考慮了平均值的漂移的、測試電子元件的方法
2023-04-30 09:09:56
專利名稱：考慮了平均值的漂移的、測試電子元件的方法
技術領域：
本發明的一個目的是用於考慮了平均值的漂移後對電子元件進行測試的一個方法。特別地，它可以被用於測試半導體電子元件的領域，特別地，是例如集成電路的元件。現有技術中，有一個已知的方法來測試電子元件，它能夠減少測試每一個電子元件所需要的單位測試時間。本發明的價值在於它提出一個測試方法，這個測試方法首先減少了單位測試時間，第二，可以對這些測試作出響應來用於監測漂移，例如，這些漂移可能是一個可以忍受的、但是可能干擾對被測試元件的修改所引起的。
所以，需要被進行測試的一個元件需要進行一系列的單位測試，來測試其每一個功能。一個功能的一個單位測試一般包括下面的基本步驟-在一個初始時刻D0，就這個測試來說，被認為是一個輸入端子的元件的端子被施加一個電壓Ve，在一個時間期間內，等待在這個元件的一第二端子上出現一個響應並且等待這個響應穩定下來，這第二端子被認為是這個測試的輸出端子，在一標稱測量時刻Dm0，在時間(Dm0-D0)的末尾，測量這個響應。在一個示例中，這個響應是這個輸出端子的一個電壓值Vs。
然後，確定這個元件已經對這個單位測試給出了一個可接受的或者不可接受的響應，-這個被測量的響應被與固定的可接受準則進行比較。即，在這個示例中，電壓Vs的值被與可接受下限與上限進行比較。這些容限一般是在製造說明中所給出的。
因為這個電子已經具有一個已知的結構，所以，可以理論上確定這個時間間隔，在這個時間間隔的末尾，可以觀察到關於這個測試的一個期待響應。這個理論時間間隔(Dmth-D0)例如是由這個電子元件的設計者所計算出來的。進一步，為了避免這個測試產生一個過度高的失敗率，通過選擇在測試期間所使用的規定測量時間Dm0，並且考慮一個安全的富裕度。實際上，時間Dm0一般被選擇為比這個測試的理論測量時間間隔Dmth大。
然後，規定的測量時間間隔Dm0被用作需要被測試的所有元件的一個測量時間間隔。這個選擇可以確保與這個測試一致的響應，並且大大地增加了一系列測試所需要的總執行時間。
文檔WO-A-97/457-48描述了用於減少一系列測試中每一個單位測試的持續時間的一個已知測試方法。為了實現這個目的，這個測試方法包括-在一組可接受的元件上執行的一第一「學習階段」。規定測量時間Dm0被用於對第一批元件進行測試。只有那些給出了合適響應的元件才被包括在這批可接受的元件組中，這個元件組構成了學習組。然後，儘可能早地，確定比標稱測量時刻Dm0早的一個測量時刻Dmi。在這個測量時刻Dmi所執行的測試仍然必須給出對這個可接受容限來說可接受的一個響應，-一第二「應用階段」，其中這批中所有其它元件已經被測試，測試使用了前面確定的最早測試時刻Dmi。
為了確定最早測試時刻Dmi，上面所定義的測試基本步驟對這個學習組中的每一個元件反覆地做，所使用的測量時刻在每一個迭代中被逐步減少，或者是使用二分法來減少，或者是一步一步地減少。為了在測試的中間測量時刻，Dmi-TEST1，Dmi-TEST2，中選擇測試時刻Dmi，通過一個準則來進行下面的比較-在至少一個被測試的中間測量時刻，例如，Dmi-TEST1而獲得的響應的一個統計圖象，被與，-在標稱測量時刻Dm0所獲得的、這個非常相同的學習組的響應的一個統計圖象進行比較。
一個統計圖象包括所有的響應，這些響應包括根據這些值，在進行測試時特別在進行計算時所獲得的Vs類型，均值M和標準偏差S，和其它作為這個均值M和這個標準偏差S的函數的統計值。
