腔式石墨舟的製作方法
2023-05-10 04:11:11 1
專利名稱：腔式石墨舟的製作方法
技術領域：
本發明涉及石墨舟技術領域，尤其涉及一種腔式石墨舟。
背景技術：
石墨舟是給太陽能電池片中的矽片鍍膜的載體，現有的太陽能電池片PECVD所用石墨舟均為管式石墨舟，其舟片數通常為11至19片，且石墨舟的兩個電極均在石墨舟的同一側，分為上電極和下電極。現有的管式石墨舟，由於其舟片數相對較少，兩個電極在同一側，而且管式石墨舟的容量較小，導致石墨舟加工矽片時反應速度慢，加工時間長，生產效率低。
發明內容
本發明的主要目的在於提供一種載片量大、生產效率高的腔式石墨舟。為了達到上述目的，本發明提出一種腔式石墨舟，包括舟片、位於所述石墨舟左右兩端的左、右電極，所述舟片包括與所述左電極導電連接的左電極片以及與所述右電極導電連接的右電極片。優選地，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷杆連接；所述陶瓷杆上套有陶瓷套。優選地，所述舟片通過設置在該舟片一側的連接片與相應電極導電連接。優選地，每一舟片一側的連接片包括上下兩個，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。優選地，位於舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設有用於測定石墨舟舟號並記錄石墨舟使用次數的舟號柱。優選地，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設有兩個，每一端的兩所述支撐腳分別設置在所述左電極或右電極的兩側。優選地，所述支撐腳底部設有與外部運轉小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。優選地，所述舟片數量為21-41片。優選地，所述舟片上設有裝載矽片的矽片位，每個舟片上設有至少6個矽片位。優選地，所述矽片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。本發明提出的一種腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設置在石墨舟的左右兩端，改變現有的石墨舟的電極結構，各舟片相應分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設置用於測定石墨舟舟號並記錄石墨舟使用次數的舟號柱，使得石墨舟更加智能化，其自動化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發明不僅結構新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產效率。
圖1是本發明腔式石墨舟一實施例的立體結構示意圖；圖2是本發明腔式石墨舟一實施例的主視圖。為了使本發明的技術方案更加清楚、明了，下面將結合附圖作進一步詳述。
具體實施例方式本發明技術方案總體思路是通過在。以下將結合附圖及實施例，對實現發明目的的技術方案作詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，並不用於限定本發明。如圖1及圖2所示，本發明一實施例提出一種腔式石墨舟，包括舟片10、位於石墨舟左右兩端的左、右電極40、50，舟片10包括與左電極40導電連接的左電極片102以及與右電極40導電連接的右電極片103。其中，左電極片102與右電極片103間隔排列，各左電極片102及右電極片103之間通過陶瓷杆(圖中未示出)連接；陶瓷杆上套有陶瓷套。在本實施例中，每一舟片10的一側均設有兩個連接片101，通過該連接片101與相應電極導電連接。具體地，對於左電極片102，在其左端上下分別設有兩個連接片101，各左電極片102的連接片101之間通過石墨隔塊60隔離，各連接片101通過石墨隔塊60與位於下方的左電極40導電連接。同理，對於右電極片103依此原理設置。石墨舟的左右兩端各設有兩個支撐腳20，每一端的兩支撐腳20分別設置在左電極40或右電極50的兩側，即左電極40的兩側分別設置有一個支撐腳20 ；右電極50的兩側分別設置有一個支撐腳20。本實施例中，支撐腳20的底部設有圓弧形凹槽201，其作用是在運輸石墨舟至 PECVD真空鍍膜設備時，通過支撐腳20底部的圓弧形凹槽201與外部運轉小車上固定柱配合，將石墨舟固定在運轉小車上，然後通過運轉小車將石墨舟送至PECVD真空鍍膜設備對矽片進行鍍膜加工，從而提高了石墨舟的使用安全性。此外，為了實現石墨舟的智能化工作，提高石墨舟的自動化程度，本實施例在位於舟片10上面的連接片101之間的石墨隔塊上設有舟號柱70，用於測定石墨舟舟號並記錄石墨舟使用次數。