用於傳輸半導體設備的工具的製作方法

2023-05-08 12:07:16

專利名稱：用於傳輸半導體設備的工具的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種傳輸工具，而且更具體地，涉及一種用於傳輸能 夠拾取待傳輸物體的半導體設備(例如用於傳輸的半導體設備)的工 具。
背景技術：
通常地，經歷封裝過程的半導體設備必須要經歷如電氣特性試驗 和老化測試的各種試驗來測試抗外熱的可靠性。根據所述測試的結 果，將所述半導體設備分揀為好的和壞的。為了測試或分揀過程，將 所述半導體設備加載到每個託盤和/或託板上，而且順序傳輸所述託 盤。
拾取加載到每個託盤和/或託板上的半導體設備，以通過傳輸工 具傳輸到測試裝置的如託座、託盤或託板等上，從而用於測試或分揀。
傳統的用於傳輸的工具包括支撐託架，以及一個或多個安裝在所 述支撐託架上的拾取器，和位於其端部的吸頭，所述吸頭用於通過形 成真空壓力吸取半導體設備的上表面。
所述拾取器在一行內的數量配置為兩個、四個，八個等，因而一 次性傳輸多個半導體設備。
然而，用於半導體設備的測試或分揀裝置，具有安裝於其上、用 於傳輸的工具，所述裝置根據待傳輸半導體設備的數量具有不同的測 試或分揀速度。因此，所述用於傳輸的工具必須被配置為傳輸儘可能 多的半導體設備
發明內容
技術問題
因此，本發明的一個目的是提供一種能夠通過提供布置於多行的拾取器來一次傳輸多個半導體設備的用於傳輸半導體設備的工具。
本發明的另一目的是提供一種能夠在水平方向和垂直方向中的至少 一個方向上控制排列於多行的拾取器之間的間隔的用於傳輸半導體設備的工具。技術方案
為了達到這些目的，提供一種用於傳輸半導體設備的工具，包括:
可移動地安裝在傳輸工具導引件上的支撐託架；以及安裝於所述支撐託架上的多行拾取器，用於拾取半導體設備。
所述支撐託架包括安裝於所述傳輸工具導引件上的第一支撐託架；以及多個連接於所述第一支撐託架，且具有安裝在一行、其間具有間隔的所述拾取器的第二支撐託架。
所述第二支撐託架具有安裝在一行、其間具有間隔的所述拾取器，而且還可以設置有用於控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。
所述水平間隔控制器可以包括所述拾取器分別連接於其上的多個支撐構件；以及具有用於將所述支撐構件連接於彼此從而控制所述支撐構件之間間隔的連接結構的連接單元。
所述水平間隔控制器可以包括所述拾取器分別連接於其上的多個支撐構件；分別連接到所述支撐構件的多個連接銷；以及具有用於插入所述多個連接銷的多個溝槽的驅動板，其用於通過在上下方向移動所述支撐構件來控制所述支撐構件之間的間隔。
還可以包括垂直間隔控制器，以便控制所述第二支撐託架之間的間隔，使得所述拾取器之間的垂直距離能夠得以控制。
所述第二支撐託架在數量上配置為一對。所述垂直間隔控制器可以包括間隔控制軸，其螺紋連接到所述第二支撐託架上使得所述第二支撐託架可以在旋轉時沿不同方向移動；以及安裝在所述第一支撐託架上的驅動單元，用於旋轉所述間隔控制軸。
5所述垂直間隔控制器可以包括分別安裝於所述第二支撐託架上 的導引構件；可旋轉地安裝於所述第一支撐託架上的凸輪構件，而且 具有用於分別插入所述導引構件的導引凹槽，用於通過控制所述導引
構件之間的間隔來控制所述第二支撐託架之間的間隔；以及用於旋轉
所述凸輪構件的旋轉驅動單元。
所述垂直間隔控制器可以包括拉力構件，其安裝為使得所述第二
支撐託架可以通過拉力彼此連接；可旋轉地安裝於所述第一支撐託架 的凸輪構件，用於通過旋轉控制所述第二支撐託架之間的間隔；以及 用於旋轉所述凸輪構件的旋轉驅動單元。
所述垂直間隔控制器可以包括拉力構件，其安裝為使得所述第二 支撐託架可以通過拉力彼此連接；以及插入到所述第二支撐託架之間 的插入構件，用於控制所述第二支撐託架之間的間隔。
所述拾取器可以安裝在彼此相鄰的所述第二支撐託架的相向表 面上。 有益效果
