觀察矽片樣品斷面的樣品臺的製作方法

2023-04-26 20:20:21 1

專利名稱：觀察矽片樣品斷面的樣品臺的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體行業的測試分析技術領域，尤其涉及一種觀察 矽片樣品斷面的樣品臺。
技術背景掃描電子顯微鏡是通過高能電子入射固體樣品表面，與樣品的原子核 和核外電子發生彈性或非彈性散射，激發樣品產生各種物理信號，利用電 子檢測器，接收信號形成圖像。掃描電子顯微鏡廣泛應用在半導體電子產業中，觀察半導體晶片的斷 面和表面的形貌，以及對待測樣品的成分進行確認等。現有的樣品臺每次只能放置一枚樣品進行斷面觀察，而更換樣品需要 耗費大量的時間，使設備的使用率無法提升。發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種觀察矽片樣品斷面的樣品 臺，可以同時放置多個樣品，減少更好樣品所需要的時間，降低人工成本， 同時提高設備使用率。為解決上述技術問題，本實用新型觀察矽片樣品斷面的樣品臺的技術 方案是，包括底座和與底座相配合的放置樣品的平臺，放置樣品的平臺表 面設有活動槽，每條活動槽設有調節活動槽寬度的活動槽寬度調節裝置。作為本實用新型觀察矽片樣品斷面的樣品臺的進一步改進是，活動槽將放置樣品的平臺表面分為多個區域，並以字母或者數字區分平臺表面的 不同區域。本實用新型通過在樣品臺的平臺上開設可調節寬度的活動槽，可以在 一個樣品臺平臺上同時放置不同厚度的樣品進行斷面觀察，節省了工作時 間，提高工作效率。


以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的說明 圖l為本實用新型樣品臺平臺表面示意圖； 圖2為本實用新型樣品臺側面示意圖；圖3為本實用新型活動槽寬度調節裝置與活動槽的連接示意圖。 圖中附圖標記中，可調節寬度活動槽為10，活動槽寬度調節裝置為20， 樣品槽為30。
具體實施方式
如圖1所示，圖1為本實用新型觀察矽片樣品斷面的樣品臺放置樣品 的平臺表面示意圖。樣品臺的平臺長40mm，寬24mm，厚8mm，在樣品 臺的平臺表面設有4個活動槽10，該活動槽IO距離樣品臺的平臺表面邊緣 距離約8mm，每個活動槽10深度為0.2mm。如圖2、圖3所示，在樣品臺的平臺側面對應於每條活動槽10設有調 節活動槽寬度的活動槽寬度調節裝置20，這種寬度調節裝置20可以是具有 螺紋的螺絲或者螺母，活動槽IO可以通過旋轉螺絲或者螺母調節活動槽的 寬度。當矽片的厚度在0.35mm至0.73mm之間時，設定活動槽的活動間距為0.2mm至1.0mm。也可以根據不同的矽片厚度設定不同的活動槽活動間距。為方便樣品觀察，在活動槽10上下分別以A、 B、 C、 D字母標示以區 分，由於每個活動槽可以放置兩個樣品，另以數字l、 2進行區分，可同時 放置4組不同厚度的8個樣品進行觀察，使觀察者在放置完樣品後能在掃 描電子顯微鏡觀察過程中輕易的找到自己需要的樣品進行斷面觀察。在利用上述實施例的觀察矽片樣品斷面的樣品臺進行觀察矽片斷面 時，可以對應槽邊的數字和字母分區域將需要觀察的樣品插入活動槽的樣 品槽30，所需觀察的面向上，調節樣品臺平臺周邊螺母改變活動槽活動間 距以固定樣品，並且記下各個樣品放置的區域。然後將樣品臺放入掃描電 子顯微鏡進行觀察，在低倍下找到放置樣品的區域，再以數字及字母區分 要觀察的樣品，將掃描電子顯微鏡轉成高倍進行觀察。利用本實用新型的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，可以在同一個樣品臺 上同時觀察多個厚度不同的矽片斷面形態，節省了更換樣品的時間，節約 了人工成本，提高了設備的利用率和生產效率。
權利要求1.一種觀察矽片樣品斷面的樣品臺，包括底座和與底座相配合的放置樣品的平臺，其特徵在於，放置樣品的平臺表面設有活動槽，每條活動槽設有調節活動槽寬度的活動槽寬度調節裝置。
2. 根據權利要求1所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在於， 活動槽將放置樣品的平臺表面分為多個區域，並以字母或者數字區分平臺 表面的不同區域。
3. 根據權利要求1或2所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在 於，放置樣品的平臺表面設有4條活動槽。
4. 根據權利要求1或2所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在 於，活動槽設於距離放置樣品的平臺表面邊緣8mm處。
5. 根據權利要求1或2所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在 於，活動槽深度為0.2mm。
6. 根據權利要求1或2所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在 於，活動槽可以活動的寬度範圍為0.2mm至lmm。
7. 權利要求1所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在於，放置 樣品的平臺長40mm，寬24mm，厚8 mm。
8. 權利要求1所述的觀察矽片樣品斷面的樣品臺，其特徵在於，樣品 臺為金屬材質。
專利摘要本實用新型公開了一種觀察矽片樣品斷面的樣品臺，包括底座和與底座相配合的放置樣品的平臺，其中，放置樣品的平臺表面設有活動槽，每條活動槽設有調節活動槽寬度的活動槽寬度調節裝置。本實用新型通過在樣品臺的平臺上開設可調節寬度的活動槽，可以在一個樣品臺平臺上同時放置不同厚度的樣品進行斷面觀察，節省了工作時間，提高工作效率。
文檔編號H01J37/20GK201122096SQ20072014430
公開日2008年9月24日 申請日期2007年11月22日 優先權日2007年11月22日
發明者鶯 裘 申請人:上海華虹Nec電子有限公司