由可微機械加工材料製成的寶璣雙層遊絲的製作方法
2023-04-26 12:02:21 5
專利名稱：由可微機械加工材料製成的寶璣雙層遊絲的製作方法
技術領域：
本發明涉及寶璣雙層遊絲/挑框遊絲(Breguet overcoil balance spring)及其製造方法，並且更具體地涉及基於可微機械加工材料的這種類型的遊絲。
背景技術：
時計的調節部件通常包括稱為擺輪的慣性飛輪和稱為遊絲的諧振器。這些部件決
定了時計的工作品質。實際上，它們調節機芯的工作，即，它們控制機芯的頻率。 使用基於矽的材料製造時計部件是已知的。由於尤其在電子領域內的當前方法的
進步，可微機械加工材料例如矽的使用在製造精度方面具有優點。還可利用矽對磁力和溫
度變化具有非常低的敏感性的優點。但是，由於當前不能製造具有若干層級的矽部件，因此
要被製造的部件必須是平的。
發明內容
本發明的目的是，通過提出一種易於製造並且使得變差(ratevariation)減小的
由可微機械加工材料製成的寶璣雙層遊絲，以克服全部或一部分上述缺陷。 因此，本發明涉及一種由可微機械加工材料製成的寶璣雙層遊絲，該寶璣雙層遊
絲包括與內樁同軸地安裝成單個部件的細彈簧，其特徵在於，該寶璣雙層遊絲包括末端彎
曲以及在所述細彈簧的外圈和所述末端彎曲之間的提升裝置(elevation device)，以便改
善所述遊絲的同心擴展。 有利地，具有若干平面的簡單組件由可微機械加工材料製成的平的部件生產而成，該組件幾乎對磁力和溫度變化不敏感，並且不再需要由金屬條製造這種遊絲所執行的複雜調整步驟。 根據本發明的有利特徵-提升裝置包括將所述外圈的一端連接到所述末端彎曲的一端的機械緊固件或連接件；
-根據第一實施例，所述機械緊固件具有在每一側通過夾持裝置延伸的主體；
-每個夾持裝置具有大致U形的輪廓，用於通過重疊來接納所述端部之一 ；
-根據第二實施例，所述機械緊固件具有主體，夾持裝置彈性地安裝在所述主體上以將所述外圈和所述末端彎曲的端部分別鎖靠在所述主體上；-所述夾持裝置具有分別連接到所述主體的第一端和第二端的第一臂和第二臂；
-所述端部中的每一個沿其厚度通過所述臂中的其中一個的接觸部向所述主體的止動部的推壓而被鎖定；-所述端部中的每一個沿其高度通過所述臂中的其中一個的第二接觸部向所述主
體的第二止動部的推壓而被鎖定； _所述臂大致平行於所述主體；-根據這兩個實施例，所述機械緊固件關於所述主體的中心中心對稱；
-在所述端部中的至少一個上，所述提升裝置具有凸起，用於限定所述緊固件相對 於所述端部中的所述至少一個的長度的位置；-所述提升裝置還包括在所述機械緊固件和所述端部之間的連接裝置，以提高所 述提升裝置的固定力；-所述連接裝置包括一層，該層包括粘結材料、金屬材料、所使用的材料的氧化物 或熔融合金、或甚至硬釺料(braze)或軟釺料(solder); _所述可微機械加工材料是基於矽、結晶二氧化矽(crystallised silica)或結 晶氧化鋁(crystallised alumina)的；-所述末端彎曲是菲利普斯(Philips)彎曲，以改善所述遊絲的同心擴展；
-所述細彈簧的至少一個內圈包括格羅斯曼(Grossma皿)彎曲，以改善所述遊絲 的同心擴展。 此外，本發明涉及一種時計，其特徵在於，該時計包括根據前述變型中的任一個的 寶璣雙層遊絲。 最後，本發明涉及製造寶璣雙層遊絲的方法，該方法包括以下步驟 a)在可微機械加工材料的層中選擇性地蝕刻至少一個凹腔，以限定與內樁同軸地
安裝的細彈簧； 其特徵在於，所述方法還包括以下步驟 b)在可微機械加工材料層中選擇性地蝕刻至少一個凹腔，以限定機械緊固件；
