一種彩色濾光片基板的製作方法
2023-05-10 02:41:26 1
專利名稱：一種彩色濾光片基板的製作方法
一種彩色濾光片基板
技術領域：
本發明涉及ー種彩色濾光片基板，特別涉及一種在滿足高解析度高色彩飽和度情況下能夠有效減小斜向色偏現象的薄型彩色濾光片基板。
背景技木彩色濾光片基板廣泛應用於顯示裝置中，在一般的彩色濾光片基板的製程中，首先是在基板上設置黑色矩陣，再在黒色矩陣和基板上設置複數彩色光阻，然後在彩色光阻上層設置一平坦層。其中，彩色光阻有三種，可以分別透過三種不同顔色的光線，如紅、緑、藍光等。其中，黒色矩陣位於相鄰的彩色光阻之間，主要起阻擋雜光，防止混色等作用。如圖I所示，為先前技術中ー種彩色濾光片基板100的剖視圖。先前技術中，黑色 矩陣120位於基板110之上；彩色光阻130,包括第一彩色光阻131、第二彩色光阻132以及第三彩色光阻133，位於黑色矩陣120之間，且位於基板110和黒色矩陣120之上；平坦層140位於彩色光阻130的上方。在依次形成第一彩色光阻131、第二彩色光阻132以及第三彩色光阻133吋，如果彩色光阻130在黒色矩陣120上方有爬坡現象，即相鄰的彩色光阻131在黑色矩陣120上方會形成一部分的重疊凸出部134，該重疊凸出部134是ー個凸起，會造成後續形成的平坦層140的平坦度不足，使為達到一定的平坦度而需増大平坦層140的厚度。同時，如圖I所示的彩色濾光片基板，容易產生斜向色偏的問題。圖2所示為先前技術中彩色濾光片基板產生斜向色偏現象的原理圖。由於在先前技術中，黒色矩陣120位於基板110之上，彩色光阻130位於黑色矩陣120之間，且位於基板110和黒色矩陣120之上。彩色光阻130上表面除掉重疊凸出部134之後的中間部分135是平坦的，即該中間部分135是平行於該彩色光阻130與基板110的界面的。當觀察者透過該彩色濾光片基板100觀察從彩色光阻130透過來的光，正視(視線垂直於基板110)和斜視(視線與基板110成一定的角度，如大於0°且小於90° )顯示器時，從顯示器中透出來的光線經過彩色光阻130時的光程是不一樣的,斜視時光線的光程一般要大於正視時光線的光程,即觀察者正視和斜視顯示器時，會產生光程差，從而產生斜向色偏現象。目前可以通過増加彩色光阻膜厚的方法來提高顯示面板的色彩飽和度，但是彩色光阻的膜厚越大，也越易出現斜向色偏現象。如此ー來，縱使彩色光阻的高膜厚能夠提高色彩飽和度，仍然不能對彩色光阻進行高膜厚的設計。
發明內容本發明提供ー種彩色濾光片基板，該彩色濾光片基板能夠在滿足高解析度和高色彩飽和度的情況下減小斜向色偏的問題。本發明中提供ー種彩色濾光片基板，所述彩色濾光片基板包含複數彩色光阻位於基板上，該複數彩色光阻均具有一弧面造型；一黒色矩陣位於相鄰的彩色光阻之間且位於彩色光阻邊緣部之上；一平坦層位於所述彩色光阻和所述黑色矩陣之上。
根據本發明，複數彩色光阻首先形成在基板上，該彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻的下表面與所述基板貼合，該彩色光阻的上表面為ー弧形，即該彩色光阻的上表面之弧形為上凸的弧形，該彩色光阻具有ー邊緣部，且相鄰的彩色光阻相互接觸，在相鄰的彩色光阻之間有ー凹陷部分，而黑色矩陣位於相鄰彩色光阻之間的凹陷部分並覆蓋部分彩色光阻即黑色矩陣位於彩色光阻所述邊緣部之上，如此，相鄰彩色光阻因邊緣部重疊而產生的凸起會在形成黒色矩陣之後被黒色矩陣所覆蓋，而不會直接影響到後續平坦層的平坦度，也就是說，可以在保證平坦層具有較好平坦度的情況下減小平坦層的厚度，從而形成較薄的彩色濾光片基板。根據本發明，彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻的上表面為ー弧形，即該彩色光阻的上表面之弧形為上凸的弧形，該彩色光阻上表面的曲率半徑較小，該彩色光阻上表面的曲率半徑小於該彩色光阻下表面的長度，即使該彩色光阻上表面的曲率中心位於該彩色光阻的下表面附近，最佳的，該彩色光阻上表面的曲率中心正好位於彩色光阻下表面處，如此，觀察者在正視和斜視顯示器時，從彩色濾光片基板透過來的光經過彩色光阻時的路程相近或相同即光經過彩色光阻時的光程相近或相同，可以減小斜向色偏或消除斜向色偏。
