄膜。
通常，該真空腔體上是設置有透明觀察窗的結構設計，主要是便於 供操作人員透過該觀察窗，以隨時注意、掌控與觀察該真空腔體內部的
鍍膜狀況與種種物理現象，例如電漿是否點燃、電漿型態與顏色等。 不過，於鍍膜過程中，所產生的鍍膜材料分子或原子、其他雜質等游離 物，部分可能會附著於該真空腔體的內壁面，甚至是觀察窗表面，可想 而知地， 一旦該觀察窗表面積附汙垢而影響其視野清晰度時，操作人員 便無法清楚、準確地觀察到該真空設備內部的鍍膜狀況，以嚴密監控鍍 膜製程的正常進行，相對造成薄膜品質良率的難以確定性。
發明內容
本實用新型的目的在於提供一種能有效維持一真空設備的觀察窗潔 淨，以有助於準確觀察與嚴密監控制程進度的真空設備的視窗遮罩裝置。
本實用新型的真空設備的視窗遮罩裝置，該真空設備具有一個腔體， 以及一面設置於該腔體上的觀察窗。該視窗遮罩裝置包含一個固定軸座、 一個旋轉控制件以及一面遮罩件。該固定軸座貫穿並固定於該腔體上； 該旋轉控制件可轉動地自該腔體外部軸穿過該固定軸座並突伸置入該腔
3體內部中；該遮罩件能面對該觀察窗並位於該腔體內部，且固4妻該旋轉 控制件於該腔體內部中的一端部。本實用新型的有益效果在於，在不觀察該腔體內部狀況時，能利用 該旋轉控制件，控制該遮罩件遮蔽該觀察窗，使該觀察窗能避免被汙物 附著而得維持潔淨，以有助準確觀察與嚴密監控制程進度與狀態。
圖l是一組合剖視圖，說明本實用新型真空設備的視窗遮罩裝置的一 優選實施例、 一腔體與一觀察窗間的結構關係；圖2是一示意圖，說明該優選實施例的一遮罩件偏離該觀察窗； 圖3是一示意圖，說明該優選實施例的該遮罩件遮蔽該觀察窗。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明如圖1所示，為本實用新型真空設備的視窗遮罩裝置2的優選實施 例，該真空設備l是一電漿濺鍍系統(當然也可以是熱蒸鍍系統)，並具 有一腔體11、以及一設置於該腔體11上且用以觀察該腔體11內部的透 明玻璃制觀察窗12。有關電漿濺鍍(或熱蒸鍍)成膜的技術原理與其他設 備，是該技術領域中具有通常知識的人所熟知的，也與本實用新型的技 術特徵不相關，不再詳述。該真空設備的視窗遮罩裝置2包含一貫穿固定於該腔體11上且鄰近 該觀察窗12下緣的固定軸座21、 一可可轉動地自該腔體11外部軸穿過 該固定軸座21並突伸入該腔體11內部的旋轉控制件22、以及一能面對 該觀察窗12並位於該腔體11內部的遮罩件23。該固定軸座21具有一貫穿固定於該腔體11上且其相反兩開》文端部 分別突伸於該腔體ll內、外部的橫T型筒狀座本體211、 一鎖固於該座 本體211位於該腔體11外部的一開放端部外周面上且迫緊該腔體11的 外壁面的固定組212、多個軸向排列、塞置於該座本體211中的環狀墊片 213、以及一套設於該座本體211並位於該腔體11內部的另一開放端部外周面上的氣密環216。其中，該座本體211位於該腔體11內部的該開 放端部是迫緊於該腔體11的內壁面上，所以，該氣密環216是夾墊於該 座本體211的該開》文端部與該腔體11的內壁面間。本實施例中，部分墊 片213是金屬滑絲，而部分墊片213與該氣密環216皆是O型環。再者，該固定組212具有一螺設於該座本體211突伸於該腔體11外 部的該開放端部外周面上的螺帽214，以及一套i殳於該座本體211的該開 -故端部外周面上且緊密夾墊於該螺帽214與該腔體11的外壁面間的環封 215。本實施例中，該環封215為一金屬墊片。該旋轉控制件22具有一可繞自身軸線旋轉地自該腔體11外部軸穿 過該固定軸座21的座本體211並突伸入該腔體11內部中的軸杆221、以 及一套固於該軸杆221突伸於該腔體11外部的一端部上的旋鈕222。該 軸杆221軸穿於該座本體211中的部位能供該多個墊片213串套，該旋 鈕222則能供旋扭施力以帶動該軸杆221整體轉動。