一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統的製作方法

2023-04-26 16:06:21 3

專利名稱：一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於半導體工業製造領域,具體涉及一種鋼瓶夾套循環加 熱冷卻系統。
背景技術：
鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統主要是利用水作為加熱或冷卻的介質，利 用物質導熱的性能對貯存有低壓粘稠性氣體或者液態氣體的鋼瓶進行加 熱或冷卻，從而增加或降低鋼瓶內氣體蒸發的速度來改變鋼瓶內氣體的壓 力，以此使氣體的壓力達到工業生產要求的標準。由於此種循環加熱/冷 卻系統設備簡單、操作方便、加熱效果好，所以現在被廣泛應用於半導體 產業、科研技術等領域。現有的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統中，其鋼瓶夾套為兩個半圓形中空 不鏽鋼管閉合而成，圖1為該鋼瓶夾套打開後的剖一見圖，如圖1所示，鋼瓶夾套100的兩個半圓中空不鏽鋼管間通過合頁101連接，每個半圓中空 不鏽鋼管內壁均有U形的水槽迴路102,兩個半圓中空不鏽鋼管內的靠近 合頁上端的水槽口通過軟管103連接，兩個半圓中空不鏽鋼管上端另外的 兩個水槽口分別為鋼瓶夾套的進水口 104和出水口 105，鋼瓶夾套的兩半 閉合時通過夾具106和扣環107固定。現有的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統如圖2所示由控制器201、加熱/ 冷卻器202和鋼瓶夾套100組成，用戶通過控制器201設定溫度，加熱/ 冷卻器202根據用戶的需求將其水槽內的水加熱/冷卻到設定的溫度，加 熱/冷卻器202的出水口 204與鋼瓶夾套100的進水口 104間通過進水管 道212和泵208連4矣，泵208兩側的進水管道212上分別設置進水閥門 209和進水間門210。鋼瓶夾套100的出水口 105與加熱/冷卻器202的進 水口 206間通過出水管道213連接，出水管道213上設置出水閥門211。現有的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統由於鋼瓶夾套為不鏽鋼質地，在日 常的操作中非常笨重，不易拆卸。由於不鏽鋼的鋼瓶夾套大而重，在操作 中很容易碰到氣拒盤面的閥件，所以使用這種鋼瓶夾套時氣拒內的空間必 須足夠大。同時此種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統中，只有一個進水通3各和 一個排水通路，且鋼瓶夾套的進水口和排水口均在高位，在鋼瓶夾套拆裝 時通常無法將其內的水完全排出。發明內容本實用新型解決的技術問題在於提供一種新型鋼瓶夾套循環加熱冷 卻系統，其鋼瓶夾套更加輕便且易拆裝，在不使用系統或拆裝時能方便的 排空系統中的水。為實現上述目的，本實用新型採用以下技術方案一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，包括控制器、加熱/冷卻器及鋼 瓶夾套，所述加熱/冷卻器和鋼並瓦夾套均分別有一進水口和一出水口，所 述加熱/冷卻器的出水口與所述鋼瓶夾套的進水口間由進水管道、打水泵及進水控制閥門連接，所述加熱/冷卻器的進水口與所述鋼瓶夾套的出水 口間通過出水管道和出水控制閥門連接，其特徵在於，所述鋼瓶夾克上還 設有一排水口 ，所述排水口與所述加熱/冷卻器的進水口之間通過排水管 道連接排水泵形成排水通路，排水管道上設置排水閥門進行排水控制。本實用新型的另一技術方案為 一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，包 括控制器、加熱/冷卻器及鋼瓶夾套，所述加熱/冷卻器和鋼瓶夾套均分 別有一進水口和一 出水口 ，所述加熱/冷卻器的出水口與所述鋼瓶夾套的 進水口間由進水管道、打水泵及進水控制閥門連接，所述加熱/冷卻器的 進水口與所述鋼瓶夾套的出水口間通過出水管道和出水控制閥門連接,其 特徵在於，所述鋼瓶夾克上還設有一排水口，所述排水口與所述加熱/冷 卻器的進水口之間通過排水管道連接所述打水泵形成排水通路，所述排水 管道上設置排水閥門進行排水控制。上述兩種技術方案中所述的鋼瓶夾套採用雙面PVC或高強度複合纖 維材料高溫燹粘製成，包括收口部分和夾套本體部分兩部分。所述鋼瓶夾套收口部分的兩個外角為圓弧形設計使夾套在使用時更 加貼緊、穩固於鋼瓶頂部外圍。所述鋼瓶夾套本體部分高溫燙粘出多個相連的中間沒有粘合的井形 通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分別為進水口和出水口，井 形通路底端還設有一排水口 。所述鋼瓶夾套有一使其抱緊鋼瓶後可穩固附於鋼並瓦的粘接口 。本實用新型的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統採用了新型材質製作 了鋼瓶夾套,使得鋼瓶夾套的拆裝更加輕便，節省了整個系統所需的空間，同時在鋼瓶夾套的設計上增設了排水口 ，整個系統增設了鋼瓶夾套的排水 通路，使得在鋼瓶夾套拆裝時可完全排空夾套內的水，更加方便了整個系 統的使用。