例如，對每一個統計圖象，稱作CP的一個統計值被獲得。這個值與可接受容限的差異和這個統計圖象的標準偏差S之間的比例相等。可接受容限之間的差異一般由一個製造商的容限所給出。
另一個統計值也可以被定義為描述這個統計圖象的特徵。稱作CPK的這另一個值等於在這個均值和一個可接受容限之間的一個差異的絕對值與這個統計圖象的標準偏差S之間的比例。
為了將這個統計圖象與另一個統計圖象進行比較，就比較它們相應的統計值CP或者CPK。選擇最早的可能測量時刻Dmi，以使在這個測量時刻Dmi所獲得的一個統計值CPi仍然保持在評價準則CPo的一特定比例內，其中CPo是描述在標稱測量時刻Dm0所獲得的統計圖象的特徵的統計值。
在一第一示例中，如果對一個被測試中間時刻Dmi-TEST1觀察到了一個寬範圍的響應而任何值均沒有優勢，這就意味著被進行這個測試的電子元件的行為在這個時刻不能夠被可靠地再現。根據本發明的這個方法，統計圖象的標準偏差Si-TEST1比較大，所以其相應的值CPi-TEST1就比較低，並且肯定將不再位於CPo的設置比例準則內。然後，這個測量時刻Dmi-TEST1將不再被選擇為最早的可能測量時刻Dmi，並且Dmi必須比這個被測試時刻Dmi-TEST大。
確定最早測量時刻Dmi的方法可以提供另一個可接受條件，例如，一個條件，通過這個條件，這個時刻必須比一個理論的最小測量時刻Dmmin大。
在文檔WO 97/45748中所提出的這個解決方法產生了一個問題，因為這個應用階段的預備學習階段是非常地長。進一步，在這個學習階段所確定的最早可能測量時刻可能會對被測試的電子元件產生一個較大的丟棄率，因為它可能會不公正地促使這些元件被從好質量的生產中丟棄掉。實際上，因為這個學習階段很長，它就不能夠被頻繁地執行，然後，一個不合適的測量時刻可能被用於測試這批元件中的一部分。
從文檔FR 99 90955中的教導來看，有一個已知的、也包括一個學習階段和一個應用階段的方法。
但是，這個方法提出，通過進行下面的比較來獲得用於定義最早可能測量時刻Dmi的學習階段-利用標稱測量Dm0而獲得的學習組的響應之間的一個統計圖象，和-一個被累加的統計圖象，這個被累加的統計圖象與在被測試中間測量時刻，例如，Dmi-TEST1，對相同組所獲得的所有響應的圖象相應，並且與在標稱測量時刻Dm0對這個組所獲得的響應的相應。
為了將統計圖象進行相互比較，這個相應的統計值CPK被以相同的方式進行比較。最早的可能測量時刻Dmi被選擇，以使統計值CPKtotal0+i-TEST1保持在評價準則Cpko的一特定比例範圍內，其中Cpko是描述在標稱測量時刻Dm0所獲得的統計圖象的特徵的統計值。
另外，這個方法提出，這個應用階段與學習階段無關，學習階段是對一個學習組進行的，與在應用階段需要被測試的這個批元件無關。這樣，獨立地實現了學習階段，並且當開始對一批元件進行一系列測試時，就執行一個短的調節階段。在這個調節階段，這個最早測量時刻Dmi被確認並且可能會被進行調節。
這些調節階段是有規律的。例如，進行調節的特定頻率是與這批被測試部分元件的給定數目相關。它們可以確保這個測量時刻總是被對測試的持續時間進行了優化，被對在考慮了生產特徵自然變化性後被測試輸出的利益率進行了優化。
在這個調節階段，考慮一組好質量的元件。並且與在學習階段中的相同，最早測量時刻Dmi被進行確認，並且可能被進行調節，通過下面的比較-在標稱測量時刻Dm0獲得的好質量元件組的響應的一個統計圖象，與
-一個累加統計圖象，這個累加統計圖象與在測量時刻Dmi對相同組所獲得的所有響應以及在標稱測量時刻Dm0，或者在一個修改的測量時刻Dmmodif對這個組所獲得的響應的圖象相應，並且與在標稱測量時刻Dm0對這個組所獲得的響應相應。