該遮罩件23具有一面對該腔體11的內壁面的罩板本體231、以及一 其相反兩端部分別固接該罩板本體231與該軸杆221突伸於該腔體11內 部中的相反另一端部的擺臂232，其中，該擺臂232是與該軸杆211的該 端部呈垂直連結關係。因此，隨著該旋轉控制件22的旋動，能帶動該遮 罩件23整體以該軸杆221的該端部為支點地相對該腔體11的內壁面進 行擺動。如圖2所示，當該旋轉控制件22控制該遮罩件23的罩板本體231 向下傾擺，而偏離該觀察窗12時，該觀察窗12就不受遮蔽。如圖3所示，相反地，當該旋轉控制件22控制該遮罩件23的罩板 本體231向上翻轉，而面對該觀察窗12時，該觀察窗12便受到遮蔽。因此，在真空濺鍍過程中，操作人員能透過施力於該旋轉控制件 22的旋鈕222，以控制該遮罩件23的位置。例如，當4喿作人員欲觀察該 腔體ll內部時，便能旋動該旋鈕222，使該遮罩件23偏離該觀察窗12, 隨而經由該觀察窗12監控鍍膜狀況；而當操作人員完成觀察後，就可旋 動該旋鈕222,使該遮罩件23重新遮蔽住該觀察窗12,便能防止該腔體 11內部的游離物質等附著於該觀察窗12內面上，用以使該觀察窗12能長時間地維持在潔淨、無汙染狀態，有助於操作人員精確觀察鍍膜現象、 嚴密監控濺鍍製程進度，進而確保薄膜品質。歸納上述，本實用新型的真空設備的視窗遮罩裝置2,整體能達到有 效維持觀察窗12的潔淨狀態，有助操作人員準確觀察與嚴密監控鍍膜進 度與狀態的效果，所以，確實能達到本實用新型的目的。
權利要求1.一種真空設備的視窗遮罩裝置，該真空設備具有一個腔體以及一面設置於該腔體上的觀察窗，該視窗遮罩裝置包含一面能對該觀察窗產生遮蔽作用的遮罩件，其特徵在於還包含一個貫穿並固定在該腔體上的固定軸座、以及一個可轉動地自該腔體外部軸穿過該固定軸座並突伸置入該腔體內部中的旋轉控制件，該遮罩件能面對該觀察窗並位於該腔體內部，且固接該旋轉控制件於該腔體內部中的一端部。
2. 根據權利要求1所述真空設備的視窗遮罩裝置，其特徵在於該遮 罩件具有一塊罩板本體、及一其相反兩端部分別固接該罩板本體與該旋 轉控制件的該端部的擺臂。
3. 根據權利要求2所述真空設備的視窗遮罩裝置，其特徵在於該旋 轉控制件具有一根自該腔體外部軸穿過該固定軸座並突伸入該腔體內部 中的軸杆、以及一個套設於該軸杆位於該腔體外部的一端部上的旋鈕， 該遮罩件的擺臂是固接該軸杆位於該腔體內部中的相反另一端部。
4. 根據權利要求3所述真空設備的視窗遮罩裝置，其特徵在於該固 定軸座具有一個緊迫該腔體的內壁面地貫穿並固定在該腔體上且供該旋 轉控制件的軸杆穿置的橫T型座本體、 一個鎖設於該座本體突伸出該腔 體外的一端部周面上且迫緊設置在該腔體的外壁面的固定組、以及多塊 容置於該座本體中且套設於該旋轉控制件的軸杆上的墊片。
5. 根據權利要求4所述真空設備的視窗遮罩裝置，其特徵在於該固 定軸座還具有一個夾設於該座本體位於該腔體內部的另 一端部與該腔體 的內壁面間的氣密環。
6. 根據權利要求5所述真空設備的視窗遮罩裝置，其特徵在於該固 定軸座的該固定組具有一個與該座本體位於該腔體外部的該端部周面相 鎖組的螺帽，以及一個套設於該座本體的該端部周面且夾設於該螺帽與 該腔體的外壁面間的環封。
專利摘要一種真空設備的視窗遮罩裝置，包含一個貫穿並固定於該真空設備的一腔體上的固定軸座、一個可轉動地自該腔體外部軸穿過該固定軸座並突伸入該腔體內部中的旋轉控制件、以及一面能面對該真空設備的觀察窗並位於該腔體內部的遮罩件。該遮罩件是固接該旋轉控制件於該腔體內部中的一端部，並能以其為支點地相對該腔體的內壁面進行擺動，而對該觀察窗產生遮蔽作用。本實用新型整體能達到有效維持觀察窗的潔淨，以有助準確觀察與嚴密監控制程進度與狀態的效果。
文檔編號B01J3/00GK201164800SQ20082000185
公開日2008年12月17日 申請日期2008年1月17日 優先權日2008年1月17日
發明者許三益, 鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司