圖l是現有技術中鋼瓶夾套打開後的剖視圖；圖2是現有鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統的系統結構示意圖；圖3是本實用新型的鋼瓶夾套展開後的平面圖；圖4是本實用新型的新型鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統一個實施例的系 統結構示意圖；圖5是本實用新型的新型鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統另一個實施例的 系統結構示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖與實施例進一步說明本實用新型。本實用新型的新型鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統中，鋼並瓦夾套由雙面 PVC或高強度複合纖維材料高溫燙粘製成。請參閱圖3，圖3為本實用新 型的鋼瓶夾套展開後的平面圖。如圖3所示，由於選用PVC或高強度復 合纖維材料，本實用新型的鋼瓶夾套300為一片式巻曲包裹於鋼瓶外部， 展開後可見其包括夾套收口部分301和夾套本體部分302兩部分。夾套收 口部分的兩個外角為圓弧形設計，這樣可使夾套在使用時更加貼緊、穩固於鋼瓶外圍；夾套本體部分高溫燙粘出多個相連的中間沒有粘合的井形通 路303,井形通路靠近收口部分最外端分別為進水口 305和出水口 304， 井形通路底端還設有一排水口 306。鋼瓶夾套抱緊鋼瓶後的粘接口 307處 可使用拉鏈、尼龍粘帶或不鏽鋼接口等等。本實用新型的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統在採用了新型鋼瓶夾套的 同時，其系統結構也在現有技術的基礎上作了一定改進。圖4是本實用新型的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統的一個實施例的系 統結構示意圖。如圖4所示，控制器201控制加熱/冷卻器202進行溫度 設定，加熱/冷卻器202的出水口 204與鋼瓶夾套300的進水口 305間通 過進水管道212和泵208連接，泵208兩側的進水管道212上分別設置進 水閥門209和進水進水閥門210。鋼弁瓦夾套300的出水口 304與加熱/冷 卻器202的進水口 206間通過出水管道213連接，出水管道213上設置出 水閥門211。同時鋼瓶夾套300的排水口 306通過排水管道404、另一泵 402與加熱/冷卻器202的進水口 206連接。泵402兩側的排水管道404 上分別設置有排水閥門401、 403。對鋼瓶進行時加熱或冷卻時，將進水閥門209、 210和出水閥門211 開啟，排水閥門401、 403和泵402關閉，用戶通過控制器201設定鋼瓶 所需保持的溫度，加熱/冷卻器202內不斷將7jc加熱或冷卻到用戶設定的 溫度並由其出水口 204輸出，通過泵208將水打入進水管道212，水通過 鋼瓶夾套300的進水口 305進入夾套，經由夾套內的井形通^各由鋼瓶夾套 300的出水口 304流出，最終通過出水管道213流回加熱/冷卻器的進水 口 206形成循環，從而使鋼瓶一直恆溫於用戶設定的溫度。當需要更換鋼瓶或鋼瓶夾套出現問題需要修理時，將閥門209、 210 及211關閉，開啟閥門401、 403，通過泵402從鋼瓶夾套300的排水口 306將鋼瓶夾套內的水全部打入加熱/冷卻器，從而方便鋼瓶夾套的拆裝。圖5為本實用新型的鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統的另一個實施例的 系統結構示意圖。如圖5所示，本實施例與上述實施例不同的是，通過對 鋼瓶夾套300的排水通路的特別設計，整個鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統中 只使用一個泵208,其既作為鋼瓶保溫時的打水泵也作為鋼瓶停用或夾套 拆裝時的排水泵，同時系統的排水管道503也復用了一部分進水管道212 和出水管道213，節省了整個系統的成本。請參看圖5,在此實施例中，對鋼瓶進行時加熱或冷卻時，同樣首先 將進水閥門209、 210和出水閥門211開啟，將排水閥門501、 502關閉, 用戶同樣通過控制器201設定鋼瓶所需保持的溫度，加熱/冷卻器202內 不斷將水加熱或冷卻到用戶設定的溫度，由其出水口 204輸出，通過泵 208將水打入進水管道212,水通過鋼瓶夾套300的進水口 305進入夾套， 經由夾套內的井形通路由鋼瓶夾套300的出水口 304流出，最終通過出水 管道213流回加熱/冷卻器的進水口 206形成循環，/人而使鋼瓶一直恆溫 於用戶設定的溫度。更換鋼瓶或鋼瓶夾套出現問題需要修理時，將閥門 209、 210及211關閉，開啟閥門501、 502，同時開啟泵208,通過泵208 從鋼瓶夾套300的排水口 306將鋼瓶夾套內的水抽出，通過排水迴路503 全部進入加熱/冷卻器，從而方便鋼瓶夾套的拆裝。以上所述的實施例僅為說明本實用新型的技術思想及特點，其目的在 於使本領域技術人員能夠了解本實用新型的內容並據以實施，並不能以此來限定本實用新型的保護範圍，即依本實用新型所揭示的精神所作的均等 變化或修改仍應涵蓋在本實用新型的保護範圍內。