c)在可微機械加工材料層中選擇性地蝕刻至少一個凹腔，以限定末端彎曲；
d)將機械緊固件組裝在所述細彈簧和所述末端彎曲之間，以形成寶璣雙層遊絲。
有利地，與當前使用的用於由金屬條製造這種遊絲的複雜調整步驟相比，較少的 步驟就能製造由可微機械加工材料製成的遊絲。
根據本發明的其它有利特徵-在步驟d)之後或之前，該方法包括氧化步驟，以提高所述機械緊固件的固定力， 或者使所述寶璣雙層遊絲具有更高的機械強度/更大的機械抗性以及調整所述寶璣雙層 遊絲的熱彈性係數；-在步驟d)之前或之後，該方法包括在所述機械緊固件與所述細彈簧和末端彎曲 之間沉積粘結材料的步驟；-在步驟d)之前或之後，該方法包括在所述細彈簧和末端彎曲與所述機械緊固件 的將用於接納它們的表面之間沉積材料，以便將所述細彈簧和末端彎曲緊壓到(drive)或 焊接到所述緊固件上，以提高所述機械緊固件的固定力；
-步驟a) 、 b)和c)在同一可微機械加工材料層中同時執行；-該方法包括加熱所述寶璣雙層遊絲的最終步驟，以提高所述機械緊固件的固定 力或者使所述粘結材料活化。
從以下參照附圖通過非限制性示例給出的描述可以更清楚地看出本發明的其它 特徵和優點，其中 圖1是根據本發明的寶璣雙層遊絲的立體 圖2是圖1的俯視圖； 圖3是圖2的A-A截面圖； 圖4是製造方法的步驟的流程圖； 圖5是根據本發明的第二實施例的寶璣雙層遊絲的立體圖； 圖6是圖5的局部放大圖； 圖7是根據本發明的機械緊固件的立體圖； 圖8是圖5的一個部件的截面圖。
具體實施例方式
圖1至圖3所示的示例示出總體上由附圖標記1指示的寶璣雙層遊絲。遊絲1用 於安裝在時計中與擺輪配合工作。該遊絲包括細彈簧3、內樁5、末端彎曲7和提升裝置9。 細彈簧3和內樁5優選形成單個部件，以防止在它們之間的接口處不精確，這種不精確對遊 絲l的擴展對稱性是有害的。 如圖1和圖2所示，可以看到，細彈簧3優選具有包含格羅斯曼彎曲的內圈11 。格 羅斯曼彎曲通過相對於理想阿基米德遊絲的理想彎曲矯正內圈11來補償內樁5的使用。圖 1和圖2還示出，內樁5總體上為三角形，並且能夠接納擺輪軸13。當然，擺輪軸13的總體 形狀可以改變，而不會脫離本發明的範圍。 優選地，在圖1和圖2所示的示例中，末端彎曲7是菲利普斯彎曲，S卩，在遊絲1擴 展期間保持其重心位於擺輪軸13上的彎曲。優選地，如圖2所示，末端彎曲7和細彈簧3 的高度相同。 由於上文所述的末端彎曲7與細彈簧3-內樁5組件的幾何形狀的一致性，在結構 上確保了遊絲1的擴展對稱性，但是所使用的製造類型和材料必須不能妨礙擴展。
為了確保這些彎曲的製造精度以及使得遊絲1幾乎對磁力和溫度改變不敏感，可 以使用基於矽的材料。實際上，這是可微機械加工材料，即，可以例如通過深反應離子蝕刻 (DRIE)基於晶體矽的晶片來以小於1微米的精確度製造的材料。 當然，矽不是唯一具有這些特性的材料。可想到其它可微機械加工材料，例如結晶 二氧化矽或結晶氧化鋁。 優選地，基於矽的材料還可以包覆有其氧化物塗層，以便使其熱膨脹係數以及熱 彈性係數適應於擺輪，以便精確地調整時計機芯的等時性，即，使其變差降至最小。
為了製造寶璣雙層遊絲l，使用提升裝置9將細彈簧3的外圈15固定到位於所述 細彈簧上方的末端彎曲7上。如圖1至圖3所示，提升裝置9包括具有主體19的機械緊固 件或連接件17，該主體19在兩側通過夾持裝置23、25延伸。類似於末端彎曲7和細彈簧 3-內樁5組件，機械緊固件17也優選由可微機械加工材料例如基於矽的材料製成。