在根據本發明的用於傳輸半導體設備的工具中，由於拾取器布置 為多排，可以一次傳輸儘可能多的半導體設備。
在根據本發明的用於傳輸半導體設備的工具中，由於所述半導體 設備以多排傳輸，所傳輸的相同數量的半導體設備的整個長度可以縮 短。
在根據本發明的用於傳輸半導體設備的工具中，由於所述半導體 設備以多排傳輸，可以通過自覺檢眼器拍照的半導體設備的數量可以 增加，所述自覺檢眼器用於通過為半導體設備的每個表面拍照來測試 多個半導體設備。
在根據本發明的用於傳輸半導體設備的工具中，由於布置為多排 的所述拾取器之間的間隔可在水平方向和垂直方向中的至少一個方 向上得到控制，因此所述半導體設備之間的間隔可以得到合適的控
6制。


圖1是根據本發明的用於傳輸半導體設備的工具適用的半導體
設備測試機的示意圖2是圖1中半導體設備測試機中的用於傳輸半導體設備的工具 的示意圖3是示出了圖2中用於傳輸半導體設備的工具的一個實施例的 透視圖4是圖3中用於傳輸半導體設備的工具的平面圖5和6是示出了圖3中用於傳輸半導體設備的工具的垂直間隔
控制器的一個實施例的平面圖7是圖3中的用於傳輸半導體設備的工具的側面圖8和9是示出了圖3中用於傳輸半導體設備的工具的垂直間隔 控制器的另一個實施例的平面圖10和11是示出了圖3中用於傳輸半導體設備的工具的垂直間 隔控制器的再一個實施例的平面圖12和13是示出了圖3中用於傳輸半導體設備的工具的垂直間 隔控制器的又一個實施例的平面圖i4和i5是圖4中沿"vn-vn"和"VIII-VIII"線的剖視圖16和17是示出了圖3中用於傳輸半導體設備的工具的水平間 隔控制器的一個實施例的示意圖；以及
圖18是示出了圖3中用於傳輸半導體設備的工具的水平間隔控 制器的另一個實施例的示意圖。
具體實施例方式
下面將參考附圖詳細解釋根據本發明的用於傳輸半導體設備的 工具。
根據本發明的用於傳輸半導體設備的工具700是 一種用於傳輸如半導體設備l的待傳輸物體的裝置。所述用於傳輸半導體設備的工具700安裝在用於分揀所述半導體設備1的分揀機或者用於測試所述半
導體設備l的測試機等上，從而傳輸所述半導體設備l。
如圖1和2所示，示出了所述用於傳輸半導體設備的工具700所適
用的半導體設備檢測裝置，所述半導體設備檢測裝置包括加載單元
100;安裝於所述加載單元100—側的第 一 視覺檢測(vision inspection)單元400，其用於檢測所述半導體設備l的下表面；安裝於所述加載單元100—側的第二視覺檢測單元500,其用於檢測所述半導體設備l的上表面；以及分揀單元300,用於通過第一和第二視覺檢測單元400和500根據檢測結果分揀所述半導體設備1。
所述加載單元100可以具有各種構造。如圖l所示，所述加載單元100可以包括用於導引多個半導體設備1安裝於其上的託盤2的移動的導引單元110;以及用於沿所述導引單元110移動所述託盤2的驅動單元(未示出)。
所述第一視覺檢測單元400安裝於主體10上，且用於通過分析所述各個半導體設備l的下表面的圖像來檢測所述各個半導體設備l的外觀。所述第一視覺檢測單元400包括用於捕捉圖像的圖像捕捉設備，
和用於分析圖像的圖像分析設備。
所述第二視覺檢測單元500可以與所述第一視覺檢測單元400相似的方式配置，但是安裝於所述主體100上，以便捕捉所述各個半導體設備l的上部圖像(upper image )。
所述第二視覺檢測單元500包括安裝於所述託盤2之上的圖像捕捉設備530,所述半導體設備1安裝於所述託盤2上，用於捕捉每個所述半導體設備l的上部圖像。
如圖1所示，為了提高對所述半導體設備l的檢測速度，所述圖像捕捉設備530安裝為可以在所述加載單元100之上沿水平或者垂直方向(X或Y方向)移動，其為所述託盤2的傳輸路徑。用於導引所述圖像捕捉設備530沿X和Y方向移動的導引單元510和540安裝於所述主 體10上。
所述第一視覺檢測單元400和第二視覺檢測單元500檢測所述各 個半導體設備l表面上的外觀狀態或者標記狀態，例如引線或球柵的
