一種光掩膜烘烤板架的製作方法
2023-05-08 00:41:41
專利名稱:一種光掩膜烘烤板架的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括：底座；旋轉裝置，所述旋轉裝置將所述底座固定於烘烤設備底部，並通過所述旋轉裝置實現所述底座的旋轉；支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及 加熱板，固定於所述支架的傾斜面板上。本實用新型由於採用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉動託架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
【專利說明】一種光掩膜供烤板架
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體生產設備，特別是涉及一種光掩膜烘烤板架。
【背景技術】
[0002]設計與工藝製造之間的接口是版圖。版圖是一組相互套合的圖形，各層版圖相應於不同的工藝步驟，每一層版圖用不同的圖案來表示。版圖與所採用的製備工藝緊密相關。在計算機及其超大規模集成電路(Very Large Scale INTEGRATED Circuits，VLSI)設計系統上設計完成的集成電路版圖只是一些圖像和數據，當將設計結果送到工藝線上實驗時，還必須經過一個重要的中間環節，即製版。
[0003]製版是通過圖形發生器完成圖形的縮小和重複。在設計完成集成電路的版圖以後，設計者得到的是一組標準的製版數據，將這組數據傳送給圖形發生器(一種製版設備)，圖形發生器(Pattern Generator, PG)根據數據，將設計的版圖結果分層轉移到光掩膜上。製版的目的就是產生一套分層的版圖掩膜，為將來進行圖形轉移(即光刻)做準備。
[0004]光掩膜(Photo Mask)包含了整個矽片的晶片圖形特徵，其質量的高低直接影響著半導體產品的最終性能，因此，在生產過程中，必須保證光刻光掩膜的質量。
[0005]隨著新型光刻膠的使用，對曝光後烘烤的溫度均勻性要求很高。在傳統的熱風型烘箱內，光掩模烘烤板架一般包括平行於熱風出口的兩根固定軸，光掩膜則由這兩根進行固定，使光掩膜具有圖案的一面面向熱風出口，以便於烘烤。
[0006]然而，這種針對熱風型烘烤箱的烘烤架，在實際的使用過程中，不能完全滿足整塊掩模版的溫度均勻性要求。
[0007]鑑於以上所述，提供一種能有效提高光掩膜溫度均勻性的新型烘烤板架實屬必要。
實用新型內容
[0008]鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種光掩膜烘烤板架，用於解決現有技術中針對熱風型烘烤箱的烘烤架，在實際的使用過程中，不能滿足整塊掩模板的溫度均勻性要求的問題。
[0009]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0010]底座；
[0011]旋轉裝置，所述旋轉裝置將所述底座固定於烘烤設備底部，並通過所述旋轉裝置實現所述底座的旋轉；
[0012]支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及
[0013]加熱板，固定於所述支架的傾斜面板上。
[0014]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優選方案，所述支架包括支撐板及傾斜面板，且所述支撐板、傾斜面板及底座間形成三角固定結構。
[0015]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優選方案，所述旋轉裝置的旋轉角度範圍為30?90度。
[0016]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優選方案，所述加熱板兩側設置有固定件，所述加熱板以夾持的方式固定於所述傾斜面板。
[0017]進一步地，所述固定件上設置有把手，通過該把手實現所述底座的旋轉。
[0018]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優選方案，所述加熱板的形狀為矩形。
[0019]進一步地，所述加熱板的兩側設置有凹槽，以便於採用夾具實現光掩膜的放置及取出。
[0020]作為本實用新型的光掩膜烘烤板架的一種優選方案，所述加熱板為不鏽鋼板。
[0021]如上所述，本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座；旋轉裝置，所述旋轉裝置將所述底座固定於烘烤設備底部，並通過所述旋轉裝置實現所述底座的旋轉；支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及加熱板，固定於所述支架的傾斜面板上。本實用新型由於採用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉動託架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
【附圖說明】
[0022]圖1顯示為本實用新型的光掩膜烘烤板架的主視結構示意圖。
[0023]圖2顯示為本實用新型的光掩膜烘烤板架的下視結構示意圖。
[0024]元件標號說明
[0025]10底座
[0026]50旋轉裝置
[0027]20支架
[0028]201 支撐板
[0029]202 傾斜面板
[0030]30加熱板
[0031]40固定件
[0032]401把手
【具體實施方式】
