一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置的製作方法

2023-05-08 04:19:26

專利名稱：一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及藍寶石晶體生長爐的加工製造，尤其是一種藍寶石晶體生長爐漏爐報
I=I --vC 目.°
背景技術：
當前，藍寶石晶體生長爐普遍採用雙層水冷外殼作為爐殼，內加裝隔熱屏，隔熱屏內放置發熱體和鎢坩堝，因工作溫度高，可達1500-2200攝氏度，普通的材料難以承受這麼高的溫度，故普遍採用鎢鑰材料作為晶體生長爐的熱場材料，在晶體生長爐內，鎢坩堝是盛裝原料的容器，普遍採用粉末冶金壓製成型，通過燒結達到使用的條件的。雖說此種工藝加工的坩堝性能可靠，但也有一定的使用壽命，並且在晶體生長爐的使用過程中，會有人為的因素導致鎢坩堝損壞，甚至開裂，熔融態的氧化鋁的洩露甚至會引起燒穿晶體生長爐外殼， 接觸液態的水後發生爆炸事故，而目前晶體生長爐無論是俄羅斯的爐型還是美國的爐型均缺少必要的漏爐報警裝置。傳統的真空設備漏爐報警裝置有兩種較為常用熔斷報警和短路報警。對於藍寶石晶體生長爐來說，氧化鋁的溫度遠遠低於坩堝周圍熱場的溫度，熔斷報警並不實用；而氧化鋁導電性能差，並且受爐內揮發物的影響，短路報警也不是理想的選擇。故使用傳統的報警方式並不能保證藍寶石晶體生長的安全防護。

發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置，用於提高設備的安全防護能力。為解決上述技術問題，本發明的技術方案為一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置，包括盛料槽，盛料槽支柱，壓力傳感器和數據信號線，其特徵在於，所述盛料槽置於下隔熱屏之上，發熱體之下，是一種邊緣帶槽的盛裝洩漏氧化鋁的圓形容器，內徑不小於坩堝外徑和下發熱體的淨長度，所述盛料槽通過盛料槽支柱支撐於下爐蓋上，所述壓力傳感器置於下爐蓋和盛料槽支柱之間，位於下隔熱屏的下部，通過數據信號線將重量信號送入設備工控計算機。上述一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置，其特徵在於，所述盛料槽支柱採用鎢，鑰，鉭，銀及其合金共五種材料中的其中一種加工而成，為一金屬棒，直徑2mm至20mm。本發明的優點在於使藍寶石晶體生長爐的安全防護能力進一步升級，大大提高了設備的使用壽命和操作人員的安全保護。


下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步詳細的說明。圖I是藍寶石晶體生長爐整體示意圖。圖2是盛料槽不意圖。
具體實施例方式圖I和圖2所示，藍寶石晶體生長爐包括晶體生長爐1，鎢坩堝2，坩堝支架3，下隔熱屏4，下發熱體5，盛料槽6，下爐蓋7和升降機構8。藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置包括盛料槽6，盛料槽支柱9，壓力傳感器11和數據信號線10。盛料槽6置於下隔熱屏4之上，下發熱體5之下，是一邊緣帶槽的盛裝洩漏氧化鋁的圓形容器，內徑大於鎢坩堝外徑和下發熱體淨長度，盛料槽6通過三根盛料槽支柱9支撐於下爐蓋7上，盛料槽支柱9採用鉭棒加工而成，直徑10mm。三個壓力傳感器11置於下爐蓋7和盛料槽支柱9之間，置於下隔熱屏4下部，通過數據信號線10通向爐殼外部和工控計算機連接，將重量信號送入設備工控計算機。鎢坩堝2發生洩漏時，液體氧化鋁會流入盛料槽6中，當三個壓力傳感器11任何一個測出的重量在500g至2kg時，即觸發晶體生長爐I漏爐報警，系統自動切斷加熱電源，自動運行緊急停爐程序，警示燈和蜂鳴器同時報警，通知操作人員撤離現場。·
權利要求
1.一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置，包括盛料槽，盛料槽支柱，壓力傳感器和數據信號線，其特徵在於，所述盛料槽置於下隔熱屏之上，發熱體之下，是一種邊緣帶槽的盛裝洩漏氧化鋁的圓形容器，內徑不小於坩堝外徑和下發熱體的淨長度，所述盛料槽通過盛料槽支柱支撐於下爐蓋上，所述壓力傳感器置於下爐蓋和盛料槽支柱之間，位於下隔熱屏的下部，通過數據信號線將重量信號送入設備工控計算機。
2.根據權利要求I所述的一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置，其特徵在於，所述盛料槽支柱米用鶴，鑰，鉭，銀及其合金共五種材料中的其中一種加工而成，為一金屬棒，直徑2mm 至 20mmo
全文摘要
本發明公開了一種藍寶石晶體生長爐漏爐報警裝置，包括盛料槽，盛料槽支柱，壓力傳感器和數據信號線。本實用發明使藍寶石晶體生長爐的安全防護能力進一步升級，大大提高了設備的使用壽命和操作人員的安全保護。
文檔編號C30B35/00GK102953125SQ20121045800
公開日2013年3月6日 申請日期2012年11月14日 優先權日2012年11月14日
發明者滑喜寶 申請人:吳江億泰真空設備科技有限公司