損壞，裂縫和劃痕。
所述分揀單元300具有與所述加載單元100相似的構造。而且，所 述分揀單元300可以在數量上配置為多個，使得所述半導體設備可以 分類為好G、壞1或異常1R1，壞2或異常2R2，等等。
每個所述分揀單元300可以包括平行安裝在所述加載單元100的 一側的導引單元310，以及用於沿所述導引單元310移動所述託盤2的 驅動單元(未示出)。
所述託盤2可以通過所述加載單元100和所述分揀單元300之間的 託盤傳輸設備(未示出)來傳輸。所述分揀單元300還可以設置有用 於提供沒有任何半導體設備1安裝於其上的空託盤2的空託盤單元 200。
所述空託盤單元200可以包括平行安裝於所述加載單元100—側 的導引單元210，以及用於沿所述導引單元210移動所述託盤2的驅動 單元(未示出)。
在所述視覺檢測單元400和所述加載單元100之間，以及在所述各 個託盤2之間，所述半導體設備1通過一個或更多個傳輸工具700和620 沿安裝於所述主體10上的傳輸工具導引件601傳輸。
為了提高如所述第一視覺檢測單元400的檢測速度，必須一次傳 輸儘可能多的所述半導體設備l。由於所述半導體設備l是在安裝於所 述託盤2的狀態下傳輸，因此所述傳輸工具700和620必須考慮所述託 盤2的結構而配置。
如圖2所示，用於在所述第一視覺檢測設備400和所述加載單元 100之間傳輸所述半導體設備1的所述傳輸工具700，包括安裝為沿所述傳輸工具導引件601可移動的支撐託架；以及以多排安裝於所述支
撐託架上的拾取器730，用於拾取所述半導體設備l。此處，所述傳輸 工具700可以傳輸所述半導體設備1使得以恆定的速度或恆定的步長 穿過所述第一視覺檢測單元400的攝像設備的視野區域(FOV)。
所述拾取器730用於拾取所述用於傳輸的半導體設備l,而且可以 具有各種配置。每個所述拾取器730可以包括用於在上下方向移動時 通過產生真空壓力吸取和拾取所述半導體設備1的吸頭731。每個所述 吸頭731可以安裝為在上下方向獨立移動。
所述支撐託架可以具有各種配置，使得所述多個拾取器730可以 布置為mxn("m""和""n"表示不小於2的自然數)。如圖3中所示， 所述支撐託架可以包括安裝於所述傳輸工具導引件601上以使得其可 移動的第一支撐託架710;以及連接於所述第一支撐託架710上的多個 第二支撐託架720,所述第二支撐託架720具有以其間的預定間隔安裝 於其上的所述拾取器730。
所述第一支撐託架710安裝為可沿所述傳輸工具導引件601移動， 而且通過另 一傳輸設備傳輸從而移動所述第二支撐託架720。
所述第二支撐託架720安裝為n個，其間具有間隔，而且可以具有 各種配置，使得所述布置為m個的拾取器730可以以其間的間隔安裝 於其上。
此處，所述拾取器730以水平方向安裝於所述第二支撐託架720 上，而且所述第二支撐託架720以垂直方向布置。
如圖4所示，所述第二支撐託架720可以配置為一對。此處，考慮 到該結構，所述拾取器730優選地安裝於所述第二支撐託架720的相向 表面上。
當所述第二支撐託架720以一對安裝於彼此相鄰的所述第二支撐 託架720的相向表面上，所述拾取器730之間的間隔可以被最小化。 安裝於所述託盤2上的所述半導體設備1可以根據待檢測的半導體設備1的種類和製造公司在其間具有不同間隔。當將所述半導體設 備1被傳輸到例如所述第一視覺檢測單元400的檢測模塊時，所述半導 體設備l之間的間隔需要為了檢測而減少或增加。
相應地，所述拾取器730可以配置為使得在水平方向和垂直方向 中的一個方向上，其間的間隔Ph、 Pv可以得到控制，而不是配置為固 定在所述支撐託架上。用於控制所述拾取器730的垂直間隔Pv的垂直 間隔控制器，以及用於控制所述拾取器730的水平間隔Ph的水平間隔 控制器的至少一個可以安裝於所述支撐託架上。
所述垂直間隔控制器可以具有各種配置以使得所述拾取器730之 間的垂直間隔Pv可以得到控制。