如圖3中的截面所示，機械緊固件17的主體19大致是平行六面體，並且具有大約 等於末端彎曲7和細彈簧3的外圈15的高度的厚度。夾持裝置23、25關於主體19大致對 稱，並且每個夾持裝置均包括大致U形的輪廓，以用於通過至少部分重疊來分別連接到末 端彎曲7的端部和細彈簧3的外圈15的端部。 在圖1至圖3中所示的示例中，所述U形輪廓形成於機械緊固件17的整個寬度， 並且分別覆蓋末端彎曲7和細彈簧3的外圈15的整個厚度，而僅未覆蓋平行於該高度的其中一個表面。當然，夾持裝置23、25的輪廓可以彼此不同，和/或在機械緊固件17的整個 寬度上不一致，和/或僅在所述寬度的一部分上延伸。還可想到，該輪廓中的至少一個不是 U形的，而是大致圓形的、橢圓形的、正方形的或矩形的，從而使得末端彎曲7的端部和/或 細彈簧3的外圈15的端部能夠被完全覆蓋。 根據提升裝置59的第二實施例，寶璣雙層遊絲51製成如圖5至圖8所示的。遊 絲51也是寶璣雙層遊絲，並且除了提升裝置59外具有與第一實施例相同的特徵。提升裝 置用於將細彈簧53的外圈65連接到位於所述細彈簧上方的末端彎曲57上。
如圖5至圖8所示，提升裝置59具有包括主體69的機械緊固件或連接件67，夾持 裝置73、75彈性地安裝在該主體69上，以將外圈65和末端彎曲57的端部61、63分別鎖靠 在主體69上。 類似於末端彎曲57和細彈簧53-內樁55組件，機械緊固件67也優選由可微機械 加工材料例如基於矽的材料製成。 如圖7和圖8所示，機械緊固件67具有大致平行六面體形的主體69，並且，類似於 第一實施例的機械緊固件17，優選地關於主體69的中心0中心對稱。此外，夾持裝置73、 75具有分別連接到主體69的第一端部71和第二端部77的第一臂81和第二臂83，並且它 們用於通過至少部分重疊來分別連接到末端彎曲57的端部61和細彈簧53的外圈65的端 部63。 如圖7和圖8所示，臂81、83大致平行於主體69。此外，根據本發明，有利地，臂 81和83通過形成空腔88、90而可彈性移動，該空腔允許該臂相對於主體69移動。
更具體地說，端部61、63中的每一個沿其厚度通過所述臂81、83之一的接觸部82、 86向主體69的止動部72、76的推壓而被鎖定。因此，如圖8所示，第一臂81的接觸部82 將末端彎曲57的端部61推靠在主體69的端部77的止動部72上。並且，第二臂83的接 觸部86將細彈簧53的外圈65的端部63推靠在主體69的端部71的止動部76上。因此， 類似於第一實施例，緊固件67沿其厚度夾緊端部61、63中的每一個。 優選地，根據本發明，每個止動部/接觸部72、76通過形成空腔68、92而彈性地安 裝在主體69的端部77、71上，該空腔允許該接觸部相對於主體69的其餘部分移動。
有利地，與第一實施例相比，提升裝置59還允許端部61、63中的每一個沿其高度 通過所述臂81、83之一的第二接觸部80、84向主體69的第二止動部70、74的推壓而被鎖定。 因此，如圖8所示，每個臂81 、83具有形成鉤件的凸出部85、87，該鉤件支承大致 垂直於第一接觸部82、86定位的第二接觸部80、84中的一個。有利地，根據本發明，凸出部 85和87通過形成空腔66、94而可彈性移動，該空腔允許它們相對於它們的臂81、83移動。
因此，第一臂81的接觸部80將末端彎曲57的端部61推靠在主體69的端部77 的止動部70上。並且，第二臂83的接觸部84將細彈簧53的外圈65的端部63推靠在主 體69的端部71的止動部74上。因此，緊固件67也沿其高度夾緊端部61、63中的每一個。
當然，夾持裝置73、75的輪廓可以彼此不同，和/或在機械緊固件67的整個寬度 上不一致，和/或僅在所述寬度的一部分上延伸。還可想到，該輪廓中的至少一個是大致圓 形的、橢圓形的、正方形的或矩形的，從而完全覆蓋末端彎曲57的端部61和/或細彈簧53 的外圈65的端部63。