根據本發明，由於該彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻的上表面為ー弧形，可以適當增加該彩色光阻的厚度來提高該彩色光阻的色彩飽和度。同吋，由於該彩色光阻具有一弧面造型，黒色矩陣位於相鄰彩色光阻之間的凹陷部分且位於彩色光阻邊緣部之上，即黑色矩陣是依著彩色光阻的邊緣部而設置的，如此便可以在保證可視範圍的情況下，有效的節省空間並製作尺寸較小數量更多的彩色光阻，從而製作達到滿足高解析度要求的彩色濾光片基板。本發明提供一種製造彩色濾光片基板的方法，首先提供一基板，在該基板上形成第一色阻材料；在第一色阻材料的上方設置一光罩；透過光罩對第一色阻材料進行曝光，採用的曝光方式為弱曝光；對第一色阻材料進行蝕刻；蝕刻完成後，從而形成第一彩色光阻，該第一彩色光阻具有一弧面造型；隨後，依次在基板上形成第二彩色光阻和第三彩色光阻，如此，在整個基板上形成複數彩色光阻，該複數彩色光阻均具有一弧面造型，該彩色光阻的上表面為ー弧形，該上表面的曲率半徑較小，該彩色光阻上表面之弧形的曲率半徑小於該彩色光阻下表面的長度，即該彩色光阻上表面的曲率中心位於該彩色光阻下表面附近，最佳的，該彩色光阻上表面的曲率中心正好位於彩色光阻下表面處，且相鄰的彩色光阻相互接觸，相鄰的彩色光阻之間會形成ー凹陷部分；然後在彩色光阻上形成黒色矩陣，黒色矩陣位於相鄰彩色光阻之間的凹陷部分並覆蓋部分的彩色光阻，且位於彩色光阻邊緣部之上；最後在彩色光阻和黒色矩陣上方形成一平坦層。一種製造如上所述彩色濾光片基板的方法為採用色阻材料製作彩色光阻，當為滿足高色彩飽和度的要求而增加彩色光阻的膜厚時，彩色光阻的光透過率便會下降，為了解決高色彩飽和度下彩色光阻光透過率下降問題，採用色彩分子(paste分子)較小的色阻材料。一種製造如上所述彩色濾光片基板的方法為採用色阻材料製作彩色光阻，該色阻材料為感光度較低的色阻材料。一種製造如上所述彩色濾光片基板的方法為在色阻材料的上方設置一具有開ロ部分和遮光部分的光罩，降低曝光光強度，對色阻材料進行弱曝光。該色阻材料的感光度較低，該色阻材料的充分感光部分在後續的蝕刻過程中被保留下來，未感光部分在蝕刻過程中被蝕刻掉，弱感光部分在蝕刻過程中被部分蝕刻掉同時部分保留下來。
圖I為先前技術中彩色濾光片基板的剖視圖。圖2為先前技術中彩色濾光片基板產生斜向色偏現象的原理圖。圖3為本發明中彩色濾光片基板的剖視圖。圖4a，4b為單個彩色光阻的具體形狀剖視圖。圖5，6a，6b為本發明中彩色濾光片基板改善斜向色偏現象的原理圖。圖疒圖10為本發明中製造彩色濾光片基板的流程圖。 圖11為本發明中製作彩色光阻的曝光過程並實現彩色光阻弧面造型的原理圖。
具體實施方式
圖3為本發明中彩色濾光片基板的剖視圖。如圖3所示，本發明中彩色濾光片基板200包含一基板210，其中，所述基板210由可透光材料製作而成；一彩色光阻230，其設置於基板210上，其中，該彩色光阻230為ー弧面造型，其下表面202與基板210相接觸，其上表面201為ー弧形，該彩色光阻230具有一邊緣部204，且相鄰的彩色光阻230相互接觸，在相鄰的彩色光阻230之間形成有ー凹陷部分203 ;—黒色矩陣220，其設置於兩相鄰彩色光阻230之間，即黑色矩陣220設置於相鄰彩色光阻230之間所形成的凹陷部分203 ;—平坦層240設置於該彩色光阻230及該黑色矩陣220的上方。