當所述第二支撐託架720以一對安裝時，如圖4、圖5和圖6所示， 所述垂直間隔控制器可以包括固定於所述第一支撐託架710上的驅動 馬達761;以及連接到所述驅動馬達761的驅動軸上、並且螺紋連接到 所述一對第二支撐託架720上的間隔控制軸765，用於控制所述第二支 撐託架720之間的間隔。
每個所述第二支撐託架720設置有連接到所述間隔控制軸765上 的連接部分723。而且，所述第二支撐託架720以不同的方式螺紋連接 到所述間隔控制軸765上以使得彼此沿不同方向移動。
更具體地，所述間隔控制軸765設置有在不同方向的螺紋部分， 即，左螺紋部分763和右螺紋部分764。所述第二支撐託架720中的一 個連接到所述左螺紋部分763上，所述第二支撐託架720中的另 一個連 接到所述右螺紋部分764上。
為了連接到所述間隔控制軸765的左螺紋部分763和右螺紋部分 764上，內螺紋部分可以直接形成於所述第二支撐託架720上，或者具 有內螺紋部分的附加構件724可以連接於所述第二支撐託架720。
如圖4和7所示，為了精確控制所述第二支撐託架720之間的垂直 間隔，所述垂直間隔控制器可以具有垂直移動導引單元，所述垂直移
ii動導引單元包括設置於所述第二支撐託架720上側的兩端的第一導引
構件716，用於導引第二支撐託架720的垂直移動；以及連接於所述第 一導引構件716的第二導引構件726，用於導引所述第二支撐託架720 的垂直移動。
所述垂直間隔控制器可以具有除圖4、 5和6所示之外的各種構造， 下面詳細解釋其結構。
如圖8和9所示，所述垂直間隔控制器可以包括具有分別安裝於其 上的所述第二支撐託架720的導引構件729;可旋轉地安裝於所述第一 支撐託架710上、且具有用於分別插入所述導引構件729的導引凹槽 811a的凸輪構件811，其用於通過控制插入到所述導引凹槽811a的導 引構件729之間的間隔來控制所述第二支撐託架720之間的間隔；以及 用於旋轉所述凸輪構件811的旋轉驅動單元(未示出)。
所述導引構件729可以整體安裝於所述第二支撐託架720上，或者 可以安裝為如銷釘的附加構件上。此處，所述第二支撐託架720可以 連接到附加連接構件(未示出)上，以使得所述導引構件729之間的 間隔可以減小。
所述凸輪構件811具有用於插入所述導引構件729的導引凹槽 811a。所述導引凹槽811a通過可旋轉連接於所述第一支撐託架710的 孔、溝槽或盤來實現。
所述導引凹槽811a形成為使得從所述凸輪構件811的旋轉中心減 小其距離，使得當凸輪構件811旋轉時，所述導引構件729之間的間隔 可以得到控制。
儘管未示出，所述旋轉驅動單元可以安裝於所述第一支撐託架 710上。如圖8和9所示，為了增加轉動力，齒輪部分811b可以形成於 所述凸輪構件811的外圓周表面上。而且，可以構造旋轉驅動單元使 得轉動力能夠通過齒輪連接於所述凸輪構件811的所述齒輪部分811b 的驅動齒輪812傳輸。如圖10和11中所示，所述垂直間隔控制器可以包括用於提供拉力
的拉力構件821,其被安裝以使所述第二支撐託架720可以彼此連接； 凸輪構件822可旋轉地安裝於所述第一支撐託架710上，用於通過旋轉 控制所述第二支撐託架720之間的間隔；以及用於旋轉所述凸輪構件 811的旋轉驅動單元(未示出)。
所述拉力構件821配置為用於為所述第二支撐託架720提供拉力。 如彈簧等的彈性構件可以用作所述拉力構件821 。
安裝所述凸輪構件811以使得其凸輪表面可以支撐所述第二支撐 託架720。當所述第二支撐託架720依據所述凸輪表面的每個位置移動 時，所述第二支撐託架720之間的間隔得以控制。
如圖12和13所示，所述垂直間隔控制器可以包括拉力構件831， 其被安裝以使得所述第二支撐託架720可以連接到彼此，並提供拉力； 以及插入到所述第二支撐託架720之間的插入構件832，用於控制所述 第二支撐託架720之間的間隔。