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優選地，根據本發明，對於這兩個實施例，在所述端部的至少一個上，提升裝置9、 59包括凸起62、64，用於相對於所述端部中的所述至少一個的長度限定緊固件17、67的位 置。凸起62、64雖然僅在圖5至圖8中示出，但是它們能很好地應用於第一實施例，凸起 62、64形成具有四個立柱的框架，用於分別將主體69的第一臂81和端部77相對於末端彎 曲57的長度鎖定在特定位置以及將主體69的第二臂83和端部71相對於細彈簧53的長 度鎖定在特定位置。 因此，顯然，尤其在第二實施例的情況下，機械緊固件67沿三個大致垂直的平面 理想地鎖靠在端部61和63上。 有利地，提升裝置9、59還可以包括用於提高提升裝置5、59的固定力的連接裝置 27。根據本發明，如下所述，根據所使用的方法，連接裝置可以有若干變型。因此，連接裝置 包括位於機械緊固件17、67與末端彎曲7、57和細彈簧3、53的外圈15、65的端部之間的層 29。層29包括粘結材料、金屬材料、所使用的材料的氧化物或熔融合金、或甚至硬釺料或軟 釺料。 下面將參照圖4說明製造根據本發明的寶璣雙層遊絲1、51的方法31。方法31主 要包括製造部件的步驟33和組裝部件的步驟37。優選地，該方法還包括機械增強所述部件 的步驟35和增強該組件的步驟41。 如圖4所示，第一步驟33用於在各個階段30、32和34期間製造寶璣雙層遊絲1、
51的部件，即，細彈簧3、53-內樁5、55組件、末端彎曲7、57和提升裝置9、59。優選地，將
使用幹法或溼法微機械加工技術，以便非常精確地製造所述部件。在上述示例中，微機械加
工可以是對基於晶體矽的晶片的深反應離子蝕刻類型的幹法各向異性蝕刻。 因此，階段30、32和34首先包括例如使用光敏樹脂光刻方法為晶片覆上保護性掩
膜。其次，對晶片進行各向異性蝕刻，僅有晶片的未受保護的部分被蝕刻。最後，在第三階
段，除去保護性掩膜。因此，顯然，保護性掩膜直接確定了被蝕刻部件的最終形狀。 有利地，易於為已有的機芯尺寸製造寶璣雙層遊絲1、51。因此，有利地，仍然可以
通過用新的、由可微機械加工材料製成的、變差和品質改進的寶璣雙層遊絲來替換通常使
用的金屬寶璣雙層遊絲來簡單地製造機芯。 優選地，還應理解，可以在同一晶片上同時執行步驟33的階段30、32和34。因此， 可得出如下結論，可在所述晶片上數次蝕刻所有必要的部件。 第二步驟37是組裝在步驟33中蝕刻出的部件，即，細彈簧3、53_內樁5、55組件、 末端彎曲7、57以及提升裝置9、59。首先，例如通過破壞在每個必要部件與晶片之間遺留下 來的材料橋狀物來使每個必要部件與被蝕刻晶片分離。其次，將這三個平的部件組裝在一 起，以形成由三個部件組成的遊絲1。在此第二階段中，細彈簧3、53的外圈15、65的端部裝 配到機械緊固件17、67的夾持裝置25、75中的一個中，然後末端彎曲7、57的端部裝配到另 一個夾持裝置23、73中。 優選地，根據第一實施例，在步驟37結束時，遊絲1的整體高度等於代表末端彎曲 7和細彈簧3-內樁5組件的被蝕刻晶片的厚度的兩倍和機械緊固件17的不與該厚度重疊 的長度之和。機械緊固件17優選根據圖3的圖案在晶片中蝕刻出來。
優選地，根據第二實施例，在步驟37結束時，遊絲51的整體高度等於機械緊固件 67的高度。