其中，上述彩色光阻230更包含有第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233，且設置在基板210上依序交替排列，現以此三種彩色光阻為例，但不限於三種彩色光阻，例如亦可使用R(紅)，綠(G)，藍(B)，白(W)四種彩色光阻或其他的彩色光阻組合。而所述三種彩色光阻是由三種不同的色阻材料(如樹脂材料)所製作而成，其可將入射光分別透過不同的彩色光阻而過濾出不同波長段的光，如紅、綠、藍光等，其中該彩色光阻230設計為具有一弧面造型，其下表面202與基板210相接觸並貼合，其上表面201為ー弧形，即該彩色光阻230的上表面201之弧形為上凸的弧形，如圖4a，4b所示，為單個彩色光阻230的具體形狀剖視圖，該彩色光阻230的上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小於該彩色光阻230下表面202的長度H，即其上表面201的曲率中心O位於該彩色光阻230的下表面202附近，該曲率中心O越靠近該下表面202越好，最佳的，該彩色光阻230的上表面201的曲率半徑R等於該下表面202長度H的一半，即該上表面201的曲率中心O正好位於該下表面202處，即使該彩色光阻230為ー個半球，圖4a中彩色光阻230上表面201的曲率半徑R小於下表面202長度H並大於1/2H(該上表面201的曲率中心O位於該下表面202附近)，圖4b中彩色光阻230上表面201的曲率半徑R等於下表面202長度H的一半(該上表面201的曲率中心O正好位於該下表面202處)，當然，這是在該彩色光阻230的上表面201之弧形為ー標準弧形(具有ー個曲率半徑)的情況下所需要滿足的條件，而很多情況下，該彩色光阻230的上表面201之弧形也可以為ー不標準的弧形(具有多個曲率半徑，如為ー橢圓狀的弧形或其他連續曲線所構成的弧形)，此時，亦可將該不標準弧形所具有的曲率半徑均設置成小於該彩色光阻230下表面的202的長度，或者至少將該不標準弧形正中央的一段弧的曲率中心設置在該彩色光阻230下表面202的附近，如此，則可以通過適當増加彩色光阻230的膜厚來提高彩色光阻230的色彩飽和度，此時，由於增加了彩色光阻230的膜厚，其光透過率則會因膜厚增加受到影響而降低，然而為了解決彩色光阻230光透過率降低的問題，該彩色光阻230是採用色彩分子(paste分子)較小的色阻材料，即在增加彩色光阻230膜厚的情況下使其光透過率不受影響。由於彩色光阻230的上表面201均為ー弧形，因所述第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233設置在基板210上時是依序交替排列的，且相鄰的彩色光阻230相互接觸，故在相鄰的彩色光阻230之間會形成ー凹陷部分203。再接續上述，其中所述黑色矩陣220是設置於相鄰彩色光阻230之間所形成的凹陷部分203並覆蓋部分的彩色光阻230，且位於彩色光阻230邊緣部204之上，由於黑色矩陣220位於相鄰彩色光阻230之間的凹陷部分203，可以在有效的節省空間的同時擴大彩色光阻230的可視範圍，即該黑色矩陣220是依著彩色光阻230的邊緣部204而設置的，而該 上表面201為ー弧形，使其彩色光阻230底部的可視範圍擴大，如此便可以在保證同樣大小的可視範圍的情況下縮小彩色光阻230的尺寸並製作數量更多的彩色光阻230，從而使該彩色濾光片基板200能夠滿足高解析度的要求。其中該黑色矩陣220為不透光材料，該不透光材料至少要阻擋可見光。所述平坦層240位於彩色光阻230和黑色矩陣220的上方，平坦層240為透明絕緣材料。