所述拉力構件831構造為使得允許所述第二支撐託架拉向彼此。 如彈簧等彈性構件可以用作為所述拉力構件831 。
所述插入構件831可以具有逐漸尖細的形狀使得能夠通過人工或 者驅動單元容易地插入到插入表面。所述插入構件831可以設置有用 於阻止所述插入構件831與所述插入表面分離的 一個或更多個突出部 832。
向朝向彼此的所述第二支撐託架720延伸的連接構件833也可以 安裝於所述第二支撐託架720，使得所述插入構件832可以容易地插入 到所述第二支撐託架720之間。
接觸構件834安裝於所述連接構件833的端部，並設置有用於插入 所述插入構件832以及所述相鄰接觸構件834的插入表面834a。
參考圖12,當所述插入構件832被插入到所述接觸構件834時，所 述第二支撐託架720之間的間隔增加。相反地，參考圖13,當所述插
13入構件832從所述接觸構件834移出時，所述接觸構件834通過拉力構 件831移升至其間的接觸位置。相應地，所述第二支撐託架720之間的 間隔減小。
所述水平間隔控制器用於控制所述拾取器730之間的水平間隔， 而且可以具有多種構造。如圖14到17所示，所述水平間隔控制器可以 包括具有用於將所述支撐構件732連接到彼此的連接結構的連接單元 751，所述支撐構件具有安裝於其上的拾取器730;以及用於通過驅動 所述連接單元751控制所述支撐構件732之間間隔的驅動單元。
所述連接單元751由多個連接構件751a,以及用於將所述連接構 件751a彼此連接的銷釘751b組成。此處，所述連接單元751通過連接 銷釘752連接到所述支撐構件732。優選地，用於導引所述支撐構件732 移動的導引單元721可以安裝於所述第二支撐託架720上。
所述驅動單元通過移動所述連接單元751或所述支撐構件732順 序移動連接到所述連接單元751的支撐構件732,從而控制如圖14A或 14B所示的所述支撐構件732之間的水平間隔Ph。
所述驅動單元包括固定於所述第二支撐託架720上的驅動馬達 753;可旋轉地安裝於所述第二支撐託架720上、且通過連接到所述驅 動馬達753的驅動軸旋轉的驅動滑輪754;可旋轉地安裝於所述第二支 撐託架720上、且通過帶755連接於所述驅動滑輪754的驅動滑輪756; 以及一個或更多個其一端連接於所述帶755、另 一端連接於所述支撐 構件732中的一個的移動構件757。
此處，所述移動構件757分別連接於布置於其兩端的所述支撐構 件732。而且，所述移動構件757可以設置為一對，使得所述支撐構件 732可以向內或向外移動。所述一對移動構件757連接到所述帶755上
使得其移動方向彼此相反。
所述驅動馬達753可以通過聯軸節758將轉動力傳輸至安裝於所 述相鄰的第二支撐託架720的所述驅動滑輪754。此處，為了通過所述垂直間隔控制器控制所述第二支撐託架720之間的間隔，所述聯軸節
758連接與所述相鄰的驅動滑輪754連接的旋轉軸，以使得所述旋轉軸 之一可沿軸的方向移動。
所述水平間隔控制器可以具有各種構造。如圖18中所示，代替所 述連接單元751，可利用具有特定形狀、用於插入連接到所述支撐構 件732上的多個溝槽759a的驅動板759。
如圖18所示，形成於所述驅動板759上的所述溝槽759a通過垂直 移動來水平移動插入到所述溝槽759a的連接銷釘752，從而移動連接 於所述連接銷釘752的所述支撐構件732。相應地，所述拾取器730之 間的水平間隔Ph可以得以控制。
儘管未示出，用於感測所述拾取器730之間間隔的傳感單元還可 以分別設置於所述水平間隔控制器和所述垂直間隔控制器上，從而控 制水平間隔Ph和垂直間隔Pv。
對本領域的技術人員來說，明顯的是，只要不脫離本發明的精神 或範圍可以對本發明做出各種變型和替換。因而，本發明旨在覆蓋落 入所述權利要求和其等同物的變型和替換。
權利要求
1、一種用於傳輸半導體設備的工具，包括可移動地安裝於傳輸工具導引件上的支撐託架；以及呈多排安裝於所述支撐託架上的拾取器，用於拾取半導體設備。