如果是這樣的情形，它就選擇在一個修改的測量時刻Dmmodif，Dmmodif比測量時刻Dmi大或者相等，如果在(a)累加統計圖象，包括特別是在測量時刻Dmi所獲得的響應和(b)在一個標稱測量時刻Dm0對這個相同組所獲得的統計圖象之間的比較相對於一個評價準則來說不可接受時。
這個方法也產生一個問題。實際上，即使這個方法包括一個調節階段來考慮元件生產的固有可變性，這個方法允許在生產中出現的漂移，或者根本不注意這個漂移。根據這個測試方法，響應的變化性和其漂移，如果有的話，不被考慮，因為表示這些數據的調節圖象被用一個統計值CPK進行比較。現在，這個統計值CPK通過引入下限和上限來進行計算，這些容限被定義為關於被製造元件的質量的可容忍限度的函數，即這些元件要求的函數，而不是元件的製造方法的函數。
所以，這個方法導致將統計值CPK確定在1000的範圍內，當它們是在靠近標稱測量時刻Dm0而獲得一個統計圖象的響應的值時。但是，因為這個統計值的評價準則是與3的範圍內的可接受準則進行比較，所以確定最早可能測量時刻Dmi的模式導致將一個測量時刻Dmi選擇為非常靠近最小測量時刻Dmmin。所以，使用這個方法而進行的測試將接受那些已經給出非常靠近可接受容限中一個的響應的元件。但是，這可以是這些元件的製造過程中需要被檢測的一個漂移。
即使調節階段已經糾正了一個過度早測量時刻Dmi的選擇，然後這個調節階段就變得幾乎與學習階段一樣長，這也是一個缺點。實際上，這個測試方法要求，在調節階段期間，幾乎必須例行地增加這個測試時刻Dmi，因為在學習階段期間所定義的時刻不適合需要被測試的輸出。
本發明的一個目的是通過對元件製造過程中的漂移標記進行快速的檢測，從而來解決這個問題。特別地，本發明有可能能夠將對最早測量時刻Dmi的搜尋限制到確定用於控制均值的漂移的一個測量時刻。所以，根據本發明的這個方法所確定的最早可能測量時刻Dmi可以確保，測試可以獲得可靠的響應。但是，根據這個方法所確定的最早可能測量時刻Dmi可能比使用另一個也尋求減少測試總的持續時間的測試方法所獲得的測量時刻晚。
實際上，本發明的一個目的是用於測試電子元件的一個方法，這個方法通過用統計值表示它們來考慮了元件組的統計圖象，最重要的是，它沒有考慮這些可接受的容限。另外，根據本發明的這個方法將這些統計圖象與另一個統計圖象進行比較，並且考慮了具有至少一個獨立的可接受容限的可接受準則的統計值。這樣，這個比較就更嚴格了，並且能夠容忍較少測試響應的變化。根據這個方法所定義的最早測量時刻可以確保更高的可靠性，並且減少了需要頻繁地修改這個時刻的要求。
本發明的一個目的是用於測試電子元件的一個方法，其中-一個元件的一個端子在一個初始時刻被施加一個電壓，-在這個元件的一個端子上所建立的一個響應在一個測量時刻被進行測量，-這個響應被與可接受容限進行比較，作為這個比較的一個函數而接受或者拒絕這個元件，-這個測量時刻是通過一個準則而被定義的，這個準則被用於將表示在一個被測試中間測量時刻所獲得的至少響應的一個中間統計圖象，與表示在一個標稱測量時刻所獲得的響應的一個規定統計圖象進行比較，這些響應是從一組好質量元件中獲得的，-所選擇的測量時刻是被測試的最早可能中間測量時刻，其中-被用於將統計圖象與另一個統計圖象進行相互比較的準則包括對每一個統計圖象所獲得的響應的一個幅度進行評價。
從下面的描述和附圖中，可以對本發明更清楚地理解。這些圖僅僅是一個示例，它們對本發明的範圍沒有任何限制作用。這些圖中，-