如上所述，方法31還可以包括增強蝕刻部件的步驟35。關於基於矽的材料的示 例，此步驟可以包括執行等離子氧化，以便產生表面二氧化矽。在圖4中以虛線示出的示例 中，增強步驟35在蝕刻步驟33和組裝步驟37之間執行，這意味著整個被蝕刻晶片可以被 氧化，即，所有部件同時被氧化。當然，步驟35也可以在階段30和/或32和/或34之後 執行。 如上所述，方法31還可以包括用於增強蝕刻部件的組件的步驟41 。在圖4所示的 示例中，可分出三個不同實施例，分別使用雙線、三線或四線示出其過程。
根據圖4中的由雙線示出的第一實施例，增強步驟41可以包括在階段43期間在 夾持裝置23、73和/或25、75內側沉積層29，以便允許機械緊固件17、67緊壓到末端彎曲 7、57和細彈簧3、53的外圈15、65的端部上。因此，在上述基於矽的材料的示例中，此層29 可以由例如通過氣相沉積獲得的金屬層構成。由於矽中缺少塑性域，需要使用可以變形的 層29，以防止夾持裝置23、73、25、75破壞，這是由於為使遊絲1、51正常工作所必須的緊壓 力會產生大於所述矽的彈性區的極限的應力。 當然，可選擇地，層29也可以不沉積在夾持裝置23、73、25、75內側，而是沉積在末 端彎曲7、57和細彈簧3、53的外圈15、65的端部上。因此，在圖4中的雙線所示的示例中， 可以清楚地看到，在該第一實施例中，層29必須在組裝步驟37之前沉積。但是，階段43的 沉積物還可以由釺焊層29構成。釺焊可以在組裝步驟37期間或者在其後執行。
根據圖4中的四線所示的第二實施例，組件增強步驟41可以包括在過程45期間 在夾持裝置23、73和/或25、75與末端彎曲7、57和細彈簧3、53的外圈5、65之間沉積粘 結層29，以提高提升裝置9、59的固定力。因此，第一階段40可以包括在組裝好的部件的界 面處沉積粘結材料，然後優選地在第二階段42中加熱該組件以使所述粘結材料活化。此層 29從而可以由例如聚合物粘結層構成。 當然，可選擇地，如果粘結材料在未活化狀態下不足夠粘，則沉積階段40也可以 在組裝步驟37之前執行。從而，在組裝步驟37之前，在夾持裝置23、73、25、75內側和/或 在末端彎曲7、57和細彈簧3、53的外圈15、65的端部上進行沉積，並且優選地在組裝步驟 37之後在階段42期間加熱沉積物。因此，在該第二實施例的示例中，顯然，由於它們的粘附 力，層29將組件牢固地保持就位。 根據圖4中的三線所示的第三實施例，組件增強步驟41可以包括在過程47期間 在夾持裝置23、73和/或25、75與末端彎曲7、57和細彈簧3、53之間形成連接層29，以提 高提升裝置9、59的固定力。 因此，在上述的基於矽的材料的示例中，第一階段44可以包括例如通過等離子蝕 刻來氧化基於矽的遊絲1、51的表面以形成二氧化矽層，該二氧化矽層可以改善組裝在一 起的部件之間的連接，然後優選在第二階段46加熱該組件以使得所述連接更加改善。
當然，可選擇地，氧化階段44也可以在組裝步驟37之前執行並且由可選的氧化步 驟35代替。因此，已經被氧化的部件可以在步驟37期間組裝起來，並且優選地在階段46 期間被加熱，以在機械緊固件17、67與末端彎曲7、57和細彈簧3、53之間的界面處產生單 個二氧化矽層29。應該指出，在加熱階段46之前的親水化階段改進了連接二氧化矽層的步 驟。因此，可以清楚地看出，在該第三實施例的示例中，類似於另外兩個實施例，層29使得 機械緊固件17、67與末端彎曲7、57和細彈簧3、53之間的組裝增強。
最後，作為第三實施例的替代，可以想到包括單個步驟46的過程47，在該步驟46 中，加熱在步驟37中組裝好的矽部件，以焊接所述部件的受應力界面。
權利要求
一種寶璣雙層遊絲(1，51)，包括細彈簧(3，53)，該細彈簧(3，53)與內樁(5，55)同軸地安裝成由可微機械加工材料製成的單個部件，其特徵在於，所述寶璣雙層遊絲(1，51)包括由可微機械加工材料製成的末端彎曲(7，57)以及由可微機械加工材料製成的位於所述細彈簧的外圈(15，65)和所述末端彎曲之間的提升裝置(9，59)，以用於改善所述遊絲的同心擴展。