2、 如權利要求1所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述支撐託架包括可移動地安裝於所述傳輸工具導引件上的第一支撐 託架；和多個連接於所述第一支撐託架的第二支撐託架，所述第二支 撐託架具有安裝於一排、其間具有間隔的所述拾取器。
3、 如權利要求2所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所述第二支撐託架具有其間有一定間隔安裝的所述拾取器，而且還設置 有用於控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。
4、 如權利要求3所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述水平間隔控制器包括所述拾取器分別連接於其上的多個支撐構 件；以及具有用於將所述支撐構件連接於彼此，以便控制所述支撐構 件之間間隔的連接結構的連接單元。
5、 如權利要求3所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述水平間隔控制器包括所述拾取器分別連接於其上的多個支撐構 件；分別連接於所述支撐構件的多個連接銷釘；以及具有用於插入所 述多個連接銷釘的多個凹槽、且被配置為通過在上、下方向移動而控 制所述支撐構件之間間隔的驅動板。
6、 如權利要求2-5中的一項所述的用於傳輸半導體設備的工具，還包括垂直間隔控制器，用於控制所述第二支撐託架之間的間隔，以 使得所述拾取器之間的垂直間隔得以控制。
7、 如權利要求6所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述第二支撐託架在數量上被配置為一對，其中，所述垂直間隔控制器包括間隔控制軸，其螺紋連接於所 述第二支撐託架，以使得所述第二支撐託架能夠在轉動時沿不同方向移動；以及安裝於所述第一支撐託架上的驅動單元，用於轉動所述間 隔控制軸。
8、 如權利要求6所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述垂直間隔控制器包括分別安裝於所述第二支撐託架上的導引構 件；可旋轉地安裝於所述第一支撐託架上的凸輪構件，所述凸輪構件具有用於分別插入所述導引構件的導引凹槽，用於通過控制所述導引構件之間的間隔來控制所述第二支撐託架之間的間隔；以及用於旋轉 所述凸輪構件的旋轉驅動單元。
9、 如權利要求6所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述垂直間隔控制器包括用於提供拉力的拉力構件，其安裝為使得所述第二支撐託架能夠彼此連接；可旋轉地安裝於所述第一支撐構架上 的凸輪構件，用於通過旋轉控制所述第二支撐託架之間的間隔；以及 用於轉動所述凸輪構件的旋轉驅動單元。
10、 如權利要求6所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所 述垂直間隔控制器包括用於提供拉力的拉力構件，其安裝為使得所述第二支撐託架能夠彼此連接；以及插入所述第二支撐託架之間的插入構件，用於控制所述第二支撐託架之間的間隔。
11、 如權利要求2所述的用於傳輸半導體設備的工具，其中，所述拾取器安裝於彼此相鄰的所述第二支撐託架的相向表面上。
全文摘要
一種用於傳輸能夠拾取如用於傳輸的半導體設備的待傳輸物體的半導體設備的工具。所述用於傳輸半導體設備的工具包括可移動地安裝於傳輸工具導引件上的支撐託架；以及以多行安裝於所述支撐託架上的拾取器，用於拾取半導體設備。
文檔編號H01L21/677GK101652850SQ200780052556
公開日2010年2月17日 申請日期2007年4月20日 優先權日2007年4月13日
發明者張元鎭, 柳弘俊 申請人:宰體有限公司