[0033]以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基於不同觀點與應用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0034]請參閱圖1?圖2。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新型的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型中有關的組件而非按照實際實施時的組件數目、形狀及尺寸繪製，其實際實施時各組件的型態、數量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態也可能更為複雜。
[0035]如圖1?圖2所示，本實施例提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:
[0036]底座10 ；
[0037]旋轉裝置50，所述旋轉裝置50將所述底座10固定於烘烤設備底部，並通過所述旋轉裝置50實現所述底座10的旋轉；
[0038]支架20，至少包括一與所述底座10固定連接的傾斜面板202 ;以及
[0039]加熱板30，固定於所述支架20的傾斜面板202上。
[0040]所述底座10可以採用如不鏽鋼、陶瓷等耐熱材質的剛性材料製成，所述底座10的形狀可以為如十字形、矩形、圓形等形狀，且不限於此處所列舉的幾種示例。
[0041]如圖2所示，所述選裝裝置可以與所述烘烤設備固定連接，也可以直接放置於所述烘烤設備底部，所述選裝裝置的可旋轉角度範圍為30?90度。在本實施例中，所述旋轉裝置50的旋轉角度為45度。
[0042]如圖1所示，所述支架20包括支撐板201及傾斜面板202，且所述支撐板201、傾斜面板202及底座10間形成三角固定結構。所述支架20的材質可以採用如不鏽鋼板等剛性材料製成，其與地板的連接可以採用焊接或者採用螺絲等連接件進行連接。
[0043]如圖1所示，所述加熱板30兩側設置有固定件40，所述加熱板30以夾持的方式固定於所述傾斜面板202。作為示例，所述固定件40上設置有把手401，通過該把手401實現所述底座10的旋轉。
[0044]作為示例，所述加熱板30為不鏽鋼板，所述加熱板30的形狀為矩形。進一步地，所述加熱板30的兩側設置有凹槽，以便於採用夾具實現光掩膜的放置及取出。所述加熱板30作為預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。
[0045]本實施例的光掩膜烘烤板架的使用步驟如下:
[0046]第一步，通過所述把手401和旋轉裝置50將所述加熱板30旋轉至朝向烘烤箱一面(如與所述烘烤箱一面呈45度角)後，通過專用夾具將光掩膜放置於所述加熱板30上，放置時注意夾具與加熱板30兩側的凹槽相對應，以便於放置，當然，放置前可以先對所述加熱板30進行預熱，以提高加熱的均勻性；另外，如果先進性了預熱，可以採用如小棍等工具插入所述把手401的孔內，再進行旋轉，以免燙傷。
[0047]第二步，光掩膜放置完成後，通過所述把手401及選裝裝置將所述加熱板30旋轉至朝向烘烤箱的出風口一面，以提高加熱的效率。
[0048]第三步，烘烤完成後，如第一步的操作將所述光掩膜取出。
[0049]可見，本實用新型由於採用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉動託架，保證了光掩膜裝卸的便利性。
[0050]如上所述，本實用新型提供一種光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括:底座10 ;旋轉裝置50，所述旋轉裝置50將所述底座10固定於烘烤設備底部，並通過所述旋轉裝置50實現所述底座10的旋轉；支架20，至少包括一與所述底座10固定連接的傾斜面板202 ;以及加熱板30，固定於所述支架20的傾斜面板202上。本實用新型由於採用了預熱鋼板，保證了掩模版剛放置時的初期溫度，同時保證了在加熱過程中整片掩模版的均勻受熱。另外，本實用新型設計了轉動託架，保證了光掩膜裝卸的便利性。所以，本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
[0051]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種光掩膜烘烤板架，其特徵在於，所述光掩膜烘烤板架包括: 底座； 旋轉裝置，所述旋轉裝置將所述底座固定於烘烤設備底部，並通過所述旋轉裝置實現所述底座的旋轉； 支架，至少包括一與所述底座固定連接的傾斜面板；以及 加熱板，固定於所述支架的傾斜面板上。2.根據權利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述支架包括支撐板及傾斜面板，且所述支撐板、傾斜面板及底座間形成三角固定結構。3.根據權利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述旋轉裝置的旋轉角度範圍為30?90度。4.根據權利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述加熱板兩側設置有固定件，所述加熱板以夾持的方式固定於所述傾斜面板。5.根據權利要求4所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述固定件上設置有把手，通過該把手實現所述底座的旋轉。6.根據權利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述加熱板的形狀為矩形。7.根據權利要求6所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述加熱板的兩側設置有凹槽，以便於採用夾具實現光掩膜的放置及取出。8.根據權利要求1所述的光掩膜烘烤板架，其特徵在於:所述加熱板為不鏽鋼板。
【文檔編號】G03F1-82GK204270008SQ201420761811
【發明者】李勇, 鄭宏 [申請人]上海凸版光掩模有限公司