權利要求1.一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，包括控制器、加熱/冷卻器及鋼瓶夾套，所述加熱/冷卻器和鋼瓶夾套均分別有一進水口和一出水口，所述加熱/冷卻器的出水口與所述鋼瓶夾套的進水口間由進水管道、打水泵及進水控制閥門連接，所述加熱/冷卻器的進水口與所述鋼瓶夾套的出水口間通過出水管道和出水控制閥門連接，其特徵在於，所述鋼瓶夾克上還設有一排水口，所述排水口與所述加熱/冷卻器的進水口之間通過排水管道連接排水泵形成排水通路，排水管道上設置排水閥門進行排水控制。
2. 根據權利要求1所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵在 於，所述鋼瓶夾套採用雙面PVC或高強度複合纖維材料高溫燙粘製成。
3. 根據權利要求2所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵在 於，所述鋼瓶夾套包括收口部分和夾套本體部分兩部分。
4. 根據權利要求3所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵 在於，所述鋼瓶夾套收口部分的兩個外角為圓弧形。
5. ^f艮據權利要求3所述的一種鋼jf瓦夾套循環加熱冷卻系統，其特徵 在於，所述鋼瓶夾套本體部分高溫燙粘出多個相連的中間沒有粘合的井形 通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分別為進水口和出水口，井 形通路底端還設有一排水口 。
6. 根據權利要求2所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵在 於，所述鋼瓶夾套有一使其抱緊鋼瓶後可穩固附於鋼瓶的粘接口 。
7. —種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，包括控制器、加熱/冷卻器及 鋼瓶夾套，所述加熱/冷卻器和鋼瓶夾套均分別有一進水口和一出水口 ， 所述加熱/冷卻器的出水口與所述鋼瓶夾套的進水口間由進水管道、打水 泵及進水控制閥門連接，所述加熱/冷卻器的進水口與所述鋼瓶夾套的出 水口間通過出水管道和出水控制閥門連接，其特徵在於，所述鋼瓶夾克上 還設有一排水口 ，所述排水口與所述加熱/冷卻器的進水口之間通過排水 管道連接所述打水泵形成排水通路,所述排水管道上設置排水閥門進行排 水控制。
8. 根據權利要求7所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵在 於，所述鋼瓶夾套採用雙面PVC或高強度複合纖維材料高溫燙粘製成。
9. 根據權利要求8所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵在 於，所述鋼瓶夾套包括收口部分和夾套本體部分兩部分。
10. 根據權利要求9所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵 在於，所述鋼瓶夾套收口部分的兩個外角為圓弧形。
11. 根據權利要求9所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵 在於，所述鋼瓶夾套本體部分高溫燹粘出多個相連的中間沒有粘合的井形 通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分別為進水口和出水口，井 形通路底端還設有一排水口 。
12. 根據權利要求8所述的一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，其特徵 在於，所述鋼瓶夾套有一使其抱緊鋼瓶後可穩固附於鋼瓶的粘接口 。
專利摘要本實用新型公開了一種鋼瓶夾套循環加熱冷卻系統，包括控制器、加熱/冷卻器及鋼瓶夾套，所述加熱/冷卻器和鋼瓶夾套均分別有一進水口和一出水口，所述加熱/冷卻器的出水口與所述鋼瓶夾套的進水口間由進水管道、打水泵及進水控制閥門連接，所述加熱/冷卻器的進水口與所述鋼瓶夾套的出水口間通過出水管道和出水控制閥門連接，所述鋼瓶夾克上還設有一排水口，所述排水口與所述加熱/冷卻器的進水口之間通過排水管道連接排水泵形成排水通路，排水管道上設置排水閥門進行排水控制。本實用新型的鋼瓶夾套採用新型軟質材質，使得鋼瓶夾套的拆裝更加輕便，節省了整個系統所需的空間。
文檔編號F17C7/00GK201106761SQ20072007436
公開日2008年8月27日 申請日期2007年9月4日 優先權日2007年9月4日
發明者榕 張 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司