圖1顯示了根據本發明的這個方法需要被測試的一組元件；-圖2顯示了使用根據本發明的這個測試方法，在不同的測量時刻所獲得的這組好質量元件的響應的分布；-圖3顯示了一個參數表；-圖4是表示根據本發明的學習階段，調節階段，和應用階段的時間組織的一個時序圖。
圖1顯示了一個承載電子元件2的晶片1。這個晶片具有一個圓形的形狀，或者其它平行六面體或者線形條(linear strip)的形狀。這個晶片1的電子元件2例如是集成電路晶片。一個電子元件至少具有需要被測試的一個功能3。
為了測試電子元件2的功能3，使用了一個測試裝置。這個測試裝置具有將電壓Ve施加到一個輸入端子4上的一第一組電極，和在輸出端子5上拾取輸出電壓Vs的一第二組電極。這個測試裝置的一個接口管理電子信號的傳輸和被拾取信號的測量。通過這個測試裝置來配置這個接口。這個接口的結構處理被這些測試裝置所發送和接收的信號。
端子4和5是元件2的導電端子。輸出端子5可能與這個元件上的輸入端子4相同。
對這個測試的一個響應一般包括一個被測量電子變量，例如輸出電壓Vs的值。並且從這個響應的角度來說，這個接口可以被用於確定相對於所執行的測試，一個元件是否是好的或者是壞的。這個接口特別地提供了將這個響應Vs與這些元件的製造商所設置的可接受容限的比較。
為了進行測試，在一個測量時刻Dm對響應Vs進行測量，這個測量時刻必須比電壓Ve發送到輸入端子的一個初始時刻D0晚。
為了改善在Dm和D0之間的時間，例如一般是要減少它，在操作的開始先判斷在晶片1上的好質量元件P1。為了這個目的，使用與一個標稱測量時間Dm0相等的一個測量時間來對電子元件2進行測試。優選地，這個測量時間Dm0已經在考慮了一個附加的安全富裕度後進行了理論計算。一般來說，這個測量時間與沒有被優化的一個標準測試方法所使用的測量時間相應。這樣，可接受的元件6和不可接受的元件7在晶片1上被識別出來。在一個優選的示例中，好質量的元件組P1僅包括一個可接受元件6。但是，它可以有幾個例如6個元件。
然後，這組P1的一個統計圖象IS被確定。這個統計圖象IS具有在使用相同的測量時刻重複相同的測試後，從組P1所獲得的一組N個響應。然後，與一給定測量時間相應的一個統計圖象IS就被確定了。
圖2顯示了包括了在使用給定測量時間Dm0所執行的N0個測試迭代後所獲得的、組P1的一組響應Vs0的規定統計圖象IS0。這些響應的分布一般是一個高斯分布。圖象IS0的特徵可以是一個均值M0和/或者一個幅度R0。
均值M0與對在相同的規定測量時間Dm0所執行的迭代中所觀察到的所有響應Vs0的平均值相應。
M0＝sum(Vs0)/N0並且幅度R0與在這些相同迭代期間所觀察到的最大響應值Vs0-max和所觀察到的最小響應值Vs0-min之間的差異相應。
R0＝Vs0-max-Vs0-min然後，為了測試較早的測試時刻，在不同的測試時刻，對相同的組P1重複相同的測試。例如，在一個被測試中間測試時刻Dmi-TEST，重複這個測試Ni-TEST次。然後，就獲得一個統計圖象ISi-TEST，ISi-TEST的特徵可能是一個平均值Mi-TEST和一個幅度Ri-TEST。
在這個情形下，平均值Mi-TEST被定義為在相同的測量時刻Dmi-TEST所進行的迭代所觀察到的所有響應Vsi的平均值。
Mi-TEST＝sum(Vsi)/Ni-TEST並且幅度Ri-TEST與在相同的迭代期間所觀察到的最大響應值Vsi-max和所觀察到的最小響應值Vsi-min之間的差異響應。
Ri-TEST＝Vsi-max-Vsi-min
然後，為了確定被測試的中間測量時刻Dmi-TEST是否可以被接受為在根據本發明的方法的應用階段所使用的最早測量時刻，統計圖象IS0和ISi-TEST被通過一個準則而進行相互比較。