具體地，可以在石墨舟的一側石墨隔塊上設置八個舟號柱70，使PECVD真空鍍膜設備自動測定石墨舟舟號並記錄石墨舟的使用次數，其中，舟號柱70可以通過螺紋固定在石墨隔塊60上，並可拆卸。PECVD真空鍍膜設備根據石墨舟上是否有舟號柱70進行編號， 其編號的原理與計算機二進位一樣，編號包括1和0，石墨舟上有舟號柱時為1，沒有舟號柱時為0，通過舟號柱上標識的編號即可測定石墨舟舟號並記錄石墨舟的使用次數。本實施例腔式石墨舟的舟片數量可達21-41片。每個舟片10可以設置至少6個用於裝載矽片的矽片位30。具體地，比如，對於裝載125mm*125mm尺寸規格的矽片的石墨舟而言，每個舟片10可以具有7-14個矽片位30 ；對於裝載156mm*156mm尺寸規格的矽片的石墨舟而言，每個舟片10可以具有6-13個矽片位30。其中，矽片位30可以為凹槽；凹槽可以為鏤空或不鏤空。先比現有的管式石墨舟，本發明腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設置在石墨舟的左右兩端，改變現有的石墨舟的電極結構，各舟片相應分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設置用於測定石墨舟舟號並記錄石墨舟使用次數的舟號柱，使得石墨舟更加智能化，其自動化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發明不僅結構新穎， 安全可靠，而且極大的提高了生產效率。 以上所述僅為本發明的優選實施例，並非因此限制本發明的專利範圍，凡是利用本發明說明書及附圖內容所作的等效結構或流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發明的專利保護範圍內。
權利要求
1.一種腔式石墨舟，包括舟片，其特徵在於，還包括位於所述石墨舟左右兩端的左、 右電極，所述舟片包括與所述左電極導電連接的左電極片以及與所述右電極導電連接的右電極片。
2.根據權利要求1所述的腔式石墨舟，其特徵在於，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷杆連接；所述陶瓷杆上套有陶瓷套。
3.根據權利要求2所述的腔式石墨舟，其特徵在於，所述舟片通過設置在該舟片一側的連接片與相應電極導電連接。
4.根據權利要求3所述的腔式石墨舟，其特徵在於，每一舟片一側的連接片包括上下兩個，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。
5.根據權利要求4所述的腔式石墨舟，其特徵在於，位於舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設有用於測定石墨舟舟號並記錄石墨舟使用次數的舟號柱。
6.根據權利要求1-5中任一項所述的腔式石墨舟，其特徵在於，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設有兩個，每一端的兩所述支撐腳分別設置在所述左電極或右電極的兩側。
7.根據權利要求6所述的腔式石墨舟，其特徵在於，所述支撐腳底部設有與外部運轉小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。
8.根據權利要求1所述的腔式石墨舟，其特徵在於，所述舟片數量為21-41片。
9.根據權利要求1所述的腔式石墨舟，其特徵在於，所述舟片上設有裝載矽片的矽片位，每個舟片上設有至少6個矽片位。
10.根據權利要求9所述的腔式石墨舟，其特徵在於，所述矽片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。
全文摘要
本發明涉及一種腔式石墨舟，包括舟片、位於石墨舟左右兩端的左、右電極，舟片包括與左電極導電連接的左電極片以及與右電極導電連接的右電極片。本發明通過將石墨舟的兩電極設置在石墨舟的左右兩端，改變現有的石墨舟的電極結構，各舟片相應分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時反應速度快，鍍膜時間短，而且石墨舟的舟片數可以增加至21到41片，同時還在石墨舟的石墨隔塊上設置用於測定石墨舟舟號並記錄石墨舟使用次數的舟號柱，使得石墨舟更加智能化；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運轉小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發明不僅結構新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產效率。
文檔編號H01L31/18GK102181846SQ20111008240
公開日2011年9月14日 申請日期2011年4月1日 優先權日2011年4月1日
發明者張志勇 申請人:石金精密科技(深圳)有限公司