通常，在形成彩色光阻230時，相鄰的彩色光阻230之間也會形成一部分的重疊區域，而在本發明中，縱使相鄰的彩色光阻230之間形成了一部分的重疊區域，但是該重疊區域會首先被黒色矩陣220覆蓋，而並不會直接影響到後續平坦層的形成，即在本發明中並不會在形成平坦層之前產生如圖I所示之重疊凸出部(如圖I中所示的重疊凸出部134，需要形成較厚的平坦層140，才能使平坦層140的平坦度較好。)如此，即可在保證平坦層240具有較好平坦度的情況下減少形成的平坦層240的厚度，從而減少形成的該彩色濾光片基板200的厚度。如圖5，6a，6b所示，為本發明中彩色濾光片基板改善斜向色偏現象的原理圖。如圖5所示，本發明中彩色濾光片基板200上的彩色光阻230位於基板210之上，由於每ー彩色光阻230，包括第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233，其上表面201均為ー弧形，即該彩色光阻230的上表面201為上凸的弧形，該上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小於該彩色光阻230下表面202的長度H，即使其上表面201的曲率中心O位於該彩色光阻230的下表面202附近，該曲率中心O越靠近該下表面202越好，最佳的，該彩色光阻230的上表面201的曲率半徑R等於該下表面202長度H的一半，即該上表面201的曲率中心O正好位於該下表面202處，即使該彩色光阻230為ー個半球，如此，當觀察者正視(視線垂直於基板210)和斜視(視線與基板210成一定的角度，如大於0°小於90° )顯示器時，從彩色濾光片基板200透出來的光線經過彩色光阻230時的路程分別為LI和L2 ( 一般情況下，彩色光阻230的尺寸都在微米量級，不管正視還是斜視顯示器，人眼接收到的經過彩色光阻230的光線大部分都會經過彩色光阻230的下表面202的中心點附近)，LI和L2相近或相同，最佳的，該路程LI和L2的大小相同且為該彩色光阻230上表面201的曲率半徑R的大小，如圖6a所示，該彩色光阻230上表面201的曲率半徑小於該下表面202長度H並大於1/2H(該上表面201的曲率中心O位於該下表面202附近)，正視和斜視顯示器時，光線通過彩色光阻230時的路程LI和L2大小相近，如圖6b所示，該彩色光阻230上表面的曲率半徑R等於該下表面202的長度H的一半(該上表面201的曲率中心正好位於該下表面202處)，正視和斜視顯示器時，光線通過彩色光阻230時的路程LI和L2大小相等且等於該上表面201的曲率半徑R，如此，從彩色濾光片基板200透出來的光線經過彩色光阻230時的光程相近或相同，即觀察者正視和斜視顯示器時，所產生的光程差較小或不產生光程差。因此，該彩色濾光片基板200能夠有效改善斜向色偏現象。圖疒圖10為本發明中製作彩色濾光片基板的流程圖。如圖7所示，首先提供一基板210，該基板210由透明材料製作而成，其可透過可見光。然後在基板210上形成ー層第一色阻材料250,該第一色阻材料250為負光阻,其中該第一色阻材料250為ー種感光度較低的色阻材料，即該第一色阻材料250主要是對光的敏感度較低，即光強需要達到一定的值，該第一色阻材料250才能充分反應，若所接收到的光強較小，其反應度會較小或不能充分反應或反應較緩慢。
再接續下個步驟，請同時參考圖8及圖11。如圖8中所示，在第一色阻材料250的上方設置一光罩900，該光罩900具有開ロ部分901及遮光部分903，開ロ部分901可以讓光通過，遮光部分903不可以讓光通過。