例如，如果平均值Mi-TEST也被包括在一個可接受間隔內，這個測量時刻Dmi-TEST就被接受。在本發明的一個優選示例中，如果平均值Mi-TEST滿足下面的條件|Mi-TEST-M0|D-z*S0*(1/NI-TEST+1/N0)]]>其中在垂直線之間的數學項與一個絕對值相應。
S0是在N0次迭代後所獲得的響應Vs0的標準偏差，並且優選用下面的公式來定義S02=1/(N0-1)*i=0N0(M0-Vs0i)2]]>另外，D與兩個平均值Mi-TEST和M0之間的一個可容忍偏差相應。D一般被負責調節測試儀器的工程師所設置，它是被測試元件的指標的一個函數。
參數z與從統計表中所選擇出的一個常數相應，其是所選擇的、關於被執行測試的風險程度的一個函數。風險程度被定義為與稱作一個「錯誤告警」風險相應的一第一風險α和與被稱作為一個「丟失的信號」的風險相應的一第二風險β。風險α與在測試結束時，儘管一個元件是好的，但是仍然被拒絕的可能性相應。風險β與在測試結束時，儘管一個元件是壞的，但是仍然被接受的可能性相應。參數z被這樣選擇，以使風險β最小，例如等於0.05。在這個情形下，參數z等於1.645。
在平均值的測試的一第一變化形式中，圖3所顯示的表的參數被用於確定這個平均值可接受的這個間隔的一個可接受下邊界BMinf和一個可接受上邊界BMsup。例如，在列10中被提出的參數A2被用於計算這些邊界。這個間隔被定義為規定平均值M0和規定幅度R0的函數。
BMinf＝M0-A2*R0，BMsup＝M0+A2*R0在平均值的測試的一第二變化形式中，特別是當這個規定幅度較低時，這個間隔可以被進行不同的定義。特別地，這個間隔可以被定義為用於評價響應Vs的下限Linf和上限Lsup的函數。然後，可以如下述來定義下和上可接受邊界BMinf＝M0-A2*f1*(Lsup-Linf)，BMsup＝M0+A2*f1*(Lsup-Linf)其中f1與例如在0和1之間的一個實數值相應。
在平均值的測試的一第三變化形式中，特別是當響應Vs僅滿足關於一單個容限L的一個條件時，間隔可以被定義為如下BMinf＝M0-A2*f1*|L-M0|，BMsup＝M0+A2*f1*|L-M0|在上面的公式中被使用的參數A2被選擇作為用於確定Mi-TEST的迭代次數NTEST的一個函數。實際上，NTEST的值越大，所確定的平均值就更可靠，並且所以，它就更有可能位於圍繞規定平均值M0的一個很窄的間隔內。
另外，如果一第二條件滿足了幅度Ri-TEST，就確定接受這個測量時刻Dmi-TEST。在一個優選示例中，如果對一個和相同的被測試中間時刻，關於平均值Mi-TEST的測試來說被接受，相應幅度Ri-TEST滿足下面的條件，就選擇Dmi-TEST在Ri-TEST和R0之間的差異的絕對值比工程師所設置的一個閾值低，這個工程師負責根據被測試元件的規定功能來調節這個儀器。
在關於幅度的測試的一個變化形式中，可以使用圖3中所顯示的表的參數來確定這個可接受間隔的一個可接受下邊界BRinf和可接受上邊界BRsup。例如，在列8和9中被提出的參數被用於計算這些邊界。然後，這個間隔被定義為規定幅度R0的函數。
BRinf＝D3*R0，其中D3是列8的一個參數BRsup＝D4*R0，其中D4是列9的一個參數。
在這個關於幅度的測試的一個變化形式中，這個間隔被定義為一般由測試設計者所確定的下限Linf和Lsup的功能，來評價響應Vs。這個變化形式避免了判斷過度窄可接受間隔的要求，僅僅因為當應用第一可變形式的這個方法而實際的可接受間隔很寬時，規定幅度R0非常小。然後可以按照如下的來定義可接受下邊界和可接受上邊界BRinf＝D3*f1*(Lsup-Linf)，BRsup＝D4*f1*(LSup-Linf)其中f1與一個在0到1之間的一個實數值相應。在這第二個實數變化形式中，這個可接受間隔可以被定義為實際可接受間隔的一個百分比的函數。