2. 根據權利要求l的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述提升裝置(9，59)包括將所述外圈的一端連接到所述末端彎曲的一端的機械緊固件(17,67)。
3. 根據權利要求2的遊絲(l)，其特徵在於，所述機械緊固件(17)具有在每一側通過夾持裝置(23,25)延伸的主體(19)。
4. 根據權利要求3的遊絲(l)，其特徵在於，每個夾持裝置(23,25)具有大致U形的輪廓，用於通過重疊來接納所述端部之一 。
5. 根據權利要求3的遊絲(l)，其特徵在於，所述主體的厚度大約等於所述端部的高度。
6. 根據權利要求2的遊絲(51)，其特徵在於，所述機械緊固件(67)具有主體(69)，一些夾持裝置(73,75)彈性地安裝在所述主體(69)上以將所述外圈和所述末端彎曲的各自端部鎖靠在所述主體(69)上。
7. 根據權利要求6的遊絲(51)，其特徵在於，所述夾持裝置(73,75)具有分別連接到所述主體(69)的第一端(71)和第二端(77)的第一臂(81)和第二臂(83)。
8. 根據權利要求7的遊絲(51)，其特徵在於，所述端部(61,63)中的每一個沿其厚度通過所述臂(81,83)中的其中一個的接觸部(82,86)向所述主體的止動部(72,76)的推壓而被鎖定。
9. 根據權利要求8的遊絲(51)，其特徵在於，所述端部(61,63)中的每一個沿其高度通過所述臂(81,83)中的其中一個的第二接觸部(80,84)向所述主體的第二止動部(70，74)的推壓而被鎖定。
10. 根據權利要求7的遊絲(51)，其特徵在於，所述臂(81,83)大致平行於所述主體(69)。
11. 根據權利要求l的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述機械緊固件(17,67)關於所述主體(19，69)的中心中心對稱。
12. 根據權利要求l的遊絲(1，51)，其特徵在於，在所述端部中的至少一個上，所述提升裝置(9， 59)具有凸起(62，64)，所述凸起(62,64)用於限定所述機械緊固件(17,67)相對於所述端部中的所述至少一個的長度的位置。
13. 根據權利要求2的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述提升裝置(9，59)還包括在所述機械緊固件和所述端部之間的連接裝置(27)，用於提高所述提升裝置的固定力。
14. 根據權利要求13的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述連接裝置(27)包括粘結材料。
15. 根據權利要求l的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述可微機械加工材料是基於矽的。
16. 依賴於權利要求13的根據權利要求15的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述連接裝置(27)包括所述可微機械加工材料的氧化層。
17. 根據權利要求15的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述遊絲包括至少一個氧化矽部件，以使所述遊絲具有更高的機械強度，並調整所述遊絲的熱彈性係數。