接著，通過光罩900對第一色阻材料250進行曝光，該曝光方式是使用弱曝光，即曝光的強度較弱，而第一色阻材料250是選擇感光度較低的色阻材料，即該第一色阻材料250對光的敏感度較低，在進行弱曝光的過程中，該第一色阻材料250上所接收到的光強沒有達到一定強度的部分，其反應度則會較小或不能充分反應或反應較緩慢，而該第一色阻材料250上所接收到的光強達到一定強度的部分能夠充分反應，此時請同時參考圖11所示，經過弱曝光後，位於光罩900開ロ部分901中央正下方的第一色阻材料250所接收到的光強最強成為充分感光部分251，位於光罩900開ロ部分901與遮光部分903交界處下方的第一色阻材料250所接收到的光強較小成為弱感光部分252，而位於光罩900遮光部分903下方的第一色阻材料250沒有接收到光照成為未感光部分253。隨後接著，對經過弱曝光後的該第一色阻材料250進行蝕刻，其中該充分感光部分251全部被保留下來，未感光部位253完全被蝕刻棹，弱感光部分252被部分蝕刻掉且部分保留下來。蝕刻完成後，從而形成複數個第一彩色光阻231，如圖9所示，其中該第一彩色光阻231則形成為具ー弧面造型，同時參考圖4a和圖4b，即該第一彩色光阻231的上表面201為ー弧形，該弧形為上凸的弧形，該第一彩色光阻231的上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小於該彩色光阻231下表面202的長度H，即且該上表面201的曲率中心O位於該第一彩色光阻231的下表面202附近，該曲率中心O越靠近該下表面202越好，最佳的，該彩色光阻231的上表面201的曲率半徑等於該下表面202長度H的一半，即該上表面201的曲率中心O正好位於該下表面202處，即使該彩色光祖231為ー個半球。隨後，用相同的方法在基板210上依次形成複數個第二彩色光阻232和複數個第三彩色光阻233，第二彩色光阻232及第三彩色光阻233也均為ー弧面造型，即該第二彩色光阻232及第三彩色光阻233的上表面201為ー弧形，該弧形為上凸的弧形，該上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小於該彩色光阻230下表面202的長度H，即該上表面201的曲率中心O位於該第二彩色光阻232及第三彩色光阻233的下表面202附近，最佳的，該曲率中心O正好位於下表面202處，且所述第一彩色光阻231與第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233的形狀和大小都相同。本發明以彩色光阻230所採用的色阻材料都是負光阻為例來解釋本發明，但不限於使用負光阻，如若採用正光阻，本領域內的一般技術人員也可採用類似的原理實施。其中第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233所採用的色阻材料各不相同，該三種彩色光阻可分別將入射光過濾出不同波長段的光。第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233在基板210上是依序交替排列的，相鄰的彩色光阻230彼此接觸，如此，在整個基板210上都布滿了彩色光阻230，且相鄰的彩色光阻230之間會形成ー凹陷部分203。如圖10所示，隨後，在彩色濾光片基板200上形成黒色矩陣220，黒色矩陣220位於相鄰彩色光阻230之間的凹陷部分203並覆蓋部分的彩色光阻230，且位於彩色光阻230邊緣部204之上，該黑色矩陣220可以防止不同彩色光阻230之間的混色現象，同時阻擋雜光。黒色矩陣220採用不透光的材料製作而成，可以是金屬材料也可以是其他不透光材料。接著，在彩色光阻230和黒色矩陣220上方形成一平坦層240，該平坦層240採用透明絕緣材料，如氮化矽等。