在關於幅度測試的一第三變化形式中，這個間隔可以被定義為容限Linf和Lsup和平均值M0的一個函數，特別是當這個響應Vs滿足僅關於一個容限L的條件時。然後，可接受下邊界和上邊界可以被定義為如下BRinf＝D3*f1*|L-M0|，BRsup＝D4*f1*|L-M0|其中在兩個垂直線之間定義的元件與這些元件的一個絕對值相應。
在上面公式中每一個中所使用的參數D3和D4被選擇作為被執行來確定Ri-TEST的迭代次數NTEST的函數。實際上，NTEST越大，幅度評價間隔的上邊界BRsup就越靠近規定幅度R0。同時，NTEST越大，下邊界BRinf離規定幅度R0的距離就可能越遠。實際上，因為被測試的數據是在標稱測量時刻以前的一個測試數據，這樣獲得的響應Vs的分布就可能不太精確。
如果在這個比較後，一個中間測量時刻Dmi-TEST被選擇，一般以相同的方法來測試一第二較早的中間測量時刻。然後，在應用階段期間，選擇最早的可能測量時刻。但是，如果這個中間測量時刻在這個比較後不是有效的，就測試另一個中間測量時刻。這另一個中間測量時刻必須儘可能地早，甚至在標稱測量時刻以前。一般來說，根據一步接一步的方法來測試中間測量時刻，以選擇在測試一個有效時刻以前，已經被確認的最近的一個測量時刻。
根據使用這個測試方法的一個特殊模式，在稱作學習階段的一第一階段11(圖4)確定最早的可能測量時刻。然後，在應用階段12期間，這個被確定的測量時刻被連續地應用。
在一個變化形式中，在應用階段12期間，可能周期性地提供調節階段13來確認在學習階段期間被確定的測量時刻，並且可能來確定一個被調節的測量時刻Dma。
為了在一個調節階段期間確認中間測量時刻，考慮一組元件P2。當使用標稱測量時刻D0時，這些元件是正確的。優選地，元件組P2來自在應用階段期間被測試的一批元件。然後，對從關於這個組P2所進行的相同迭代測試而獲得的統計圖象進行比較。
一般來說，僅當如果最早的中間測量時刻沒有被確認時，才執行確定一個被調節的測量時刻Dma的步驟。然後，這個被調節的測量時刻Dma比學習階段期間所確定的最早測量時刻晚。
為了被選擇，一個被調節測量時刻Dma必須滿足與上面所提出的、用於確定最早中間測量時刻的比較條件相同的條件。使用相同的方法來評價用於進行調節的、關於組P2的結果的平均值和幅度。
在一第一優選示例中，在學習階段期間，在考慮了使用標稱測量時刻D0進行的相同迭代測試後面所獲得的10個值後，確定規定統計圖象IS0。優選地，這10個值是對構成組P1的單個元件進行相同的10次迭代測試而獲得的。在這個相同的階段期間，在考慮了使用這個測量時刻而進行的迭代測試而獲得的5個值後，確定了最早可能中間測量時刻。優選地，這5個值是對構成組P1的單個元件進行相同的5次迭代測試而獲得的。
在一第二優選示例中，在調節階段期間，在考慮了使用標稱測量時刻D0而獲得的3個值後，確定組P2的規定統計圖象IS0，優選地，這3個值是對組P2的一個和相同元件進行相同的3次迭代測試而獲得的。在考慮了從兩個值中獲得的、關於每一個時刻的統計圖象後，在學習階段期間被確定的最早測量時刻被確認，或者確定一個測量時刻。優選地，這兩個值是從對組P2的相同元件進行相同的2次迭代測試而獲得的。
特別地，本發明的測試方法被用於優化所有測試的測試時間，這些測試不能夠容忍平均值的漂移。