18. 根據權利要求1的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述末端彎曲(7)是菲利普斯彎曲，以改善所述遊絲的同心擴展。
19. 根據權利要求l的遊絲(1，51)，其特徵在於，所述細彈簧(3，53)的至少一個內圈(11)包括格羅斯曼彎曲，以改善所述遊絲的同心擴展。
20. —種時計，其特徵在於，所述時計包括根據權利要求l的寶璣雙層遊絲(1，51)。
21. —種寶璣雙層遊絲(1，51)的製造方法(31)，包括以下步驟a) 在可微機械加工材料層中選擇性地蝕刻(30)至少一個凹腔，以限定與內樁(5，55)同軸地安裝的細彈簧(3， 53);其特徵在於，所述方法還包括以下步驟b) 在可微機械加工材料層中選擇性地蝕刻(32)至少一個凹腔，以限定機械緊固件(17,67);c) 在可微機械加工材料層中選擇性地蝕刻(34)至少一個凹腔，以限定末端彎曲(7，57);d) 將機械緊固件(17,67)組裝(37)在所述細彈簧和所述末端彎曲之間，以形成彎曲上挑遊絲(1，51)。
22. 根據權利要求21的方法(31)，其特徵在於，所述可微機械加工材料是晶體矽，並且所述方法在步驟d)之後還包括以下步驟e) 氧化(44)所述上挑遊絲，以提高所述機械緊固件的固定力。
23. 根據權利要求21的方法(31)，其特徵在於，所述方法在所述步驟d)之後或之前還包括以下步驟g) 在所述機械緊固件與所述細彈簧和末端彎曲之間沉積(40)粘結材料；並且所述方法還包括以下最終步驟h) 加熱(42)所述遊絲以使所述粘結材料活化，以便提高所述機械緊固件的固定力。
24. 根據權利要求21的方法(31)，其特徵在於，所述可微機械加工材料是晶體矽，並且所述方法在步驟d)之前還包括以下步驟i) 在所述細彈簧和末端彎曲與所述機械緊固件的用於接納所述細彈簧和末端彎曲的表面之間沉積(43)金屬材料，以便在步驟d)中所述細彈簧和末端彎曲緊壓在所述機械緊固件上，以提高所述機械緊固件的固定力。
25. 根據權利要求21的方法(31)，其特徵在於，所述可微機械加工材料是晶體矽，並且所述方法在步驟d)期間或之後還包括以下步驟i)在所述細彈簧和末端彎曲與所述機械緊固件的用於接納所述細彈簧和末端彎曲的表面之間沉積釺焊材料(42)，以便將所述細彈簧和末端彎曲釺焊到所述機械緊固件上，以提高所述機械緊固件的固定力。
26. 根據權利要求21的方法(31)，其特徵在於，步驟a)、b)和c)在同一可微機械加工材料層中同時執行(33)。
27. 根據權利要求21的方法(31)，其特徵在於，所述可微機械加工材料是晶體矽，並且所述方法在所述步驟a) 、 b)和c)之後還包括以下步驟j)氧化(35,44)所述矽，以使所述寶璣雙層遊絲具有更高的機械強度，並且改善所述寶璣雙層遊絲的熱彈性係數。
28.根據權利要求21、22或27的方法(31)，其特徵在於，所述可微機械加工材料是晶體矽，並且所述方法還包括以下步驟f)加熱(46)所述寶璣雙層遊絲，以提高所述機械緊固件的固定力。
全文摘要
本發明涉及一種寶璣雙層遊絲(1)，該寶璣雙層遊絲(1)包括與內樁(5)同軸地安裝成由可微機械加工材料製成的單個部件的細彈簧(3)。根據本發明，所述遊絲具有由可微機械加工材料製成的末端彎曲(7)以及由可微機械加工材料製成的位於所述細彈簧的外圈(15)和所述末端彎曲之間的提升裝置(9)，以用於改善所述遊絲的同心擴展。本發明還涉及製造所述遊絲的方法。本發明涉及時計製造領域。
文檔編號G04D3/00GK101738923SQ200910220829
公開日2010年6月16日 申請日期2009年11月6日 優先權日2008年11月6日
發明者A·佐格, C·畢弗拉勒 申請人:蒙特雷布勒蓋股份有限公司