如圖11所示，為本發明中製作彩色光阻的曝光過程並以此實現彩色光阻弧面造型的原理圖。本發明以彩色光阻(彩色濾光片)所採用的色阻材料為負光阻為例來解釋本發明實現彩色光阻弧面造型的原理，當然，當彩色光阻採用的色阻材料為正光阻時，也可以用同樣的基本原理和思想來解釋。本發明中，對色阻材料進行曝光吋，該曝光方式是使用弱曝光，即曝光的強度較弱。以曝光蝕刻第一色阻材料250形成第一彩色光阻231為例，形成第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233時，原理相同。弱光照透過光罩900的開ロ部分901照射到第一色阻材料250上，光線通過開ロ部分901時發生衍射，光照的範圍如圖11中的長虛線所示，此時，第一色阻材料250接收到的光強並不是均勻的，第一色阻材料250所接收到的光強強度分布如圖11中的點直線所示，其中，縱軸Y方向示意光強強度大小。由圖11可知，該光強強度在開ロ部分901的中央是最大的，越到旁邊光強越小。同時，由於第一色阻材料250的感光度較低，光強強度要達到一定的值，第一色阻材料250才能充分反應，充分感光而充分反應的色阻材料會在後續的蝕刻過程中被保留下來。由於在開ロ部分901的中央光強強度最大，第一色阻材料250上位於開ロ部分901中央正下方的部分能夠充分感光從而充分反應，該部分成為充分感光部分251。而第一色阻材料250位於光罩900開ロ部分901與遮光部分903交界處下方的部分弱感光，其接收到的光強較小而不能充分反應，該部分成為弱感光部分252。位於光罩900遮光部分903下方的第一色阻材料250沒有感光，不能反應，該部分成為未感光部分253。因此在後續的蝕刻過程中，充分感光部分251由於曝光時所接收到的光強最強並充分反應，在蝕刻過程中被完全保留下來，同時由於色阻材料250的感光度較低，在曝光時弱感光部分252所接收到的光強強度較弱，弱感光部分252反應不充分而在蝕刻過程中被部分保留下來同時部分被蝕刻掉，而未感光部分253由於在曝光時沒有接收到光照，沒有反應，在蝕刻過程中被完全蝕刻掉，便形成具有一弧面造型的第一彩色光阻231，如圖11中的點虛線所示。形成彩色光阻231之後，採用同樣的原理，依序在基板210上形成彩色光阻232、彩色光阻233，相鄰的彩色光阻230彼此接觸。雖然本發明已掲示具體實施方式
，但其並非用以限定本發明，任何本領域的技術人員，在不脫離本發明的構思和範圍的前提下所作出的等同結構或步驟的置換，或依本發明專利保護範圍所作的等同 變化與修飾，皆應仍屬本專利涵蓋之範疇。
權利要求
1.ー種彩色濾光片基板包含一基板；複數彩色光阻，其位於該基板上且包括一上表面及一下表面，該下表面與該基板相接觸，該上表面為ー弧形，即該複數彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻具有ー邊緣部，且相鄰的彩色光阻相互接觸；一黒色矩陣，位於相鄰該彩色光阻之間且位於彩色光阻的邊緣部之上；以及一平坦層，位於該彩色光阻和該黑色矩陣之上。
2.如權利要求I中所述的彩色濾光片基板，該複數彩色光阻上表面之弧形為上凸的弧形。
3.如權利要求2中所述的複數彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標準的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑小於該彩色光阻下表面的長度，即該彩色光阻上表面的曲率中心位於該彩色光阻的下表面附近。
4.如權利要求2中所述的複數彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標準的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑為該彩色光阻下表面長度的一半，即該彩色光阻上表面的曲率中心正好位於該彩色光阻的下表面處。
5.如權利要求2中所述的複數彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標準的弧形，即該弧形具有多個的曲率半徑，該多個曲率半徑均小於該彩色光阻下表面的長度。