在另一個變化形式中，可以對它進行這樣設計與規劃，在考慮了包括響應Vs和作為響應Vs的函數而確定的數據的一個統計圖象後，就可以對測試時間進行優化。這些數據可以考慮值Vs的一個可容忍的漂移。
權利要求
1.用於測試電子元件的一個方法，其中-一個元件(2)的一個端子(4)在一個初始時刻被施加一個電壓(Ve)，-在這個元件的一個端子上所建立的一個響應(Vs)在一個測量時刻(Dm)被進行測量，-這個響應被與可接受容限(Linf，Lsup)進行比較，作為這個比較的一個函數而接受或者拒絕這個元件，-這個測量時刻是通過一個準則而被定義的，這個準則被用於將表示在一個被測試中間測量時刻(Dmi-TEST)所獲得的至少響應的一個中間統計圖象(ISi-TEST)，與表示在一個標稱測量時刻(Dm0)所獲得的響應的一個規定統計圖象(IS0)進行比較，這些響應是從一組好質量元件(P1)中獲得的，-所選擇的測量時刻是被測試的最早可能中間測量時刻，其中-被用於將統計圖象與另一個統計圖象進行相互比較的準則包括對每一個統計圖象所獲得的響應的一個幅度(R0，Ri-TEST)進行評價。
2.如權利要求1的方法，其中-與一個被測量時刻相應的幅度(Ri-TEST)的可接受間隔(BRinf，BRsup)被確定為一個規定幅度(R0)的一個函數，和/或者被確定為一個可容忍幅度的一個函數。
3.如權利要求1或者2的方法，其中-被用於將統計圖象與另一個統計圖象進行相互比較的準則包括關於所獲得的每一個統計圖象的響應的一個評價(M0，Mi-TEST)。
4.如權利要求3的方法，其中-與被測試測量時刻相應的平均值(Mi-TEST)的可接受間隔(BMinf，BMsup)被確定為規定平均值(M0)的一個函數。
5.如權利要求3到4中一個的方法，其中-與被測試測量時刻相應的平均值的可接受間隔被確定為在標稱測量時刻而獲得的響應的規定標準偏差(S0)的函數和被規定為一個統計機率(α，β)的函數。
6.如權利要求3到5中一個的方法，其中-與被測試測量時刻相應的平均值的可接受間隔被確定為規定幅度的一個函數和/或者被確定為容忍幅度的一個函數。-可接受間隔被確定為來自一個表的參數的函數，這些參數考慮了統計圖象的值的數目。
7.如權利要求1到6中任何一個的方法，其中，-考慮包括一單個元件的一組好質量的元件。
8.如權利要求1到7中任何一個的方法，其中-在一個應用階段(12)以前的一個學習階段(11)期間，確定測量時刻。
9.如權利要求1，8的方法，其中-在標稱測量時刻，對好質量元件組進行迭代測試，例如以獲得10個值，-在一個中間測量時刻，對相同的元件組進行迭代測試，例如以獲得5個值。
10.如權利要求1到9中任何一個的方法，其中-在一個應用階段期間，在一個調節階段期間，修改這個測量時刻。-在標稱測量時刻，在應用階段，對一組好質量的元件組進行迭代測試，例如以獲得3個值。-在一個中間測量時刻，對相同組進行迭代測試，例如以獲得2個值。
全文摘要
用於測試電子元件的一個方法,提出了對這個測試方法的測試持續時間進行優化,包括參考一個初始測試時刻(Do)來選擇一個最早的可能測量時刻(Dm)。根據這個方法,通過對一組元件(P1,P2)進行測試而獲得的統計圖象(IS)和通過使用一個準則將這些統計圖象進行相互比較,而選擇這個最早可能的測量時刻。這個準則考慮了在對一個相同測試的迭代測試期間,不同測量時刻所進行的測試組所給出的響應的一個平均值和幅度。
文檔編號G01R31/01GK1340719SQ0112434
公開日2002年3月20日 申請日期2001年7月27日 優先權日2000年7月28日
發明者菲利普·裡朱恩 申請人:比拉克諾博芬納泰奧·塔加拉克塞