6.如權利要求2中所述的複數彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標準的弧形，即該弧形具有多個曲率半徑，其中，至少ー個曲率半徑對應的曲率中心位於該彩色光阻下表面處。
7.如權利要求I中所述的彩色濾光片基板，其中相鄰的彩色光阻相互接觸，且相鄰的彩色光阻之間形成ー凹陷部分。
8.如權利要求7中所述的彩色濾光片基板，其中黒色矩陣位於相鄰彩色光阻之間的凹陷部分，且位於彩色光阻的邊緣部之上。
9.一種製造彩色濾光片基板的方法包括提供一基板；在該基板上形成一層色阻材料；在色阻材料上方設置一光罩；透過光罩對色阻材料進行曝光，該曝光方式為弱曝光；對色阻材料進行蝕刻顯影，將色阻材料圖案化以形成複數彩色光阻，相鄰的彩色光阻相互接觸；該彩色光阻，其下表面與該基板相接觸，其上表面為ー弧形，且該彩色光阻具有ー邊緣部;在相鄰的彩色光阻之間且在彩色光阻邊緣部之上形成一黒色矩陣；在彩色光阻和黒色矩陣上方形成一平坦層。
10.如權利要求9所述的製造彩色濾光片基板的方法，其中該色阻材料為採用色彩分子較小的色阻材料，使得色阻材料有較好的光透過率。
11.如權利要求9所述的製造彩色濾光片基板的方法，其中該色阻材料為採用感光度較低的色阻材料。
12.如權利要求9所述的製造彩色濾光片基板的方法，其中該光罩具有遮光部分和開ロ部分。
13.如權利要求9所述的製造彩色濾光片基板的方法，對色阻材料圖案化之後，該色阻材料即具有一弧面造型，即該色阻材料的上表面為ー弧形。
14.如權利要求13所述的製造彩色濾光片基板的方法，對該色阻材料圖案化之後，SP形成該彩色光阻，該彩色光阻具有一弧面造型，即該彩色光阻的上表面為ー弧形。
15.如權利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標準的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑小於該彩色光阻下表面的長度，即該彩色光阻上表面的曲率中心位於該彩色光阻的下表面附近。
16.如權利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標準的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑為該彩色光阻下表面長度的一半，即該彩色光阻上表面的曲率中心正好位於該彩色光阻的下表面處。
17.如權利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標準的弧形，即該弧形具有多個的曲率半徑，該多個曲率半徑均小於該彩色光阻下表面的長度。
18.如權利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標準的弧形，即該弧形具有多個曲率半徑，其中，至少一曲率半徑對應的曲率中心位於該彩色光阻下表面處。
全文摘要
本發明提供一種彩色濾光片基板，該彩色濾光片基板能夠在滿足高解析度高色彩飽和度的情況下有效減小斜向色偏現象。該彩色濾光片基板上有複數彩色光阻，相鄰彩色光阻彼此接觸，該複數彩色光阻均設計為一弧面造型，即其上表面為一弧形，黑色矩陣位於相鄰的彩色光阻之間並覆蓋部分的彩色光阻，且位於彩色光阻邊緣部之上。製作該彩色濾光片基板時，首先在基板上形成複數彩色光阻，然後在彩色光阻之間且在彩色光阻邊緣部之上形成黑色矩陣，隨後，再在彩色光阻和黑色矩陣上形成一平坦層。
文檔編號G02B5/20GK102830457SQ201210286419
公開日2012年12月19日 申請日期2012年8月13日 優先權日2012年8月13日
發明者黃柏強, 平旻傑 申請人:深超光電(深圳)有限公司